WO2018092416A1 - ロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法 - Google Patents

ロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法 Download PDF

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賢次 古米
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パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains

Definitions

  • the present invention relates to a rotary encoder signal processing apparatus and a rotary encoder signal processing method.
  • the present invention relates to a rotary encoder signal processing apparatus and a rotary encoder signal processing method for correcting angle measurement value data output from a rotary encoder.
  • a rotary encoder used for detecting a rotation angle that is, a rotation position
  • the frequency of one cycle per rotation is due to eccentricity of a pulse disk having an angle detection pattern such as a slit pattern. It is important to reduce errors in the measured angle values that occur.
  • a rotary encoder signal processing apparatus that corrects angle measurement value data output from a rotary encoder online (that is, in real time) using previously stored errors has been proposed (for example, patents). References 1 and 2).
  • Patent Document 1 an error for one cycle of a sine wave detected by a rotary encoder is sampled and stored at 30 to 40 points in advance.
  • the stored angle measurement value data output from the rotary encoder is corrected using the stored 30 to 40 points of error.
  • Patent Document 2 a correction coefficient for correcting even higher-order distortion errors is obtained and stored using a moving body that relatively moves at a constant speed. At the time of detecting the rotation angle, the measured angle value data is corrected using the stored correction coefficient.
  • the present invention provides a rotary encoder signal processing device and a rotary encoder signal processing method that do not require a large storage capacity and can correct eccentricity in a final installation state after the rotary encoder is incorporated into a moving body. Objective.
  • a rotary encoder signal processing apparatus is a rotary encoder signal processing apparatus that corrects angle measurement value data output from a rotary encoder.
  • Amplitude data and phase data for identifying the primary component obtained when frequency analysis is performed on the error between the measured angle value indicated by the measured angle value data obtained by sampling multiple times for rotation and the ideal angle are stored in advance.
  • the angle measurement value data output from the rotary encoder, and the error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data is obtained using the amplitude data and the phase data stored in the storage unit.
  • An error correction unit that calculates and corrects the angle measurement value data with the calculated error.
  • a rotary encoder signal processing method for correcting angle measurement value data output from a rotary encoder, from a storage unit, About the rotary encoder, amplitude data for specifying a primary component obtained when frequency analysis is performed on the error between the angle measurement value and the ideal angle indicated by the angle measurement value data obtained by sampling at least once per rotation, and The reading step for reading the phase data and the angle measurement value data output from the rotary encoder are acquired, and the error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data is converted into the amplitude data and the phase data read in the reading step. And an error correction step of correcting the angle measurement value data with the calculated error.
  • the rotary encoder signal processing apparatus and the rotary encoder signal processing method according to the present invention do not require a large storage capacity, and can correct eccentricity in a final installation state in which the rotary encoder is incorporated in a moving body. Therefore, a rotary encoder signal processing apparatus and a rotary encoder signal processing method that are inexpensive and output a highly accurate angle measurement value in the final installation state online are realized.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a rotary encoder signal processing apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a flowchart illustrating an outline of a processing procedure related to the correction coefficient generation function of the error correction unit included in the rotary encoder signal processing device according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a flowchart showing details of step S10 in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the processing shown in FIG.
  • FIG. 5 is a flowchart showing details of step S11 in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the processing shown in FIG.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating a processing procedure related to an online correction function of the error correction unit, which is included in the rotary encoder signal processing device according to the embodiment.
  • Patent Document 1 it is necessary to store detection angle errors at a large number of sampling points. For this reason, there is a problem that the storage capacity of the memory becomes large and the rotary encoder signal processing device becomes expensive.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a rotary encoder signal processing apparatus 10 according to an embodiment.
  • the rotary encoder 8 is also shown.
  • the rotary encoder 8 is an encoder that is attached to a moving body (not shown) that relatively moves and outputs angle measurement value data corresponding to the rotation angle (rotation position) of the moving body. It consists of a detection element, a detection circuit, an A / D (Analog to Digital) converter, and the like.
  • the rotary encoder signal processing device 10 is a device that online corrects the angle measurement value data output from the rotary encoder 8, and includes a storage unit 11 and an error correction unit 12.
  • the storage unit 11 is obtained when the difference (that is, error) between the measured angle value and the ideal angle indicated by the measured angle value data obtained by sampling a plurality of times per rotation for the rotary encoder 8 is analyzed.
  • Amplitude data and phase data for specifying the primary component (hereinafter, amplitude data and phase data are also referred to as “correction coefficients”) are stored in advance.
  • the storage unit 11 is, for example, a nonvolatile semiconductor memory.
  • the amplitude data and the phase data are data indicating the amplitude and phase when the error angle between the angle measurement value and the ideal angle appearing in one rotation cycle of the rotary encoder 8 is expressed by a sine wave.
  • the error correction unit 12 acquires angle measurement value data output from the rotary encoder 8.
