JP2014135399A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体記憶装置は,第1導電型トランジスタと第2導電型トランジスタを有する複数のメモリセルを配置したメモリセルアレイと,メモリセルと同じ行方向間隔で配置される複数の列側周辺回路と,前記第2導電型トランジスタが形成される第1導電型ウエル領域と,第1導電型ウエル領域内に,行方向に分割して配置され,前記第1導電型トランジスタが形成される第2導電型ウエル領域と,行方向に延びて配置される第2導電型ウエルコンタクト領域と,列方向に延びて配置される第1導電型ウエルコンタクト領域と,複数の列側周辺回路間の列側周辺コンタクト領域と,第1導電型ウエルコンタクト領域内の第1導電型バックゲート電圧配線と,第2導電型ウエルコンタクト領域内の第2導電型バックゲート電圧配線を有する。
【選択図】図7
Description
前記メモリセルと同じ行方向間隔で配置され,列方向に配置される列方向メモリセル群に対応して配置される複数の列側周辺回路と,
前記メモリセルアレイ内に形成され,前記複数のメモリセルの前記第2導電型トランジスタが形成される第1導電型ウエル領域と,
前記第1導電型ウエル領域内に形成され,行方向に分割して配置され,前記複数のメモリセルの前記第1導電型トランジスタが形成される第2導電型ウエル領域と,
前記複数のメモリセルの間に行方向に延びて配置され,前記複数の第2導電型ウエル領域に設けられる第2導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数のメモリセルの間に列方向に延びて配置され,前記第1導電型ウエル領域に設けられる第1導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数の列側周辺回路の間に配置され,前記第1導電型ウエルコンタクト領域に対応する位置に配置され,前記第1導電型ウエル領域および前記第2導電型ウエル領域に設けられる列側周辺コンタクト領域と,
前記第1導電型ウエルコンタクト領域内の前記第1導電型ウエル領域と接続される第1導電型バックゲート電圧配線と,
前記第2導電型ウエルコンタクト領域内の前記第2導電型ウエル領域と接続される第2導電型バックゲート電圧配線とを有する。
次に,メモリマクロ内のバックゲート電圧配線の2つの例を説明する。SRAMは高速アクセスが特徴である。そして,システムLSIは,複数個のSRAMのメモリマクロを内部に有する。ただし,メモリのデータ容量はメモリマクロを必要とする回路の機能に応じて異なる。大きなデータ容量が必要なメモリマクロは,多くのメモリセルを有する。逆に,小さなデータ容量でよいメモリマクロは,メモリセルの数が少ない。
次に,上記の2つの例に比較してより面積効率を高めた,本実施の形態におけるメモリマクロのバックゲート電圧配線とそのウエルコンタクト領域のレイアウトについて説明する。
第1導電型トランジスタと第2導電型トランジスタとをそれぞれ有する複数のメモリセルを配置したメモリセルアレイと,
前記メモリセルと同じ行方向間隔で配置され,列方向に配置される列方向メモリセル群に対応して配置される複数の列側周辺回路と,
前記メモリセルアレイ内に形成され,前記複数のメモリセルの前記第2導電型トランジスタが形成される第1導電型ウエル領域と,
前記第1導電型ウエル領域内に形成され,行方向に分割して配置され,前記複数のメモリセルの前記第1導電型トランジスタが形成される第2導電型ウエル領域と,
前記複数のメモリセルの間に行方向に延びて配置され,前記複数の第2導電型ウエル領域に設けられる第2導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数のメモリセルの間に列方向に延びて配置され,前記第1導電型ウエル領域に設けられる第1導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数の列側周辺回路の間に配置され,前記第1導電型ウエルコンタクト領域に対応する位置に配置され,前記第1導電型ウエル領域および前記第2導電型ウエル領域に設けられる列側周辺コンタクト領域と,
前記第1導電型ウエルコンタクト領域内の前記第1導電型ウエル領域と接続される第1導電型バックゲート電圧配線と,
前記第2導電型ウエルコンタクト領域内の前記第2導電型ウエル領域と接続される第2導電型バックゲート電圧配線とを有する半導体記憶装置。
付記1において,
前記第1導電型バックゲート電圧配線は,前記第1導電型ウエルコンタクト領域に沿って延びるよう配置され,前記列側周辺コンタクト領域内の前記第1導電型ウエル領域と接続され,
前記第2導電型バックゲート電圧配線は,前記第2導電型ウエルコンタクト領域に沿って延びるよう配置される半導体記憶装置。
付記2において,
さらに,前記列側周辺コンタクト領域内の前記第2導電型ウエル領域と接続される第2導電型列側周辺バックゲート電圧配線を有する半導体記憶装置。
付記1または2において,
前記第1導電型ウエルコンタクト領域は,列方向に配置された複数の第1のダミーセル領域を有し,
前記第1のダミーセル領域は,前記メモリセルと同じ列方向の間隔で配置され,前記メモリセル内の少なくとも一部のトランジスタを有する半導体記憶装置。
付記4において,
