JP2014165274A - 基板搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】ベルトから発生し得る塵等の異物が基板に付着することを抑制できる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明による基板搬送システム１は、第１基板搬送ライン１０と、第２基板搬送ライン２０と、これらの間に設けられた基板昇降装置３０と、を備えている。基板昇降装置３０は、昇降空間３２及び駆動空間３３を形成するチャンバ３１と、基板６０を載置する昇降自在な基板載置台３４と、基板載置台３４を、ベルト３７を介して昇降させる昇降駆動部４０と、を有している。昇降空間３２と駆動空間３３とが、下方区画カバー５０と上方区画カバー５１とによって区画されている。下方区画カバー５０は、チャンバ３１と基板載置台３４の下部とを連結し、上方区画カバー５１は、チャンバ３１と基板載置台３４の上部とを連結している。下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、それぞれ上下方向に伸縮自在に構成されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、ベルト駆動方式で基板を昇降する基板昇降装置を有する基板搬送システムに係り、とりわけ、ベルトから発生し得る塵等の異物が基板に付着することを抑制できる基板搬送システムに関する。

カラーフィルタやプラズマディスプレイパネル等を製造する場合、基板は複数の処理ラインに搬送されて、基板に各種処理が施される。複数の処理ラインは、設備のレイアウトの都合により、高さ方向にずらして配置される場合がある。この場合、基板を鉛直方向へ移動させる（昇降させる）手段が必要となる。基板を昇降させる手段を有する基板搬送システムとして、例えば、特許文献１に示すような基板搬送システムが知られている。ここでは、第１基板搬送ラインと、第１基板搬送ラインより高い位置で基板を搬送する第２基板搬送ラインとの間に、基板昇降機が設けられている。この基板昇降機により基板が昇降し、第１基板搬送ラインと第２基板搬送ラインとの間で、基板を搬送するようになっている。

このような基板昇降機として、無端状のベルトをモータで巻き上げることにより基板を昇降するベルト駆動方式の基板昇降機が知られている。

特開２００４−２８８８２３号公報

しかしながら、ベルト駆動方式の基板昇降機においては、基板をスムースに昇降させるために、ベルトの幅方向両側に金属製のガイド部材が設けられており、当該ガイド部材によってベルトが垂直方向に案内されるようになっている。このため、基板を昇降させる際、巻き上げられるベルトがガイド部材に擦れて、ベルトから塵等の異物が発生し、飛散するおそれがある。飛散した異物が基板に付着すると、当該基板を用いたカラーフィルタ等の製品の歩留まりを悪化させるという問題が生じる。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ベルトから発生し得る塵等の異物が基板に付着することを抑制できる基板搬送システムを提供することを目的とする。

本発明は、基板を搬送する第１基板搬送ラインと、前記第１基板搬送ラインより高い位置で基板を搬送する第２基板搬送ラインと、前記第１基板搬送ラインと前記第２基板搬送ラインとの間に設けられ、当該第１基板搬送ライン及び当該第２基板搬送ラインのうちの一方から基板を受け取り、受け取った基板を上昇または下降させて他方に引き渡す基板昇降装置と、を備え、前記基板昇降装置は、昇降空間を形成するチャンバと、前記昇降空間内を昇降自在に設けられ、基板を載置する基板載置台と、前記基板載置台に連結され、金属製のガイド部材に案内される樹脂製のベルトと、前記基板載置台を、前記ベルトを介して昇降させる昇降駆動部と、を有し、前記ベルト及び前記昇降駆動部は、前記チャンバの内部において前記昇降空間とは異なる領域に形成された駆動空間内に配置され、前記昇降空間と前記駆動空間とが、前記基板載置台の下方に設けられた下方区画カバーと、当該基板載置台の上方に設けられた上方区画カバーとによって区画され、前記下方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の下部とを連結し、前記上方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の上部とを連結し、前記下方区画カバー及び前記上方区画カバーは、それぞれ上下方向に伸縮自在に構成されていることを特徴とする基板搬送システムを提供する。

