JP2014164978A - 圧縮封止型気密端子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧縮封止型気密端子10は、鉄または鉄合金の金属外環11と、金属外環11に挿通した鉄合金のパイプリード12と、金属外環11の内壁とパイプリード12の外径とを気密に封着する絶縁ガラス13と、パイプリード12を貫通した銀、銅、アルミニウムまたは銀合金、銅合金、アルミニウム合金などの低抵抗金属からなる導出リード14とを備え、導出リード14の熱膨張を緩衝するための所定の間隙部15を金属外環11の内側に設けて、導出リード14は、接合部16によりパイプリード12と気密に接合する。
【選択図】図2
Description
整合封止の場合、金属材と絶縁ガラスの熱膨張係数が可能な限り一致するように封止素材を選定する。一方、圧縮封止は、金属外環が絶縁ガラスおよびリードを圧縮するように意図的に異なる熱膨張係数の金属材と絶縁ガラスの材料が選択されている。
11,21,31,41,51,61・・・金属外環、
12,22,32,42,51,61・・・パイプリード、
13,23,33,43,53,63・・・絶縁ガラス、
14,24,34,44,54,64・・・導出リード、
15,25,35,45,55,65・・・間隙部、
16,26,36,46,56,66・・・接合部、
27・・・周溝部、 37,47,57,67・・・縮径部、
48,58,68・・・フランジ部、
φ1・・・導出リードの直径、 φ2・・・金属外環の内径。
Claims (14)
- 金属外環と、この金属外環に挿通したパイプリードと、前記金属外環と前記パイプリードとを気密に封着する絶縁ガラスと、前記パイプリードを貫通した低抵抗金属からなる導出リードとを備え、前記導出リードの熱膨張を緩衝するための所定の間隙部を前記パイプリードの内側に設けて、さらに前記導出リードは、接合材を充填した接合部により前記パイプリードと気密に接合されたことを特徴とする圧縮封止型気密端子。
- 金属外環と、この金属外環に挿通したパイプリードと、前記金属外環の内壁とパイプリードの外径とを気密に封着する絶縁ガラスと、前記パイプリードを貫通した低抵抗金属からなる導出リードとを備え、前記導出リードの熱膨張を緩衝するための所定の間隙部を前記パイプリードの内側に設け、さらに前記導出リードの外径または前記パイプリードの内径に1ないし2つの周溝部を設け、この周溝部により接合材の接合範囲を画定した接合部を用いて前記導出リードと前記パイプリードとを気密に接合したことを特徴とする圧縮封止型気密端子。
- 金属外環と、この金属外環に挿通したパイプリードと、前記金属外環の内壁と前記パイプリードの外径とを気密に封着する絶縁ガラスと、前記パイプリードを貫通した低抵抗金属からなる導出リードとを備え、前記導出リードに縮径部を設け、この縮径部と前記パイプリードとの間に前記導出リードの熱膨張を緩衝するための所定の間隙部を形成し、前記導出リードは、前記縮径部を除いた前記パイプリードの内壁とその対向する前記導出リードとの間に接合材を充填して設けた接合部により前記パイプリードと気密に接合されたことを特徴とする圧縮封止型気密端子。
- 金属外環と、この金属外環に挿通したパイプリードと、前記金属外環の内壁と前記パイプリードの外径とを気密に封着する絶縁ガラスと、前記パイプリードを貫通した低抵抗金属からなる導出リードとを備え、前記パイプリードの内径に縮径部を設け、この縮径部の内壁とその対向する前記導出リードとの間を接合材で埋めて接合部とし、この接合部を除いた前記パイプリードの内径と前記導出リードとの間に所定の間隙部を形成し、前記導出リードは、接合部により前記パイプリードの前記縮径部と気密に接合されたことを特徴とする圧縮封止型気密端子。
- 前記接合部は、少なくとも一部が前記絶縁ガラスに埋設した請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記絶縁ガラスに埋設される前記接合部の長さを、前記絶縁ガラスの厚さの2/3以下となるように設けた請求項5に記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記接合部は、全体を前記絶縁ガラスの外部に設けた請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記導出リードは、その直径を前記金属外環の内径の50%以上90%以下とした請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記導出リードは、銀、銅、アルミニウムまたは銀合金、銅合金、アルミニウム合金などの低抵抗金属からなる請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記パイプリードは、鉄クロム合金、コバール合金、鉄ニッケル合金、ステンレス鋼などの鉄合金からなる請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記金属外環は、鉄または炭素鋼、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金などの鉄合金からなる請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記間隙部は、前記パイプリードと前記導出リードとの間隔が0.01mm以上1mm以下の範囲で設けられた請求項1ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 前記間隙部に周溝部または縮径部を設けることで、さらに0.2mm以上のギャップを設けて接合部を画定させたことを特徴とする請求項2ないし請求項4の何れか1つに記載の圧縮封止型気密端子。
- 黒鉛などの耐熱性封着治具に設けられた所定位置に、金属外環と、この金属外環に挿通したパイプリードと、前記金属外環の内径と前記パイプリードの外径との間に配置した絶縁ガラスからなる筒状のガラスペレットと、前記パイプリードの内径を貫通した銀、銅、アルミニウムまたは銀合金、銅合金、アルミニウム合金などの低抵抗金属からなる導出リードと、この導出リードと前記パイプリードの内径との間に配置したロウ材などの接合材とをセットする振込工程、前記振込工程で各構成部材を所定位置にセットした前記封着治具を封着炉に通して前記ガラスペレットと前記接合材とを一括溶融させて、前記金属外環と前記パイプリードとの間を前記絶縁ガラスで気密に封着し、かつ前記導出リードの熱膨張を緩衝するための所定の間隙部を前記パイプリードの内側に設けて前記パイプリードと前記導出リードとの間を前記接合材で気密に接合する封着工程の2工程で製造されたことを特徴とする圧縮封止型気密端子の製造方法。
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