  • the error correction unit 12 calculates an error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data using the amplitude data and the phase data stored in the storage unit 11.
  • the error correction unit 12 corrects the angle measurement value data with the calculated error.
  • the error correction unit 12 uses a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and a RAM that store programs as a temporary storage area, thereby executing a program stored in the ROM. And a digital signal processing circuit having an input / output port and the like.
  • the angle measurement value data is data indicating the rotation angle (angle measurement value) detected by the rotary encoder 8.
  • Angle measurement value data, amplitude data, and phase data are integer values (for example, 23-bit data) indicating angles corresponding to 360 ° corresponding to predetermined integer values indicating the resolution of the rotary encoder 8. ).
  • the error correction unit 12 sets the angle measurement value data, the amplitude data, the phase data, the predetermined integer value, and the values indicated by the corrected angle measurement value data to ⁇ m, A, ⁇ , C, and ⁇ , respectively.
  • ⁇ ⁇ m ⁇ A ⁇ sin (360 ⁇ ( ⁇ m ⁇ ) / C) (Formula 1)
  • the measured angle value data is corrected online according to the following formula.
  • the error correction unit 12 has not only the correction function described above but also a correction coefficient creation function.
  • the error correction unit 12 calculates an error between the angle measurement value indicated by the angle measurement value data obtained by sampling a plurality of times per rotation of the rotary encoder 8 and the ideal angle. By performing frequency analysis on the calculated error, amplitude data and phase data for specifying the primary component are calculated. The calculated amplitude data and phase data are stored in the storage unit 11.
  • the rotary encoder 8 outputs angle measurement value data.
  • the rotary encoder signal processing device 10 may include a processing unit that generates angle measurement value data. For example, A / D conversion is performed on a two-phase analog signal corresponding to the relative displacement of two objects output from a detection circuit included in the rotary encoder 8, and an angle measurement corresponding to a rotation angle is obtained from the two digital values obtained.
  • the rotary encoder signal processing device 10 may be provided with an angle measurement value data generation circuit that generates value data.
  • FIG. 2 is a flowchart showing an outline of a processing procedure (correction coefficient creation step) related to the correction coefficient creation function of the error correction unit 12 included in the rotary encoder signal processing apparatus 10 according to the embodiment.
  • the error correction unit 12 sets the angle measurement value indicated by the angle measurement value data obtained by sampling a plurality of times per rotation of the rotary encoder 8 and the ideal angle. Error data indicating the error is calculated (step S10).
  • the error correction unit 12 performs frequency analysis on the calculated error data to calculate amplitude data and phase data that specify the primary component (step S11).
  • the error correction unit 12 stores the calculated amplitude data and phase data in the storage unit 11 (step S12).
  • FIG. 3 is a flowchart showing details of step S10 (calculation of error data for one rotation) in FIG.
  • the control for rotating the moving body by 1 / N may be performed by the error correction unit 12 or may be performed by a device other than the error correction unit 12 (including manual operation).
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the processing shown in FIG.
  • the horizontal axis indicates the rotation angle (sampling point), and the vertical axis indicates the value of each data (integer value indicating the angle).
  • FIG. 5 is a flowchart showing details of step S11 (frequency analysis) in FIG.
  • the error correction unit 12 specifies the angle measurement value (phase difference ⁇ ) when the amplitude of the primary component of the error data E [j] becomes 0 as phase data (step S32).
  • a continuous waveform angle measurement value waveform
  • the value of the angle measurement value waveform (phase difference ⁇ ) when the amplitude of the primary component of the error data E [j] becomes 0 is specified as phase data.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the processing shown in FIG. FIG. 6 shows an example of a primary component of error data for one rotation, an angle measurement value waveform (a waveform obtained by interpolating angle measurement value data), and specified phase data (phase difference ⁇ ). Yes.
  • the horizontal axis indicates the rotation angle, and the vertical axis indicates the value of each data (an integer value indicating the angle).
  • the amplitude data and the phase data are calculated from the angle measurement value data for one rotation.
  • the amplitude data is obtained from the angle measurement value data for two or more rotations.
  • phase data may be calculated.
  • (1) by analyzing the frequency of error data indicating an error between the angle measurement value indicated by the angle measurement value data for two or more rotations and the ideal angle, amplitude data and phase data specifying the primary component are obtained. It may be calculated.
  • Amplitude data and phase data for specifying the primary component for one rotation are calculated by frequency analysis of error data indicating an error between the angle measurement value indicated by the angle measurement value data for one rotation and the ideal angle. This may be repeated a plurality of times, and a plurality of obtained amplitude data and phase data may be averaged.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a processing procedure (error correction step) related to an online correction function of the error correction unit 12 included in the rotary encoder signal processing apparatus 10 according to the embodiment.
  • the error correction unit 12 reads the amplitude data and the phase data from the storage unit 11 (reading step S40).
