JP2014154271A - ホイルトラップおよびこのホイルトラップを用いた光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ホイルトラップ4の中心支柱4cにシールド部材4dを交換可能に取り付け、シールド部材4dと中心支柱4cの間に、これらの部材より柔らかく熱伝導可能な中間部材4eを挿入する。これにより、高温プラズマPから飛来するデブリによる磨耗が発生しても、シールド部材4dを交換することでホイルトラップ自体の交換が不要となる。また、中間部材4eを設けることで熱伝達を良好にすることができるので、シールド部材4dを効果的に冷却でき、シールド部材の交換頻度を少なくすることができる。さらに、シールド部材4dを、高温プラズマPからろう付け部分4bが遮蔽されるような径とすることにより、ろう付け部分4bが外れてホイル4aが飛散するのを防ぐことができる。
【選択図】 図1
Description
このような方法を採用するEUV光源装置は、高温プラズマの生成方式により、LPP(Laser Produced Plasma:レーザ生成プラズマ)方式EUV光源装置とDPP(DischargeProduced Plasma:放電生成プラズマ)方式EUV光源装置とに大きく分けられる。
図6は、特許文献1記載されたDPP方式のEUV光源装置を簡易的に説明するための図である。
EUV光源装置は、放電容器であるチャンバ1を有する。チャンバ1内には、一対の円板状の放電電極2a,2bなどが収容される放電部1aと、ホイルトラップ5や集光光学手段であるEUV集光鏡6などが収容されるEUV集光部1bとを備えている。
1cは、放電部1a、EUV集光部1bを排気して、チャンバ1内を真空状態にするためのガス排気ユニットである。
2a,2bは円盤状の電極である。電極2a,2bは所定間隔だけ互いに離間しており、それぞれ回転モ−タ16a,16bが回転することにより、16c,16dを回転軸として回転する。
14は、波長13.5nmのEUV光を放射する高温プラズマ用原料である。高温プラズマ原料14は、加熱された溶融金属(meltedmetal)例えば液体状のスズ(Sn)であり、コンテナ15a、15bに収容される。
電極2a,2bに、電力供給手段3からパルス電圧が印加された後、高温プラズマ原料14がレーザ光17の照射により気化されることにより、両電極2a,2b間にパルス放電が開始し、高温プラズマ原料14によるプラズマPが形成される。放電時に流れる大電流によりプラズマが加熱励起され高温化すると、この高温プラズマPからEUVが放射される。
高温プラズマPから放射したEUV光は、EUV集光鏡6により集光鏡6の集光点(中間集光点ともいう)fに集められ、EUV光取出部7から出射し、EUV光源装置に接続された点線で示した露光機40に入射する。
図7は、LPP方式のEUV光源装置を簡易的に説明するための図である。
LPP方式のEUV光源装置は、チャンバ1を有する。チャンバ1には、EUV放射種である原料(高温プラズマ原料)を供給するための原料供給ユニット10および原料供給ノズル20が設けられている。原料供給ノズル20からは、原料として、例えば液滴状のスズ(Sn)が放出される。
チャンバ1の内部は、真空ポンプ等で構成されたガス排気ユニット1cにより真空状態に維持されている。
また、プラズマ生成用のレーザ光22は、迷光としてEUV光取出部に到達することもある。よって、EUV光取出部の前方(プラズマ側)にEUV光を透過して、レーザ光22を透過させない不図示のスペクトル純度フィルタを配置することもある。
上述したEUV光源装置において、プラズマPからは種々のデブリが発生する。それは、例えば、プラズマPと接する金属(例えば、一対の円板状の放電電極2a,2b)が上記プラズマによってスパッタされて生成する金属粉等のデブリや、高温プラズマ原料14であるSnに起因するデブリである。
これらのデブリは、プラズマの収縮・膨張過程を経て、大きな運動エネルギーを得る。すなわち、プラズマPから発生するデブリは高速で移動するイオンや中性原子であり、このようなデブリはEUV集光鏡にぶつかって反射面を削ったり、反射面上に堆積したりして、EUV光の反射率を低下させる。
図8に、特許文献2に示されるようなホイルトラップの概略構成を示す。
