JP2014154799A - 電子部品の圧着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】シート送り時に発生した静電気による電子部品の静電破壊を抑制することができる電子部品の圧着装置を提供する。
【解決手段】圧着ツール１１の圧着回数が限界値に到達してシート送りが必要となった場合、圧着制御部は基板２を待機位置Ｐ２に移動させる。次に、シート送り制御部はシート１９をＹ２方向に所定の長さ分送るシート送りを実行する。次に、シート送り制御部はシート送りが完了したタイミングで除電タイマーによるカウントを開始し、カウントアップ後に圧着制御部に対して完了通知を行う。そして、圧着制御部は当該通知を受けたならば基板２を待機位置Ｐ２から圧着作業位置Ｐ１に移動させて、圧着ツール１１による電子部品３の圧着を実行する。
【選択図】図２

Description

本発明は、基板に接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着ツールで圧着する電子部品の圧着装置に関するものである。

液晶パネルやプラズマディスプレイといった表示パネル等の基板の電極に異方性導電シート等の接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着する装置として、基板に対して昇降自在な圧着ツールと、圧着ツールと基板の間にフッ素樹脂等の素材から成るシートを送り込むシート送り機構を備えた圧着装置が知られている。この圧着装置を用いた圧着動作では、シートを介在させた状態で圧着ツールを下降させることによって電子部品を圧着する。このようにシートを介して電子部品を圧着することで、押圧時に電子部品の外縁から接着剤が滲み出て圧着ツールに付着する事態を防止することができる。

シートは１又は複数回の圧着動作が終了する都度ピッチ送りされ、未使用部分を圧着ツールの下方に新たに送り込んだうえで次の圧着動作が実行されるが、シートの送り時に発生する静電気によって基板上の電子部品が静電破壊される場合がある。このため、シート送り機構にイオンブローを行うブロア装置を設けた圧着装置が提案されている（例えば特許文献１）。これによれば、ブロア装置から吹き出されたイオンブローによりシート及び基板が除電され、電子部品の静電破壊を防止することができる。

特開２００７−１６５５７１号公報

しかしながら、従来の圧着装置では基板の直上近傍でシート送りが実行される等の理由から、ブロア装置を用いた除電のみでは電子部品に対する静電気の影響を完全に抑制することはできなかった。特に、近年では電子部品の小型化・高集積化等が進み、電子部品の静電破壊に対してより敏感になっている。そのため、シート送り時に発生する静電気に対してより対策が講じられた圧着装置が望まれていた。

そこで本発明は、シート送り時に発生した静電気による電子部品の静電破壊を抑制することができる電子部品の圧着装置を提供することを目的とする。

請求項１記載の本発明は、基板に接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着する電子部品の圧着装置であって、電子部品の圧着が行われる圧着作業位置と前記圧着作業位置から離れた待機位置との間で基板を移動可能な基板位置決め機構と、前記圧着作業位置において電子部品を圧着する圧着ツールを備えた圧着機構と、前記圧着ツールと前記圧着作業位置に位置決めされた基板の間にシートを供給するシート供給機構とを備え、 基板が前記待機位置にあるときに前記シート供給機構によるシート送りを実行し、基板が前記圧着作業位置にあるときにはシート送りを実行しない。

また請求項４記載の本発明は、基板に接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着する電子部品の圧着装置であって、電子部品の圧着が行われる圧着作業位置と前記圧着作業位置から離れた待機位置との間で基板を移動可能な基板位置決め機構と、前記圧着作業位置において電子部品を圧着する圧着ツールを備えた圧着機構と、前記圧着ツールと前記圧着作業位置に位置決めされた基板の間にシートを供給するシート供給機構とを備え、前記シート供給機構によるシート送りが実行される場合は前記基板位置決め機構によって基板を前記圧着作業位置から前記待機位置へ移動させる。

本発明によれば、基板が待機位置にあるときにシート供給機構によるシート送りを実行し、基板が圧着作業位置にあるときにはシート送りを実行しないので（シート供給機構によるシート送りが実行される場合は基板位置決め機構によって基板を圧着作業位置から待機位置へ移動させるので）、シート送り時に発生した静電気による電子部品の静電破壊を抑制することができる。

本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置の斜視図 本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置の平面図 （ａ）（ｂ）本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置を用いた圧着動作を示す図 本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置の制御系の構成を示す図 本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置を用いた圧着動作のフロー図 本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置を用いたシート送り動作のフロー図