なお、上述した基板搬送システムにおいては、前記下方区画カバー及び前記上方区画カバーは、上下方向に伸縮自在な蛇腹部をそれぞれ有している、ようにしてもよい。

また、上述した基板搬送システムにおいては、前記駆動空間内の気体を排出する排気部が設けられている、ようにしてもよい。

また、上述した基板搬送システムにおいては、前記下方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の下部に対して着脱自在に取り付けられ、前記上方区画カバーは、前記基板載置台の上部と前記チャンバに対して着脱自在に取り付けられている、ようにしてもよい。

本発明によれば、ベルトから発生し得る塵等の異物が基板に付着することを抑制できる。

図１は、本発明の実施の形態における基板搬送システムの概略構成を示す図であって、第１基板搬送ラインから第２基板搬送ラインに基板を上昇させる場合を示す図である。 図２は、図１の基板搬送システムにおいて、基板昇降装置の基板載置台を下降させる場合を示す図である。 図３は、図１の基板搬送システムにおける基板昇降装置を示す斜視図である。 図４は、図３の基板昇降装置を示す側面図である。 図５は、図４の基板昇降装置の変形例を示す側面図である。

図１乃至図４を用いて、本発明の実施の形態における基板搬送システムについて説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１及び図２に示すように、基板搬送システム１は、基板６０を搬送する第１基板搬送ライン１０と、第１基板搬送ライン１０より高い位置で基板６０を搬送する第２基板搬送ライン２０と、第１基板搬送ライン１０と第２基板搬送ライン２０との間に設けられた基板昇降装置３０と、を備えている。

このうち第１基板搬送ライン１０は、基板６０を搬送するための第１搬送コンベア１１と、第１搬送コンベア１１の周囲を覆うようにして設けられた外気遮断カバー１２と、を有している。この外気遮断カバー１２によって外気が遮断され、第１基板搬送ライン１０は略密閉した構造を有している。外気遮断カバー１２の搬送方向上流側端部には、外部から基板６０を搬入するための第１ライン搬入口１３が設けられ、搬送方向下流側端部には、基板６０を基板昇降装置３０に引き渡すための第１ライン搬出口１４が設けられている。外気遮断カバー１２には、外気を浄化して内部に吹き込むフィルタ装置（クリーン・エア噴出装置）１５が取り付けられており、外気から異物を除去した清浄なエア（クリーン・エア）を内部に吹き込むようになっている。

同様にして、第２基板搬送ライン２０は、基板６０を搬送するための第２搬送コンベア２１と、第２搬送コンベア２１の周囲を覆うようにして設けられた外気遮断カバー２２と、を有している。この外気遮断カバー２２によって外気が遮断され、第２基板搬送ライン２０は略密閉した構造を有している。外気遮断カバー２２の搬送方向上流側端部には、基板昇降装置３０から基板６０を受け取るための第２ライン搬入口２３が設けられ、搬送方向下流側端部には、基板６０を外部に搬出するための第２ライン搬出口２４が設けられている。外気遮断カバー２２には、フィルタ装置２５が取り付けられている。

本実施の形態においては、基板昇降装置３０は、第１基板搬送ライン１０から基板６０を受け取り、受け取った基板６０を上昇させて第２基板搬送ライン２０に引き渡すようになっている。

図３及び図４に示すように、基板昇降装置３０は、昇降空間３２を形成する直方体状のチャンバ３１と、昇降空間３２内を昇降自在に設けられ、基板６０を載置する基板載置台３４と、を有している。このうちチャンバ３１は、外気を遮断し、略密閉した構造を有している。基板載置台３４は、複数のコロ３４ａを有しており、基板載置台３４に対して基板６０の出し入れをスムースに行うことができるようになっている。

チャンバ３１には、第１基板搬送ライン１０から基板６０を受け取るためのチャンバ搬入口３５が設けられている。当該チャンバ搬入口３５は、チャンバ３１の下部に配置されるとともに、第１基板搬送ライン１０の第１ライン搬出口１４に連通している。また、チャンバ３１には、第２基板搬送ライン２０に基板６０を引き渡すためのチャンバ搬出口３６が設けられている。当該チャンバ搬出口３６は、チャンバ３１の上部に配置されるとともに、第２基板搬送ライン２０の第２ライン搬入口２３に連通している。

チャンバ３１の内部には、昇降空間３２とともに、当該昇降空間３２とは異なる領域に駆動空間３３が形成されている。昇降空間３２は、基板６０を昇降するための空間であり、駆動空間３３は、基板載置台３４を昇降させる駆動機構（後述するベルト３７、昇降駆動部４０、プーリ４１、４２等）を配置するための空間となっている。

