JP2014114800A - 遠心圧縮機 - Google Patents

Abstract

【課題】コストを抑えるとともに精度よく流量調整が可能な遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】軸線Ｏ回りに回転する主軸に取り付けられたインペラと、インペラへの流入流路Ｓ３における流体Ｆの流量を調整するベーン装置１１とを備え、ベーン装置１１は、流入流路Ｓ３に軸線Ｏの周方向に間隔をあけて複数が設けられ、それぞれ軸線Ｏの径方向に延びる軸部２２ｂ回りに回転することで取り付け角度が変化するベーン本体２２と、一端が各軸部２２ｂに連結されて、軸部２２ｂとともに回転する複数のリンク部材２４と、軸線Ｏを中心とした円環状をなして、複数のリンク部材２４の他端が連結されることでベーン本体２２の回転に伴ってリンク部材２４の回転軌跡に従って軸線方向Ｏ及び周方向に移動するドライブリング２３と、ドライブリング２３に接続されてこのドライブリング２３に対して接線方向に力を伝達する駆動機構２５と、を有することを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、遠心圧縮機に設けられるインレットガイドベーンに関する。

例えばターボ冷凍機やターボ過給機における遠心圧縮機においては、複数の羽根を有して流量調整を行うインレットガイドベーン（以下、ＩＧＶ）が設けられている。具体的には、このＩＧＶでは羽根を回転させることで作動流体の流入流路の開度を調節して流量調整を行っている。

ここで、特許文献１にはＩＧＶの駆動機構であるベーン駆動装置が開示されている。この駆動装置は、電動機に設けられた主動ピニオンギアによって環状に設けられたベベルギアを介し、各ベーンの軸に設けられた従動ピニオンギアを回転させて、これにより各ベーンを回転駆動させて開度調節を行っている。

また、特許文献２の遠心圧縮機では、流入ノズル部の外周側で回転軸と同心軸上に設けられた環状部材を連結リンクを介して回転させることで、環状部材に支持された各ベーンを回転駆動させて開度調節を行っている。

特開２００６−４６２２０号公報 特許第４１０７７７２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の駆動機構は、ギア駆動の構成となっているため、例えば圧縮機を大型化すると、環状に設けられた上記のベベルギアも大型化してしまい、製造コストが大幅に増大してしまう。さらにギア駆動を円滑に行うためにはバックラッシが必要となるため、ベーン開度の誤差の発生やベーンに振動が発生するおそれもある。
また、特許文献２の駆動機構では、詳細な記載はないが、環状部材を積極的に軸線方向に動かす機構とはなっていないことから、環状部材を回転させてベーンを回転駆動するには、各ベーンに設けられた連結部材と球面対偶で係合する環状部材の穴部に、大きなガタを設ける必要がある。従って、このガタによりベーンの開度の精度が低下してしまい、最適条件での圧縮機の運転が難しくなる。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、コストを抑えるとともに精度よく流量調整が可能な遠心圧縮機を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
即ち、本発明に係る遠心圧縮機は、軸線回りに回転する主軸と、該主軸に取り付けられた羽根車と、前記羽根車への流入流路における流体の流量を調整するベーン装置とを備え、該ベーン装置は、前記流入流路に前記軸線の周方向に間隔をあけて複数が設けられ、それぞれ前記軸線の径方向に延びる回転軸回りに回転することで取り付け角度が変化するベーン本体と、一端が各前記回転軸に連結されて、該回転軸とともに回転する複数のリンク部材と、前記軸線を中心とした円環状をなして、複数の前記リンク部材の他端が連結されることで前記ベーン本体の回転に伴って前記リンク部材の回転軌跡に従って軸線方向及び周方向に移動する環状部材と、前記環状部材に接続されて該環状部材に対して接線方向に力を伝達する駆動機構と、を有することを特徴とする。