本発明の実施の形態における電子部品の圧着装置（以下、「圧着装置」と略称する）について、図面を参照しながら説明する。図１及び図２において、圧着装置１は液晶パネルやプラズマディスプレイといった表示パネル等の基板２に対して電子部品３（以下、「部品３」と略称する）を圧着する機能を有しており、圧着部４、基板位置決め部５、バックアップ部６、及びシート供給部７を含んで構成される。

この圧着装置１には、一辺又は複数辺（ここでは二辺）の縁部に沿って所定のピッチで形成された複数の電極（不図示）に対し、接着剤としてのＡＣＦ８（図３（ａ）、（ｂ）参照）を介して部品３が仮固定された状態の基板２が基板搬送機構（不図示）によって搬入される。なお、部品３としてはリード端子が形成されたフレキシブル基板やバンプを有するフリップチップ等が挙げられる。

次に、圧着部４について説明する。図１において、ベース部９には複数（ここでは２つ）の加圧部１０が一の方向（Ｘ方向）に並列した状態で取り付けられている。この加圧部１０の下方からは昇降自在なロッド１０ａが延出しており、ロッド１０ａの下端部には圧着ツール１１が結合している。圧着ツール１１の下面には押圧部１２が形成されており、その下面１２ａ（図３（ａ）参照）は圧着対象の部品３に対応した形状・大きさを有している。

加圧部１０の作動によってロッド１０ａが突没することにより各圧着ツール１１は上下動し、これにより押圧部１２の下面１２ａで基板２に仮固定された部品３を押圧（圧着）することができる。このように、押圧部１２の下面１２ａは部品３を上方から押圧する押圧面となっている。また、加圧部１０及び圧着ツール１１は基板２に部品３を圧着する圧着機構１３を構成する。なお、押圧部１２を形成せずに圧着ツール１１の下面全体で部品３を押圧するようにしてもよい。

次に、基板位置決め部５について説明する。図１において、基板位置決め部５は基板２が載置される水平面を有するステージ１４と、ステージ１４の下方に配設され、Ｘ軸テーブル１５ａ、Ｙ軸テーブル１５ｂ、Ｚ軸テーブル１５ｃを段積みして成るステージ移動機構１５から構成される。また、ステージ移動機構１５にはＺ方向を軸心としてステージ１４を回転させる図示しない回転機構も備えられている。

ステージ移動機構１５を作動させて基板２を載置したステージ１４をＸ方向、Ｘ方向と直交するＹ方向、垂直（Ｚ）方向に移動若しくは所定の角度回転させることによって、圧着対象となる部品３の上方に圧着ツール１１（押圧部１２）が位置する第１の位置Ｐ１と（図２（ａ）、図３（ａ）、（ｂ）参照）、平面視してシート供給部７から離れた位置であって第１の位置Ｐ１からＹ１方向に長さＬ１移動した位置に設定された第２の位置Ｐ２と（図２（ｂ）参照）、第２の位置Ｐ２からＹ１方向に長さＬ２移動した位置に設定された第３の位置Ｐ３（図２（ｃ）参照）に基板２を位置決めすることができる。

次に、バックアップ部６について説明する。図１、図２及び図３において、バックアップ部６は複数の圧着ツール１１の下方に延びて配設された板状の部材であり、基板２を下方から支持する上面を有している。図３（ａ）、（ｂ）は、基板２を第１の位置Ｐ１に位置決めした状態を示しており、かかる状態において部品３の圧着位置はバックアップ部６によって下方から直接の支持を受ける。

次に、シート供給部７について説明する。図１において、シート供給部７は圧着部４とバックアップ部６の間に配設されている。シート供給部７は、Ｘ方向と直交するＹ方向に延びた左右一対の側板１６、１７を有しており、その一端部はベース部９の前方側（基板位置決め部５側）に位置し、他端部はベース部９の背面側へ伸びている。また、左右一対の側板１６、１７は複数の圧着ツール１１を直列する方向（Ｘ方向）に挟むように配設されている。側板１６、１７の一端部には、水平に軸支されたＸ方向に延びる回転軸１８が回転自在に取り付けられており、この回転軸１８にはフッ素樹脂やシリコン等の素材から成るシート１９の巻回体である供給リール１９Ａが装着されている。シート１９の幅は２つの圧着ツール１１を最も離間させた状態において、各圧着ツール１１からの押圧を受け得る大きさを有しており、全ての圧着ツール１１で１枚のシート１９を共有して使用可能となっている。