基板載置台３４には、樹脂製のベルト３７が連結されている。このベルト３７は、金属製のガイド部材３８によって案内されるようになっている。すなわち、図３に示すように、ベルト３７の幅方向両側にガイド部材３８が設けられており、ベルト３７を垂直方向に案内して、基板載置台３４をスムースに昇降させている。なお、基板載置台３４は、連結部材３９を用いて、ベルト３７を挟持するように当該ベルト３７に連結されている。

基板昇降装置３０は、基板載置台３４を、ベルト３７を介して昇降させる昇降駆動部４０を更に有している。すなわち、上述した駆動空間３３内の上部に、駆動プーリ４１が設けられ、当該駆動空間３３内の下部に、従動プーリ４２が設けられている。駆動プーリ４１に、昇降駆動部４０としてのモータが連結されている。ベルト３７は無端状に形成されて、駆動プーリ４１及び従動プーリ４２に掛け渡されている。このようにして、昇降駆動部４０を駆動することにより、ベルト３７が巻き上げられ、これにより、ベルト３７に連結された基板載置台３４が昇降するようになっている。

また、図１に示すように、チャンバ３１の上部には、フィルタ装置４３が取り付けられており、外気から異物を除去した清浄なエアが、チャンバ３１の内部に吹き込まれるようになっている。

チャンバ３１の内部の昇降空間３２と駆動空間３３とは、基板載置台３４の下方に設けられた下方区画カバー５０と、当該基板載置台３４の上方に設けられた上方区画カバー５１とによって区画されている。本実施の形態においては、下方区画カバー５０は、図３及び図４に示すように、チャンバ３１の底部３１ａと基板載置台３４の下部とを連結し、上方区画カバー５１は、基板載置台３４の上部とチャンバ３１の天井部３１ｂとを連結している。このようにして、下方区画カバー５０は、基板載置台３４の下方において昇降空間３２と駆動空間３３とを区画し、上方区画カバー５１は、基板載置台３４の上方において昇降空間３２と駆動空間３３とを区画している。

なお、基板載置台３４の側方領域（図３において、ベルト３７側に向って見た場合の基板載置台３４の左右の領域）においては、下方区画カバー５０、上方区画カバー５１、または別部品となる他のカバー部材を用いて、昇降空間３２と駆動空間３３とが区画されることが好ましい。

図４に示すように、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、それぞれ上下方向に伸縮自在に構成されている。本実施の形態においては、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、上下方向に伸縮自在な蛇腹部５０ｂ、５１ｂをそれぞれ有している。このようにして、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、基板載置台３４の昇降動作に追従するとともに、昇降空間３２と駆動空間３３とを区画するようになっている。

下方区画カバー５０は、チャンバ３１の底部３１ａに取り付けられた下方チャンバ側部分５０ａと、下方基板載置台３４の下部に取り付けられた下方載置台側部分５０ｃと、を有しており、下方チャンバ側部分５０ａと下方載置台側部分５０ｃとが、上述した蛇腹部（下方蛇腹部５０ｂ）によって連結されている。なお、下方蛇腹部５０ｂとチャンバ３１の側壁３１ｃ（図３参照）との間には、下方蛇腹部５０ｂを上下方向にスムースに伸縮させるために、隙間が形成されていることが好適である。

同様に、上方区画カバー５１は、基板載置台３４の上部に取り付けられた上方載置台側部分５１ａと、チャンバ３１の天井部３１ｂに取り付けられた上方チャンバ側部分５１ｃと、を有しており、上方載置台側部分５１ａと上方チャンバ側部分５１ｃとが上述した蛇腹部（上方蛇腹部５１ｂ）によって連結されている。上方蛇腹部５１ｂとチャンバ３１の側壁３１ｃ（図３参照）との間にも、上方蛇腹部５１ｂを上下方向にスムースに伸縮させるために、隙間が形成されていることが好適である。