ホイルトラップ5は、ホイルトラップ5の中心軸(図8はEUV光の光軸に一致)を中心として、半径方向に放射状に配置された、複数の薄膜(ホイル)または薄い平板(プレート)(以下薄膜と平板を合せて「ホイル5a」と呼ぶ)と、この複数のホイル5aを支持する、同心円状に配置されたモリブデン(Mo)合金等よりなるコーン形状の中心支柱5cと外側リング5bの支持体とから構成されている。
ホイル5aは、その平面がEUV光の光軸に平行になるように配置され支持されている。そのため、ホイルトラップ5を極端紫外光源(高温プラズマP)側から見ると、中央支柱5bと外側リング5cの支持体の部分を除けば、ホイル5aの厚みしか見えない。したがって、高温プラズマPからのEUV光のほとんどは、ホイルトラップ5を通過することができる。
なお、ホイルトラップは、高温プラズマの近くに配置されるので、受ける熱負荷も大きい。よって、ホイルトラップを構成するホイルやコーンは、例えば、モリブデン(Mo)などの高耐熱材料から形成される。
近年、特許文献4に記載されているように、ホイルトラップを2つ、直列に設けるとともに、一方のホイルトラップを回転させる構成が知られている。
図9に概略構成を示す。図9に示す例では、高温プラズマPに近い方のホイルトラップ4が回転する機能を有する。以下、この回転機能を有するホイルトラップを回転式ホイルトラップ4、回転せず固定型のホイルトラップ5を固定式ホイルトラップ5とも言う。図9においては、EUV集光鏡6とプラズマPの間のプラズマP側に回転式ホイルトラップ4が設けられ、回転式ホイルトラップ4とEUV集光鏡6の間に固定式ホイルトラップ5が設けられている。固定式ホイルトラップ5は例えば前記図8に示したものと同様なものである。なお、図9では固定式ホイルトラップ5の外側リング5bは省略されている。
回転式ホイルトラップ4の各ホイル4aは、コーン4cに例えば金ろうを用いたろう付け等で固定されており(図9のろう付け部分4b参照)、各ホイル4aはコーン4cの回転軸を中心に放射状に伸びる。
回転式ホイルトラップ4においては、ホイル4aはコーン4cに固定されていればよいので、図9に示すような外側リング5bは設けなくてもよい。
よって、回転式ホイルトラップ4は、コーン4c内部に冷却管を設けて、当該冷却管に水などの冷媒を流すことによりコーン4cを冷却している。なお、ホイル4aはろう付け等によりコーン4cと熱的に接続されているので、コーン4cを冷却することにより、ホイルも冷却される。
エロージョンが発生すると、ホイルトラップ自体を交換する必要が生じる場合もあり、ホイルトラップのメンテナンス頻度が増加する。
回転式ホイルトラップ4においては、前記したように、各ホイル4aが、コーン4cにろう付け等で固定されており、ろう付けに使用する硬ろうとしては、比較的耐熱性の高い金ろうを使用している。しかしながら、高温プラズマ原料であるすず(Sn)に起因する高温のデブリがこのろう付け部分に付着した場合、硬ろう(金ろう)とすず(Sn)との間で化学反応がおこり、硬ろうが劣化する。
この劣化した硬ろうは、本来の硬ろうよりも機械的強度が劣化する。このため、例えば図10に示すように、回転ホイルトラップ4が回転している際、ホイル4aに加わる遠心力によりろう付け部分4bが外れて回転式ホイルトラップが破損するという不具合が発生する。
本発明は上記した事情に鑑みなされたものであり、その課題は、固定式ホイルトラップや回転式ホイルトラップのメンテナンスを容易にするとともにその頻度を低下させることができ、また、ホイルを中心支柱に固定する硬ろうへデブリが付着することにより、ホイルトラップからホイルが離脱するという不具合を回避可能なホイルトラップを提供することである。
しかし、上記シールド部材の温度が上昇すると、当該シールド部材の高温部分におけるエロージョンが急激に進行し、シールド部材の交換頻度が増大することが分かった。このため、上記シールド部材を効果的に冷却できるようにすることが望ましい。
本発明においては、上記のようにシールド部材を設け、このシールド部材とコーンの間にシールド部材を構成する材料およびコーンを構成する部材の両者と比較して柔らかく、熱伝導可能な中間部材を挿入する。
これにより、シールド部材の熱をコーンに効果的に伝達することができ、シールド部材の温度上昇を抑え、シールド部材の交換頻度を少なくすることができる。
また、上記シールド部材を、プラズマから前記ろう付け部分が遮蔽されるような大きさに設定する。