また、側板１６、１７には水平に軸支されたＸ方向に延びるガイドローラ２０と、送りローラ２１が装着されている。送りローラ２１は側板１６、１７の他端部に装着されており、駆動モータ２２の作動によって回転してシート１９をＹ２方向に送る。ガイドローラ２０は加圧部１０の下方を通過するシート１９の走行姿勢を略水平に保つために供給リール１９Ａから繰り出されたシート１９をガイドする。駆動モータ２２を作動させることにより、供給リール１９Ａから供給されたシート１９はガイドローラ２０の下方に周接して圧着ツール１１の下方とバックアップ部６によって支持された基板２の上方の間の空間を、複数の圧着ツール１１の並列方向と直交するＹ２方向にピッチ送りされる（図３（ａ）参照）。

図３（ａ）、（ｂ）において、バックアップ部６の近傍であって圧着ツール１１とバックアップ部６の間に送り込まれたシート１９よりも下方の位置には、除電用のイオンが噴出する噴出口２３ａを有する除電手段としてのイオナイザー２３（図４参照）が設けられている。イオナイザー２３は圧着ツール１１の下方に位置するシート１９の部分（圧着ツール１１による加圧が作用する部分）に噴出口２３ａを向けた姿勢であって、且つ第１の位置Ｐ１に位置決めされた基板２によってシート１９へのイオンの噴出が妨げられない位置に取り付けられている。イオナイザー２３を作動させてシート１９の当該部分にイオンを噴出させることによってシート１９を除電する。

次に、図３（ａ）、（ｂ）を参照して部品３の圧着について説明する。図３（ａ）はステージ１４上の基板２を第１の位置Ｐ１に位置決めした状態を示している。かかる状態で圧着ツール１１を下降（図３（ｂ）の矢印ａ）させると、シート１９の上面に押圧部１２の下面１２ａが接触する。そして、圧着ツール１１をさらに下降させることによってシート１９は押し下げられ、さらに圧着ツール１１を下降させることによってシート１９を介して基板２に仮固定された部品３が基板２に押圧（圧着）される。

このように、第１の位置Ｐ１は基板２に仮固定された部品３の圧着が行われる圧着作業位置となっている。また、第２の位置Ｐ２は第１の位置Ｐ１に位置決めする前の基板２を待機させる待機位置となっており、第３の位置Ｐ３は基板搬送機構によって圧着装置１内に搬入された基板２がステージ１４に受け渡される基板受渡位置となっている。以後、第１の位置Ｐ１、第２の位置Ｐ２、第３の位置Ｐ３をそれぞれ「圧着作業位置Ｐ１」、「待機位置Ｐ２」、「基板受渡位置Ｐ３」と称する。

また、ステージ１４及びステージ移動機構１５は、圧着作業位置Ｐ１と当該圧着作業位置Ｐ１から離れた待機位置Ｐ２との間で基板２を移動可能な基板位置決め機構２４となっている。さらに、圧着機構１３は圧着作業位置Ｐ１において部品３を圧着する圧着ツール１１を備えたものとなっている。

次に、シート送りについて説明する。シート送りは部品３を基板２に圧着して圧着ツール１１を上昇（図３（ｂ）の矢印ｂ）させた後の所定のタイミングでなされる。すなわち、圧着ツール１１を上昇させることによってシート１９は部品３の上面から離れ、圧着ツール１１と基板２の間の空間において水平な姿勢に戻る（図３（ａ）参照）。かかる姿勢から、圧着ツール１１による加圧が作用していない未使用部分が当該圧着ツール１１の下方に位置するまでシート１９をＹ２方向に送る。

このように、ガイドローラ２０、送りローラ２１及び駆動モータ２２は、圧着ツール１１と圧着作業位置Ｐ１に位置決めされた基板２の間にシート１９を供給するシート供給機構２５となっている。なお、前述のシート送り時には静電気が発生し、この静電気は基板２上の部品３に対して静電破壊等の悪影響を与えるおそれがある。