このような遠心圧縮機によると、ベーン装置を設けたことで、駆動機構によって環状部材へ接線方向に力が加えられて環状部材が軸線を中心に回転し、これにともなって複数のリンク部材が回転軸とともに回転軸回りに回転する。リンク部材が回転すると、このリンク部材によって環状部材が軸線方向に引っ張られるように、又は押し出されるように移動する。そしてこれと同時に各ベーン本体が回転して取り付け角度が変化し、流量調整が可能となっている。
ここで、例えば流体の流量がゼロとなるベーン装置の全閉状態では、吸込み側と吐き出し側との圧力差によってベーン本体が軸線方向に押し付けられ、開閉動作に大きな力を要することがある。本発明では、このような場合であっても、駆動機構によって環状部材に直接周方向への力が付与されるため、全てのリンク部材には均一に回転軸回りの回転力が付与されることとなる。従って、円滑にベーン本体の取り付け角度を調整することができ、駆動機構の駆動源の動力を低減することが可能になるとともに、ベーン装置の全閉状態からの圧縮機の起動が可能となることで略真空状態での起動が可能となり、最も負荷のかかる起動時の動力も低減されることから、圧縮機の駆動源である主電動機も小型化でき、装置全体の小型化につながる。また、駆動機構は、環状部材に対して回転力を付与する構成であればよいため、複雑な機構を用いる必要がない。
さらに、環状部材は周方向への移動に加え、軸線方向への移動も可能となっている。即ち、予めリンク部材の回転動作に応じて軸線方向にガタを設けているわけではなく、積極的に軸線方向への動作が許容された構造となっている。従って、ベーンの開度調節の精度が低下してしまうことはない。

また、前記駆動機構は、回転駆動する出力軸を備える電動機と、一端が前記出力軸に連結され、他端が前記環状部材に連結されて、前記電動機の回転力を前記環状部材の前記接線方向への力として伝達する伝達アームと、を有していてもよい。

このように駆動機構に電動機、伝達アームを採用することで、簡易な構成で環状部材に力を付与することができ、コストを抑えながら環状部材を回転させ、ベーン本体の角度調整が可能となる。

さらに、前記伝達アームは、前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンクバーと、を有し、前記駆動リンクバーは、前記軸線の周方向に沿って延びる連結棒状部と、前記連結棒状部の両端に設けられた自在継手と、を備え、前記一端は前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていてもよい。

このように、駆動レバーと環状部材とが自在継手を介して連結されていることで
電動機の回転力が伝達アームによって環状部材に伝達される際に、伝達アームが三次元的に円滑に動作可能となる。従って、環状部材が周方向への移動にともなって軸線方向に移動している状態にあっても、この動作を妨げることなく確実に力を電動機から環状部材へ伝達可能となる。従って、さらに精度よく流量調整が可能となる。

また、前記自在継手は、前記駆動レバー及び前記環状部材に連結される二つの球面軸受と、各々の前記球面軸受けから前記連結棒状部に向かって延びて該連結棒状部に当接するとともに、当接する部分に第一ネジ部が設けられた棒状部と、を有し、前記連結棒状部には、前記第一ネジ部に螺合する第二ネジ部が設けられていてもよい。

このような自在継手によって、自在継手を連結棒状部に取り付ける際に、棒状部を連結棒状部に当接させた状態で第一ネジ部と第二ネジ部とを締結することで、連結棒状部の長さと自在継手の長さとを合算した合計の長さ寸法、即ち駆動リンクバーの長さ寸法は、いずれの作業者が締結作業を行ったとしても必ず同じ寸法にできる。従って、伝達アームの長さ調節に要する作業が不要となるため、作業性向上につながる。

前記伝達アームは、前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンク部材と、を有し、前記駆動リンク部材は、前記環状部材から離間する方向に延びる連結部と、前記連結部に前記軸線方向及び前記軸線の径方向のうちの少なくとも一方に、互いに離間するように設けられた二つの自在継手と、を備え、前記一端は一方の前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は他方の前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていてもよい。

