JP2014122735A - 真空熱処理炉用の加熱素子配列構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱素子配列構造10は、中央加熱素子列12に加えて、該中央加熱素子列12から離間し且つ同軸的に位置合わせされた第一外側加熱素子列14と第二外側加熱素子列16を有し、また、加熱素子配列構造10は、中央加熱素子列12と第一及び第二の外側加熱素子列14、16に対する第一の及び第二のエンド位置に夫々配置された第一のエンド加熱素子18、第二のエンド加熱素子20を有している。各加熱素子列に電流を供給するために、電力変圧器22、24,26が、中央加熱素子列12、第一の外側加熱素子列14及び第一のエンド加熱素子列18、第二の外側加熱素子列16及び第二のエンド加熱素子列20に作動的に接続されている。
【選択図】図2
Description
Claims (11)
- エネルギーが供給された時に真空熱処理炉における一作業量の被処理物を加熱するための加熱素子配列構造であって、
ホットゾーン壁の内側の回りに略ぴったりと合うように構成及び配列された中央加熱素子列と、
前記中央加熱素子列から離間し、前記ホットゾーン壁の内側の回りに略ぴったりと合うように構成及び配列された第一の外側加熱素子列と、
前記中央加熱素子列から離間し且つ前記ホットゾーン壁の内側の回りに略ぴったりと合うように構成及び配列されると共に、前記第一の外側加熱素子列から見て前記中央加熱素子列の反対側に位置決めされた第二の外側加熱素子列と、
前記ホットゾーン壁によって区画されたホットゾーンの縦軸に略垂直な面における第一のエンド位置に配置された第一のエンド加熱素子と、
前記ホットゾーンの前記縦軸に略垂直な面における前記第一のエンド位置と反対側の第二のエンド位置に配置された第二のエンド加熱素子と、
前記中央加熱素子列に電流を供給するために前記中央加熱素子列に作動的に接続される第一の変圧器と、
前記第一の外側加熱素子列と前記第一のエンド加熱素子列に電流を供給するために前記第一の外側加熱素子列と前記第一のエンド加熱素子列とに作動的に接続される第二の変圧器と、
前記第二の外側加熱素子列と前記第二のエンド加熱素子列に電流を供給するために前記第二の外側加熱素子列と前記第二のエンド加熱素子列とに作動的に接続される第三の変圧器とを有し、
前記中央加熱素子列と前記第一の外側加熱素子列と前記第二の外側加熱素子列とが略同軸的になっている加熱素子配列構造。 - 前記中央加熱素子列が、二つの加熱素子サブ列と、該二つの加熱素子サブ列を一体に相互に接続するためのコネクタを含んでいる、請求項1に記載の加熱素子配列構造。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項2に記載の加熱素子配列構造。
- 前記中央加熱素子列が、複数の加熱素子サブ列と、該複数の加熱素子サブ列を一体に相互に接続して、前記中央加熱素子列を構成するために配列された複数のコネクタを含んでいる、請求項1に記載の加熱素子配列構造。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項4に記載の加熱素子配列構造。
- チャンバーを区画する壁を含んでいる圧力/真空容器と、
前記チャンバーの前記容器壁に取り付けられて、前記チャンバー内でホットゾーンを区画しているホットゾーン壁と、
前記ホットゾーン内に配置された、請求項1に記載された加熱素子配列構造を有する真空熱処理炉。 - 前記中央加熱素子列が、二つの加熱素子サブ列と、該二つの加熱素子サブ列を一体に相互に接続するためのコネクタを含んでいる、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項7に記載の加熱素子配列構造。
- 前記中央加熱素子列が、複数の加熱素子サブ列と、該複数の加熱素子サブ列を一体に相互に接続して、前記中央加熱素子列を構成するように配置された複数のコネクタを含んでいる、請求項6に記載の加熱素子配列構造。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項9に記載の加熱素子配列構造。
- 真空炉における加熱素子列の接続方法であって、
第一の電力変圧器を中央加熱素子列に接続する工程と、
第二の電力変圧器を第一のエンド加熱素子列に接続する工程と、
第三の電力変圧器を第二のエンド加熱素子列に接続する工程を含み、
前記第一のエンド加熱素子列が、
前記中央加熱素子列から離間し且つ前記中央加熱素子列と同軸的に配置された第一の外側加熱素子と、
前記第一の外側加熱素子に隣接して配置され且つ前記第一の外側加熱素子と前記中央加熱素子列との共通軸と略垂直な面で配向された第一のエンド加熱素子を有し、
前記第二のエンド加熱素子列が、
前記中央加熱素子列から離間し且つ前記中央加熱素子列と同軸的に配置された第二の外側加熱素子と、
前記第二の外側加熱素子に隣接して配置され且つ前記第一の外側加熱素子と前記中央加熱素子列との共通軸と略垂直な面で配向された第二のエンド加熱素子を有している、真空炉における加熱素子列の接続方法。
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JPS61246589A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-11-01 | アバ−・イプセン・インダストリ−ズ | グラフアイトの加熱要素を備えた電気熱処理炉 |
JPH01109194U (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-24 | ||
JPH08285459A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Shimazu Mekutemu Kk | 真空加圧炉 |
WO2006013932A1 (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | Ibiden Co., Ltd. | 焼成炉及びその焼成炉を用いた多孔質セラミック焼成体の製造方法 |
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