JP2014160777A - 光源ユニット及び照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】発光素子の配置方向に延びる光の照度ムラを抑えつつ、輪郭のボケも十分に抑制できる光源ユニット及び照射装置を提供する。
【解決手段】焦点Ｆ１から焦点Ｆ２の間に出射開口３１を設けた複数の楕円反射面３５を、楕円反射面３５の長軸を互いに平行に、かつ、一部をオーバーラップさせながら並べて配置し、焦点Ｆ１のそれぞれにＬＥＤ９を配置し、楕円反射面３５の焦点Ｆ１の側の端部を放物反射面３７とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、複数の発光素子を光源に備えた光源ユニット及び照射装置に関する。

従来、例えば、ＬＥＤなどの発光素子を複数並べた光源の光を拡散反射する拡散反射面を備えた照明装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この照明装置によれば、各々のＬＥＤを離間配置し、各ＬＥＤに対応した位置で照度が高くなる場合でも、各々のＬＥＤの光が拡散反射面で拡散されることから、照度ムラが抑制される。（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１０１３０９号公報

しかしながら、離間配置した複数のＬＥＤの各々の光を十分に拡散させ、照度ムラを抑制しようとした場合、この拡散の強度に応じて照射野の輪郭にボケが生じるという問題がある。
すなわち、複数のＬＥＤを離間配置して、この離間配置の方向に延びる光を照射する場合には、光の延びる方向における照度ムラは解消されるものの、この延びる方向と直交する光の幅方向の輪郭にボケが生じる。

この発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、発光素子の配置方向に延びる光の照度ムラを抑えつつ、輪郭のボケも十分に抑制できる光源ユニット及び照射装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の光源ユニットは、第１焦点から第２焦点の間に出射開口を設けた複数の楕円反射面を、前記楕円反射面の長軸を互いに平行に、かつ、一部をオーバーラップさせながら並べて配置し、前記第１焦点のそれぞれに発光素子を配置し、前記楕円反射面の前記第１焦点の側の端部を放物反射面としたことを特徴とする。

また、本発明は、上記光源ユニットにおいて、前記放物反射面の焦点を、前記楕円反射面の長軸に沿って前記第１焦点から遠ざかる方向にずらしたことを特徴とする。

また、本発明は、上記光源ユニットにおいて、前記発光素子のそれぞれを同一の基板に実装し、当該基板の裏側に、冷媒が流れる冷却体を設けたことを特徴とする。

また、本発明は、上記光源ユニットにおいて、前記楕円反射面を環状に等間隔に並べて配置したことを特徴とする。

また、本発明は、上記のいずれかの光源ユニットを備えたことを特徴とする。

本発明の光源ユニットによれば、楕円反射面をオーバーラップさせながら並べて配置したので、楕円反射面の並びの方向に配置される発光素子のそれぞれの光も、オーバーラップして連なる。これにより、発光素子の配置方向に延びる光の照度ムラが抑えられる。さらに、楕円反射面の一端部を放物反射面としたので、発光素子の発光面の大きさに起因して発光面の近傍から出射開口の間で複数回の反射を生じる光の成分を抑制できるので、発光素子の光の延びる方向に直交する幅方向の輪郭のボケも十分に抑制できる。

本発明の実施形態に係る光源ユニットを有する照射装置の構成を説明する図であり、（Ａ）は、正面図を示し、（Ｂ）は底面図を示している。 照射装置を上方から見た斜視図である。 照射装置を底面側から見た斜視図である。 図１のＩＶ−ＩＶ矢視断面図である。 図１のＶ−Ｖ矢視要部断面図である。 図１の（Ａ）の要部拡大図である。 反射面の全領域を楕円反射面で構成した場合の光路の一部を示す図である。 光源ユニットの各ＬＥＤから出射された光の光路を説明する要部断面図である。 楕円反射面の焦点と放物反射面の焦点について説明する図であり、楕円反射面及び放物反射面が、それぞれの焦点を囲む位置まで延ばされた状態を仮想的に図示している。 光源ユニットにおいて、１つのＬＥＤを点灯させた場合の照度分布を示す図である。 光源ユニットが出射する光の照度分布について説明する図であり、（Ａ）は図６のＸＩ−ＸＩ矢視断面図に相当する図を示し、（Ｂ）は照射面におけるＬＥＤの並びの方向に沿った照度分布を、ＬＥＤとの位置関係とともに示している。 光源ユニットが出射する光の照度分布図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態に係る光源ユニット３を有する照射装置１の構成を説明する図であり、図１の（Ａ）は、正面図を示し、図１の（Ｂ）は底面図を示している。図２は照射装置１の上方から見た斜視図である。図３は照射装置１を底面側から見た斜視図である。図４は図１のＩＶ−ＩＶ矢視断面図である。