これにより、高温のデブリがろう付け部分に付着することにより起こる硬ろうの劣化を防ぐことができ、回転式ホイルトラップが破損するという不具合が発生するのを防ぐことができる。
すなわち、本発明においては、次のようにして前記課題を解決する。
(1)プラズマと、該プラズマから放射される光を集光する集光ミラーの間に配置され、主軸から放射状に伸びる複数のホイルを備え、上記光は通過するが上記プラズマからのデブリは捕捉するホイルトラップであって、上記複数のホイルが、主軸上に配置された中心支柱により支持され、上記中心支柱の上記プラズマと対向する面にはシールド部材が設けられているホイルトラップにおいて、上記シールド部材と中心支柱との間に、熱伝達可能であって、上記シールド部材を構成する材料および上記中間リングを構成する材料の双方より柔らかい材料からなる中間部材を設ける。
(2)上記(1)において、複数のホイルは、主軸上に配置された中心支柱にろう付けされて支持され、上記シールド部材は、上記プラズマから、上記ろう付けされた部分を遮蔽する大きさに構成されている。
(3)容器と、上記容器内にプラズマ原料を供給するプラズマ原料供給手段と、上記プラズマ原料を加熱して励起しプラズマを発生させる一対の放電電極からなる放電部材と、上記プラズマから放射される光を集光する集光ミラーと、上記放電部材と上記集光ミラーとの間に設けられるホイルトラップと、上記集光された光を取り出す上記容器に形成された光取り出し部と、上記容器内を排気し容器内の圧力を調整する排気手段とを備えた光源装置において、上記ホイルトラップは、(1)(2)いずれかのホイルトラップを用いる。
(4)容器と、上記容器内にプラズマ原料を供給するプラズマ原料供給手段と、上記プラズマ原料にレーザビームを照射して当該プラズマ原料を加熱して励起し高温プラズマを発生させるレーザビーム照射手段と、上記プラズマから放射される光を集光する集光ミラーと、上記高温プラズマと上記集光ミラーとの間に設けられるホイルトラップと、上記集光された光を取り出す上記容器に形成された光取り出し部と、上記容器内を排気し容器内の圧力を調整する排気手段とを備えた光源装置において、上記ホイルトラップは、(1)(2)のいずれかのホイルトラップを用いる。
(1)ホイルトラップの中心支柱のプラズマと対向する面に交換可能なシールド部材を設けたので、高速で移動するデブリ(高速粒子)により、磨耗(エロージョン)が発生しても、シールド部材のみを交換すれば、ホイルトラップ自体の交換をしなくても済み、メンテナンスを容易にすることができる。
特に、上記シールド部材と中心支柱との間に、熱伝達可能であって、上記シールド部材を構成する材料および上記中間リングを構成する材料の双方より柔らかい材料からなる中間部材を設けることにより、シールド部材から中心支柱への熱伝達が良好に行われるようになり、上記シールド部材を効果的に冷却することができる。このため、シールド部材の高温部分におけるエロージョンの急激な進行を抑制することができ、シールド部材の交換頻度を少なくし、メンテナンスを容易にすることができる。
(2)シールド部材を、高温プラズマから飛来するすず(Sn)からなるデブリに対して、ホイルと中心支柱のろう付け部分が遮蔽されるような構造とすることにより、上記デブリが上記ろう付け部分に付着することがなくなる。このため、ろう付け材料である硬ろうの劣化が抑制される。このため、回転式ホイルトラップにおいて、ろう付け部分での接合が壊れるといった不具合を防止することができる。
同図において、高温プラズマPに近い方のホイルトラップ4は前記したように、回転する機能を有する回転式ホイルトラップであり、回転式ホイルトラップ4とEUV集光鏡6の間に固定式ホイルトラップ5が設けられている。
回転式ホイルトラップ4の各ホイル4aは、前記したようにろう付け部分4bで、コーン4cに例えば金ろうを用いたろう付け等で固定されている。各ホイル4aはコーン4cの回転軸を中心に放射状に伸びる。
本実施例の回転式ホイルトラップ4においては、コーン4cの高温プラズマと対向する面に、モリブデン(Mo)、タングステン(W)などの高耐熱性材料からなる板状のシールド部材4dが配置される。
シールド部材4dの平面部表面とコーン4cの上面部表面部との間には、後述する図3に示すように、シールド部材4dを構成する材料およびコーン4cを構成する部材の両者と比較して柔らかく、熱伝達可能な中間部材4eが挿入される。