  • the amplitude data and the phase data are values generated in the correction coefficient creating step shown in FIG. 2, and the angle measurement value indicated by the angle measurement value data obtained by sampling at least one rotation for the rotary encoder 8 This is data indicating values (amplitude A and phase difference ⁇ , respectively) for specifying the primary component obtained when frequency analysis is performed on the error from the ideal angle.
  • the error correction unit 12 acquires angle measurement value data output from the rotary encoder 8 as error correction steps S41 to S43 (step S41). An error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data is calculated using the amplitude data and phase data read in the read step S40 (step S42). The angle measurement value data is corrected with the calculated error (step S43).
  • the error correction unit 12 calculates the error E according to the following Equation 2.
  • Error E A ⁇ sin (360 ⁇ ( ⁇ m ⁇ ) / C) (Formula 2)
  • the error correction unit 12 calculates the corrected angle measurement value data ⁇ according to the following Equation 3.
  • the error correction steps S41 to S43 are repeated each time angle measurement value data is acquired.
  • the reading step S40 may be performed after the step S41 for obtaining the angle measurement data as long as it is before the step S42 for calculating the error.
  • the rotary encoder signal processing device 10 is a device that corrects the angle measurement value data output from the rotary encoder 8, and the rotary encoder 8 performs a plurality of rotations at least once per rotation.
  • a storage unit 11 that stores in advance amplitude data and phase data for specifying a primary component obtained when frequency analysis is performed on an error between the measured angle value obtained by sampling and the measured angle value data;
  • the angle measurement value data output from the rotary encoder 8 is acquired, and the error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data is calculated using the amplitude data and the phase data stored in the storage unit 11.
  • the error correction unit 12 corrects the angle measurement value data with the calculated error.
  • the storage unit 11 has the amplitude for identifying the primary component obtained when frequency analysis is performed on the error between the measured angle value obtained by sampling at least one rotation and the ideal angle for the rotary encoder 8. It is only necessary to store data and phase data. Therefore, it is not necessary to store errors in detection angles at a large number of sampling points, and a large storage capacity is not required. Further, the amplitude data and the phase data in the final installation state after the rotary encoder 8 is incorporated into the moving body may be stored. Therefore, it is not necessary to rotate the moving body at a constant speed in order to obtain the correction coefficient. Therefore, a rotary encoder signal processing device that can correct the eccentricity of the rotary encoder 8 in the final installation state is realized.
  • the angle measurement value data, the amplitude data, and the phase data are integer values indicating angles corresponding to 360 ° corresponding to predetermined integer values indicating the resolution of the rotary encoder 8, and error correction is performed.
  • the angle measurement value data is corrected by performing the calculation according to a simple expression using the amplitude data and the phase data stored in the storage unit 11.
  • the error correction unit 12 further calculates an error between the measured angle value indicated by the measured angle value data obtained by sampling a plurality of times per rotation for the rotary encoder 8 and the ideal angle, and calculates the calculated error as a frequency.
  • amplitude data and phase data for specifying the primary component are calculated, and the calculated amplitude data and phase data are stored in the storage unit 11.
  • the amplitude data and the phase data for correction are calculated by the error correction unit 12 and stored in the storage unit 11. Therefore, in the final installation state after the rotary encoder 8 is incorporated in the moving body, the amplitude data and the phase data are calculated by the error correction unit 12 and stored in the storage unit 11.
  • a rotary encoder signal processing device capable of correcting eccentricity is realized.
  • the error correction unit 12 calculates the amplitude data and the phase data, and at least one rotation of the rotary encoder 8, the angle measurement value indicated by the angle measurement value data obtained by sampling at least 1/4 rotation, Amplitude data and phase data are calculated by Fourier transforming the error from the ideal angle at the sampling timing.
  • the amplitude data and the phase data are calculated by Fourier transforming the error between the measured angle value obtained by sampling at least once every 1/4 rotation and the ideal angle. Therefore, a correction coefficient that can accurately correct the eccentric state in the final installation state after the rotary encoder 8 is incorporated in the moving body is calculated.
  • the rotary encoder signal processing method is a method for correcting angle measurement value data output from the rotary encoder 8, and from the storage unit 11, the rotary encoder 8 is rotated a plurality of times at least once.
  • Reading step S40 for reading out amplitude data and phase data for identifying the primary component obtained when frequency analysis is performed on the error between the angle measurement value indicated by the angle measurement value data obtained by sampling and the ideal angle, and the rotary Angle measurement value data output from the encoder 8 is acquired (step S41), and an error corresponding to the angle measurement value indicated by the acquired angle measurement value data is calculated using the amplitude data and phase data read in the reading step.
  • Step S42 the angle measurement value data is corrected with the calculated error (Step S43). Error correction step S And a 1 ⁇ S43.
