JP5808730B2 - 真空熱処理炉用の加熱素子配列構造 - Google Patents
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Description
Claims (11)
- エネルギーが供給された時に真空熱処理炉における一作業量の被処理物を加熱するための加熱素子配列構造であって、
ホットゾーン壁の内側の回りに合うように構成及び配列された中央加熱素子列と、
前記中央加熱素子列から離間し、前記ホットゾーン壁の内側の回りに合うように構成及び配列された第一の外側加熱素子列と、
前記中央加熱素子列から離間し且つ前記ホットゾーン壁の内側の回りに合うように構成及び配列されると共に、前記第一の外側加熱素子列から見て前記中央加熱素子列の反対側に位置決めされた第二の外側加熱素子列と、
前記ホットゾーン壁によって区画されたホットゾーンの縦軸に垂直な面における第一のエンド位置に配置された第一のエンド加熱素子と、
前記ホットゾーンの前記縦軸に垂直な面における前記第一のエンド位置と反対側の第二のエンド位置に配置された第二のエンド加熱素子と、
前記中央加熱素子列に電流を供給するために前記中央加熱素子列に作動的に接続される第一の変圧器と、
前記第一の外側加熱素子列と前記第一のエンド加熱素子に電流を供給するために前記第一の外側加熱素子列と前記第一のエンド加熱素子とに作動的に接続される第二の変圧器と、
前記第二の外側加熱素子列と前記第二のエンド加熱素子に電流を供給するために前記第二の外側加熱素子列と前記第二のエンド加熱素子とに作動的に接続される第三の変圧器とを有し、
前記中央加熱素子列と前記第一の外側加熱素子列と前記第二の外側加熱素子列とが同軸的になっている加熱素子配列構造。 - 前記中央加熱素子列が、二つの加熱素子サブ列と、該二つの加熱素子サブ列を一体に相互に接続するためのコネクタを含んでいる、請求項1に記載の加熱素子配列構造。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項2に記載の加熱素子配列構造。
- 前記中央加熱素子列が、複数の加熱素子サブ列と、該複数の加熱素子サブ列を一体に相互に接続して、前記中央加熱素子列を構成するために配列された複数のコネクタを含んでいる、請求項1に記載の加熱素子配列構造。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項4に記載の加熱素子配列構造。
- チャンバーを区画する壁を含んでいる真空容器と、
前記チャンバーの前記容器壁に取り付けられて、前記チャンバー内でホットゾーンを区画しているホットゾーン壁と、
前記ホットゾーン内に配置された、請求項1に記載された加熱素子配列構造を有する真空熱処理炉。 - 前記中央加熱素子列が、二つの加熱素子サブ列と、該二つの加熱素子サブ列を一体に相互に接続するためのコネクタを含んでいる、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項7に記載の真空熱処理炉。
- 前記中央加熱素子列が、複数の加熱素子サブ列と、該複数の加熱素子サブ列を一体に相互に接続して、前記中央加熱素子列を構成するように配置された複数のコネクタを含んでいる、請求項6に記載の真空熱処理炉。
- 前記加熱素子サブ列の各々が、複数の加熱素子セグメントと、該複数の加熱素子セグメントの複数対を一体に相互に接続するための複数のセグメントコネクタを含んでいる、請求項9に記載の真空熱処理炉。
- 真空炉における加熱素子列の接続方法であって、
第一の電力変圧器を中央加熱素子列に接続する工程と、
第二の電力変圧器を第一のエンド加熱素子および第一の外側加熱素子列に接続する工程と、
第三の電力変圧器を第二のエンド加熱素子および第二の外側加熱素子列に接続する工程とを含み、
第一の外側加熱素子列が、前記中央加熱素子列から離間し且つ前記中央加熱素子列と同軸的に配置され、
前記第一のエンド加熱素子が、前記第一の外側加熱素子列に隣接して配置され且つ前記第一の外側加熱素子列と前記中央加熱素子列との共通軸と垂直な面で配向され、
第二の外側加熱素子列が、前記中央加熱素子列から離間し且つ前記中央加熱素子列と同軸的に配置され、
前記第二のエンド加熱素子が、前記第二の外側加熱素子列に隣接して配置され且つ前記第一の外側加熱素子列と前記中央加熱素子列との共通軸と垂直な面で配向されたことを特徴とする、真空炉における加熱素子列の接続方法。
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