また、シールド部材4dの大きさは、高温プラズマからコーン4cとホイル4aとのろう付け部分4bを遮蔽可能な大きさに設定され、高温プラズマの位置から臨む方向からろう付け部分4bは、板状のシールド部材4dにより遮蔽されて見ることはできない。
すなわち、シールド部材4dの径は、シールド部材4dに接する部分のコーン4cの径より大きく、シールド部材の径と、プラズマと対向する面の中心支柱の径の差は、上記ろう付けのろうの中心支柱からの露出部分の高さ以上とされる。
なおコーン4cは、高温プラズマの位置から臨む方向から遮蔽される領域に配置され、その形状は、円筒状もしくは円錐台形状、特に円錐台形状とすることが好ましい。
したがって、ホイルトラップ4が高温(500〜700°C)に加熱された状態において、ろう付け材料である硬ろう(金ろう)とすず(Sn)との間での化学反応が回避され、上記硬ろうの機械的強度が維持される。そのため、回転ホイルトラップ4において、当該ホイルトラップ4の回転中に、ろう付け部分4bの劣化にともない、ろう付け部分での接合が壊れるといった不具合を防止することができる。
そのため、シールド部材4dの後ろ(EUV出射側)に配置されるコーン4c(cone)の形状は、従来のEUV集光鏡の構成から定まる最小入射角以下の光を遮光するコーン形状よりも相対的に小さくなる。
図2に示す例では、コーン4cの上面部側に2箇所のねじ穴4fを、シールド部材4dに2箇所の貫通穴4gを設け、各貫通穴4gを通過する固定用ねじ4hをねじ穴4fに勘合させることにより、シールド部材4dとコーン4cとを固定している。なお、固定用ねじ4hにも高耐熱性が要求されるので、当該固定用ねじ4hは例えばモリブデン(Mo)等よりなる。
なお、ねじ4hによる締め付け力を大きくし、コーン4cに対するシールド部材4dの押し付け力を大きくすれば、シールド部材4dからコーン4cへの熱伝達は向上するが、コーン4cやねじ4hの材料となるモリブデン(Mo)、タングステン(W)などの高耐熱性材料は硬度が高くもろいので、加工が難しいとともに割れやすく、ねじ4hによる押しつけ力を高くするのは難しい。
よって、高温プラズマへの入力が大きくなった場合、図示を省略した冷却機構により冷却されているコーン4cの上面部と板状のシールド部材4dの平面部とが接触するように、当該シールド部材をコーン4cに対して取り付けたとしても、上記シールド部材を十分に冷却できない場合も出てくる。
これにより、シールド部材4dからコーン4cへの熱伝達が良好に行われるようになり、上記シールド部材4dを効果的に冷却することができ、シールド部材4dの温度上昇を抑制することができる。このため、シールド部材4dの高温部分におけるエロージョンの急激な進行を抑制することができ、シールド部材4dの交換頻度を少なくすることができる。
ここで、図3においては、理解を容易にするために、シールド部材をコーン4cに取り付けるための固定用ねじとシールド部材の貫通穴、コーン4cのねじ穴は省略されている。なお、中間部材4eにも実際には、固定用ねじのねじ部が貫通する貫通穴が設けられている。
よって、シールド部材4dのエロージョンの進行を抑制し、当該シールド部材4dの交換頻度も少なくすることが可能となる。
中間部材4eの具体的材質としては、グラファイト、銅、真ちゅう、アルミニウムが採用されるが、特にグラファイトが好ましい。
図4に本発明の第2の実施例である本発明を前記固定式ホイルトラップに適用した場合を示す。
同図(a)において、固定式ホイルトラップ5が高温プラズマPとEUV集光鏡6の間に設けられる。固定式ホイルトラップ5は例えば前記図9に示したものと同様なものであり、図4では固定式ホイルトラップ5の外側リング5bは省略されている。
固定式ホイルトラップ5のコーン5cの高温プラズマPと対向する面に、モリブデン(Mo)、タングステン(W)などの高耐熱性材料からなる板状のシールド部材5dが交換可能に取り付けられる。
したがって、このような固定式ホイルトラップ5においては、前記回転式ホイルトラップ4のように、シールド部材5dの大きさを、コーン5cの高温プラズマに対向する面の大きさより大きくし、高温プラズマPからコーンとホイルのろう付け部分を遮蔽可能とする必要はない。図4に示すものでは、シールド部材5dの径は、コーン5cの高温プラズマに対向する面の径と略等しく設定されている。