このように連結部によって、二つの自在継手を軸線方向及び軸線の径方向のうちの少なくとも一方にオフセットさせて連結することで、電動機の設置位置が、環状部材から軸線方向、径方向に離間していたとしても、伝達アームによって、環状部材を確実に動作させることができる。

また、前記伝達アームは、前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンク部材と、を有し、前記駆動リンク部材は、前記一端と前記他端との間に設けられて、該駆動リンク部材に作用する力を減衰するダンピング部材と、前記ダンピング部材に設けられた二つの自在継手と、を備え、前記一端は一方の前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は他方の前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていてもよい。

このように、伝達アームにダンピング部材を設けることで、流入する流体による自励振動等の振動現象の抑制を図ることが可能となるため、遠心圧縮機の構成部品の摩耗や、劣化を防止でき、製品寿命を延ばすことが可能となる。

また、前記電動機のトルクを検出するトルク検出部と、前記トルク検出部での検出値が予め設定された閾値を超えた場合に、前記電動機の前記出力軸を逆回転させる制御部と、をさらに備えていてもよい。

なんらかの原因によって、環状部材が周方向の一方に動作しなくなってしまった場合には、通常動作時と比較して電動機のトルクが大きくなる。ここで、このトルクをトルク検出部で検出して制御部によって電動機を逆回転することにより、環状部材を、一旦、軸線の周方向の他方へ動作させることで、環状部材を通常動作状態へ復帰させることが可能となり、ベーン本体の角度調整が可能となる。

さらに、前記ベーン本体は、該ベーン本体に作用するトルクが予め設定された閾値を超えた場合に、前記回転軸が前記リンク部材との間で相対回転可能とするトルクリミッタ部を有していてもよい。

なんらかの原因によって、一つのベーン本体が回転しなくなってしまった場合には、このベーン本体に連結されたリンク部材が動作せず、環状部材が動作しなくなってしまう。このため、全てのベーン本体が動作しなくなり、流入する流体の流量調整が不可能となってしまう。この際、ベーン本体の回転軸とリンク部材との連結部分に作用するトルクは、通常動作時と比較して大きくなっていることが想定される。ここで、このようなトルクリミッタ部を用いることによって、一つのベーン本体が動作しない状態でも、ベーン本体とリンク部材との間での相対回転を可能とすることで、リンク部材のみを動作させることができる。これにより、環状部材を動作させ、他のベーン本体を動作させることが可能となるため、遠心圧縮機が完全に流量調整機能を失うことはなく、信頼性、使用性の向上につながる。

本発明の遠心圧縮機によると、駆動機構によって環状部材へ回転力を直接付与することで、コストを抑えるとともに精度よく流量調整が可能となる。さらに、遠心圧縮機全体の小型化と効率向上も可能となる。

本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機を示す全体断面図である。 本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機に関し、内部ケーシング及び駆動機構を一部破断して示す斜視図である。 本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を軸線方向から見た図であって、図２のＡ矢視図である。 本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を径方向から見た図であって、動作の開閉動作を示す図である。 本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機に関し、（ａ）は駆動機構を軸線方向から見た図であって、（ｂ）は（ａ）のＢ矢視図である。 本発明の第三実施形態に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を軸線方向から見た図である。 本発明の第四実施形態に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を軸線方向から見た図である。 本発明の第五実施形態に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を径方向から見た図であって、（ａ）は第一例を示し、（ｂ）は第二例について駆動リンク部材のみを拡大して示すものである。 本発明の第六実施形態に係る遠心圧縮機に関し、ベーン本体とリンク部材との連結位置を拡大して示す図である。 本発明の第一実施形態から第六実施形態の変形例に係る遠心圧縮機に関し、駆動機構を軸線方向から見た図である。