本発明の照射装置１は、例えば、シリコンウェハに微細パターンを作成するために用いられる露光装置であり、下方に配置されたシリコンウェハ（図示せず）の露光面に紫外線（光）を照射する。
図１の（Ａ）及び（Ｂ）において、照射装置１は、光源ユニット３を、ケース体５に収容した構成を有している。照射装置１は、底面に形成された装置側出射開口７から例えば、環状の紫外線を露光対象に向けて照射する構成を有している。

図１〜図３において、ケース体５は、有底円筒状に作製されている。
光源ユニット３は、複数のＬＥＤ９（発光素子）と、ＬＥＤ基板１２と、冷却体１１と、反射体１３と、カバーガラス１５とを備えている。
冷却体１１は、基板取付片１７と給排水片１９を同軸に重ねて構成した扁平な円柱形状を有し、給排水片１９をケース体５の底面に向けケース体５の底部内壁面に取り付けられている。
また、図３に示すように、冷却体１１の基板取付片１７側の端面が、基板取付面１７Ａとされている。基板取付面１７Ａには、一枚基板として作製されたＬＥＤ基板１２の裏面が取り付けられている。ＬＥＤ基板１２には、複数のＬＥＤ９が環状に並ぶように取り付けられている。ＬＥＤ基板１２の下方には、反射体１３が設けられ、反射体１３の下方には、カバーガラス１５が設けられている。

また、図３、及び４において、反射体１３は、一端開口を底面部２４に塞がれた筒状反射部２５と、円柱状の柱状反射部２７とを備え、ＬＥＤ９毎に反射面３０を有する。
柱状反射部２７は、筒状反射部２５に囲繞されるように筒状反射部２５と同軸に配置され、底面部２４と一体化されている。
これにより、反射体１３には、環状の凹部２９が形成される。凹部２９の開口が光源ユニット３の出射開口３１を構成している。
筒状反射部２５の内周面には、内側反射面２６が、ＬＥＤ９の数だけ周方向に連続して設けられている。柱状反射部２７の外周面には、外側反射面２８が、ＬＥＤ９の数だけ周方向に連続して設けられている。反射面３０の各々が、互いに相対する内側反射面２６と外側反射面２８によって構成され、複数の反射面３０が周方向に連続して配置される。
反射体１３は、出射開口３１をケース体５の開口と同じ方向に向けて、ケース体５に同軸に設けられている。このとき、出射開口３１に、環状に並べられた複数のＬＥＤ９の光軸が通過する位置に配置される。
反射体１３の底面部２４には、図２及び図４に示すように、ＬＥＤ９の光を凹部２９に通す通過孔３３が、各ＬＥＤ９と対面する位置に形成されている。後述するように、ＬＥＤ９の光は、反射面３０に反射された後に出射開口３１に向かう成分と、出射開口３１に直接向かう成分を有する。

また、保護カバー１６が、カバーガラス１５を介して柱状反射部２７と相対するように、カバーガラス１５の中央部に取り付けられている。
このカバーガラス１５を支持した円筒状のキャップ３４が、ケース体５の開口側に嵌められている。キャップ３４は、一端側の開口縁部から内周側に延出されるフランジ３４Ａを有しており、フランジ３４Ａにカバーガラス１５の周縁が支持されている。そして、キャップ３４がケース体５に嵌められて、カバーガラス１５が、出射開口３１を覆っている。

