JP2014126422A - 2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニットおよび2芯コンタクトプローブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化して2芯平行電線(1e)とし、複数の2芯平行電線(1e)を先端部研磨用治具(E)で保持して先端部に傾斜面(4a,4b)を形成すると共に基端部研磨用治具(G)で保持して基端部に傾斜面(5a,5b)を形成する。
【効果】向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で先端部の傾斜面(4a,4b)および基端部の傾斜面(5a,5b)を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
【選択図】図1
Description
また、検査対象面との接触を確実にするために検査対象面にコンタクトピンを押圧したときのコンタクトピンの撓み方向を決める為に、コンタクトピンをやや斜めに保持するようにした検査治具が知られている(例えば、特許文献3参照。)。
しかし、各コンタクトピンが極めて細い(例えば直径約110μm)場合、各コンタクトピンの先端部の各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。
しかし、各電線が極めて細い(例えば直径約110μm)場合、各電線の基端部の各傾斜面がそれらの頂部を最離隔する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。
上記第1の観点による2芯コンタクトプローブ(11)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a,5b)の各法線(Na,Nb)が平行である向きにそれぞれ向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の傾斜面の頂点が測定器側電極に点接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
上記第2の観点による2芯コンタクトプローブ(12)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a’,5b’)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a',5b')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面(9a,9b)とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。
上記第3の観点による2芯コンタクトプローブ(13)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a',5b')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面(4a,4b)および基端部の傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の2つの傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
上記第4の観点による2芯コンタクトプローブ(16)では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差(8)を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。
上記第5の観点による2芯コンタクトプローブ(17)では、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。
上記第6の観点による2芯コンタクトプローブ・ユニット(30)では、複数本の2芯コンタクトプローブを、各傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”)の方向を揃えて且つ平行に保持しているため、隣接する2芯コンタクトプローブの撓む方向が同方向となり、隣接する2芯コンタクトプローブが互いに近づくような方向に撓まないため、従来のようにコンタクトプローブに傾斜をつけて配置しなくとも、隣接する2芯コンタクトプローブが近接して接触することを回避できる。
上記第7の観点による2芯コンタクトプローブ(14)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a1,5b1)および傾斜面(5a2,5b2)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1,5b1)の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の2つの傾斜面(5a1,5a2)および(5b1,5b2)が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
上記第8の観点による2芯コンタクトプローブ(15)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1',5b1')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。
上記第9の観点による2芯コンタクトプローブ(16)では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差(8)を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。
上記第10の観点による2芯コンタクトプローブ(17)では、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。
上記第11の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化し、その後で先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成するから、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化できる。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第1の観点から第10の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
なお、先端部研磨工程と基端部研磨工程とは、どちらを先に行ってもよい。
上記第12の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第4の観点および第9の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
上記第13の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第5の観点および第10の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
上記構成において、軸線(Ax,Bx)を回転軸とする凸型回転面(7a,7b)とは、軸線(Ax,Bx)上に第1端を有し、その第1端よりも先端側で且つ軸線(Ax,Bx)外に第2端を有する直線または曲線を軸線(Ax,Bx)の周りに回転させて形成される面であり、例えば円錐面,截頭円錐面,半球面,截頭半球面などである。
上記第14の観点による2芯コンタクトプローブ(18)では、第1コンタクトピンとなる第1電線の基端部に凸型回転面(7a)を形成し、それとは別に第2コンタクトピンとなる第2電線の基端部にも凸回転面(7b)を形成し、第1電線と第2電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面を形成できる。ここで、第1電線と第2電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面(7a,7b)なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
上記第15の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、第1電線の基端部に凸型回転面(7a)を形成し、それとは別に第2電線の基端部にも凸回転面(7b)を形成し、第1電線と第2電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面(4a、4b)を形成する。ここで、第1電線と第2電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面(7a,7b)なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第14の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