なお、下方蛇腹部５０ｂ及び上方蛇腹部５１ｂに用いる材料は、伸縮可能な材料であるとともに発塵し難い材料であれば、特に限定されることはない。

下方区画カバー５０は、チャンバ３１の底部３１ａ及び基板載置台３４の下部に対して着脱自在に取り付けられ、上方区画カバー５１は、基板載置台３４の上部及びチャンバ３１の天井部３１ｂに対して着脱自在に取り付けられていることが好適である。例えば、下方区画カバー５０の下方チャンバ側部分５０ａ及び下方載置台側部分５０ｃは、ボルト等の締結手段によって、チャンバ３１の底部３１ａ及び基板載置台３４の下部にそれぞれ取り付けられ、上方区画カバー５１の上方載置台側部分５１ａ及び上方チャンバ側部分５１ｃも、ボルト等の締結手段によって、基板載置台３４の上部及びチャンバ３１の天井部３１ｂにそれぞれ取り付けられていることが好ましい。

図４に示すように、基板昇降装置３０のチャンバ３１に、駆動空間３３内の気体を外部に排出する排気部５２が連結されていることが好適である。排気部５２が駆動空間３３内の気体を排出する際、上述した区画カバーとチャンバ３１との間の隙間を介して昇降空間３２内の気体が駆動空間３３に吸引される。すなわち、昇降空間３２には、フィルタ装置４３によって清浄な空気が送り込まれていることから、この隙間を介して、駆動空間３３内に清浄な空気が吸引される。

このような排気部５２は、図４に示すように、チャンバ３１の下部に連結されていることが好ましい。この場合、異物が空気より重たい場合であっても、異物を効率良く外部に排出することができる。

なお、第１基板搬送ライン１０、第２基板搬送ライン２０、基板昇降装置３０を構成する各種機器は、図示しない制御装置によって適宜制御されており、第１基板搬送ライン１０から基板昇降装置３０を介して第２基板搬送ライン２０に基板６０を適切に搬送するようになっている。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

第１基板搬送ライン１０の第１ライン搬入口１３に外部から基板６０が搬入されると、搬入された基板６０は、第１基板搬送ライン１０の第１搬送コンベア１１によって第１ライン搬出口１４に搬送される。この間、第１基板搬送ライン１０内の気体は、外気遮断カバー１２によって外気と遮断されるとともに、フィルタ装置１５によって外気遮断カバー１２内に清浄なエアが吹き込まれる。このことにより、第１基板搬送ライン１０において基板６０に異物が付着することが抑制される。

第１ライン搬出口１４に搬送された基板６０は、当該第１ライン搬出口１４及び基板昇降装置３０のチャンバ搬入口３５を通ってチャンバ３１内に搬入され、チャンバ搬入口３５に対応する位置に停止している基板載置台３４に載置される。このことにより、第１基板搬送ライン１０により搬送された基板６０が、基板昇降装置３０に受け取られる。

基板載置台３４に基板６０が載置されると、昇降駆動部４０が駆動され、基板６０が載置された基板載置台３４が上昇する（図１参照）。この際、昇降駆動部４０により、駆動プーリ４１を介してベルト３７が巻き上げられる。また、この際、チャンバ３１の底部３１ａと基板載置台３４の下部とを連結する下方区画カバー５０の下方蛇腹部５０ｂが伸び、基板載置台３４の上部とチャンバ３１の天井部３１ｂとを連結する上方区画カバー５１の上方蛇腹部５１ｂが縮む。このことにより、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、昇降空間３２と駆動空間３３とを区画しながら、基板載置台３４の上昇動作に追従することができる。

この間、チャンバ３１内の気体は、チャンバ３１によって外気と遮断されるとともに、フィルタ装置４３によってチャンバ３１内に清浄なエアが吹き込まれる。このことにより、チャンバ３１内において基板６０に異物が付着することが抑制される。

ここで、巻き上げられているベルト３７は、基板載置台３４をスムースに上昇させるために、ガイド部材３８によって案内されている。このことにより、ベルト３７がガイド部材３８と擦れて、ベルト３７から塵等の異物が発生するおそれがある。しかしながら、本実施の形態においては、基板載置台３４が昇降する昇降空間３２と、ベルト３７が配置されている駆動空間３３とは、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１によって区画されている。このことにより、ベルト３７から異物が発生した場合においても、発生した異物が昇降空間３２に移動することを抑制することができる。また、チャンバ３１に設けられた排気部５２が、駆動空間３３内の気体を外部に排出している。このことにより、ベルト３７から異物が発生した場合においても、発生した異物を外部に排出することができ、異物が昇降空間３２に移動することを抑制できる。