ところで、ＬＥＤ基板１２の裏面に配置される冷却体１１の内部には、図２及び図４に示すように、冷却水等の冷媒を流すための流路４１が形成されている。即ち、基板取付片１７の裏側には、溝１７Ｂが形成されており、この溝１７Ｂを給排水片１９で覆うことで、流路４１が形成される。
また、給排水片１９には、一対の出入口ポート４３，４５が突設され、ケース体５の底部を貫通している。出入口ポート４３，４５の一端が、流路４１に開口しており、一方の出入口ポート４３から流路４１に流し込まれた冷却媒体は、流路４１を流れて他方の出入口ポート４５から排出されるようになっている。これにより、ＬＥＤ９が発する熱は、共通のＬＥＤ基板１２を介して冷却体１１に伝導されるが、冷却体１１に伝導された熱は、冷却水が奪って外部に持ち出すので、ＬＥＤ９が効果的に冷却される。
また、給排水片１９には、ＬＥＤ９に電源を供給するための端子台２３が取り付けられケース体５の底部から突出されている。端子台２３は、各ＬＥＤ９と電気的に接続されており、外部からＬＥＤ９の点灯を制御可能となっている。

次いで、反射面３０の詳細について説明する。
図５は図１のＶ−Ｖ矢視要部断面図である。図６は図１の（Ａ）の要部拡大図である。
図４及び図５において、筒状反射部２５及び柱状反射部２７のうち、出射開口３１を含む主要な領域が楕円面反射鏡部３０Ａとされ、ＬＥＤ９側に配置される残りの領域が、放物面反射鏡部３０Ｂとされている。
反射面３０は、楕円面反射鏡部３０Ａの領域に位置する楕円反射面３５と、楕円反射面３５に連なり、放物面反射鏡部３０Ｂの領域に位置する放物反射面３７とを備えている。
複数の反射面３０は、楕円反射面３５の長軸を互いに平行に、かつ、図６の破線に示すように、隣接する反射面３０の楕円反射面３５の一部をオーバーラップさせて、環状に並べられている。オーバーラップした反射面３０の部分は省略されており、上述したように反射面３０が、内側反射面２６と外側反射面２８により構成される。

反射面３０は、放物面反射鏡部３０Ｂ側の端部も開口しており、この開口が、通過孔３３の縁部に連なる入射開口３２とされている。
楕円反射面３５の長軸方向は、図５に示すように、ＬＥＤ９の光軸Ｋの方向に一致しており、楕円反射面３５は、一対の焦点Ｆ１及び焦点Ｆ２のうち、一方の焦点Ｆ１から発せられる光を他方の焦点Ｆ２に集光する。また、楕円反射面３５の端部に位置する出射開口３１は、焦点Ｆ１から焦点Ｆ２の間の範囲内に位置している。この実施形態の楕円反射面３５は完全な楕円形ではなく、焦点Ｆ１と焦点Ｆ２を囲む楕円反射面において、焦点Ｆ２側に位置する半分を省略した形状である。これにより、出射開口３１が、焦点Ｆ１と焦点Ｆ２との間を二等分する中間部に形成されている。
従って、楕円反射面３５は、放物反射面３７との境界から出射開口３１に向かって口開き状とされている。即ち、出射開口３１の径Ｄ３が、放物反射面３７と楕円反射面３５との境界における放物反射面３７の開口３８の径Ｄ２より大きくなっている。

ところで、楕円反射面３５は、便宜上、ＬＥＤ９を点光源とみなし、点光源からの光を集光させるように設計されている。即ち、ＬＥＤ９の発光点が、照射面の中心にあるとみなし、楕円反射面３５の焦点Ｆ１に、ＬＥＤ９の照射面の中心を一致させてＬＥＤ９を配置している。
しかしながら、各ＬＥＤ９は、実際には、発光面９Ａが点ではなく、径Ｄ１を有する。
図７は反射面３０の全領域を楕円反射面３５で構成した場合の光路の一部を示す図である。
図７に示すように、反射面３０の全てが楕円反射面３５により構成されている場合、ＬＥＤ９の発光面９Ａのうち、焦点Ｆ１から離れた位置から出射された光Ｌ２，Ｌ３は、複数回、楕円反射面３５に反射した後、出射開口３１から出射される場合がある。例えば、初めて反射面３０に反射された光Ｌ２，Ｌ３は、焦点Ｆ２には向かわずに、反射した位置より、さらに出射開口３１側に位置する反射面３０の部位でもう一度反射されて、出射開口３１から出射される。ＬＥＤ９の光Ｌ２，Ｌ３が、このような光路を通って出射開口３１から出射されると、光軸Ｋに対して、大きな角度αをもって出射開口３１から出射される光の成分が発生することがある。この場合、出射される光の輪郭がボケ、さらに、複数回の反射による損失により、出射する光の光量が低下する。焦点Ｆ１からずれたＬＥＤ９の発光面９Ａから出射する光Ｌ１，Ｌ２は、特に、ＬＥＤ９の近傍で、楕円反射面３５により反射されると、複数回反射されやすい。

