JP2014139963A - ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のガラス基板31は、光吸収層形成工程及び貫通孔形成工程を経て製造される。光吸収層形成工程では、ガラス基板31の少なくとも基板裏面33上に光吸収層61を形成する。なお、特定波長における反射率、または、特定波長における光透過率を基準としたとき、光吸収層61のレーザー光の吸収量はガラス基板31のレーザー光の吸収量よりも大きくなる。貫通孔形成工程では、ガラス基板31に対してレーザーを照射し、基板主面32及び基板裏面33にて開口する貫通孔35を形成する。また、レーザーを光吸収層61に吸収させ、貫通孔35を、基板主面32側及び基板裏面33側のそれぞれに向かうに従って徐々に内径が大きくなるテーパ状をなすように形成する。
【選択図】図6
Description
32…基板主面
33…基板裏面
35…貫通孔
36…ビア導体としてのフィルドビア導体
61…光吸収層としての樹脂シート
D1…貫通孔の基板主面側開口における内径
D2…貫通孔の基板裏面側開口における内径
L1…レーザー
Claims (6)
- 基板主面及び基板裏面を有するガラス基板を準備するガラス基板準備工程と、
前記ガラス基板準備工程後、前記ガラス基板に対してレーザーを照射することにより、前記基板主面及び前記基板裏面にて開口する貫通孔を形成する貫通孔形成工程と
を含むガラス基板の製造方法において、
前記ガラス基板準備工程後かつ前記貫通孔形成工程前に、少なくとも前記基板裏面上に光吸収層を形成する光吸収層形成工程を行い、
特定波長における反射率、または、前記特定波長における光透過率を基準としたとき、前記光吸収層のレーザー光の吸収量が前記ガラス基板のレーザー光の吸収量よりも大きくなるように設定され、
前記貫通孔形成工程では、前記基板主面に向けて前記レーザーを照射して前記光吸収層に吸収させることにより、前記貫通孔を、前記基板主面側及び前記基板裏面側のそれぞれに向かうに従って徐々に内径が大きくなるテーパ状をなすように形成する
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記レーザーはUV−YAGレーザーであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記光吸収層は、粘着層を有する樹脂シートであり、
前記貫通孔形成工程後に、前記樹脂シートを剥離する剥離工程を行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記樹脂シートはポリイミド樹脂からなることを特徴とする請求項3に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記剥離工程後、めっきによって前記貫通孔内にビア導体を形成するビア導体形成工程を行い、
前記ビア導体の前記基板主面側及び前記基板裏面側の端面に生じうる凹み部の深さは10μm未満である
ことを特徴とする請求項3または4に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記貫通孔は、前記基板主面側開口における内径と前記基板裏面側開口における内径との差が5μm以下に設定されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013008061A JP2014139963A (ja) | 2013-01-21 | 2013-01-21 | ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2014139963A true JP2014139963A (ja) | 2014-07-31 |
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Family Applications (1)
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JP2013008061A Pending JP2014139963A (ja) | 2013-01-21 | 2013-01-21 | ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2014139963A (ja) |
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