  • the storage unit 11 has the amplitude for identifying the primary component obtained when frequency analysis is performed on the error between the measured angle value obtained by sampling at least one rotation and the ideal angle for the rotary encoder 8. It is only necessary to store data and phase data. Therefore, it is not necessary to store errors in detection angles at a large number of sampling points, and a large storage capacity is not required. Further, the amplitude data and the phase data in the final installation state after the rotary encoder 8 is incorporated into the moving body may be stored. Therefore, it is not necessary to rotate the moving body at a constant speed in order to obtain the correction coefficient. Therefore, a rotary encoder signal processing method that can correct the eccentricity of the rotary encoder 8 in the final installation state is realized.
  • the rotary encoder 8 calculates an error between the measured angle value indicated by the measured angle value data obtained by sampling a plurality of times per rotation and the ideal angle (step S10). Is subjected to frequency analysis to calculate amplitude data and phase data for specifying the primary component (step S11), and store the calculated amplitude data and phase data in the storage unit 11 (step S12). Including.
  • the error correction unit 12 has two functions of a correction function and a correction coefficient creation function.
  • the error correction unit 12 does not necessarily have two functions, and at least has a correction function. That's fine.
  • the correction coefficient creation function may be performed by a processing unit (such as a correction coefficient creation circuit) different from the error correction unit 12.
  • the output signal method may be either an incremental type or an absolute type, and the type of the built-in detection element may be any of an optical type, a magnetic type, a laser type, and a capacitance type.
  • the rotary encoder signal processing device 10 receives the output signal of the detection element built in the rotary encoder and generates the angle measurement value data (angle measurement value data generation). Circuit).
  • the rotary encoder signal processing apparatus is a servo system that detects an absolute position of a tool or the like of a machine tool with high accuracy, for example, as a device that corrects angle measurement value data output from the rotary encoder with high accuracy online. It is useful as a signal processing device used in the above.

Abstract

ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理装置であって、ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを予め記憶している記憶部と、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを取得し、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、記憶部に記憶された振幅データ及び位相データを用いて算出し、算出した誤差で測角値データを補正する誤差補正部とを備える。

Description

ロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法
　本発明は、ロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法に関する。特に、本発明は、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法に関する。
　回転角度（つまり、回転位置）の検出に用いられるロータリーエンコーダでは、検出精度を高めるために、スリットパターン等の角度検出パターンを備えたパルス円板の偏芯による、１回転に１周期の頻度で生じる測角値の誤差を低減することが重要となる。そのために、従来、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを、予め記憶している誤差を用いて、オンライン（つまり、リアルタイム）で補正するロータリーエンコーダ信号処理装置が提案されている（例えば、特許文献１、２を参照）。
　特許文献１では、予め、ロータリーエンコーダで検出される正弦波状の１周期分の誤差を、３０～４０点でサンプリングして記憶しておく。回転角度の検出時には、記憶した３０～４０点の誤差を用いて、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正している。