そこで、本実施形態の光源ユニット３では、楕円反射面３５の一端側を、放物反射面３７に代えた構成としている。
このように反射面３０を構成した光源ユニット３において各ＬＥＤ９から出射される光の光路について説明する。
図８は光源ユニット３の各ＬＥＤ９から出射された光の光路を説明する要部断面図であり、ＬＥＤ９の並びの方向に直交する断面を示している。
図８において、各ＬＥＤ９の光は、放物反射面３７に反射されて出射開口３１から出射される光Ｏ１の成分、及び楕円反射面３５に反射されて出射開口３１から出射される光Ｏ２の成分、及び出射開口３１から直接出射される光Ｏ３の成分を有する。
放物反射面３７は、反射した光を光軸Ｋと平行な方向に向かわせる平行光にする。出射開口３１の径Ｄ３が、放物反射面３７と楕円反射面３５との境界における放物反射面３７の開口３８の径Ｄ２より大きいので、放物反射面３７に反射された光Ｏ１は、楕円反射面３５に反射されることなく、出射開口３１から出射される。
光Ｏ３は、出射開口３１の径Ｄ３により決まる広がり角を有するが、ＬＥＤ９から出射開口３１までの距離が長いため、拡がり角は小さい。なお、ここでいう広がり角は、ＬＥＤ９の並び方向に直交する径方向についてのものである。

また、光Ｏ２は、楕円反射面３５に反射された後、光軸Ｋに対して緩やかな角度をもって、焦点Ｆ２に向かう。また、反射面３０の並びの方向については、楕円反射面３５及び放物反射面３７が省略されているので、各ＬＥＤ９から、反射面３０の並びの方向に向けられる光は、広がりながら進む。
ここで、照射装置１は、光源ユニット３の光を、例えば、出射開口３１の前方に、出射開口３１から所定の距離Ｇの位置に置かれた露光対象Ｓに対して露光（照射）する。
各ＬＥＤ９の光（Ｏ１、Ｏ２、Ｏ３）は、反射面３０の並びの方向に直交する光の幅方向には、大きく広がることなく露光対象Ｓに到達するので、光の幅方向の両側の輪郭がボケることが抑制される。また、楕円反射面３５のＬＥＤ９側の端部を放物反射面３７としたことで、ＬＥＤ９の発光面９Ａが、径Ｄ１の大きさを有することに起因して、発光面９Ａの近傍から出射開口３１の間で、複数回の反射を生じる光の成分を単一の楕円反射面３５に比べて抑えられる。このため、光の反射による損失を避け、露光対象Ｓに対して、大きな光量の光が照射される。

ところで、この実施の形態では、放物反射面３７の焦点Ｆ３は、楕円反射面３５の焦点Ｆ１と異なる位置に設定されている。
図９は楕円反射面３５の焦点Ｆ１と放物反射面３７の焦点Ｆ３について説明する図であり、楕円反射面３５及び放物反射面３７が、それぞれの焦点Ｆ１，Ｆ３を囲む位置まで延ばされた状態を仮想的に図示している。
図９において、放物反射面の焦点Ｆ３は、出射開口３１に向けられるＬＥＤ９の発光面９Ａの裏側の中心に設定されている。即ち、放物反射面３７の焦点Ｆ３を、楕円反射面３５の長軸に沿って焦点Ｆ１から遠ざかる方向にずらした点に設定して設計されている。