上昇した基板載置台３４は、チャンバ搬出口３６に対応する位置で停止し、当該チャンバ搬出口３６及び第２基板搬送ライン２０の第２ライン搬入口２３を通って、第２基板搬送ライン２０に搬入される。このようにして、基板昇降装置３０から第２基板搬送ライン２０に基板６０が引き渡される。

一方、基板昇降装置３０から第２基板搬送ライン２０に基板６０が引き渡された後、図２に示すように、基板載置台３４は下降し、チャンバ搬入口３５に対応する位置で停止する。このようにして、第１基板搬送ライン１０から新たに搬送されてくる基板６０を受け入れる準備が行われる。

第２ライン搬入口２３に基板６０が搬入されると、搬入された基板６０は、第２基板搬送ライン２０の第２搬送コンベア２１によって第２ライン搬出口２４に搬送される。この間、第２基板搬送ライン２０内の気体は、外気遮断カバー２２によって外気と遮断されるとともに、フィルタ装置２５によって外気遮断カバー２２内に清浄なエアが吹き込まれる。このことにより、第２基板搬送ライン２０において基板６０に異物が付着することが抑制される。

第２ライン搬出口２４に搬送された基板６０は、外部に搬出される。

このように本実施の形態によれば、昇降空間３２と駆動空間３３とが、チャンバ３１の底部３１ａと基板載置台３４の下部とを連結する下方区画カバー５０と、基板載置台３４の上部とチャンバ３１の天井部３１ｂとを連結する上方区画カバー５１とによって区画され、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１が、それぞれ上下方向に伸縮自在に構成されている。このことにより、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、基板載置台３４の昇降動作に追従するとともに、昇降空間３２と駆動空間３３とを区画することができる。このため、ベルト３７から塵等の異物が発生した場合においても、異物が昇降空間３２に移動することを抑制することができる。この結果、ベルト３７から発生し得る異物が基板６０に付着することを抑制することができる。この場合、当該基板６０を用いて形成されるカラーフィルタ等の最終製品の歩留まりを向上させることができる。

また、本実施の形態によれば、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、蛇腹部を有している。このことにより、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、昇降空間３２と駆動空間３３とを区画しながら、上下方向にスムースに伸縮することができる。

また、本実施の形態によれば、基板昇降装置３０のチャンバ３１に、駆動空間３３内の気体を排出する排気部５２が設けられている。このことにより、ベルト３７から異物が発生した場合においても、発生した異物を外部に排出することができ、異物が昇降空間３２に移動することを抑制することができる。このため、ベルト３７から発生し得る異物が基板６０に付着することをより一層抑制することができる。

さらに、本実施の形態によれば、下方区画カバー５０は、チャンバ３１の底部３１ａ及び基板載置台３４の下部に対して着脱自在に取り付けられ、上方区画カバー５１は、基板載置台３４の上部及びチャンバ３１の天井部３１ｂに対して着脱自在に取り付けられている。このことにより、各区画カバー５０、５１を容易に取り外すことができる。取り外した区画カバー５０、５１を洗浄することもできる。このため、基板６０に異物が付着することをより一層抑制し、歩留まりを向上させることができる。また、この場合、メンテナンス作業時間を短縮させることもできる。

なお、上述した本実施の形態においては、第１基板搬送ライン１０から基板昇降装置３０を介して第２基板搬送ライン２０に基板を搬送する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２基板搬送ライン２０から基板昇降装置３０を介して第１基板搬送ライン１０に基板６０を搬送するようにしてもよい。この場合、上述した各搬入口１３、２３、３５は、搬出口として機能し、上述した各搬出口１４、２４、３６は、搬入口として機能する。

また、上述した本実施の形態においては、排気部５２が、チャンバ３１の下部に連結されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、排気部５２は、チャンバ３１の上部に連結されていてもよい。この場合においても、駆動空間３３内の気体を排出することができる。