　特許文献２では、一定速度で相対移動する移動体を用いて、高次の歪誤差までも補正するための補正係数を得て記憶しておく。回転角度の検出時には、記憶した補正係数を用いて、測角値データを補正している。
特開昭６０－１７０７１０号公報 国際公開第２００６／０４３４０３号
　本発明は、大きな記憶容量を必要とせず、かつ、ロータリーエンコーダを移動体に組み込んだ後の、最終設置状態で偏芯を補正できるロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明の一形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置は、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理装置であって、ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを予め記憶している記憶部と、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを取得し、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、記憶部に記憶された振幅データ及び位相データを用いて算出し、算出した誤差で測角値データを補正する誤差補正部とを備える。
　また、上記目的を達成するために、本発明の一形態に係るロータリーエンコーダ信号処理方法は、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理方法であって、記憶部から、ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を、周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを読み出す読み出しステップと、ロータリーエンコーダから出力される測角値データを取得し、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、読み出しステップで読み出した振幅データ及び位相データを用いて算出し、算出した誤差で測角値データを補正する誤差補正ステップとを含む。
　本発明に係るロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法は、大きな記憶容量を必要とせず、かつ、ロータリーエンコーダを移動体に組み込んだ最終設置状態で偏芯を補正できる。よって、安価で、かつ、最終設置状態で精度の高い測角値をオンラインで出力するロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法が実現される。
図１は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置の構成を示すブロック図である。 図２は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置が備える、誤差補正部の補正係数作成機能に関する処理手順の概要を示すフローチャートである。 図３は、図２におけるステップＳ１０の詳細を示すフローチャートである。 図４は、図３に示された処理を説明する図である。 図５は、図２におけるステップＳ１１の詳細を示すフローチャートである。 図６は、図５に示された処理を説明する図である。 図７は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置が備える、誤差補正部のオンラインでの補正機能に関する処理手順を示すフローチャートである。
　特許文献１の技術では、多数のサンプリングポイントにおける検出角度の誤差を記憶しておく必要がある。そのために、メモリの記憶容量が大きくなり、ロータリーエンコーダ信号処理装置が高価になってしまう、という問題がある。
　特許文献２の技術では、補正係数を得るために一定速度で移動体を回転させる必要がある。そのために、ロータリーエンコーダを移動体に組み込んだ後の、最終設置状態でのトータルとしての偏芯を補正できない、という問題がある。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、構造、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
　図１は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０の構成を示すブロック図である。図１では、ロータリーエンコーダ８も合わせて図示されている。ロータリーエンコーダ８は、相対移動する移動体（図示せず）に取り付けられ、移動体の回転角度（回転位置）に対応する測角値データを出力するエンコーダであり、例えば、パルス円板、光学式検出素子、検出回路、Ａ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ　ｔｏ　Ｄｉｇｉｔａｌ）変換器等で構成される。
　ロータリーエンコーダ信号処理装置１０は、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを、オンラインで補正する装置であり、記憶部１１及び誤差補正部１２を備える。
　記憶部１１は、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との差（つまり、誤差）を、周波数分析した場合に得られる１次成分を、特定する振幅データ及び位相データ（以下、振幅データ及び位相データを「補正係数」ともいう）を、予め記憶する。記憶部１１は、例えば、不揮発性の半導体メモリである。なお、振幅データ及び位相データは、それぞれ、ロータリーエンコーダ８の１回転の周期で現れる測角値と理想角度との誤差角度を、正弦波で表現した場合の振幅及び位相を示すデータである。
　誤差補正部１２は、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを取得する。誤差補正部１２は、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、記憶部１１に記憶された振幅データ及び位相データを用いて算出する。誤差補正部１２は、算出した誤差で測角値データを補正する。誤差補正部１２は、例えば、プログラムが格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭを一時的な記憶領域として用いることで、ＲＯＭに格納されたプログラムを実行するプロセッサ、及び、入出力ポート等を有するデジタル信号処理回路である。測角値データとは、ロータリーエンコーダ８で検出された回転角度（測角値）を示すデータである。
　測角値データ、振幅データ、及び、位相データは、３６０°をロータリーエンコーダ８の分解能を示す所定整数値に対応させた場合における、それぞれに対応する角度を示す整数値（例えば、２３ビットのデータ）である。誤差補正部１２は、測角値データ、振幅データ、位相データ、所定整数値、及び、補正後の測角値データが示す値を、それぞれ、θｍ、Ａ、β、Ｃ、θとした場合に、
　θ＝θｍ－Ａ×ｓｉｎ（３６０×（θｍ－β）／Ｃ）　　（式１）
の式に従って、オンラインで測角値データを補正する。
　誤差補正部１２は、上述した補正機能だけでなく、補正係数作成機能も有する。誤差補正部１２は、ロータリーエンコーダ８について少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を算出する。算出した誤差を周波数分析することによって、１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出する。算出した振幅データ及び位相データを記憶部１１に格納する。
