JP2014142005A - バルブアクチュエータ及びバルブ装置並びにバルブアクチュエータの制御方法 - Google Patents

バルブアクチュエータ及びバルブ装置並びにバルブアクチュエータの制御方法 Download PDF

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Abstract

【課題】バルブシートに対して過度の接触圧をかけることなく弁体を締め切ることが可能なバルブアクチュエータ及びバルブ装置並びにバルブアクチュエータの制御方法を提供する。
【解決手段】駆動源11と、外部の弁体12に駆動源11の駆動力を伝える動力伝達機構13と、弁体12の位置を検出する位置計測手段14とを備えたバルブアクチュエータ10において、動力伝達機構13に生じているトルクを測定するトルク計測手段39と、トルク計測手段39の測定値を基に駆動源11を停止させる制御手段15とが設けられ、制御手段15は、駆動源11に停止信号を送るトリガーとなる、トルク計測手段39の測定値の判定基準値を、位置計測手段14を介して検知する弁体12の位置に応じて切り替える。
【選択図】図1

Description

本発明は、弁体の開閉制御を行うバルブアクチュエータ、及びそのバルブアクチュエータを備えたバルブ装置、並びにバルブアクチュエータの制御方法に関する。
バルブアクチュエータには、定格トルクの値を超えるトルクをトルクリミッタによって検出した際に駆動源を停止し、弁体等が損傷するのを防止するものがあり、その具体例が特許文献1、2に記載されている。これは、弁体の開閉動作が障害物によって妨げられると、バルブアクチュエータに生じているトルクが上昇する特性を利用したものである。
また、閉動作中の弁体がバルブシートに接するとバルブアクチュエータに生じているトルクが上昇するため、定格トルクの値を超えたことをトリガーにして駆動源を停止することで、弁体を締め切った状態(閉状態)で駆動源を停止することもできる。
特開平5−248413号公報 特開2010−121702号公報
しかしながら、弁体がバルブシートに接触圧をかけた状態で、弁体をバルブシートを更に押圧する向きに少しでも移動させると、バルブシートにかかっている接触圧が過大となって、バルブシートを破損し得る。
駆動源の出力は減速機構によって減速されて弁体を駆動するのが一般的で、駆動源に停止信号が送信されてから、実際に弁体が停止するまでは、惰性によって弁体が閉方向に移動することが、本発明の発明者らによって確認されている。
このため、弁体を締め切った状態で生じているトルクの値を事前に計測し、その値を単純にトルクリミッタに設定した場合、弁体が停止した際にバルブシートにかかっている接触圧は、想定した値より大きくなる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、バルブシートに対して過度の接触圧をかけることなく弁体を締め切ることが可能なバルブアクチュエータ及びバルブ装置並びにバルブアクチュエータの制御方法を提供することを目的とする。
前記目的に沿う第1の発明に係るバルブアクチュエータは、駆動源と、外部の弁体に前記駆動源の駆動力を伝える動力伝達機構と、前記弁体の位置を検出する位置計測手段とを備えたバルブアクチュエータにおいて、前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段と、前記トルク計測手段の測定値を基に前記駆動源を停止させる制御手段とが設けられ、前記制御手段は、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記位置計測手段を介して検知する前記弁体の位置に応じて切り替える。
第1の発明に係るバルブアクチュエータにおいて、前記制御手段は、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられたのを検知することによって、前記判定基準値を、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えるのが好ましい。
第1の発明に係るバルブアクチュエータにおいて、前記制御手段は、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記トルク計測手段が測定する弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正するのが好ましい。
第1の発明に係るバルブアクチュエータにおいて、前記動力伝達機構は、該動力伝達機構に生じているトルクが前記第2の値より小さい第3の値以上になることにより移動するシャフトを備え、前記トルク計測手段は、前記シャフトの移動量を計測するポテンショメータを有するのが好ましい。