また、部品３の圧着時、シート送り時においてはイオナイザー２３からイオンを噴出させてシート１９を除電する除電動作が併せて実行される。なお、除電動作の開始タイミング及び動作時間は作業員が任意に設定することができ、例えば装置稼働中は連続して実行するように設定してもよい。また、シート送りを開始するタイミングからシート送りが完了した後所定時間が経過するまでの間にのみ実行するよう設定してもよい。

次に、図４を参照して制御系について説明する。圧着装置１に備えられた制御部２６は演算処理機能を有しており、基板情報記憶部２７、圧着回数カウント部２８、圧着可能回数記憶部２９、除電タイマー３０、圧着制御部３１、及びシート送り制御部３２を含んで構成されている。また、この制御部２６は圧着機構１３、基板位置決め機構２４、シート供給機構２５、イオナイザー２３、タッチパネル部３３と接続されている。

基板情報記憶部２７は、作業対象となる基板２の品種名や寸法に関する情報をはじめ、基板２に設定された設計上の部品３の圧着位置、１つの基板２に対する作業シーケンスに関する情報等を記憶する。本実施の形態では、１つの基板２に仮固定された部品３の数が圧着ツール１１の数よりも多いため、複数の作業シーケンスを経て１つの基板２に対する部品３の圧着作業が実行される。

圧着回数カウント部２８は、シート１９をピッチ送りするまでの間における圧着ツール１１の昇降回数を部品３の圧着回数とみなしてカウントする。ここでは、一方の圧着ツール１１をＨ１、他方の圧着ツール１１をＨ２と称して個別にカウントする。そして、シート送りが実行される都度、全ての圧着ツール１１のカウントをリセットする。

圧着可能回数記憶部２９は、シート送りが実行されるまでの間における圧着ツール１１の昇降回数（圧着回数）の限界値を記憶する。すなわち、ここではシート１９の特定部分に対して圧着ツール１１による部品３の圧着を実行可能な回数の限界値を記憶している。なお、限界値はシート１９の耐性等に応じて作業員が任意に設定する。

除電タイマー３０は、シート供給機構２５によってシート送りを実行した後のイオナイザー２３の作動時間（イオンの噴出時間）をカウントする。

圧着制御部３１は、圧着機構１３、基板位置決め機構２４及びイオナイザー２３を作動制御することによって部品３の圧着、基板２の所定位置への搬送・位置決め及び除電動作を実行する。シート送り制御部３２は、シート供給機構２５を作動制御することによってシート送りを実行する。

また、タッチパネル部３３は表示兼入力装置であり、表示部３３ａと操作・入力部３３ｂから構成される。表示部３３ａは圧着装置１に設けられた液晶パネル等の表示パネルであり、操作・入力部３３ｂによる入力時の案内画面や、圧着作業に関する各種の情報が表示される。操作・入力部３３ｂは作業員による表示部３３ａ上の任意の表示の操作に基づいて、装置稼働のための操作指示や各種の入力操作を行う。

本発明の圧着装置１は以上のような構成から成り、次に図５を参照して圧着制御部３１による部品３の圧着動作について説明する。まず、圧着制御部３１は基板搬送機構によって基板２を圧着装置１内に搬入し、基板受渡位置Ｐ３にて基板２をステージ１４に受け渡す（ＳＴ１：基板搬入工程）。

次に、圧着制御部３１はシート送りを実行する必要があるかを判定する（ＳＴ２：シート送り判定工程）。すなわち、次回の作業シーケンスで用いられる圧着ツール１１の圧着回数が限界値に達しているか否かに基づいてシート送りの判定を行う。そして、圧着制御部３１は当該判定結果に基づいてシート送りを実行する必要があるかの判断を行い（ＳＴ３：シート送り判断工程）、必要であると判断した場合に基板２を待機位置Ｐ２に移動させる（ＳＴ４：待機位置移動工程）。なお、この待機位置Ｐ２はシート送り時に発生する静電気が基板２上の部品３に作用しない程度にシート１９の下方から基板２を離間させた位置に設定する。

次に、圧着制御部３１はシート送り制御部３２に対してシート送りを実行するよう要求する（ＳＴ５：シート送り要求工程）。そして、圧着制御部３１はシート送り制御部３２からシート送りを含めた所定の動作が完了した旨の通知を受けるまで基板２を待機位置Ｐ２で待機させる（ＳＴ６：完了通知待ち工程）（シート送り制御部３２による所定の動作は後述する）。当該通知を受けた後、圧着制御部３１は基板２を待機位置Ｐ２から圧着作業位置Ｐ１に移動させ、位置決めを行う（ＳＴ７：基板位置決め工程）。