〔第一実施形態〕
以下、本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機１について説明する。
遠心圧縮機１は、例えばターボ冷凍機等に用いられ、流体Ｆを軸線Ｏに沿って軸線Ｏ方向の一方側となる下流側（図１の紙面に向かって左側）へ向かって流通させながら、この流体Ｆを圧縮する圧縮機である。
図１に示すように、この遠心圧縮機１は、軸線Ｏを中心として延在する主軸２と、主軸２に外嵌された二段のインペラ（羽根車）１０と、主軸２に回転力を付与する主電動機３と、主電動機３の回転力を主軸２に伝達するギア機構５と、インペラ１０の上流側に設けられたベーン装置１１と、これらを外周から覆うように設けられたケーシング１２とを主に備えている。

主軸２は、軸線Ｏ方向を中心として軸線Ｏ方向に延びる柱状をなし、ケーシング１２に設けられた軸受６によって軸線Ｏ回りに回転可能に支持されている。

主電動機３は、主軸２に対して回転動力を生み出す。そして、主出力軸３ａは、主軸２と並行となるようにケーシング１２に設けられた軸受７に支持されて、主軸２と軸線Ｏの径方向に離間して設けられている。

ギア機構５は、主軸２に外嵌されて主軸２とともに軸線Ｏ回りに回転する主軸ギア１５と、主出力軸３ａに外嵌されてこの主出力軸３ａとともに回転する出力軸ギア１６とを有しており、これら主軸ギア１５、出力軸ギア１６が径方向に噛合することで、主出力軸３ａの回転動力を主軸２の回転力として主軸２に伝達する。

二段に設けられたインペラ１０は、主軸２とともに軸線Ｏ回りに回転する。また各々のインペラ１０は、下流側に進むにつれて漸次拡径した略円盤状のディスク１７と、ディスク１７の表面から軸線Ｏの他方側（図１の紙面に向かって右側）に立ち上がるように、ディスク１７に放射状に取り付けられて周方向に並んだ複数のブレード１８とを有している。そして、周方向に隣接するブレード１８とディスク１７表面とによって囲まれた領域が、流体Ｆが流通して圧縮される圧縮流路Ｓ１となっている。ここで、上流側に設けられたインペラ１０を一段インペラ１０Ａ、下流側に設けられたインペラ１０を二段インペラ１０Ｂとする。

なお、インペラ１０は本実施形態のように二段構成である必要はなく、単段であってもよいし、三段以上の多段に設けられていてもよい。

ケーシング１２は、遠心圧縮機１の外形を形成するものであり、軸線Ｏ方向の他方側に軸線Ｏを中心とした開口部が設けられ、この開口部が流体Ｆを外部から取り込む吸込口８となっている。また、一段インペラ１０Ａと吸込口８との間の内部空間において、この吸込口８と一段インペラ１０Ａの圧縮流路Ｓ１とを連通するように、内部ケーシング１３が設けられており、この内部ケーシング１３によって上記内部空間に軸線Ｏを中心とした円筒空間を画成し、この円筒空間が流体Ｆの流入流路Ｓ３とされて、吸込口８から取り込まれた流体Ｆを圧縮流路Ｓ１へ導入可能としている。

また、ケーシング１２には一段インペラ１０Ａと二段インペラ１０Ｂとの間において、互いの圧縮流路Ｓ１同士を連通する流路Ｓ２が形成されている。
具体的には、この流路Ｓ２は、圧縮流路Ｓ１を径方向内側から外側に向かって流通した流体Ｆが流入する第一段ディフューザ流路Ｓ２ａと、この第一段ディフューザ流路Ｓ２ａに連続するリターン流路Ｓ２ｂと、このリターン流路Ｓ２ｂに連続して二段インペラ１０Ｂの圧縮流路Ｓ１に流体Ｆを流入させる吸込流路Ｓ２ｃとから構成されている。