前記目的に沿う第2の発明に係るバルブ装置は、流路を開閉する弁体と、駆動源と、前記弁体に前記駆動源の駆動力を伝える動力伝達機構と、前記弁体の位置を検出する位置計測手段とを備えたバルブ装置において、前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段と、前記トルク計測手段の測定値を基に前記駆動源を停止させる制御手段とが設けられ、前記制御手段は、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記位置計測手段を介して検知する前記弁体の位置に応じて切り替える。
第2の発明に係るバルブ装置において、前記制御手段は、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられたのを検知することによって、前記判定基準値を、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えるのが好ましい。
第2の発明に係るバルブ装置において、前記制御手段は、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記トルク計測手段が測定する弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正するのが好ましい。
前記目的に沿う第3の発明に係るバルブアクチュエータの制御方法は、駆動源の駆動力を動力伝達機構を介して与え弁体を開閉するバルブアクチュエータの制御方法において、前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段を設け、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記弁体の位置に応じて切り替える。
第3の発明に係るバルブアクチュエータの制御方法において、前記判定基準値を、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられた際に、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えるのが好ましい。
第3の発明に係るバルブアクチュエータの制御方法において、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記動力伝達機構に生じていたトルクの弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正するのが好ましい。
第1の発明に係るバルブアクチュエータ、及び、第2の発明に係るバルブ装置、並びに、第3の発明に係るバルブアクチュエータの制御方法は、駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、トルク計測手段の測定値の判定基準値を、弁体の位置に応じて切り替える。従って、弁体がバルブシートに接触し得る位置にある状態と、弁体がバルブシートに接触し得ない位置にある状態で、駆動源を停止するためのトルク値を変えることができる。このため、弁体が障害物により開閉動作を妨げられて損傷するのを防止する制御と、バルブシートに過度な接触圧をかけることなく弁体を締め切る制御とを、弁体の位置に応じて行うことが可能である。
本発明の一実施の形態に係るバルブアクチュエータの説明図である。 同バルブアクチュエータの平断面図である。 (A)、(B)はそれぞれ、同バルブアクチュエータを備えたバルブ装置の説明図及びその変形例の説明図である。 同バルブアクチュエータの制御方法を示すフロー図である。 同バルブアクチュエータの制御方法を示すフロー図である。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図1、図2に示すように、本発明の一実施の形態に係るバルブアクチュエータ10は、駆動源11と、外部の弁体12に駆動源11の駆動力を伝える動力伝達機構13と、弁体12の位置を検出する位置計測手段14と、動力伝達機構13に生じているトルクを基に駆動源11を停止させる制御手段15とを備えている。
バルブアクチュエータ10は、図1、図2に示すように、駆動源11と、駆動源11から駆動力を与えられて回転する出力軸16とを有する電動モータ17を備えている。
駆動源11は、外部から電力が供給され、駆動することによって出力軸16を回転し、出力軸16に固定されているギア18及びギア18に噛み合っているギア19を介して、ギア19が固定されたシャフト20に回転力を与え回転させる。シャフト20は、軸受け21、22、22aによって回転自在に支持された状態で水平に保たれている。
シャフト20にはウォーム23が装着され、ウォーム23には、図2に示すように、スリーブ24に固定されたウォームホイール25が噛み合っている。
軸受けハウジング26によって回転自在に支持されて鉛直に保たれたスリーブ24は、雌ねじ構造を備え、この雌ねじ構造には、鉛直に配置された雄ねじであるスピンドル28が噛み合っている。スピンドル28は、駆動源11の駆動によりシャフト20と共にスリーブ24が回転するのに伴って、昇降する。
