JP2014116540A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 複数の基板を貼り合せる基板貼合装置であって、
   前記複数の基板の少なくとも一つを一方から他方に受け渡す二つの受渡部と、
   前記他方の受渡部が有する受渡面の傾斜を、前記一方の受渡部が有する受渡面の傾斜に応じて調整する調整部と、
   を備える基板貼合装置。
2. 前記調整部は、前記一方の受渡部の前記受渡面に平行になるように前記他方の受渡部の前記受渡面の傾斜を調整する請求項１に記載の基板貼合装置。
3. 前記調整部は、基板を支持しつつ個別に昇降する複数の押上ピンを含み、前記複数の押上ピンのいずれかの昇降により、前記複数の押上ピンが形成する受渡面の傾斜を変化させる請求項２に記載の基板貼合装置。
4. 前記調整部は、基板を搬送する搬送ロボットと基板を受け渡す場合に、前記複数の押上ピンが形成する受渡面を、前記搬送ロボットが有する受渡面に対して調整する請求項３に記載の基板貼合装置。
5. 前記調整部は、前記複数の押上ピンの各々が個別に受ける負荷を均等にすることにより、前記複数の押上ピンが形成する受渡面の傾斜を調整する請求項３または請求項４に記載の基板貼合装置。
6. 前記調整部は、揺動することにより、基板を搭載する受渡面の傾斜を変化させるステージを含む請求項２から請求項５までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
7. 前記調整部は、基板を支持する複数の押上ピンと基板を受け渡す場合に、前記ステージの受渡面を前記複数の押上ピンが形成する受渡面に整合させる請求項６に記載の基板貼合装置。
8. 前記調整部は、基板を搬送する搬送ロボットを駆動するアクチュエータの負荷の大きさに基づいて、受渡面の傾斜を変化させる請求項２から請求項７までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
9. 前記調整部は、前記一方の受渡部が基板と共に保持する基板ホルダの重量に基づいて、前記他方の受渡部の前記受渡面の傾斜を変化させる請求項２から請求項８までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
10. 前記調整部は、前記基板ホルダの重量を検出し、検出した重量に基づいて前記受渡面を変化させる請求項９に記載の基板貼合装置。
11. 前記調整部は、前記一方の受渡部が基板を保持した場合に形成する受渡面に整合すべく、前記他方の受渡部の前記受渡面を変位させる請求項２から請求項１０までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
12. 前記調整部は、前記一方の受渡部が基板を保持した場合に形成する受渡面と、当該受渡部が基板を保持していない場合に形成する受渡面との中間に位置する受渡面に整合すべく、前記他方の受渡部の前記受渡面を変位させる請求項２から請求項１１までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
13. 前記調整部は、前記受渡面にかかる荷重により弾性変形する変形部を含む請求項２から請求項１２までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
14. 前記調整部は、受け渡しの過程で生じる受渡面の変化に追従して受渡面の傾斜を変化させる請求項２から請求項１３までのいずれか一項に記載の基板貼合装置。
15. 複数の基板を貼り合せる基板貼合方法であって、
    前記複数の基板の少なくとも一つを二つの受渡部の一方から他方に受け渡す場合に、前記他方の受渡部の受渡面の傾斜を、前記一方の受渡部の受渡面の傾斜に応じて調整する段階を含む基板貼合方法。
16. 複数の基板の貼り合せを基板貼合装置に実行させる基板貼合プログラムであって、
    前記複数の基板の少なくとも一つを、二つの受渡部の一方から他方に受け渡す場合に、前記他方の受渡部の受渡面の傾斜を、前記一方の受渡部の受渡面の傾斜に応じて調整するステップを含む基板貼合プログラム。