次に、圧着制御部３１は圧着ツール１１を下降させて部品３を基板２に圧着する（ＳＴ８：圧着工程）。そして、圧着制御部３１は作業対象となっている基板２について、未だ部品３の圧着が行われていない箇所（未圧着箇所）が有るかを判断する（ＳＴ９：未圧着箇所有無判断工程）。ここで未圧着箇所が無いと判断した場合、圧着制御部３１は基板２を基板受渡位置Ｐ３まで移動させる（ＳＴ１０：基板受渡位置移動工程）。以上の工程を経て１つの基板２に対する圧着作業は終了する。

一方、未圧着箇所が有ると判断した場合、圧着制御部３１は（ＳＴ２）に戻ってシート送りを実行する必要があるかを判定する。そしてシート送りが必要でないと判断した場合（ＳＴ３）、圧着制御部３１は未圧着箇所が圧着ツール１１の下方に位置するよう基板２を位置決めし（ＳＴ７）、部品３を圧着する（ＳＴ８）。次に、圧着制御部３１は作業対象となっている基板２について未圧着箇所が有るかを判断する（ＳＴ９）。

前述した（ＳＴ２）〜（ＳＴ９）の動作を繰り返すうち、（ＳＴ３）でシート送りが必要であると判断した場合、圧着制御部３１は基板２を圧着作業位置Ｐ１から待機位置Ｐ２に移動させる（ＳＴ４）。すなわちこの（ＳＴ４）では、基板２を基板受渡位置Ｐ３から待機位置Ｐ２へ移動させるパターンと、基板２を圧着作業位置Ｐ１から待機位置Ｐ２へ移動させるパターンの２通りがある。

その後、圧着制御部３１はシート送り制御部３２に対してシート送りを実行するよう要求し（ＳＴ５）、シート送り動作が完了した旨の通知を受けるまで基板２を待機位置Ｐ２で待機させる（ＳＴ６）。そして当該通知を受けたならば、圧着制御部３１は基板２を待機位置Ｐ２から圧着作業位置Ｐ１に移動させて位置決めを行い（ＳＴ７）、部品３を基板２に圧着する（ＳＴ８）。

次に、図６を参照してシート送り制御部３２によるシート送り動作ついて説明する。なお、少なくとも当該動作時においてはイオナイザー２３によるシート１９の除電動作が併せて実行される。まず、シート送り制御部３２は圧着制御部３１からシート送りの要求を受けるまで待機する（ＳＴ１１：シート送り要求待ち工程）。そしてシート送りの要求を受けたならば、シート送り制御部３２はシート１９をＹ２方向に所定の長さ分送るシート送りを実行する（ＳＴ１２：シート送り工程）。

次に、シート送り制御部３２はシート送りが完了したタイミングで除電タイマー３０によるカウントを開始する（ＳＴ１３：除電タイマーカウント工程）。なお、イオナイザー２３からのイオンの噴出はシート送り完了後も継続して実行される。そして、シート送り制御部３２は除電タイマー３０がカウントアップしたか（予め設定した時間に達したか）を判断し（ＳＴ１４：カウントアップ判断工程）、カウントアップしたと判断したならば圧着制御部３１にシート送り動作の完了通知を行う（ＳＴ１５：完了通知工程）。これにより、シート送り動作を終了する。なお、本実施の形態では（ＳＴ１２）から（ＳＴ１５）までの動作を総じて「シート送り動作（シート１９の送り動作）」と称している。

以上説明したように本実施の形態では、基板２が待機位置Ｐ２にあるときにシート送り（（ＳＴ１２）の動作のみをさす）を実行し、基板２が圧着作業位置Ｐ１にあるときにはシート送りを実行しないようにしている。換言すれば、シート供給機構２５によるシート送りが実行される場合は基板位置決め機構２４によって基板２を圧着作業位置Ｐ１から待機位置Ｐ２へ移動させるようにしている。したがって、シート送り時に基板２はシート１９の下方から離れた待機位置Ｐ２に移動しているため、シート送り時に発生した静電気によって基板２上の部品３が静電破壊される事態を抑制することができる。