バルブアクチュエータ10は、図3(A)に示すように、スピンドル28の下端に取り付けられた板状の弁体12と弁体12を昇降自在に支持する枠体30と共に用いられる。そして、主として、バルブアクチュエータ10、流路の開閉を行う弁体12及び枠体30によって、ゲート式のバルブ装置31が構成されている。
バルブアクチュエータ10は、弁体12を降下させて弁体12の下端部を枠体30に取り付けられたバルブシート32に当接させることで流路を閉じ、弁体12を上昇させて弁体12の下端部をバルブシート32から離すことで流路を開く。
ここで、動力伝達機構13は、図1、図2に示すように、主として、出力軸16、ギア18、19、シャフト20、ウォーム23、スリーブ24、ウォームホイール25、スピンドル28によって構成されている。駆動源11の駆動力は、動力伝達機構13を介して弁体12に与えられ、弁体12を昇降させる。
また、バルブアクチュエータ10は、図2に示すように、シャフト20が挿通するハウジング33を備え、ハウジング33は、シャフト20に対して力を作用させる皿ばね34を内包している。皿ばね34は、一側にギア19が取り付けられたシャフト20のギア19から離れた位置に設けられ、シャフト20の軸方向でギア19のある向きの力をシャフト20に対して作用させている。本実施の形態では、軸受け22aが固定されているのに対し、軸受け22はシャフト20と共に移動するように設計されており、皿ばね34は軸受け22を介してシャフト20に力を作用させている。
なお、皿ばね34の代わりに、皿ばねではない弾性体を採用することもでき、例えばコイルばねを用いても良い。
シャフト20は、シャフト20に生じているトルクが所定値(第3の値)以上になると、皿ばね34の力に反して、皿ばね34を収縮させる向きに移動する。このシャフト20が移動する現象は、駆動源11の作動により力を与えられている弁体12が障害物によって動作を妨げられることにより、あるいは、駆動源11の作動により弁体12がバルブシート32に接触圧を加えることにより起こる。
シャフト20には、スライド軸35を介してポテンショメータ36が連結されている。スライド軸35は、シャフト20がシャフト20の軸方向に移動するのに伴ってシャフト20と一体的に移動する態様でシャフト20に連結されている。支持部材37によって支持されたポテンショメータ36は、スライド軸35の移動量からシャフト20の移動量を計測し、その計測値を出力することができる。
ポテンショメータ36は、図1に示すように、制御手段15に接続された演算器38に接続され、演算器38は、ポテンショメータ36から出力されるスライド軸35の移動量の計測値を基に、シャフト20に生じているトルクを算出する。
本実施の形態では、主として、スライド軸35、ポテンショメータ36及び演算器38によって、シャフト20に生じているトルクを測定するトルク計測手段39が構成されている。ポテンショメータ36は、連続的にスライド軸35の移動量を検出できるので、トルク計測手段39は、シャフト20に生じているトルクを正確に計測可能である。
なお、トルク計測手段39の代わりに、動力伝達機構13のシャフト20以外の部材に生じているトルクを測定するトルク計測手段を用いてもよく、更に、シャフト20の移動により回転する軸とその軸の回転角度からシャフト20の移動量を計測するポテンショメータによってトルク計測手段を構成することもできる。また、制御手段15及び演算器38はそれぞれ、マイクロコンピュータによって構成可能である。
制御手段15は、トルク計測手段39が測定するシャフト20のトルクが所定の値を超えるのをトリガーにして、駆動源11に停止信号を送り、動力伝達機構13、弁体12及びスピンドル28等に大きな力が作用して不具合が生じるのを防止している。
ここで、制御手段15が駆動源11に停止信号を送るトリガーとなるトルク計測手段39の測定値を判定基準値とすると、制御手段15は、閉動作中の弁体12の位置に応じて2つの異なる判定基準値を使い分け、駆動源11に停止信号を送るタイミングを決定する。
また、バルブアクチュエータ10は、図1、図2に示すように、シャフト20の回転角度を測定し、その測定値から弁体12の位置を検出する位置計測手段14が設けられている。位置計測手段14は、図1に示すように、ウォームホイール25の回転に伴って回転するギア40、ギア40と一体的に回転する回転軸41、回転軸41の回転角度を計測するエンコーダ42、及びエンコーダ42の計測値を基に弁体12の位置を算出する演算器43から構成することができる。
制御手段15は、演算器43に接続され、位置計測手段14を介して弁体12の位置を検知可能に設計されている。
