JP4343106B2 - 高精度3dモーションのための計測系 - Google Patents
高精度3dモーションのための計測系 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4343106B2 JP4343106B2 JP2004509339A JP2004509339A JP4343106B2 JP 4343106 B2 JP4343106 B2 JP 4343106B2 JP 2004509339 A JP2004509339 A JP 2004509339A JP 2004509339 A JP2004509339 A JP 2004509339A JP 4343106 B2 JP4343106 B2 JP 4343106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interferometer
- structures
- constant declination
- assembly
- constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02021—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different faces of object, e.g. opposite faces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
物体を所定の軌道に沿って正確に走査する必要のある使用例は多い。これは多くの場合、機械的基準構造体(あるいは計測フレーム)を基準とするセンサを用いた物体をサーボ位置決めすることにより遂行される。大きな運動が必要な場合、通常計測フレームは大きくなり、したがって機械的振動、熱ドリフト、およびその他の摂動の影響を受けやすい。
本明細書に記載される本発明は、大きなダイナミック・レンジ変位センサによる先行技術の手法で問題を解決する。この変位センサは、従来より利用される直交座標系に対して垂直でない複数の基準面に関して測定する。必要な基準面の寸法は、必要な走査距離と基準面の方向とに依存する。1つの線形の自由度が他の2つに比較して大きい場合、本発明は特に有利である。本発明の好適な実施態様は、運動部材に装着された再帰性反射体と定偏角組立体とを備えるゼロ剪断干渉計を使用する。したがって運動部材は完全に受動的である。
本発明の好適な実施態様は、運動監視システムであって、この運動監視システムにより、好ましくはゼロ剪断である6つ以上の干渉計用ビームスプリッタと、適切な角度に配置された基準面(反射鏡)との両方を含む静的基準構造体に対する、受動ターゲット(1実施では再帰性反射体と、定偏角プリズムと干渉計サブシステムを担持するのみである)の6自由度の干渉運動の測定が、
1.各自由度で所望の位置の分解能をもたらすこと、
2.要求される走査距離のための基準構造体の寸法を最小限にすること
を可能とする運動監視システムである。
Claims (8)
- 第一構造体の第二構造体に対する運動を干渉法により測定するための装置であって、前記装置が、
互いに相対運動をするために装備された少なくとも2つのコンパクトで剛性な熱安定性構造体と、
前記構造体のうちの一方に装着された少なくとも1つの干渉計サブシステムおよび1つの傾斜基準反射体と、
前記他方の構造体に装着された定偏角組立体であって、前記干渉計サブシステムが前記構造体間の所定の運動範囲にわたり前記定偏角組立体へ測定ビームを発射するように構成・配置され、その結果、前記測定ビームが前記傾斜基準反射体に沿って法線入射で走査し、それにより前記定偏角組立体を経て前記干渉計サブシステムへと逆反射して少なくとも1つの前記構造体間の自由度を示す信号をもたらす定偏角組立体と
を有する装置。 - 前記構造体に装着された三対の基準反射体であって、少なくともそのうちの3つが傾斜している基準反射体と、6つの干渉計サブシステムと、6つの定偏角組立体とを含んで前記構造体間の6自由度を測定する、請求項1記載の装置。
- 7つ以上の干渉計サブシステムが使用される、請求項2記載の装置。
- 前記定偏角組立体が、定偏角プリズム、多面反射面、単数または複数の屈折面および反射面を有する統合要素、および複数のプリズム屈折要素を有する統合要素を含む群から選択される、請求項1記載の装置。
- 第一構造体の第二構造体に対する運動を干渉法により測定するための方法であって、前記方法が、
互いに相対運動をするために少なくとも2つのコンパクトで剛性な熱安定性構造体を装備するステップと、
前記構造体のうちの一方に少なくとも1つの干渉計サブシステムおよび1つの傾斜基準反射体を装着するステップと、
前記他方の構造体に定偏角組立体を装着するステップと、
前記構造体間の所定の運動範囲にわたり前記定偏角組立体へ測定ビームを指向するステップであって、指向の結果、前記測定ビームが前記傾斜基準反射体に沿って法線入射で走査し、それにより前記定偏角組立体を経て前記干渉計サブシステムへと逆反射して少なくとも1つの前記構造体間の自由度を示す信号をもたらすステップと
を含む方法。 - 前記構造体に装着された三対の基準反射体であって、少なくともそのうちの3つが傾斜している基準反射体と、6つの干渉計サブシステムと、6つの定偏角組立体とを含んで前記構造体間の6自由度を測定する、請求項5記載の方法。
- 7つ以上の干渉計サブシステムが使用される、請求項6記載の方法。
- 前記定偏角組立体が、定偏角プリズム、多面反射面、単数または複数の屈折面および反射面を有する統合要素、および複数のプリズム屈折要素を有する統合要素を含む群から選択される、請求項5記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US38579902P | 2002-06-04 | 2002-06-04 | |
PCT/US2003/017490 WO2003102495A2 (en) | 2002-06-04 | 2003-06-04 | Metrology system for precision 3d motion |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005528599A JP2005528599A (ja) | 2005-09-22 |
JP4343106B2 true JP4343106B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=29712213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004509339A Expired - Fee Related JP4343106B2 (ja) | 2002-06-04 | 2003-06-04 | 高精度3dモーションのための計測系 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6876453B2 (ja) |
EP (1) | EP1509747B1 (ja) |
JP (1) | JP4343106B2 (ja) |
WO (1) | WO2003102495A2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7266537B2 (en) * | 2004-01-14 | 2007-09-04 | Intelligent Results | Predictive selection of content transformation in predictive modeling systems |
EP1725916B1 (en) * | 2004-02-04 | 2012-11-21 | Mazor Robotics Ltd. | Verification system for robot pose |
US7352472B2 (en) * | 2004-02-18 | 2008-04-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and method for determining z-displacement |
EP1850210B1 (en) * | 2006-04-05 | 2012-02-01 | Société Civile "GALILEO 2011" | Optoelectronic device for determining relative movements or relative positions of two objects |
FR2902894B1 (fr) * | 2006-06-27 | 2010-06-04 | Cit Alcatel | Systeme de metrologie lateral et longitudinal |
CN102109327B (zh) * | 2010-11-29 | 2012-08-01 | 重庆大学 | 六自由度并联解耦机构 |
