JP6014502B2 - 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 - Google Patents
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Description
2・・・試料
3・・・溶液
4・・・試料ホルダ
5、51・・・XY圧電素子ステージ
6・・・カバーガラス
7・・・レーザ光
8・・・カンチレバー
9、10、11・・・測定探針
12、12a・・・近接場光
14、35・・・散乱光
20・・・検出器
25・・・Z圧電素子ステージ
26・・・圧電素子アクチュエータ
60・・・励起レーザ光照射系
70・・・発振器
80・・・ロックインアンプ
90・・・制御部
100・・・ディスプレイ
110・・・光てこ検出系
120・・・散乱光検出系
130・・・信号処理・制御系
Claims (2)
- 溶液中にある検査対象試料上を相対的に走査する測定探針と、
前記測定探針にレーザ光を照射するレーザ光照射系と、
レーザ光の照射により前記測定探針と前記検査対象試料との間で発生した近接場光を透過し、前記検査対象試料を保持する試料セルと、
前記試料セルを透過した近接場光を検出する検出器とを備え、
前記試料セルの側面は曲面で構成され、該側面の曲率は、前記測定探針の先端部を曲率中心とし、
前記検出器は前記試料セルの前記曲面を透過した近接場光を検出し、該曲面は前記試料セルに配置された溶液と空気との界面の面積が小さくなる方向に湾曲していることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。 - 測定探針を溶液中にある検査対象試料に対して相対的に走査し、
レーザ光を前記測定探針に照射し、
前記測定探針と前記検査対象試料との間で近接場光を発生させ、
前記検査対象試料を保持する試料セルを透過した前記近接場光を検出するものであり、
前記試料セルの側面は曲面で構成され、該側面の曲率は、前記測定探針の先端部を曲率中心とし、
前記検出器は前記試料セルの前記曲面を透過した近接場光を検出し、該曲面は前記溶液と空気との界面の面積が小さくなる方向に湾曲していることを特徴とする走査プローブ顕微鏡を用いた試料の観察方法。
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