弁体12の位置をパーセンテージで示し、締め切った状態(閉状態)の弁体12の位置を0%、全開にした状態の弁体12の位置を100%とすると、弁体12が閉動作を行っている際、制御手段15は、弁体12の位置が1%を超え100%以下の範囲では、判定基準値として第1の値を採用し、弁体12の位置が0%以上1%以下の範囲では、判定基準値として第1の値より小さい第2の値を採用する。従って、弁体12が閉動作を行っている間、制御手段15が駆動源11に停止信号を送るトリガーとなるシャフト20のトルク値は、弁体12の位置によって異なることになる。
なお、例えば、第1の値は80〜120Nmの範囲の値で、第2の値は20〜60Nmの範囲の値であり、シャフト20が移動する第3の値は第2の値より小さい10〜20Nmの範囲の値である。また、本実施の形態では、判定基準値を切り替える弁体12の位置を1%にしているが、これに限定されず、例えば、0.5〜5%の範囲の位置にすることができる。
以下、弁体12の閉動作を行う際のバルブアクチュエータ10の制御方法について詳細に説明する。
図4に示すように、駆動源11の作動により弁体12の閉動作が開始する(ステップS1)と、制御手段15は、位置計測手段14を介して弁体12の位置を検出し(ステップS2)、検出した弁体12の位置が1%以下か否かを判定する(ステップS3)。
そして、制御手段15は、弁体12の位置が1%を超える場合、判定基準値に第1の値を設定し(ステップS4)、弁体12の位置が1%以下の場合、判定基準値に第2の値を設定する(ステップS4’)。
判定基準値に第1の値が設定された場合、制御手段15は、トルク計測手段39からシャフト20のトルクの測定値を取得し、その測定値と第1の値を比較する(ステップS5)。そして、トルク計測手段39から取得した測定値が第1の値を超えるか否かが、制御手段15によって判定され(ステップS6)、その測定値が第1の値を超える場合は、制御手段15から駆動源11に停止信号が送信され、駆動源11は停止する(ステップS7)。
ステップS6において、トルク計測手段39から取得した測定値が第1の値を超える原因としては、障害物により弁体12の閉動作や、動力伝達機構13の動作が妨げられていることが考えられる。
制御手段15は、トルク計測手段39から取得した測定値が第1の値を超えない(即ち、測定値が第1の値以下である)とステップS6において判定した場合、位置計測手段14を介して弁体12の位置を検出し(ステップS8)、検出した弁体12の位置が1%以下か否かを判定する(ステップS9)。
そして、ステップS9で、弁体12の位置が1%以下でない(即ち、弁体12の位置が1%を超える)と判定された場合、ステップS5に戻る。
一方、ステップS9で、弁体12の位置が1%以下であると判定された場合、制御手段15は、図5に示すように、判定基準値を第1の値から第2の値に切り替え、判定基準値として第2の値を設定する(ステップS10)。このため、弁体12が予め定められた位置まで閉じられた際に、判定基準値は切り換えられることになる。
ステップS10の後、制御手段15は、トルク計測手段39からシャフト20のトルクの測定値を取得し、その測定値と第2の値を比較する(ステップS11)。
次に、制御手段15は、トルク計測手段39から取得した測定値が第2の値を超えるか否かを判定し(ステップS12)、その測定値が第2の値を超えない(即ち、測定値が第2の値以下である)場合、ステップS11に戻る。
一方、制御手段15は、トルク計測手段39から取得した測定値が第2の値を超える場合、駆動源11に停止信号を送信して駆動源11を停止させる(ステップS13)。
このようにして、制御手段15は、弁体12が閉動作中、判定基準値を、弁体12の位置に応じて切り替え、駆動源11に対して停止信号を送るタイミングを決定している。
トルク計測手段39から取得した測定値が第2の値を超えるのは、弁体12がバルブシート32に当接していることを意味する。これは、閉動作中の弁体12がバルブシート32に当接しバルブシート32に力を与えることにより、作用、反作用の法則によって、弁体12には、バルブシート32から弁体12を開く向きの力が与えられるためである。
そして、駆動源11に停止信号を送信した制御手段15は、弁体12の停止を検出した(ステップS14)後、弁体12が停止した状態でトルク計測手段39によって測定されたシャフト20に生じているトルクの測定値を、トルク計測手段39から取得する(ステップS15)。
ステップS15において、制御手段15は、トルク計測手段39の測定値、又は、位置計測手段14の測定値が所定時間、変化していないのを検知することによって、弁体12が閉状態(締め切った状態)となって停止したことを検出できる。
駆動源11は、ギア18、19からなる減速機構や、図示しない他の減速機構を介して弁体12に連結されていることもあり、弁体12は、駆動源11に停止信号が送信されてから、惰性によりバルブシート32により大きな負荷を与える方向に動いた後に停止する。
従って、弁体12がバルブシート32を押圧する力は、駆動源11が作動を停止してから弁体12が実際に停止するまで増加する。