第一段ディフューザ流路Ｓ２ａは、一段インペラ１０Ａの圧縮流路Ｓ１に連通するように軸線Ｏを中心とした環状をなして径方向外側に延びるように形成されている。

リターン流路Ｓ２ｂは、軸線Ｏを中心とした環状をなして、軸線Ｏ方向の一方側に向かって径方向外側から内側に向かうように湾曲し、流体Ｆの流通方向を変化させるように形成されている。

吸込流路Ｓ２ｃは、軸線Ｏを中心とした環状をなして、径方向内側に向かって延び、二段インペラ１０Ｂの圧縮流路Ｓ１に連通するように形成されている。また、この吸込流路Ｓ２ｃには、リターンベーン２０が設けられている。

さらにケーシング１２には、軸線Ｏを中心とした環状をなし、二段インペラ１０Ｂの圧縮流路Ｓ１に連通するように径方向外側に延びて、圧縮流路Ｓ１を流通した流体Ｆが流入する第二段ディフューザ流路Ｓ２ｄが形成されている。そして、この第二段ディフューザ流路Ｓ２ｄに連続して、ケーシング１２の周方向の一部で軸線Ｏの径方向外側に向かって開口部が設けられ、この開口部が第二段ディフューザ流路Ｓ２ｄからの流体Ｆを外部に排出する吐出口９となっている。

次に、ベーン装置１１について説明する。
ベーン装置１１は、内部ケーシング１３に設けられ、一段インペラ１０Ａとケーシング１２の吸込口８との間に軸線Ｏ方向に挟まれるように配されて、吸込口８からの流体Ｆの流量を調整する。

図２から図４に示すように、このベーン装置１１は、上記流入流路Ｓ３に周方向に間隔をあけて設けられた複数のベーン本体２２と、ベーン本体２２の下流側に設けられて軸線Ｏを中心として環状をなすドライブリング（環状部材）２３と、このドライブリング２３と各ベーン本体２２とを連結するリンク部材２４と、ドライブリング２３を駆動する駆動機構２５とを備えている。

各ベーン本体２２は、流入流路Ｓ３内に配置される羽根部２２ａと羽根部２２ａから径方向外側に延びる軸部（回転軸）２２ｂとを有している。

羽根部２２ａは、径方向内側に向かうに従って幅寸法が小さくなるような略扇形形状をなす板状の部材である。ここで、上述した主軸２は、ベーン本体２２の羽根部２２ａよりも上流側まで軸線Ｏ方向の他方側へ延出しており、羽根部２２ａの径方向内側の先端部は、主軸２の外周面の位置と隙間のない状態となる位置まで延びている。

軸部２２ｂは、柱状をなして、羽根部２２ａの径方向外側の端面から軸線Ｏの径方向外側に向かって突出するように設けられている。またこの軸部２２ｂは流入流路Ｓ３を画成する内部ケーシング１３を径方向に貫通して内部ケーシング１３に対して相対回転可能に取り付けられている。

リンク部材２４は、直方体のブロック状をなして内部ケーシング１３の外周面上に設けられ、一端が各々のベーン本体２２の軸部２２ｂの径方向外側の端部にピン２４ｂによって連結されて、軸部２２ｂと一体となって回転可能となっている。これによりリンク部材２４が回転するとベーン本体２２も回転し、羽根部２２ａの角度が変化するように動作する。
図４に示すように本実施形態では、ベーン本体２２の羽根部２２ａの表面が向く方向が、リンク部材２４の長手方向に対して傾斜するようにリンク部材２４とベーン本体２２とが連結されている。

ドライブリング２３は、軸線Ｏを中心とした環状をなし、ベーン本体２２の取り付け位置よりも軸線Ｏ方向の一方側となる下流側で、内部ケーシング１３の外周面上に取り付けられて、内部ケーシング１３との間で相対回転かつ、軸線Ｏ方向に摺動可能に設けられている。また、ドライブリング２３の外周面には、各リンク部材２４の他端がピン２４ａを介して連結され、ドライブリング２３とリンク部材２４との間がピン２４ａを中心として相対回転かつ、摺動可能となっている。またドライブリング２３の外周面上には、隣接するリンク部材２４同士の間において径方向外側に突出する突起部２３ａが設けられている。