前記第2導電型ウエルコンタクト領域は,前記行方向に配置された複数の第2のダミーセル領域を有し,
前記第2のダミーセル領域は,前記メモリセルと同じ行方向の間隔で配置され,前記メモリセル内の少なくとも一部のトランジスタを有する半導体記憶装置。
付記1乃至5のいずれかにおいて,
前記メモリセル内の前記第1導電型トランジスタのソース領域は第1の電源電圧が供給される第1電源配線に接続され,前記第2導電型トランジスタのソース領域は前記第1電源電圧よりも高い第2電源電圧が供給される第2電源配線に接続され,
前記第1導電型バックゲート電圧配線は,前記第2電源電圧より高い電位を有し,
前記第2導電型バックゲート電圧配線は,前記第1電源電圧より低い電位を有する半導体記憶装置。
付記5において,
前記メモリセルアレイは,前記行方向に延びる複数のワード線と,前記行方向に延びる複数のビット線対とを有し,
前記メモリセルは,入力と出力とが交差接続され前記電源配線とグランド配線との間に配置された1対のCMOSインバータと,前記1対のCMOSインバータの出力端子と前記ビット線対との間にそれぞれ設けられ,前記ワード線により導通,非導通を制御される1対の第1導電型トランジスタのトランスミッショントランジスタとを有する半導体記憶装置。
付記7において,
前記列方向メモリセル群とそれに対応する列側周辺回路との間に前記ビット線対が直線状に配置されている半導体記憶装置。
付記1乃至5のいずれかにおいて,
前記第1導電型ウエル領域は,前記第2導電型ウエル領域より深く形成され,前記第2導電型ウエル領域の間に配置された前記第1導電型ウエル領域はつながっている半導体記憶装置。
P-well:P型ウエル領域
MCA:メモリセルアレイ
MC:メモリセル
Vbp:P型バックゲート電圧配線
Vbn:N型バックゲート電圧配線
10:P型ウエルコンタクト領域
11:N型ウエルコンタクト領域
C-cir:列側周辺回路
16:ウエルコンタクト領域
Claims (6)
- 第1導電型トランジスタと第2導電型トランジスタとをそれぞれ有する複数のメモリセルを配置したメモリセルアレイと,
前記メモリセルと同じ行方向間隔で配置され,列方向に配置される列方向メモリセル群に対応して配置される複数の列側周辺回路と,
前記メモリセルアレイ内に形成され,前記複数のメモリセルの前記第2導電型トランジスタが形成される第1導電型ウエル領域と,
前記第1導電型ウエル領域内に形成され,行方向に分割して配置され,前記複数のメモリセルの前記第1導電型トランジスタが形成される第2導電型ウエル領域と,
前記複数のメモリセルの間に行方向に延びて配置され,前記複数の第2導電型ウエル領域に設けられる第2導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数のメモリセルの間に列方向に延びて配置され,前記第1導電型ウエル領域に設けられる第1導電型ウエルコンタクト領域と,
前記複数の列側周辺回路の間に配置され,前記第1導電型ウエルコンタクト領域に対応する位置に配置され,前記第1導電型ウエル領域および前記第2導電型ウエル領域に設けられる列側周辺コンタクト領域と,
前記第1導電型ウエルコンタクト領域内の前記第1導電型ウエル領域と接続される第1導電型バックゲート電圧配線と,
前記第2導電型ウエルコンタクト領域内の前記第2導電型ウエル領域と接続される第2導電型バックゲート電圧配線とを有する半導体記憶装置。 - 請求項1において,
前記第1導電型バックゲート電圧配線は,前記第1導電型ウエルコンタクト領域に沿って延びるよう配置され,前記列側周辺コンタクト領域内の前記第1導電型ウエル領域と接続され,
前記第2導電型バックゲート電圧配線は,前記第2導電型ウエルコンタクト領域に沿って延びるよう配置される半導体記憶装置。 - 請求項2において,
さらに,前記列側周辺コンタクト領域内の前記第2導電型ウエル領域と接続される第2導電型列側周辺バックゲート電圧配線を有する半導体記憶装置。 - 請求項1または2において,
前記第1導電型ウエルコンタクト領域は,列方向に配置された複数の第1のダミーセル領域を有し,
前記第1のダミーセル領域は,前記メモリセルと同じ列方向の間隔で配置され,前記メモリセル内の少なくとも一部のトランジスタを有する半導体記憶装置。 - 請求項4において,
前記第2導電型ウエルコンタクト領域は,前記行方向に配置された複数の第2のダミーセル領域を有し,
前記第2のダミーセル領域は,前記メモリセルと同じ行方向の間隔で配置され,前記メモリセル内の少なくとも一部のトランジスタを有する半導体記憶装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において,
前記メモリセル内の前記第1導電型トランジスタのソース領域は第1の電源電圧が供給される第1電源配線に接続され,前記第2導電型トランジスタのソース領域は前記第1電源電圧よりも高い第2電源電圧が供給される第2電源配線に接続され,
前記第1導電型バックゲート電圧配線は,前記第2電源電圧より高い電位を有し,
前記第2導電型バックゲート電圧配線は,前記第1電源電圧より低い電位を有する半導体記憶装置。
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160830 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170509 |