また、本実施の形態ではシート供給機構２５によるシート送りが完了してから所定時間が経過した後に基板２を圧着作業位置Ｐ１に移動させるようにしている。したがって、シート送り時に発生した静電気がより多く除去された状態で基板２を圧着作業位置Ｐ１に位置決めするので、部品３の静電破壊をより確実に抑制することができる。

なお、待機位置Ｐ２は本実施の形態で説明した位置に限定されるものではない。例えば、第１の位置Ｐ１からシート１９の送り方向（Ｙ２方向）に所定の長さ分移動した位置に設定してもよい。また、圧着作業位置Ｐ１から所定の長さ分下降した位置に設定してもよく、かかる場合、圧着装置１の面積を小さくしてコンパクト化を図ることができる。要は、シート送り時に発生する静電気の作用を基板２上の部品３が受けない程度にシート１９の下方から離間した位置に待機位置Ｐ２を設定すればよい。

また、イオナイザー２３は必ずしも設ける必要はなく任意である。また、イオナイザー２３を設けた場合の除電動作の開始タイミング及び動作時間も任意に設定してよく、少なくともシート送りが開始されるタイミングから当該シート送りが完了してから所定時間が経過するまで（除電タイマー３０によるカウントアップまで）の間に除電動作が実行されればよい。さらに、本実施の形態で説明した圧着装置１では、複数の圧着ツール１１の並列方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向にシート１９を送るようにしているが、Ｘ方向にシート１９を送る構成の圧着装置に本発明を適用してもよい。

本発明によれば、基板上の電子部品の静電破壊を抑制することができ、基板に対して電子部品を圧着する電子部品実装分野において有用である。

１ 電子部品の圧着装置（圧着装置）
２ 基板
３ 電子部品
８ ＡＣＦ（異方性導電シート）
１０ 加圧部
１１ 圧着ツール
１４ ステージ
１５ ステージ移動機構
１９ シート
２０ ガイドローラ
２１ 送りローラ
２２ 駆動モータ
２３ イオナイザー
Ｐ１ 圧着作業位置
Ｐ２ 待機位置

Claims (6)

1. 基板に接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着する電子部品の圧着装置であって、
   電子部品の圧着が行われる圧着作業位置と前記圧着作業位置から離れた待機位置との間で基板を移動可能な基板位置決め機構と、
   前記圧着作業位置において電子部品を圧着する圧着ツールを備えた圧着機構と、
   前記圧着ツールと前記圧着作業位置に位置決めされた基板の間にシートを供給するシート供給機構とを備え、
   基板が前記待機位置にあるときに前記シート供給機構によるシート送りを実行し、基板が前記圧着作業位置にあるときにはシート送りを実行しないことを特徴とする電子部品の圧着装置。
2. 前記シート供給機構によるシート送りが完了してから所定時間が経過した後に前記基板位置決め機構によって基板を前記待機位置から前記圧着作業位置へ移動させることを特徴とする請求項１記載の電子部品の圧着装置。
3. さらに前記シートを除電する除電手段を備え、この除電手段による前記シートの除電は少なくともシート送りが開始されるタイミングから当該シート送りが完了してから所定時間が経過するまでの間に実行することを特徴とする請求項２記載の電子部品の圧着装置。
4. 基板に接着剤を介して仮固定された電子部品を圧着する電子部品の圧着装置であって、
   電子部品の圧着が行われる圧着作業位置と前記圧着作業位置から離れた待機位置との間で基板を移動可能な基板位置決め機構と、
   前記圧着作業位置において電子部品を圧着する圧着ツールを備えた圧着機構と、
   前記圧着ツールと前記圧着作業位置に位置決めされた基板の間にシートを供給するシート供給機構とを備え、
   前記シート供給機構によるシート送りが実行される場合は前記基板位置決め機構によって基板を前記圧着作業位置から前記待機位置へ移動させることを特徴とする電子部品の圧着装置。
5. 前記シート供給機構によるシート送りが完了してから所定時間が経過した後に前記基板位置決め機構によって基板を前記待機位置から前記圧着作業位置へ移動させることを特徴とする請求項４記載の電子部品の圧着装置。
6. さらに前記シートを除電する除電手段を備え、この除電手段による前記シートの除電は少なくともシート送りが開始されるタイミングから当該シート送りが完了してから所定時間が経過するまでの間に実行することを特徴とする請求項５記載の電子部品の圧着装置。

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