また、制御手段15には、締め切り位置で停止した弁体12がバルブシート32を押圧する力の目標値が予め設定されている。この目標値は、種々の実験により決定され、バルブシート32が弁体12からの押圧によって破損せず、かつ、弁体12によって流路を完全に閉じることができる値である。
制御手段15は、ステップS15で得たトルク計測手段39の測定値(以下、「弁締め切り値」ともいう)と予め定められた目標値を比較し、弁締め切り値と目標値の大小関係に応じて第2の値を補正し、第2の値の更新を行う(ステップS16)。
具体的には、弁締め切り値が目標値より大きい際に第2の値を既存の値より小さい値に補正し、弁締め切り値が目標値より小さい際に第2の値を既存の値より大きい値に補正する。
このような補正を行うことによって、閉動作を行った弁体12が停止した際の弁締め切り値は目標値に近づき、バルブシート32の破損や、バルブシート32の過度な摩耗を確実に防止することができる。
なお、弁締め切り値が目標値と等しい場合は、第2の値を補正せず、次回の弁体12の閉動作時に既存の値を用いる。
弁体12によるバルブシート32の押圧を繰り返すことで、バルブシート32は摩耗したり、変形したりする。このため、第2の値を固定値にする場合、停止した弁体12がバルブシート32から受ける力は、弁体12の閉動作の繰り返しによって変化する。従って、第2の値を調整し、弁締め切り値を目標値に近づけることは、バルブシート32の破損や過度の摩耗を防いだ上で、弁体12により流路を確実に閉じる点において有効である。
また、ステップS3において弁体12の位置が1%以下と判定され、ステップS4’で判定基準値に第2の値を設定した場合、図4、図5に示すように、制御手段15は、ステップS11からステップS16の工程を行う。
そして、制御手段15は、弁体12を開く際に、判定基準値を第1の値で固定して、駆動源11に停止信号を送信するタイミングを決定する。
なお、バルブアクチュエータ10は、図2、図3(A)に示すように、接続部材45を介してシャフト20に連結可能なハンドル46を備え、駆動源11が停止している状態でも、弁体12の作動が手動で行える設計が採用されている。本実施の形態では、ハンドル46に対し、ハンドル46を接続部材45に連結する向きの力を作用させる皿ばね47が設けられ、ハンドル46は、この皿ばね47からの力により、接続部材45に連結される。
バルブアクチュエータ10が、図3(A)に示すように、ゲート式のバルブ装置31に用いられるのに対し、バルブアクチュエータ10の変形例であるバルブアクチュエータ50は、図3(B)に示すように、バタフライ式のバルブ装置51に用いられる。
バルブアクチュエータ50は、主に、スリーブとスピンドルの連結と位置計測手段の構成とがバルブアクチュエータ10と異なっている。
以下、バルブアクチュエータ50について、バルブアクチュエータ10と異なる構成を中心に説明する。
バルブアクチュエータ50は、軸受けハウジング26によって回転自在に支持されたスリーブ52とそのスリーブ52にキー連結されたスピンドル53を備えている。
スピンドル53は、駆動源11の駆動によってスリーブ52と一体的に回転する。
バルブ装置51は、主として、バルブアクチュエータ50と、スピンドル53に固定され、スピンドル53と一体的に回転する板状で円形の弁体54と、弁体54を回転可能に支持する枠体55とによって構成されている。
枠体55の内側には、締め切り位置に配置された弁体54が当接するバルブシート56が取り付けられ、バルブシート56に弁体54を押し付けることで流路を確実に密閉する設計がなされている。
バルブアクチュエータ50の図示しない位置計測手段は、弁体54の回転位置を検出する構造を備え、弁体54がバルブシート56に当接している位置を0度、全開状態の弁体54の位置を90度として、弁体54の位置を角度値で出力する。バルブアクチュエータ50の図示しない制御手段は、弁体54が閉動作中に、位置計測手段から出力された弁体54の位置が1度になったタイミングで、判定基準値を第1の値から第2の値に切り替える。なお、判定基準値を第1の値から第2の値に切り替える弁体54の位置は、1度に限定されず、例えば、0.5〜3度の範囲であってもよい。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、第2の値は補正することなく同じ値で維持してもよく、この場合、第2の値を補正する場合よりも短期間でバルブシートを取り替えることで、弁体を確実に締め切った上で、バルブシートの損傷を防止することができる。
