JP2014142291A - 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、検査対象試料上を相対的に走査する測定探針と、前記測定探針にレーザ光を照射するレーザ光照射系と、レーザ光の照射により前記測定探針と前記検査対象試料との間で発生した近接場光の散乱光を透過し、前記検査対象試料を保持する試料セルと、前記試料セルを透過した散乱光を検出する検出器とを備えた走査プローブ顕微鏡を提供する。
【選択図】 図1
Description
2・・・試料
3・・・溶液
4・・・試料ホルダ
5、51・・・XY圧電素子ステージ
6・・・カバーガラス
7・・・レーザ光
8・・・カンチレバー
9、10、11・・・測定探針
12、12a・・・近接場光
14、35・・・散乱光
20・・・検出器
25・・・Z圧電素子ステージ
26・・・圧電素子アクチュエータ
60・・・励起レーザ光照射系
70・・・発振器
80・・・ロックインアンプ
90・・・制御部
100・・・ディスプレイ
110・・・光てこ検出系
120・・・散乱光検出系
130・・・信号処理・制御系
Claims (16)
- 溶液中にある検査対象試料上を相対的に走査する測定探針と、
前記測定探針にレーザ光を照射するレーザ光照射系と、
レーザ光の照射により前記測定探針と前記検査対象試料との間で発生した近接場光を透過し、前記検査対象試料を保持する試料セルと、
前記試料セルを透過した近接場光を検出する検出器とを備えた走査プローブ顕微鏡。 - 前記試料セルの表面は曲面で構成されることを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記試料セルの表面の曲面は、前記測定探針側を曲率中心とすることを特徴とする請求項2記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記検出器は前記試料セルの側面を透過した近接場光を検出し、前記試料セルの側面は前記溶液と空気との界面の面積が小さくなる方向に湾曲していることを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記検出器は前記試料セルの底面を透過した近接場光を検出することを特徴とする請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記測定探針は、前記検査対象試料に向けた先端側が先鋭化されており、
前記レーザ光照射系は前記測定探針の先端にレーザ光を照射することを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。 - 前記測定探針は、前記検査対象試料に向けた先端に微小開口が形成されており、
前記レーザ光照射系は、前記測定探針の前記検査対象試料と反対側にレーザ光を照射することで、前記微小開口から前記近接場光を発生させることを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。 - 前記レーザ光照射系は、前記測定探針の前記検査対象試料と反対側にレーザ光を照射することで、前記測定探針に表面プラズモンを発生させ、表面プラズモンを前記検査対象試料に向けた先端側に伝搬させることを特徴とする請求項1記載の走査プローブ顕微鏡。
- 測定探針を溶液中にある検査対象試料に対して相対的に走査し、
レーザ光を前記測定探針に照射し、
前記測定探針と前記検査対象試料との間で近接場光を発生させ、
前記検査対象試料を保持する試料セルを透過した前記近接場光を検出することを特徴とする走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。 - 前記試料セルの表面は曲面で構成されることを特徴とする請求項9記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記試料セルの表面の曲面は、前記測定探針側を曲率中心とすることを特徴とする請求項10記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記近接場光は前記試料セルの側面を透過し、前記試料セルの側面は前記溶液と空気との界面の面積が小さくなる方向に湾曲していることを特徴とする請求項9記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記近接場光は前記試料セルの底面を透過することを特徴とする請求項9に記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記測定探針の前記検査対象試料に向けた先端側にレーザ光を照射することを特徴とする請求項9記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記測定探針の前記検査対象試料と反対側にレーザ光を照射することで、前記測定探針の前記検査対象試料に向けた先端に形成された微小開口から前記近接場光を発生させることを特徴とする請求項9記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
- 前記測定探針の前記検査対象試料と反対側にレーザ光を照射することで、前記測定探針に表面プラズモンを発生させ、表面プラズモンを前記検査対象試料に向けた先端側に伝搬させることを特徴とする請求項9記載の走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019007756A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 株式会社日立製作所 | 近接場走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡用プローブおよび試料観察方法 |
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
JP6014502B2 (ja) * | 2013-01-25 | 2016-10-25 | 株式会社日立製作所 | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 |
US11415597B2 (en) * | 2018-01-22 | 2022-08-16 | Lehigh University | System and method for a non-tapping mode scattering-type scanning near-field optical microscopy |
CN113341180B (zh) * | 2021-05-24 | 2023-07-18 | 西安交通大学 | 一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08129017A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-05-21 | Seiko Instr Inc | 液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡 |
JPH1082790A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-03-31 | Huels Ag | 液体中の試料体での光学走査近接鏡検のための方法及び装置 |
JP2001033464A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Olympus Optical Co Ltd | 近接場光顕微鏡および近接場光顕微鏡用探針 |
JP2011242308A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Gifu Univ | 近接場光プローブ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6469288B1 (en) | 1999-05-17 | 2002-10-22 | Olympus Optcial Co., Ltd. | Near field optical microscope and probe for near field optical microscope |
WO2001006296A1 (en) * | 1999-07-20 | 2001-01-25 | Martin Moskovits | High q-factor micro tuning fork by thin optical fiber for nsom |
JP4437619B2 (ja) | 2001-03-14 | 2010-03-24 | 株式会社リコー | 近接場光用のプローブ及びその作製方法、並びに近接場光学顕微鏡、光メモリの情報記録再生方式 |
IL152675A0 (en) | 2002-11-06 | 2004-08-31 | Integrated simulation fabrication and characterization of micro and nanooptical elements | |
GB0801900D0 (en) * | 2008-02-01 | 2008-03-12 | Imp Innovations Ltd | Scanning probe microscopy |
US20120047610A1 (en) * | 2010-04-09 | 2012-02-23 | Boise State University | Cantilever-based optical interface force microscope |
JP5234056B2 (ja) * | 2010-06-11 | 2013-07-10 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
US8536545B2 (en) * | 2010-09-09 | 2013-09-17 | California Institute Of Technology | Delayed emission detection devices and methods |
JP6014502B2 (ja) * | 2013-01-25 | 2016-10-25 | 株式会社日立製作所 | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08129017A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-05-21 | Seiko Instr Inc | 液中観察機能付き走査型近視野原子間力顕微鏡 |
JPH1082790A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-03-31 | Huels Ag | 液体中の試料体での光学走査近接鏡検のための方法及び装置 |
JP2001033464A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Olympus Optical Co Ltd | 近接場光顕微鏡および近接場光顕微鏡用探針 |
JP2011242308A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Gifu Univ | 近接場光プローブ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019007756A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 株式会社日立製作所 | 近接場走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡用プローブおよび試料観察方法 |
JP7489042B2 (ja) | 2020-08-17 | 2024-05-23 | 慶應義塾 | 赤外測定装置 |
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