　なお、本実施の形態では、ロータリーエンコーダ８が測角値データを出力した。しかし、それに代えて、ロータリーエンコーダ信号処理装置１０が測角値データを生成する処理部を備えてもよい。例えば、ロータリーエンコーダ８が有する検出回路から出力される、２つの物体の相対変位に対応した２相のアナログ信号をＡ／Ｄ変換し、得られた２つのデジタル値から回転角度に対応する測角値データを生成する、測角値データ生成回路が、ロータリーエンコーダ信号処理装置１０に備えられてもよい。
　以上のように構成された本実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０の動作（つまり、ロータリーエンコーダ信号処理方法）について説明する。
　図２は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０が備える、誤差補正部１２の補正係数作成機能に関する処理手順（補正係数作成ステップ）の概要を示すフローチャートである。
　ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ最終設置状態で、誤差補正部１２は、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と、理想角度との誤差を示す誤差データを算出する（ステップＳ１０）。
　誤差補正部１２は、算出した誤差データを周波数分析することによって、１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出する（ステップＳ１１）。
　誤差補正部１２は、算出した振幅データ及び位相データを記憶部１１に格納する（ステップＳ１２）。
　図３は、図２におけるステップＳ１０（１回転分の誤差データの算出）の詳細を示すフローチャートである。
　誤差補正部１２は、移動体を１／Ｎ（Ｎ≧４）回転させたうえで（ステップＳ２１）、そのサンプリングポイントでの測角値データθｍ［ｊ］を取得する（ステップＳ２２）という処理を、１回転分（ｊ＝０～Ｎ）繰り返す（ステップＳ２０～Ｓ２３）。これによって、１回転分の測角値データθｍ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）が取得される。なお、移動体を１／Ｎ回転させる制御は、誤差補正部１２が行ってもよいし、誤差補正部１２以外の装置（手動を含む）が行ってもよい。
　誤差補正部１２は、Ｎ回の１／Ｎ回転のそれぞれのサンプリングポイントに対応する理想角度を示す理想角度データθｒ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）を算出する（ステップＳ２４）。具体的には、誤差補正部１２は、ロータリーエンコーダ８の分解能を示す所定整数値ＣをＮで割ることで、１／Ｎ回転（１サンプル）当たりの増減パルス数Ｐ（＝Ｃ／Ｎ）を算出し、算出した増減パルス数Ｐをｊ（ｊ＝０～Ｎ）倍した値（０、Ｐ、２Ｐ、３Ｐ、・・、Ｎ×Ｐ）を算出することで、理想角度データθｒ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）を算出する。
　誤差補正部１２は、ステップＳ２０～Ｓ２３で算出した測角値データθｍ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）及びステップＳ２４で算出した理想角度データθｒ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）から、対応する差分（各ｊにおける（θｍ［ｊ］－θｒ［ｊ］））を算出することで、誤差データＥ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）を算出する（ステップＳ２５）。
　図４は、図３に示された処理を説明する図である。ここでは、１回転分（ｊ＝０～Ｎ）における測角値データθｍ［ｊ］、理想角度データθｒ［ｊ］、及び、誤差データＥ［ｊ］の例が示されている。横軸は、回転角度（サンプリングポイント）を示し、縦軸は、各データの値（角度を示す整数値）を示している。
　図５は、図２におけるステップＳ１１（周波数分析）の詳細を示すフローチャートである。
　誤差補正部１２は、図２のステップＳ１０で算出された誤差データＥ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）をフーリエ変換する（ステップＳ３０）。それによって、誤差データＥ［ｊ］の１次成分（移動体の１回転に相当する正弦波成分）の係数（振幅Ａ）を振幅データとして特定する（ステップＳ３１）。
　誤差補正部１２は、誤差データＥ［ｊ］の１次成分の振幅が０となるときの測角値（位相差β）を、位相データとして特定する（ステップＳ３２）。位相データを特定する場合には、測角値データθｍ［ｊ］（ｊ＝０～Ｎ）の各データ間を補間することで、連続的な波形（測角値波形）を算出しておき、誤差データＥ［ｊ］の１次成分の振幅が０となるときの測角値波形の値（位相差β）を、位相データとして特定する。
　図６は、図５に示された処理を説明する図である。図６では、１回転分における誤差データの１次成分及び測角値波形（測角値データを補間してつないだ波形）と、特定された位相データ（位相差β）の例が示されている。横軸は、回転角度を示し、縦軸は、各データの値（角度を示す整数値）を示している。
　図２から図６の説明では、１回転分の測角値データから振幅データ及び位相データが算出されたが、より精度を向上させるために、２以上の回転分の測角値データから振幅データ及び位相データを算出してもよい。このとき、（１）２以上の回転分の測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を示す誤差データを周波数分析することによって、１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出してもよい。（２）１回転分の測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を示す誤差データを周波数分析することによって、１回転分の１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出することを複数回繰り返し、得られた複数の振幅データ及び位相データを平均化してもよい。
　図７は、実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０が備える、誤差補正部１２のオンラインでの補正機能に関する処理手順（誤差補正ステップ）を示すフローチャートである。
　誤差補正部１２は、記憶部１１から、振幅データ及び位相データを読み出す（読み出しステップＳ４０）。振幅データ及び位相データは、図２に示される補正係数作成ステップで生成された値であり、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を周波数分析した場合に得られる、１次成分を特定する値（それぞれ、振幅Ａ、位相差β）を示すデータである。
　誤差補正部１２は、誤差補正ステップＳ４１～Ｓ４３として、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを取得する（ステップＳ４１）。取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、読み出しステップＳ４０で読み出した振幅データ及び位相データを用いて算出する（ステップＳ４２）。算出した誤差で測角値データを補正する（ステップＳ４３）。
　具体的には、測角値データ、振幅データ、位相データ、ロータリーエンコーダ８の分解能（所定整数値）、及び、補正後の測角値データが示す値を、それぞれ、θｍ、Ａ、β、Ｃ、θとした場合に、誤差補正部１２は、誤差Ｅを、以下の式２に従って算出する。
　誤差Ｅ＝Ａ×ｓｉｎ（３６０×（θｍ－β）／Ｃ）　　（式２）
　誤差補正部１２は、補正後の測角値データθを、以下の式３に従って算出する。
　補正後の測角値データθ