ここで、楕円反射面３５の焦点Ｆ１と放物反射面３７の焦点Ｆ３とを異なる位置に設定した理由は以下の通りである。
ＬＥＤ９の光を有効に使うためには、通過孔３３の開口は、ＬＥＤ９の発光面９Ａと略同じ面積を確保する必要がある。
通過孔３３は、反射体１３の底面部２４側に位置する放物反射面３７の端部と連続する。このため、通過孔３３の開口の大きさは、底面部２４側の放物反射面３７の端部の内径と同じ大きさとなる。
放物反射面３７の焦点Ｆ３を、楕円反射面３５の焦点Ｆ１と同じに設定すると、底面部２４における放物反射面３７の内径が小さく、通過孔３３の開口を、ＬＥＤ９の発光面９Ａに相当する面積にまで大きくできない。そこで、放物反射面３７の焦点Ｆ３を、ＬＥＤ９の発光面９Ａの中心に設定された焦点Ｆ１に対して、出射開口３１から逆側に離れる方向にずらしている。これにより、底面部２４における放物反射面３７の内径を大きくとることができる。即ち、通過孔３３の開口を、ＬＥＤ９の発光面９Ａの面積に相当する大きさまで広げることが可能になる。

次いで、光源ユニット３が出射する光の照度分布について説明する。
図１０は光源ユニット３において、１つのＬＥＤ９を点灯させた場合の照度分布を示す図である。図１０は、例えば、図６に示すように、黒塗り表示されたＬＥＤ９が点灯され、他のＬＥＤ９は消灯されている場合の照度分布を示している。
図１１は光源ユニット３が出射する光の照度分布について説明する図であり、図１１の（Ａ）は図６のＸＩ−ＸＩ矢視断面図に相当している。図１１の（Ｂ）は露光対象Ｓの照射面におけるＬＥＤ９の並びの方向に沿った照度分布を、ＬＥＤ９との位置関係とともに示している。図１１では、説明の便宜上、周方向に並ぶ反射面３０のうちの一つを、隣接する反射面３０とのオーバーラップする部分も含めて実線で仮想的に図示し、この反射面３０に隣接する反射面３０を破線にて仮想的に図示している。また、図１１の（Ａ）には、反射面３０の両端、隣接する反射面３０のオーバーラップが開始される部位Ｘ、及び楕円面反射鏡部３０Ａと放物面反射鏡部３０Ｂの境界Ｙでの反射面３０の断面の開口形状を併せて示している。
図１２は光源ユニット３が出射する光の照度分布図である。

図１０において、一つのＬＥＤ９を点灯した場合、出射開口３１から出射される光は、ＬＥＤ９の並びの方向、言い換えれば周方向に延びる所定の範囲の照射領域ＥＡを照射する。この場合、照射領域ＥＡの中央の照射領域ＥＢでの照度が最も高くなる。この照射領域ＥＢは、出射開口３１の前方に位置し、点灯したＬＥＤ９の光軸Ｋを中心とする領域となる。また、照度は照射領域ＥＡの周方向の両端に向かうにつれて低下している。
ここで、図１１の（Ａ）に示すように、隣接する反射面３０のオーバーラップが開始される部位Ｘでの反射面３０の開口３８（径Ｄ４）と入射開口３２と間は、隣接する反射面３０との間が分離されている。一方で、隣接する反射面３０がオーバーラップする残りの主要領域では、前述したように、オーバーラップする反射面３０の領域は省略され、反射面３０を構成する内側反射面２６と外側反射面２８が環状に連ねられる。
これにより、ＬＥＤ９の光は、点灯したＬＥＤ９の前方に位置する出射開口３１だけでなく、前方に位置する出射開口３１の両側からも出射される成分を有する。従って、一つのＬＥＤ９が点灯した場合の照射領域は、図１０に示すように周方向に延び、また、照度分布Ｔ１は、図１１の（Ｂ）に示すように、光軸Ｋから周方向の両側に離れるにつれて照度が小さくなる。

次いで、全てのＬＥＤ９を点灯した場合の照度分布について説明する。
全てのＬＥＤ９を点灯した場合、図１１の（Ｂ）に示すように、照射領域ＥＢに対応する高い照度が、ＬＥＤ９の並びの方向にＬＥＤ９の配列間隔と同じ間隔で現れる。また、隣接するＬＥＤ９の光は、各ＬＥＤ９の照射領域ＥＢの両側をオーバーラップさせて出射開口３１から出射されている。
これらをトータルした環状の光の照度分布Ｔ２における均斉度（＝最小照度/最大照度）は、照度の高い照射領域ＥＢの間に位置する照射領域の照度が補われるので、周方向の全域に亘って大きな値に維持できる。この上、前述したように、各ＬＥＤ９の光は、環状に延びる光の延び方向に直交する幅方向Ｗ（径方向）に広がることを反射面３０によって抑制される。このため、図１２に示すように、光源ユニット３が作る環状の照射領域ＥＣでは、光の幅方向Ｗの両側での輪郭のボケが抑制される。