シールド部材5dは、前記図2と同様、例えば図5に示すように、シールド部材5dに設けた2箇所の貫通穴5gを通過する固定用ねじ5hを、コーン5cのねじ穴5fに勘合させることにより、コーン5cに固定される。
これにより、シールド部材5dからコーン5cへの熱伝達が良好に行われるようになり、上記シールド部材5dを効果的に冷却することができ、シールド部材5dの温度上昇を抑制することができる。
このため、シールド部材5dの高温部分におけるエロージョンの急激な進行を抑制することができ、シールド部材5dの交換頻度を少なくすることができる。
1a 放電部
1b EUV集光部
1c ガス排気ユニット
2a,2b 放電電極
3 電力供給手段
4 回転式ホイルトラップ
4a ホイル
4b ろう付け部分
4c コーン(中心支柱)
4d シールド部材
4e 中間部材
4h 固定ねじ
5 固定式ホイルトラップ
5a ホイル
5c コーン(中心支柱)
5d シールド部材
5e 中間部材
5h 固定ねじ
6,8 EUV集光鏡
7 EUV光取出部
10 原料供給ユニット
14 高温プラズマ原料
15 コンテナ
16a,16b 回転モータ
16c,16d 回転軸
17 レーザ光
17a レーザ源
20 原料供給ノズル
22 レーザ光
21 励起用レーザ光発生装置
22 レーザ光(レーザビーム)
23 レーザ光入射窓部
24 レーザ光集光手段
40 露光機
P 高温プラズマ
Claims (4)
- プラズマと、該プラズマから放射される光を集光する集光ミラーの間に配置され、主軸から放射状に伸びる複数のホイルを備え、上記光は通過するが上記プラズマからのデブリは捕捉するホイルトラップであって、
上記複数のホイルは、主軸上に配置された中心支柱により支持されていて、
上記中心支柱の上記プラズマと対向する面にはシールド部材が設けられているホイルトラップにおいて、
上記シールド部材と中心支柱との間に、熱伝達可能であって、上記シールド部材を構成する材料および上記中心支柱を構成する材料の双方より柔らかい材料からなる中間部材を設けた
ことを特徴とするホイルトラップ。 - 上記複数のホイルは、主軸上に配置された中心支柱にろう付けされて支持されており、
上記シールド部材は、上記プラズマから、上記ろう付けされた部分を遮蔽する大きさに構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のホイルトラップ。 - 容器と、上記容器内にプラズマ原料を供給するプラズマ原料供給手段と、上記プラズマ原料を加熱して励起しプラズマを発生させる一対の放電電極からなる放電部材と、上記プラズマから放射される光を集光する集光ミラーと、上記放電部材と上記集光ミラーとの間に設けられるホイルトラップと、上記集光された光を取り出す上記容器に形成された光取り出し部と、上記容器内を排気し容器内の圧力を調整する排気手段とを備えた光源装置において、
上記ホイルトラップは、請求項1または請求項2のいずれか一項に記載のホイルトラップである
ことを特徴とする光源装置。 - 容器と、上記容器内にプラズマ原料を供給するプラズマ原料供給手段と、上記プラズマ原料にレーザビームを照射して当該プラズマ原料を加熱して励起し高温プラズマを発生させるレーザビーム照射手段と、上記プラズマから放射される光を集光する集光ミラーと、上記高温プラズマと上記集光ミラーとの間に設けられるホイルトラップと、上記集光された光を取り出す上記容器に形成された光取り出し部と、上記容器内を排気し容器内の圧力を調整する排気手段とを備えた光源装置において、
上記ホイルトラップは、請求項1または請求項2のいずれか一項に記載のホイルトラップである
ことを特徴とする光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013021207A JP6075096B2 (ja) | 2013-02-06 | 2013-02-06 | ホイルトラップおよびこのホイルトラップを用いた光源装置 |
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ID=51575969
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---|---|
JP (1) | JP6075096B2 (ja) |
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