　＝測角値データθｍ－誤差Ｅ
　＝θｍ－Ａ×ｓｉｎ（３６０×（θｍ－β）／Ｃ）　　（式３）
　このようにして、オンラインで、測角値データθｍの誤差Ｅが補正され、理想角度に近い補正後の測角値データθが得られる。
　誤差補正ステップＳ４１～Ｓ４３は、測角値データが取得される度に、繰り返される。
　また、読み出しステップＳ４０は、誤差を算出するステップＳ４２の前であれば、測角値データの取得ステップＳ４１の後でもよい。
　以上のように、本実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０は、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを補正する装置であって、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを予め記憶している記憶部１１と、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを取得し、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、記憶部１１に記憶された振幅データ及び位相データを用いて算出し、算出した誤差で測角値データを補正する誤差補正部１２とを備える。
　これにより、記憶部１１には、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値と理想角度との誤差を、周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ及び位相データを記憶しておくだけでよい。したがって、多数のサンプリングポイントにおける検出角度の誤差を記憶しておく必要がなくなり、大きな記憶容量が必要とされない。また、ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ後の最終設置状態での、振幅データ及び位相データを記憶しておけばよい。したがって、補正係数を得るために、一定速度で移動体を回転させる必要がなくなる。よって、最終設置状態でロータリーエンコーダ８の偏芯を補正できる、ロータリーエンコーダ信号処理装置が実現される。
　また、測角値データ、振幅データ、及び、位相データは、３６０°をロータリーエンコーダ８の分解能を示す所定整数値に対応させた場合における、それぞれに対応する角度を示す整数値であり、誤差補正部１２は、測角値データ、振幅データ、位相データ、所定整数値、及び、補正後の測角値データが示す値を、それぞれ、θｍ、Ａ、β、Ｃ、θとした場合に、θ＝θｍ－Ａ×ｓｉｎ（３６０×（θｍ－β）／Ｃ）の式に従って、測角値データを補正する。
　これにより、記憶部１１に記憶された振幅データ及び位相データを用いて、簡単な式に従った演算をすることにより、測角値データが補正される。
　また、誤差補正部１２は、さらに、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を算出し、算出した誤差を周波数分析することによって、１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出し、算出した振幅データ及び位相データを記憶部１１に格納する。
　これにより、補正のための振幅データ及び位相データが、誤差補正部１２によって算出されて、記憶部１１に格納される。したがって、ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ後の最終設置状態において、誤差補正部１２によって振幅データ及び位相データを算出して、記憶部１１に格納することで、最終設置状態でロータリーエンコーダ８の偏芯を補正できる、ロータリーエンコーダ信号処理装置が実現される。
　また、誤差補正部１２は、振幅データ及び位相データの算出では、ロータリーエンコーダ８の少なくとも１回転において、少なくとも１／４回転に１回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と、サンプリングのタイミングにおける理想的な角度との誤差をフーリエ変換することによって、振幅データ及び位相データを算出する。
　これにより、少なくとも１／４回転に１回のサンプリングで得た測角値と理想的な角度との誤差をフーリエ変換することによって、振幅データ及び位相データが算出される。したがって、ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ後の最終設置状態における、偏芯の状態を的確に補正できる、補正係数が算出される。
　また、本実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理方法は、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを補正する方法であって、記憶部１１から、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を、周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを読み出す読み出しステップＳ４０と、ロータリーエンコーダ８から出力される測角値データを取得し（ステップＳ４１）、取得した測角値データが示す測角値に対応する誤差を、読み出しステップで読み出した振幅データ及び位相データを用いて算出し（ステップＳ４２）、算出した誤差で測角値データを補正する（ステップＳ４３）誤差補正ステップＳ４１～Ｓ４３とを含む。
　これにより、記憶部１１には、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値と理想角度との誤差を、周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ及び位相データを記憶しておくだけでよい。したがって、多数のサンプリングポイントにおける検出角度の誤差を記憶しておく必要がなくなり、大きな記憶容量が必要とされない。また、ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ後の最終設置状態での、振幅データ及び位相データを記憶しておけばよい。したがって、補正係数を得るために、一定速度で移動体を回転させる必要がなくなる。よって、最終設置状態でロータリーエンコーダ８の偏芯を補正できる、ロータリーエンコーダ信号処理方法が実現される。
　また、読み出しステップＳ４０に先立ち、ロータリーエンコーダ８について、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を算出し（ステップＳ１０）、算出した誤差を周波数分析することによって、１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出し（ステップＳ１１）、算出した振幅データ及び位相データを記憶部１１に格納する（ステップＳ１２）補正係数作成ステップをさらに含む。
　これにより、ロータリーエンコーダ８を移動体に組み込んだ後の最終設置状態が変更された場合には、再度、補正係数作成ステップを実行することで、記憶部１１に記憶しておく振幅データ及び位相データを更新できる。したがって、常に、現実の最終設置状態でロータリーエンコーダ８の偏芯を補正できる、ロータリーエンコーダ信号処理方法が実現される。
　以上、本発明に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０及びロータリーエンコーダ信号処理方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の主旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、実施の形態における一部の構成要素を組み合わせて構築される別の形態も、本発明の範囲内に含まれる。