また、上述した本実施の形態においては、下方区画カバー５０が、基板昇降装置３０のチャンバ３１の底部３１ａと基板載置台３４の下部とを連結し、上方区画カバー５１が、基板載置台３４の上部とチャンバ３１の天井部３１ｂとを連結している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図５に示すように、駆動空間３３を形成する下方駆動空間形成部材５３及び上方駆動空間形成部材５４が、チャンバ３１の後壁３１ｄから延びるように形成されている場合には、下方区画カバー５０が、下方駆動空間形成部材５３と基板載置台３４の下部とを連結し、上方区画カバー５１が、基板載置台３４の上部と上方駆動空間形成部材５４とを連結するようにしてもよい。この場合、下方区画カバー５０の下方チャンバ側部分５０ａが、下方駆動空間形成部材５３に連結され、上方区画カバー５１の上方チャンバ側部分５１ｃが、上方駆動空間形成部材５４に連結される。このことにより、下方駆動空間形成部材５３と、下方区画カバー５０と、上方区画カバー５１と、上方駆動空間形成部材５４とにより、駆動空間３３を形成することができる。すなわち、下方区画カバー５０及び上方区画カバー５１は、昇降空間３２と駆動空間３３とを区画することができる。

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による基板搬送システムは、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

１ 基板搬送システム
１０ 第１基板搬送ライン
１１ 第１搬送コンベア
１２ 外気遮断カバー
１３ 第１ライン搬入口
１４ 第１ライン搬出口
１５ フィルタ装置
２０ 第２基板搬送ライン
２１ 搬送コンベア
２２ 外気遮断カバー
２３ 上方ライン搬入口
２４ 上方ライン搬出口
２５ フィルタ装置
３０ 基板昇降装置
３１ チャンバ
３１ａ 底部
３１ｂ 天井部
３１ｃ 側壁
３１ｄ 後壁
３２ 昇降空間
３３ 駆動空間
３４ 基板載置台
３４ａ コロ
３５ チャンバ搬入口
３６ チャンバ搬出口
３７ ベルト
３８ ガイド部材
３９ 連結部材
４０ 昇降駆動部
４１ 駆動プーリ
４２ 従動プーリ
４３ フィルタ装置
５０ 下方区画カバー
５０ａ 下方チャンバ側部分
５０ｂ 下方蛇腹部
５０ｃ 下方載置台側部分
５１ 上方区画カバー
５１ａ 上方載置台側部分
５１ｂ 上方蛇腹部
５１ｃ 上方チャンバ側部分
５２ 排気部
５３ 下方駆動空間形成部材
５４ 上方駆動空間形成部材
６０ 基板

Claims (4)

1. 基板を搬送する第１基板搬送ラインと、
   前記第１基板搬送ラインより高い位置で基板を搬送する第２基板搬送ラインと、
   前記第１基板搬送ラインと前記第２基板搬送ラインとの間に設けられ、当該第１基板搬送ライン及び当該第２基板搬送ラインのうちの一方から基板を受け取り、受け取った基板を上昇または下降させて他方に引き渡す基板昇降装置と、を備え、
   前記基板昇降装置は、昇降空間を形成するチャンバと、前記昇降空間内を昇降自在に設けられ、基板を載置する基板載置台と、前記基板載置台に連結され、金属製のガイド部材に案内される樹脂製のベルトと、前記基板載置台を、前記ベルトを介して昇降させる昇降駆動部と、を有し、
   前記ベルト及び前記昇降駆動部は、前記チャンバの内部において前記昇降空間とは異なる領域に形成された駆動空間内に配置され、
   前記昇降空間と前記駆動空間とが、前記基板載置台の下方に設けられた下方区画カバーと、当該基板載置台の上方に設けられた上方区画カバーとによって区画され、
   前記下方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の下部とを連結し、前記上方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の上部とを連結し、
   前記下方区画カバー及び前記上方区画カバーは、それぞれ上下方向に伸縮自在に構成されていることを特徴とする基板搬送システム。
2. 前記下方区画カバー及び前記上方区画カバーは、上下方向に伸縮自在な蛇腹部をそれぞれ有していることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
3. 前記駆動空間内の気体を排出する排気部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送システム。
4. 前記下方区画カバーは、前記チャンバと前記基板載置台の下部に対して着脱自在に取り付けられ、
   前記上方区画カバーは、前記基板載置台の上部と前記チャンバに対して着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板搬送システム。

Images