JP2014151226A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. ノズルを有する吐出ヘッドから液体を吸引する吸引装置であって、
   前記吐出ヘッドから液体を吸引し、当該吸引された液体を排出する吸引経路と、
   前記吸引経路に設けられている第１バルブと、
   前記吸引経路において、前記第１バルブよりも、前記吐出ヘッドから吸引された液体を排出する側に設けられている第２バルブと、
   前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間を減圧可能な減圧手段と、を備えることを特徴とする吸引装置。
2. 前記吐出ヘッドのノズル面に押し付け可能なキャップを備え、
   前記吸引経路は、前記キャップに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
3. 前記キャップが前記ノズル面に押し付けられているときの、前記ノズル面および前記キャップにより形成される空間の容積は、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間の容積よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の吸引装置。
4. 前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間を減圧することにより吸引される液体の吸引量は、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブの間の容積と圧力により制御されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の吸引装置。
5. 前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、液体の吸引量が、前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの前記吐出ヘッド内の容積以下となるように、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブの間の圧力が設定されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の吸引装置。
6. 前記吸引経路において、前記第２バルブよりも、前記吐出ヘッドから吸引された液体を排出する側に設けられている第３バルブを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の吸引装置。
7. 前記吸引経路の前記第２バルブと前記第３バルブとの間を減圧することにより吸引される液体の吸引量は、前記吸引経路の前記吸引経路の前記第２バルブと前記第３バルブとの容積と圧力により制御されることを特徴とする請求項６に記載の吸引装置。
8. 前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間の容積と、前記吸引経路の前記第２バルブと前記第３バルブとの間の容積が異なることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の吸引装置。
9. 前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間の容積と、前記吸引経路の前記第２バルブと前記第３バルブとの間の容積とが等しいことを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか一項に記載の吸引装置。
10. 前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間を迂回する迂回吸引経路を備え、 迂回吸引経路には、第４バルブが設けられている
    ことを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の吸引装置。
11. 複数の前記吸引経路を備え、
    複数の前記吸引経路のそれぞれに、前記第１バルブ、および前記第２バルブが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の吸引装置。
12. 前記吐出ヘッドのノズル面に押し付け可能な複数のキャップを備え、
    前記吸引経路は、複数の前記キャップの各々に接続され、
    前記キャップが前記ノズル面に押し付けられているときの、前記ノズル面および複数の前記キャップの各々により形成される空間の容積の合計は、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間の容積よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の吸引装置。
13. 容器を備え、
    前記容器は、前記吸引経路の、前記液体を排出する側の一端に接続され、
    前記減圧手段は、前記容器に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の吸引装置。
14. ノズルを備える吐出ヘッドから液体を吸引する吸引方法であって、
    前記吐出ヘッドから前記液体を吸引し、当該吸引された前記液体を排出する吸引経路と、前記吸引経路に設けられている第１バルブと、前記吸引経路において、前記第１バルブよりも、前記吐出ヘッドから吸引された液体を排出する側に設けられている第２バルブと、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブの間を減圧可能な減圧手段と、を備える吸引装置を用い、
    前記第１バルブが閉じられ、前記第２バルブが開かれた状態で前記減圧手段により前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間を所定の圧力まで減圧した後に、前記第２バルブを閉じる減圧工程と、
    前記第１バルブ及び前記第２バルブが閉じられ、かつ前記キャップを前記吐出ヘッドのノズル面に押し付けた状態から、前記第１バルブを開いて吸引を行う吸引工程と、を有することを特徴とする吸引方法。
15. 前記吐出ヘッドは、液体供給口と、複数の前記ノズルと、複数の前記ノズルのそれぞれに連通するキャビティとを有し、前記吸引工程において、前記液体供給口から前記キャビティを含む複数の前記ノズルまでの前記吐出ヘッド内の容積以下の前記液体を吸引するように、前記減圧工程において前記所定の圧力が設定されていることを特徴とする請求項１４に記載の吸引方法。
16. 前記吸引装置は、前記吸引経路において、前記第２バルブよりも、前記吐出ヘッドから吸引された液体を排出する側に第３バルブを備え、
    前記減圧工程において、前記第１バルブが閉じられ、前記第２バルブおよび前記第３バルブが開かれた状態で前記減圧手段により前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間、および前記吸引経路の前記第２バルブと前記第２バルブとの間を所定の圧力まで減圧した後に、前記第２バルブおよび前記第３バルブを閉じ、
    前記吸引工程は、第１吸引工程と、第２吸引工程と、を含み、
    前記第１吸引工程において、前記第１バルブ、前記第２バルブおよび前記第３バルブが閉じられ、かつ前記キャップを前記ノズル面に押し付けた状態から、前記第１バルブを開くことで吸引を行い、
    第２吸引工程において、前記第１バルブが開かれ、前記第２バルブおよび前記第２バルブが閉じられた状態で前記キャップを前記ノズル面に押し付けた状態から、前記第２バルブを開くことで吸引を行う
    ことを特徴とする請求項１４または請求項１５に記載の吸引方法。
17. 前記吸引装置は、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間を迂回する迂回吸引経路を備え、
    前記吸引工程は、前記第１バルブあるいは前記第２バルブが閉じた状態で、前記減圧手段により前記迂回吸引経路を経由して吸引を行う第３吸引工程を含むことを特徴とする請求項１４乃至請求項１６のいずれか一項に記載の吸引方法。
18. 前記吸引経路は、前記キャップに並列に接続されている第１吸引経路と、第２吸引経路と、を含み、
    前記第１吸引経路と前記第２吸引経路のそれぞれにおいて、前記第１バルブおよび前記第２バルブが設けられ、
    前記吸引工程において、前記第１吸引経路、および前記第２吸引経路を用いて吸引を行うことを特徴とする請求項１４乃至請求項１７のいずれか一項に記載の吸引方法。
19. 前記減圧工程の前に、前記吸引経路の内部に残留する前記液体を排出する排出工程を有することを特徴とする請求項１４乃至請求項１８のいずれか一項に記載の吸引方法。
20. ノズルを有する吐出ヘッドと、
    吐出ヘッドから液体を吸引する吸引装置と、を備える吐出装置であって、
    前記吸引装置は、
    前記吐出ヘッド内の液体を前記ノズルから吸引し、当該吸引された液体を排出する吸引経路と、
    前記吸引経路に設けられている第１バルブと、
    前記吸引経路において前記第１バルブよりも、前記吐出ヘッドから吸引された液体を排出する側に設けられている第２バルブと、
    前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブの間を減圧可能な減圧手段と、を備えることを特徴とする吐出装置。
21. 前記吸引装置は、前記吐出ヘッドのノズル面に押し付け可能なキャップを備え、
    前記吸引経路は、前記キャップに接続されていることを特徴とする請求項２０に記載の吐出装置。
22. 前記吸引装置において、前記キャップが前記ノズル面に押し付けられているときの、前記ノズル面および前記キャップにより形成される空間の容積は、前記吸引経路の前記第１バルブと前記第２バルブとの間の容積よりも小さいことを特徴とする請求項２１に記載の吐出装置。
23. 請求項２０乃至請求項２２のいずれか一項に記載の吐出装置を用いて発光層を形成する工程を有することを特徴とする発光素子の製造方法。