JP2014124923A - インクジェットヘッド用基板、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部保護層107(第1の保護層)は、複数の発熱抵抗体ごとに対応して設けられた個別部と、複数の個別部とが共通して接続される共通部210とを備えている。個別部と共通部とは、上部保護層107を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ用導電層109(ヒューズ部導電層)によって接続されている。
【選択図】図3
Description
図5(a)〜(c)に、本実施形態におけるそれぞれの状態のインクジェットヘッド1の回路図について示す。それぞれの発熱抵抗体108は、電源301、スイッチングトランジスタ113及び選択回路114によって選択されて駆動されている。本実施形態では、電源301は、20〜35Vの電圧である。このような構成により、所定のタイミングで発熱抵抗体108に電源301からの電力を供給することができ、所定のタイミングで吐出口からインク滴を吐出することができる。
以下に本発明の第1実施例について説明する。
第1実施例に係るインクジェットヘッドの製造工程について説明する。図6(a)〜(g)は、第1実施例に係るインクジェットヘッド用基板100の製造工程について説明するための模式的断面図である。また、図7(a)〜(f)は、インクジェットヘッド用基板100の製造工程における模式的な平面図である。
次に、第2実施例のインクジェットヘッドについて説明する。
次に、第3実施例のインクジェットヘッドについて説明する。
なお、本明細書において、「記録」とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わずに用いられる。また、人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または記録媒体の加工を行う場合も表すものとする。
106 保護層
107 上部保護層
108 発熱抵抗体
109 ヒューズ用導電層
112 ヒューズ部
210 共通部
Claims (11)
- 基体と、
前記基体に配置され、通電されることによりインクを加熱するために発熱する複数の発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体より表面側に配置され、電気を通すことが可能な第1の保護層と、
前記第1の保護層と前記発熱抵抗体との間に配置され、前記第1の保護層を前記発熱抵抗体から電気的に絶縁させる第2の保護層と、を備え、
前記第1の保護層は、前記複数の発熱抵抗体ごとに対応して設けられた個別部と、複数の前記個別部が共通して接続される共通部と、を備え、
前記第1の保護層を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ部形成層によって前記個別部と前記共通部とが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド用基板。 - 前記ヒューズ部形成層の融点は、1000℃以上2000℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記ヒューズ部形成層は、Ni及びCrのうちの少なくともいずれかを含んで形成されていることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記第1の保護層は、Ir、Ru、Taのうちの少なくともいずれかを含んで形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記ヒューズ部形成層は、前記第1の保護層に接し、前記第1の保護層と前記第2の保護層との間に形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記ヒューズ部形成層は、前記第1の保護層に接し、前記第1の保護層の前記表面側に形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記発熱抵抗体の前記表面側には、前記ヒューズ部形成層が形成されていないことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記第1の保護層の前記個別部と前記共通部との厚さとが等しいことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 前記共通部は、接地された電極に接続されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。
- 基体と、前記基体に配置され、通電されることによりインクを加熱するために発熱する複数の発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体より表面側に配置され、電気を通すことが可能な第1の保護層と、前記第1の保護層と前記発熱抵抗体との間に配置され、前記第1の保護層を前記発熱抵抗体から電気的に絶縁させる第2の保護層と、を備えたインクジェットヘッド用基板と、
前記インクジェットヘッド用基板の前記表面側に取り付けられ、吐出口の形成された流路形成部材と、
前記流路形成部材と前記インクジェットヘッド用基板とで画成され、内部にインクを貯留させることが可能な複数の液室であって、前記発熱抵抗体が前記液室ごとに配置された前記複数の液室と、を有し、
前記液室に貯留されたインクを前記発熱抵抗体によって加熱して、前記吐出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、
前記第1の保護層は、前記複数の発熱抵抗体ごとに対応し、前記液室の内部に露出して設けられた個別部と、複数の前記個別部が共通して接続される共通部と、を備え、
前記第1の保護層を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ部形成層によって前記個別部と前記共通部とが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項10に記載のインクジェットヘッドを用いて記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置であって、
前記共通部は、前記インクジェット記録装置を通じて接地されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
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CN110406258A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 佳能株式会社 | 液体喷头基板、制造液体喷头基板的方法和液体喷头 |
JP2019194005A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-11-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド用基板の製造方法、および液体吐出ヘッド |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2816989A (en) * | 1954-05-05 | 1957-12-17 | Parmiter Hope & Sugden Ltd | Electric fuses |
JPH11176308A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Yazaki Corp | ヒューズエレメントの製造方法及びそのヒューズエレ メント |
JP2001080073A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-27 | Hewlett Packard Co <Hp> | サーマルインクジェットプリントシステムとサーマルインクジェットプリントヘッド |
JP2010045056A (ja) * | 2009-11-25 | 2010-02-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | 保護素子 |
JP2011249128A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Uchihashi Estec Co Ltd | 温度ヒューズおよび温度ヒューズの製造方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2816989A (en) * | 1954-05-05 | 1957-12-17 | Parmiter Hope & Sugden Ltd | Electric fuses |
JPH11176308A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Yazaki Corp | ヒューズエレメントの製造方法及びそのヒューズエレ メント |
JP2001080073A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-27 | Hewlett Packard Co <Hp> | サーマルインクジェットプリントシステムとサーマルインクジェットプリントヘッド |
JP2010045056A (ja) * | 2009-11-25 | 2010-02-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | 保護素子 |
JP2011249128A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Uchihashi Estec Co Ltd | 温度ヒューズおよび温度ヒューズの製造方法 |
JP2012045809A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016198908A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
EP3392044A1 (en) | 2017-04-21 | 2018-10-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of disconnecting fuse portion of liquid-discharging head and liquid discharge apparatus |
JP2019005935A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
CN110406258A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 佳能株式会社 | 液体喷头基板、制造液体喷头基板的方法和液体喷头 |
JP2019194005A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-11-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド用基板の製造方法、および液体吐出ヘッド |
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