US9417308B2 (en) | 2013-07-03 | 2016-08-16 | Stichting Continuiteit Beijert Engineering | Apparatus and method for inspecting pins on a probe card |
WO2016183618A1 (en) * | 2015-05-21 | 2016-11-24 | Royal Melbourne Institute Of Technology | Means and method for 6 degrees of freedom displacement sensor |
WO2017073055A1 (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 搬送装置 |
CN105806180B (zh) * | 2016-05-24 | 2018-04-27 | 吉林大学 | 正交式六自由度测量装置 |
US11062476B1 (en) * | 2018-09-24 | 2021-07-13 | Apple Inc. | Generating body pose information |
CN111189390B (zh) * | 2020-01-09 | 2021-08-10 | 陕西科技大学 | 一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3601490A (en) * | 1966-12-30 | 1971-08-24 | Keuffel & Esser Co | Laser interferometer |
DE2127483A1 (de) * | 1971-06-03 | 1972-12-14 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren zur interferentiellen Messung von Langen, Winkeln, Gangunter schieden oder Geschwindigkeiten |
GB9207259D0 (en) | 1992-04-02 | 1992-05-13 | Renishaw Metrology Ltd | Workpiece measuring machine |
GB9401692D0 (en) | 1994-01-28 | 1994-03-23 | Renishaw Plc | Performing measurement or calibration on positioning machines |
US5940180A (en) * | 1994-10-11 | 1999-08-17 | Giddings & Lewis | Laser interferometer measurement system for use with machine tools |
-
2003
- 2003-06-04 EP EP03756383A patent/EP1509747B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-04 US US10/454,285 patent/US6876453B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-04 JP JP2004509339A patent/JP4343106B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-04 WO PCT/US2003/017490 patent/WO2003102495A2/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030223078A1 (en) | 2003-12-04 |
WO2003102495A2 (en) | 2003-12-11 |
EP1509747A4 (en) | 2005-11-16 |
EP1509747B1 (en) | 2011-10-19 |
WO2003102495A3 (en) | 2004-05-06 |
JP2005528599A (ja) | 2005-09-22 |
US6876453B2 (en) | 2005-04-05 |
EP1509747A2 (en) | 2005-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Burge et al. | Use of a commercial laser tracker for optical alignment | |
Muralikrishnan et al. | Laser trackers for large-scale dimensional metrology: A review | |
US6563569B2 (en) | Laser tracking interferometric length measuring instrument and method of measuring length and coordinates using the same | |
Fan et al. | A 6-degree-of-freedom measurement system for the accuracy of XY stages | |
JP3210963B2 (ja) | ボールステップゲージ | |
JP4343106B2 (ja) | 高精度3dモーションのための計測系 | |
US20110088271A1 (en) | Mounted scale bar | |
JP6284771B2 (ja) | パラレル機構 | |
JP6104708B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
JP2005509874A (ja) | 非球面フィゾーの高速インサイチュ習得 | |
Bobroff | Critical alignments in plane mirror interferometry | |
US20220049951A1 (en) | Surface metrology systems and methods thereof | |
Peggs | Virtual technologies for advanced manufacturing and metrology | |
JP3265360B2 (ja) | 反射光学系の支持調整装置 | |
Phillips et al. | A novel artifact for testing large coordinate measuring machines | |
Lewis | Fully traceable miniature CMM with submicrometer uncertainty | |
US6876452B2 (en) | Apparatus and methods for high accuracy metrology and positioning of a body | |
Osawa et al. | Evaluation of the performance of a novel laser tracker used for coordinate measurements | |
Yang et al. | Measurement technology for precision machines | |
JPH0452402B2 (ja) | ||
JP2000298011A (ja) | 形状測定方法および装置 | |
Qian et al. | Precise angle monitor based on the concept of pencil-beam interferometry | |
Jaganmohan | Metrology Bench | |
CN114264235A (zh) | 一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法 | |
Blackbourn | Accuracy Assessment of NC Machine Tools Using Kinematic Ball Link Bars |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090309 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090605 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090702 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090708 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130717 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |