JP2014153294A5 - - Google Patents
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Description
また、この2mm又は2度の周期で変動する内挿誤差が大きくなり過ぎるのを避けるため、第1及び第1の一次側コイル(第1及び第2のスライダコイル又は第1及び第2のステータコイル)3,4のコイルピッチは2mm又は2度とはせずに、これよりも少し小さな値とすることがある。例えば、第1及び第2の一次側コイル(第1及び第2のスライダコイル又は第1及び第2のステータコイル)3,4の1つのセクタの寸法sを2/3mm(リニア形スケールの場合)又は15/16度(ロータリ形スケールの場合)とする。
この場合、2mm又は2度の周期で変動する内挿誤差だけでなく、二次側コイル(スケールコイル又はロータコイル)のコイルピッチpが2mm又は2度であることに起因して、その1/N(Nは正の整数)の周期で変動する内挿誤差(例えば、その1/2である1mm又は1度の周期で変動する内挿誤差、その1/4である0.5mm又は0.5度の周期で変動する内挿誤差など)も生じる。
また、第1及び第2の一次側コイル(第1及び第2のスライダコイル又は第1及び第2のステータコイル)3,4のセクタ寸法sが2/3mm又は15/16度であることに起因して、2/3mm又は15/16度の周期で変動する内挿誤差も生じる。
また、第1及び第2の一次側コイル(第1及び第2のスライダコイル又は第1及び第2のステータコイル)3,4のセクタ寸法sが2/3mm又は15/16度であることに起因して、2/3mm又は15/16度の周期で変動する内挿誤差も生じる。
上記課題を解決する第1発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器を、移動体に取り付ける第1の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が0位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第2の手順と、
移動体位置計算手段において位置計算に用いる移動時間を、0にリセットとする第3の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を一定速度で移動させ、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と、前記移動体位置計算手段において前記移動体の前記一定速度と前記移動体の移動時間とを乗算することによって算出する前記移動体の位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第4の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、FFT解析する第5の手順と、
前記FFT解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第6の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第7の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆FFT解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第8の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第9の手順と
を有することを特徴とする。
絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器を、移動体に取り付ける第1の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が0位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第2の手順と、
移動体位置計算手段において位置計算に用いる移動時間を、0にリセットとする第3の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を一定速度で移動させ、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と、前記移動体位置計算手段において前記移動体の前記一定速度と前記移動体の移動時間とを乗算することによって算出する前記移動体の位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第4の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、FFT解析する第5の手順と、
前記FFT解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第6の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第7の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆FFT解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第8の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第9の手順と
を有することを特徴とする。
第1発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第1の手順〜第9の手順を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段の記憶容量を小さくすることができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段の記憶容量を小さくすることができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
以下、本発明の実施の形態例及び参考例を図面に基づいて詳細に説明する。
<参考例>
図1〜図6に基づき、本発明の参考例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
図1〜図6に基づき、本発明の参考例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
図2に示すように、検出部22AのROM22h又は位置検出コントローラ22BのROM22gに補正データを記憶した電磁誘導式位置検出器22を用いて移動体31の位置検出を行う場合、当該電磁誘導式位置検出器22を当該移動体31に取り付ける。
移動体31は、工作機械のXYテーブルなどのような直線的に移動する移動体、又は、工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体(回転体)である。
移動体31には検出部22Aを取り付ける。電磁誘導式位置検出器22がリニア形スケールである場合には、直線的に移動する移動体31にスライダ(可動部)を取り付ける。電磁誘導式位置検出器22がロータリ形スケールである場合には、回転体である移動体31にロータ(可動部)を取り付ける。
なお、本参考例では電磁誘導式位置検出器22を利用する移動体31や移動体コントローラ32と、電磁誘導式位置検出器22の補正データを取得するための移動体21や移動体コントローラ24とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
移動体31は、工作機械のXYテーブルなどのような直線的に移動する移動体、又は、工作機械の回転テーブルなどのような回転する移動体(回転体)である。
移動体31には検出部22Aを取り付ける。電磁誘導式位置検出器22がリニア形スケールである場合には、直線的に移動する移動体31にスライダ(可動部)を取り付ける。電磁誘導式位置検出器22がロータリ形スケールである場合には、回転体である移動体31にロータ(可動部)を取り付ける。