図1の(a)は、実施例1に係る2芯コンタクトプローブ11を示す左側面図である。図1の(b)は同正面図である。図1の(c)は右同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ11は、第1コンタクトピン11aと第2コンタクトピン11bとを平行に且つ被覆3を介して一体化したものである。
各コンタクトピン11a,11bの各先端部には、各コンタクトピン11a,11bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面4a,4bがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン11a,11bの各基端部には、各コンタクトピン11a,11bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面5a,5bが同じ向きにそれぞれ形成されている。
コンタクトピン11a,11bは、それぞれ被覆2a,2bを有している。
平面Paは、両軸線Ax,Bxを含む平面Pに対して直交し且つ軸線Axを含む平面である。傾斜面5aの法線Naは平面Paに平行である。
平面Pbは、両軸線Ax,Bxを含む平面Pに対して直交し且つ軸線Bxを含む平面である。傾斜面5bの法線Nbは平面Pbに平行である。
図3〜図7が2芯平行電線製作工程であり、図8〜図10が先端部研磨工程であり、図11〜図13が基端部研磨工程である。
次に図4に示すように、導線1bを被覆焼付装置Bに通して例えば厚さ約10μmのポリエステル被覆のような被覆2を形成した被覆導線1cとし、これをロールRbに巻き取る。
次に図5に示すように、2本の被覆導線1cを所定間隔に並べて被覆焼付装置Cに通して例えば厚さ約5μmのポリエステル被覆や融着被覆のような被覆3で一体化した2芯平行導線1dとし、これをロールRcに巻き取る。
次に図6に示すように、2芯平行導線1dをカット装置Dに通して例えば長さ30mmのような所定長の2芯平行電線1eとし、これをトレイQに収容する。
図7は、2芯平行電線1eの斜視図である。
次に図10に示すように、先端部研磨用治具Eを裏返し、研磨面Fに仮想平面Peが角度θで交差し且つ研磨面Fに平面Pが直交するように先端部研磨用治具Eを傾けて複数の2芯平行電線1fの各第2電線1c−2の先端部を研磨面Fで研磨し、複数の第2電線1c−2の各先端部にそれぞれ軸線Bxと傾斜して交差する傾斜面4bを同時に設け、2芯平行電線1gとする。
図13の(a)は、先端部に傾斜面4a,4bを設けると共に基端部に傾斜面5a,5bを設けた2芯平行電線1hの正面図である。図13の(b)は同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ・ユニット30は、9本の2芯コンタクトプローブ11を各傾斜面5a,5bの方向を揃えて且つ互いに平行に3行3列に配列し、2芯コンタクトプローブ保持具20で保持している。
2芯コンタクトプローブ11の各先端部の傾斜面4a,4bは、その頂点で回路基板の検査対象面Lに点接触する。
2芯コンタクトプローブ11の各基端部の傾斜面5a,5bは、その頂点で測定器側電極Ma,Mbに点接触する。
図15の(a)は、実施例2に係る2芯コンタクトプローブ12の基端部を示す左側面である。図15の(b)は同正面図である。図15の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ12は、各軸線Ax,Bxと直交し各コンタクトピン12a,12bの断面積の半分未満の面積を有する各平面9a,9bを基端に有している以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
図16の(a)は、実施例3に係る2芯コンタクトプローブ13の基端部を示す左側面である。図16の(b)は同正面図である。図16の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ13は、実施例2の平面9a、9bの代わりに各傾斜面5a’,5b’より面積が小さい各傾斜面5a”,5b”が各傾斜面5a’,5b’と反対向きにそれぞれ形成されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
図19の(a)は、実施例4に係る2芯コンタクトプローブ14の基端部を示す左側面図である。図19の(b)は同正面図である。図19の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ14は、実施例3の面積の異なる傾斜面5a’,5a”及び5b’,5b”の代わりに面積を等しい傾斜面5a1,5a2および5b1,5b2がそれぞれ形成されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
図20の(a)は、実施例5に係る2芯コンタクトプローブ15の基端部を示す左側面図である。図20の(b)は同正面図である。図20の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ15は、各軸線Ax,Bxと直交し各コンタクトピン12a,12bの断面積の半分未満の面積を有する各平面9a,9bを基端に有している以外は、実施例4の2芯コンタクトプローブ14と同様の構成である。
図21の(a)は、実施例6に係る2芯コンタクトプローブ16の先端部を示す正面図である。図21の(b)は同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ16は、実施例1〜実施例5の2芯コンタクトプローブ11〜15を作成した後、被覆2a,2bを残して被覆3の先端側所定長を例えばレーザ装置で除去し、段差8を設けたものである。なお、被覆2a,2bの間に挟まれた部分の被覆3は残している。
図22は、実施例7に係る2芯コンタクトプローブ16を示す正面図である。
この2芯コンタクトプローブ17は、実施例6の2芯コンタクトプローブ16を作成した後、コンタクトピン17a,17bを分離するための切込みWを被覆3に結合部分6のみを介して例えばレーザ装置で入れた構成である。結合部分6は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約5mm長の部分とする。
図23の(a)は、実施例8に係る2芯コンタクトプローブ18を示す正面図である。図23の(b)は同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ18は、第1コンタクトピン18aと第2コンタクトピン18bとを平行に且つ被覆3を介して一体化したものである。
各コンタクトピン18a,18bの各先端部には、各コンタクトピン18a,18bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面4a,4bがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン18a,18bの各基端部には、各コンタクトピン18a,18bの各軸線Ax,Bxを回転軸とする回転面7a,7bが同じ向きにそれぞれ形成されている。
2芯コンタクトプローブ18の断面は、図2と同様である。
次に図4に示すように、導線1bを被覆焼付装置Bに通して例えば厚さ約10μmのポリエステル被覆のような被覆2を形成した被覆導線1cとし、これをロールRbに巻き取る。
次に図24に示すように、被覆導線1cをカット装置Dに通して例えば長さ30mmのような所定長の電線1kとし、これをトレイQに収容する。
次に、図25に示すように、電線1kの基端部を軸線Axを中心軸とする円錐面7aに加工し、電線1mとする。
次に、図26に示すように、第1電線1m−1と第2電線1m−2の2本の電線1mの結合部分6を接着剤で接着し、2芯平行電線1nとする。結合部分6は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約5mm長の部分とする。
なお、第2電線1m−2の円錐面を第1電線1m−1の円錐面7aと識別するため、符号を7bとしている。
図28の(a)は、実施例9に係る2芯コンタクトプローブ19を示す左側面である。図28の(b)は同正面図である。図28の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ19は、被覆3および図2に示す被覆2a,2bが傾斜面5a,5bの間際まで残されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
また、図14に示すように2芯コンタクトプローブ保持具20のストッパー部分に被覆2a,2b,3の先端側端を当接させる場合には、検査対象面Lまでの距離を考慮した設計に基づいて被覆2a,2b,3の先端側部分を除去すればよい。
2 被覆
3 被覆(または融着被覆)
4a,4b 傾斜面
5a,5b 傾斜面
5a’,5b’ 傾斜面
5a”,5b” 傾斜面
5a1,5b1,5a2,5b2 傾斜面