この実施形態に係る光源ユニット３によれば、楕円反射面３５をオーバーラップさせながら並べて配置したので、楕円反射面３５の並びの方向に配置される発光素子のそれぞれの光も、オーバーラップして連なる。これにより、ＬＥＤ９の配置方向に延びる光の照度ムラが抑えられる。さらに、楕円反射面３５の一端部を放物反射面３７としたので、ＬＥＤ９の発光面９Ａの大きさに起因して発光面９Ａの近傍から出射開口３１の間で複数回の反射を生じる光の成分を抑制できる。このため、ＬＥＤ９の光の延びる方向に直交する幅方向の輪郭のボケも十分に抑制できる。
さらに、複数回反射した後に出射する光の成分を抑制できるので、複数回の反射による損失が抑えられ、出射する光の光量が低下することも抑制できる。

また、放物反射面３７の焦点Ｆ３を、楕円反射面３５の長軸に沿って焦点Ｆ１から遠ざかる方向にずらしたので、ＬＥＤ９からの光を入射するための放物反射面３７の開口径の大きさを、ＬＥＤ９の発光面９Ａの径Ｄ１の大きさ程度に広げることができる。このため、ＬＥＤ９の光を有効に利用できる。

また、複数のＬＥＤ９を実装したＬＥＤ基板１２の裏側に、冷媒が流れる冷却体１１を設けたので、複数のＬＥＤ９を容易に、かつ、効果的に冷却できる。

なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を例示したものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。
例えば上述した実施態様では、ＬＥＤ９を環状に並べて、環状の光を作るものとして説明したが、所定の幅で直線状に延びる光や、所定の幅で曲線状に延びる光を作るものであってもよい。
また、発光素子の一例としてＬＥＤ４を例示したが、これに限らず、有機ＥＬ等の他の発光素子でも良い。
また、ＬＥＤ４、紫外線を出射する紫外線ＬＥＤであるものとして説明したが、紫外線を出射するものによらず、光源ユニット３の用途に応じて異なる種類の光を出射するものを用いてもよい。
また、カバーガラス１５を出射開口３１を覆うように設けるものとして説明したが、ＬＥＤ９の並びの方向に入射された光を拡散させる光学部材を配置してもよい。例えば、ＬＥＤ９の並びの方向に短軸方向を向け、出射開口３１から出射する光の延びる方向に並んで配置した複数の楕円レンズを有する光成形フィルタを出射開口３１を覆うように設けてもよい。光成形フィルタへの入射光は、ＬＥＤ９の並びの方向に拡散されて出射されるので、光の輪郭のボケの発生を抑制しつつ、光の照度ムラを一層低減できる。

１ 照射装置
３ 光源ユニット
９ ＬＥＤ（発光素子）
１１ 冷却体
１２ ＬＥＤ基板（基板）
３５ 楕円反射面
３７ 放物反射面
３１ 出射開口
Ｆ１ 第１焦点
Ｆ２ 第２焦点
Ｆ３ 第３焦点

Claims (5)

1. 第１焦点から第２焦点の間に出射開口を設けた複数の楕円反射面を、前記楕円反射面の長軸を互いに平行に、かつ、一部をオーバーラップさせながら並べて配置し、前記第１焦点のそれぞれに発光素子を配置し、前記楕円反射面の前記第１焦点の側の端部を放物反射面としたことを特徴とする光源ユニット。
2. 前記放物反射面の焦点を、前記楕円反射面の長軸に沿って前記第１焦点から遠ざかる方向にずらしたことを特徴とする請求項１に記載の光源ユニット。
3. 前記発光素子のそれぞれを同一の基板に実装し、当該基板の裏側に、冷媒が流れる冷却体を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光源ユニット。
4. 前記楕円反射面を環状に等間隔に並べて配置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光源ユニット。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の光源ユニットを備えたことを特徴とする照射装置。