　例えば、実施の形態では、誤差補正部１２は、補正機能と補正係数作成機能の２つの機能を有したが、必ずしも２つの機能を有している必要はなく、少なくとも補正機能を有していればよい。補正係数作成機能については、誤差補正部１２とは異なる処理部（補正係数作成回路等）が行ってもよい。
　また、本発明に係るロータリーエンコーダ信号処理装置及びロータリーエンコーダ信号処理方法の対象となるロータリーエンコーダ８は、測角値データを出力するタイプのものであればよい。出力信号の方式としてインクリメンタル形、アブソリュート形のいずれであってもよいし、内蔵検出素子の種類として光学式、磁気式、レーザー式、静電容量式のいずれであってもよい。さらに、上述したように、本実施の形態に係るロータリーエンコーダ信号処理装置１０が、ロータリーエンコーダに内蔵された検出素子の出力信号を受けて、測角値データを生成する回路（測角値データ生成回路）を備えてもよい。
　本発明に係るロータリーエンコーダ信号処理装置は、ロータリーエンコーダから出力される測角値データをオンラインで高精度で補正する装置として、例えば、工作機械の工具等の絶対位置を高精度で検出するサーボシステムに用いられる信号処理装置として、有用である。
　８　ロータリーエンコーダ
　１０　ロータリーエンコーダ信号処理装置
　１１　記憶部
　１２　誤差補正部

Claims (6)

  1. ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理装置であって、
    前記ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た前記測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを予め記憶している記憶部と、
    前記ロータリーエンコーダから出力される測角値データを取得し、取得した前記測角値データが示す測角値に対応する誤差を、前記記憶部に記憶された前記振幅データ及び前記位相データを用いて算出し、算出した前記誤差で前記測角値データを補正する誤差補正部と
    を備えるロータリーエンコーダ信号処理装置。
  2. 前記測角値データ、前記振幅データ、及び、前記位相データは、３６０°を前記ロータリーエンコーダの分解能を示す所定整数値に対応させた場合における、それぞれに対応する角度を示す整数値であり、
    前記誤差補正部は、前記測角値データ、前記振幅データ、前記位相データ、前記所定整数値、及び、補正後の前記測角値データが示す値を、それぞれ、θｍ、Ａ、β、Ｃ、θとした場合に、
    θ＝θｍ－Ａ×ｓｉｎ（３６０×（θｍ－β）／Ｃ）
    の式に従って、前記測角値データを補正する
    請求項１記載のロータリーエンコーダ信号処理装置。
  3. 前記誤差補正部は、さらに、前記ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を算出し、算出した前記誤差を周波数分析することによって、前記１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出し、算出した前記振幅データ及び前記位相データを前記記憶部に格納する
    請求項１又は２記載のロータリーエンコーダ信号処理装置。
  4. 前記誤差補正部は、前記振幅データ及び前記位相データの算出では、前記ロータリーエンコーダの少なくとも１回転において、少なくとも１／４回転に１回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と、前記サンプリングのタイミングにおける理想的な角度との誤差をフーリエ変換することによって、前記振幅データ及び前記位相データを算出する
    請求項３記載のロータリーエンコーダ信号処理装置。
  5. ロータリーエンコーダから出力される測角値データを補正するロータリーエンコーダ信号処理方法であって、
    記憶部から、前記ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た前記測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を、周波数分析した場合に得られる１次成分を特定する振幅データ、及び、位相データを読み出す読み出しステップと、
    前記ロータリーエンコーダから出力される測角値データを取得し、取得した前記測角値データが示す測角値に対応する誤差を、前記読み出しステップで読み出した前記振幅データ及び前記位相データを用いて算出し、算出した前記誤差で前記測角値データを補正する誤差補正ステップと
    を含むロータリーエンコーダ信号処理方法。
  6. 前記読み出しステップに先立ち、
    前記ロータリーエンコーダについて、少なくとも１回転に複数回のサンプリングで得た測角値データが示す測角値と理想角度との誤差を算出し、
    算出した前記誤差を周波数分析することによって、前記１次成分を特定する振幅データ及び位相データを算出し、
    算出した前記振幅データ及び前記位相データを前記記憶部に格納する補正係数作成ステップをさらに含む
    請求項５記載のロータリーエンコーダ信号処理方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113490830A (zh) * 2020-01-31 2021-10-08 日本精工株式会社 旋转角度计算装置及其校正方法和校正装置、马达控制装置、电动致动器产品和电动助力转向装置
US11193794B2 (en) 2019-06-21 2021-12-07 Asahi Kasei Microdevices Corporation Rotation angle sensor, angle signal calculation method and non-transitory computer readable medium

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60170710A (ja) * 1984-02-15 1985-09-04 Asahi Optical Co Ltd 測角誤差の補正装置
JP2013057590A (ja) * 2011-09-08 2013-03-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 誤差周波数成分取得装置、回転角度取得装置、モータ制御装置および回転角度取得方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60170710A (ja) * 1984-02-15 1985-09-04 Asahi Optical Co Ltd 測角誤差の補正装置
JP2013057590A (ja) * 2011-09-08 2013-03-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 誤差周波数成分取得装置、回転角度取得装置、モータ制御装置および回転角度取得方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11193794B2 (en) 2019-06-21 2021-12-07 Asahi Kasei Microdevices Corporation Rotation angle sensor, angle signal calculation method and non-transitory computer readable medium
CN113490830A (zh) * 2020-01-31 2021-10-08 日本精工株式会社 旋转角度计算装置及其校正方法和校正装置、马达控制装置、电动致动器产品和电动助力转向装置

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