5a1’,5b1’,5a2’,5b2’ 傾斜面
7a,7b 円錐面
9a,9b 平面
11〜19 2芯コンタクトプローブ
11a,11b コンタクトピン
12a,12b コンタクトピン
13a,13b コンタクトピン
15a,15b コンタクトピン
16a,16b コンタクトピン
17a,17b コンタクトピン
18a,18b コンタクトピン
20 2芯コンタクトプローブ保持具
30 2芯コンタクトプローブ・ユニット
Ax,Bx 軸線
E 先端部研磨用治具
F 研磨面
G 基端部研磨用治具
P 軸線Ax,Bxを含む平面
Pe,Pg 仮想平面
Claims (15)
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a,5b)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a,5b)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(11)。
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交し各コンタクトピンの断面積の半分未満の面積を有する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(12)。
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a’,5b’)より面積が小さい各傾斜面(5a”,5b”)が前記傾斜面(5a’,5b’)と反対向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(13)。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差(8)を設けたことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(16)。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(17)。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブを複数本、前記各傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”)の方向を揃えて且つ平行に保持したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ・ユニット(30)。
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1,5b1)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a1,5b1)と同面積の各傾斜面(5a2,5b2)が前記傾斜面(5a1,5b1)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1,5b1)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(14)。
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1’,5b1’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a2’,5b2’)が前記傾斜面(5a1’,5b1’)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1’,5b1’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(15)。
- 請求項7または請求項8のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差(8)を設けたことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(16)。
- 請求項7から請求項9のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(17)。
- 所定長の第1電線と第2電線とを平行に且つ絶縁して一体化した2芯平行電線(1e)を製作する2芯平行電線製作工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pe)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pe)に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具(E)で保持し前記仮想平面(Pe)と交差し且つ前記平面(P)と直交する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(4a)を設け次いで前記先端研磨用治具(E)を裏返して前記複数の2芯平行電線の各第2電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(4b)を設ける先端部研磨工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pg)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pg)に平行な向きになるように且つ各先端部を揃えて並べて基端部研磨用治具(G)で保持し前記仮想平面(Pg)と交差する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線および各第2電線の基端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”,5a1,5b1,5a2,5b2,5a1’,5b1’,5a2’,5b2’)を設ける基端部研磨工程とを有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法。
- 請求項8に記載の2芯コンタクトプローブの製造方法において、前記2芯平行電線製作工程では前記第1電線と第2電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記被覆の一部を除去して段差(8)を設ける段差形成工程を有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法。
- 請求項11または請求項12のいずれかに記載の2芯コンタクトプローブの製造方法において、前記2芯平行電線製作工程では前記第1電線と第2電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記第1電線と第2電線の中間に先端側および基端側からそれぞれ切込みを入れて前記第1電線と第2電線とを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化するスリット工程を有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法。
- 第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部は各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)を回転軸とする凸型回転面(7a,7b)に形成されていることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(18)。
- 所定長の第1電線の基端部を該第1電線の軸線を回転軸とする凸型回転面(7a)に加工する第1電線基端部加工工程と、所定長の第2電線の基端部を前記第1電線の基端部と同形状の凸型回転面(7b)に加工する第2電線基端部加工工程と、前記基端部を加工した第1電線と第2電線とを平行に且つ絶縁して一体化した2芯平行電線を製作する2芯平行電線製作工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pe)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pe)に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具(E)で保持し前記仮想平面(Pe)と交差し且つ前記平面(P)と直交する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線の先端部にその軸線(Ax)と傾斜して交差する傾斜面(4a)を設け次いで前記先端研磨用治具(E)を裏返して前記複数の2芯平行電線の各第2電線の先端部にその軸線(Bx)と傾斜して交差する傾斜面(4b)を設ける先端部研磨工程とを有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法。
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