10:バルブアクチュエータ、11:駆動源、12:弁体、13:動力伝達機構、14:位置計測手段、15:制御手段、16:出力軸、17:電動モータ、18、19:ギア、20:シャフト、21、22、22a:軸受け、23:ウォーム、24:スリーブ、25:ウォームホイール、26:軸受けハウジング、28:スピンドル、30:枠体、31:バルブ装置、32:バルブシート、33:ハウジング、34:皿ばね、35:スライド軸、36:ポテンショメータ、37:支持部材、38:演算器、39:トルク計測手段、40:ギア、41:回転軸、42:エンコーダ、43:演算器、45:接続部材、46:ハンドル、47:皿ばね、50:バルブアクチュエータ、51:バルブ装置、52:スリーブ、53:スピンドル、54:弁体、55:枠体、56:バルブシート

Claims (10)

  1. 駆動源と、外部の弁体に前記駆動源の駆動力を伝える動力伝達機構と、前記弁体の位置を検出する位置計測手段とを備えたバルブアクチュエータにおいて、
    前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段と、前記トルク計測手段の測定値を基に前記駆動源を停止させる制御手段とが設けられ、前記制御手段は、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記位置計測手段を介して検知する前記弁体の位置に応じて切り替えることを特徴とするバルブアクチュエータ。
  2. 請求項1記載のバルブアクチュエータにおいて、前記制御手段は、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられたのを検知することによって、前記判定基準値を、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えることを特徴とするバルブアクチュエータ。
  3. 請求項2記載のバルブアクチュエータにおいて、前記制御手段は、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記トルク計測手段が測定する弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正することを特徴とするバルブアクチュエータ。
  4. 請求項2又は3記載のバルブアクチュエータにおいて、前記動力伝達機構は、該動力伝達機構に生じているトルクが前記第2の値より小さい第3の値以上になることにより移動するシャフトを備え、前記トルク計測手段は、前記シャフトの移動量を計測するポテンショメータを有することを特徴とするバルブアクチュエータ。
  5. 流路を開閉する弁体と、駆動源と、前記弁体に前記駆動源の駆動力を伝える動力伝達機構と、前記弁体の位置を検出する位置計測手段とを備えたバルブ装置において、
    前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段と、前記トルク計測手段の測定値を基に前記駆動源を停止させる制御手段とが設けられ、前記制御手段は、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記位置計測手段を介して検知する前記弁体の位置に応じて切り替えることを特徴とするバルブ装置。
  6. 請求項5記載のバルブ装置において、前記制御手段は、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられたのを検知することによって、前記判定基準値を、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えることを特徴とするバルブ装置。
  7. 請求項6記載のバルブ装置において、前記制御手段は、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記トルク計測手段が測定する弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正することを特徴とするバルブ装置。
  8. 駆動源の駆動力を動力伝達機構を介して与え弁体を開閉するバルブアクチュエータの制御方法において、
    前記動力伝達機構に生じているトルクを測定するトルク計測手段を設け、前記駆動源に停止信号を送るトリガーとなる、前記トルク計測手段の測定値の判定基準値を、前記弁体の位置に応じて切り替えることを特徴とするバルブアクチュエータの制御方法。
  9. 請求項8記載のバルブアクチュエータの制御方法において、前記判定基準値を、前記弁体が予め定められた位置まで閉じられた際に、第1の値から該第1の値より小さい第2の値に切り替えることを特徴とするバルブアクチュエータの制御方法。
  10. 請求項9記載のバルブアクチュエータの制御方法において、前記弁体が閉状態となって停止した際に前記動力伝達機構に生じていたトルクの弁締め切り値が、目標値より大きい際に前記第2の値を既存の値より小さい値に補正し、前記弁締め切り値が前記目標値より小さい際に前記第2の値を既存の値より大きい値に補正することを特徴とするバルブアクチュエータの制御方法。
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