なお、本参考例では電磁誘導式位置検出器22を利用する移動体31や移動体コントローラ32と、電磁誘導式位置検出器22の補正データを取得するための移動体21や移動体コントローラ24とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
以上のように、本参考例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第1の手順〜第9の手順を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器22に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器22自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器22自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器22の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段(ROM22h又はROM22g)に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段(ROM22h又はROM22g)の記憶容量を小さくすることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器22の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段(ROM22h又はROM22g)に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段(ROM22h又はROM22g)の記憶容量を小さくすることができる。
<実施の形態例>
図7に基づき、本発明の実施の形態例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
上記参考例ではマスター位置検出器を用いたが、本実施の形態例ではマスター位置検出器は用いず、移動体の移動速度(一定速度)と移動時間とから移動体の位置を算出する。
図7に基づき、本発明の実施の形態例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。
上記参考例ではマスター位置検出器を用いたが、本実施の形態例ではマスター位置検出器は用いず、移動体の移動速度(一定速度)と移動時間とから移動体の位置を算出する。
サンプリングデータ取得部42eでは、誤差演算部42bから、スイッチ部42dを介して一定間隔位置毎(0.1mm毎又は0.1度毎)に検出位置誤差(検出距離誤差又は検出角度誤差)を取得(サンプリング)し、且つ、位置検出部42aから、一定間隔位置毎(0.1mm毎又は0.1度毎)に電磁誘導式位置検出器42の検出位置(検出距離又は検出角度)を取得(サンプリング)する。このサンプリングデータ取得部42eで取得した検出位置(検出距離又は検出角度)と検出位置誤差(検出距離誤差又は検出角度誤差)の関係は、上記参考例の場合(図3)と同様である。
次の第5の手順では、サンプリングデータ取得部42eで取得した検出位置誤差と検出位置のデータを、FFT解析部42fにおいてFFT解析する。このFFT解析の結果も、上記参考例の場合(図4)と同様である。
次に、電磁誘導式位置検出器42の検出位置X(m)を補正するまでの手順を実施することになるが、この手順については上記参考例における第7の手順〜第9の手順と同様であるため、ここでの説明は省略する。
なお、本実施の形態例でも電磁誘導式位置検出器42を利用する移動体や位置検出コントローラと、電磁誘導式位置検出器42の補正データを取得するための移動体41や移動体コントローラ43とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
なお、本実施の形態例でも電磁誘導式位置検出器42を利用する移動体や位置検出コントローラと、電磁誘導式位置検出器42の補正データを取得するための移動体41や移動体コントローラ43とは異なるものであるとしているが、これに限定するものでなく、これらは同じものであってもよい。
以上のように、本実施の形態例に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、上記の第1の手順〜第9の手順(第7の手順〜第9の手順は上記参考例と同様)を有することを特徴としていることから、電磁誘導式位置検出器42に固有の誤差のを補正するため、補正によって電磁誘導式位置検出器42自体の位置検出精度に悪影響を及ぼすことがなく、電磁誘導式位置検出器42自体の位置検出精度を向上させることができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器42の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段(ROM42i又はROM42h)に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段(ROM42i又はROM42h)の記憶容量を小さくすることができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
また、コイルピッチ周期の誤差だけでなく、その1/N周期の誤差、セクタ寸法周期の誤差、コイル間隔周期の誤差、その1/N周期の誤差も補正することができる。
また、FFT解析の結果から、電磁誘導式位置検出器42の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段(ROM42i又はROM42h)に記憶するため、取得した検出位置誤差と電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータ全てを記憶する場合に比べて、記憶手段(ROM42i又はROM42h)の記憶容量を小さくすることができる。
更には、マスター位置検出器を用いる必要がないため、補正作業の手間やコストを低減することができる。
Claims (1)
- 絶対位置を検出する電磁誘導式位置検出器を、移動体に取り付ける第1の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置が0位置となるように移動体コントローラにより、前記移動体を移動させて位置決めする第2の手順と、
移動体位置計算手段において位置計算に用いる移動時間を、0にリセットとする第3の手順と、
前記移動体コントローラにより前記移動体を一定速度で移動させ、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置と、前記移動体位置計算手段において前記移動体の前記一定速度と前記移動体の移動時間とを乗算することによって算出する前記移動体の位置との差である検出位置誤差を演算し、この検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置とを一定間隔位置毎に取得する第4の手順と、
この取得した前記検出位置誤差と前記電磁誘導式位置検出器の検出位置のデータを、FFT解析する第5の手順と、
前記FFT解析の結果から、前記電磁誘導式位置検出器の誤差変動の固有周期に対応した誤差を抽出し、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを記憶手段に記憶する第6の手順と、
前記記憶手段から、前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを読み込む第7の手順と、
前記記憶手段から読み込んだ前記固有周期と前記固有周期に対応した誤差のデータを、逆FFT解析することにより、前記電磁誘導式位置検出器の検出位置に応じた誤差補正量を求める第8の手順と、
前記電磁誘導式位置検出器の検出位置を、前記誤差補正量に基づいて補正する第9の手順と
を有することを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
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