次に、ドライブリング２３の駆動機構２５について説明する。
図３に示すように、駆動機構２５は、駆動源となる電動機２６と、電動機２６の動力をドライブリング２３に伝達する伝達アーム２８とを有している。

電動機２６は、ケーシング１２の内部であって、ドライブリング２３の径方向外側の位置に配置されて、軸線Ｏと並行に設けられて回転する出力軸２６ａを備えている。

伝達アーム２８は、ドライブリング２３の外周側で軸線Ｏの周方向に沿って延びて、出力軸２６ａとドライブリング２３の外周面に形成された突起部２３ａとの間に設けられている。

そして、この伝達アーム２８は、出力軸２６ａに固定して連結された駆動レバー３６と、駆動レバー３６とドライブリング２３の突起部２３ａとの間に設けられるとともに、これらに連結された駆動リンクバー３５とを有している。

駆動レバー３６は、一端が出力軸２６ａに固定されて、出力軸２６ａの径方向外側に向かって延びる板状部材であり、出力軸２６ａとともに回転する。

駆動リンクバー３５は、ドライブリング２３の外周側で軸線Ｏの周方向に沿って延びる連結棒状部３１と、この連結棒状部３１の両端に設けられた自在継手３０とを備え、一端は自在継手３０、ピン３２を介して駆動レバー３６の他端に連結され、他端は自在継手３０、ピン３２を介してドライブリング２３の突起部２３ａに連結されている。

連結棒状部３１は、その内部に、連結棒状部３１の端面から自身の延在方向に向かって凹むように雌ネジ部３１ａ（第二ネジ部）が設けられている。

自在継手３０は、三次元的に回動するとともに駆動レバー３６及び突起部２３ａに軸線Ｏ方向から挟み込まれた状態でピン３２を介して連結された球面軸受３３と、この球面軸受３３を保持するとともに連結棒状部３１に向かって、即ち軸線Ｏの周方向に沿って延びる棒状部３４とを備えている。この棒状部３４の外周面には雄ネジ部３４ａ（第一ネジ部）が設けられており、連結棒状部３１の雌ネジ部３１ａに螺合してこれらが結合されることで駆動リンクバー３５を構成している。

次に、ベーン装置１１の動作について説明する。
まず、駆動機構２５の電動機２６が駆動されて出力軸２６ａが回転すると駆動レバー３６が回転し、これにともなって駆動リンクバー３５が出力軸２６ａの回転方向に応じて、周方向に沿って引っ張られるか又は押し出されることとなる。これによって、伝達アーム２８がドライブリング２３の外周側で、軸線Ｏの周方向に沿って前後移動してドライブリング２３を軸線Ｏ回りに回転させる。

このようにしてドライブリング２３の接線方向に力が伝達されてドライブリング２３が回転して周方向に移動すると、ドライブリング２３の回転方向に応じてリンク部材２４のピン２４ａが押されるように、又は引っ張られるように力が作用する。そして、この力によってリンク部材２４がベーン本体２２の軸部２２ｂを中心として軸部２２ｂとともに回転される。この際、ドライブリング２３はリンク部材２４の回転軌跡に従って軸線Ｏ方向に移動することとなる。

そしてこのようにリンク部材２４が回転されると、羽根部２２ａが軸部２２ｂを中心として回転され、ベーン本体２２の取り付け角度が変化する。

より具体的には、図３においてドライブリング２３を周方向の一方側（図３の紙面に向かって左側）から他方側に向かって、押し出すように電動機２６を駆動させると、図４に示すようにリンク部材２４が実線から一点鎖線の位置となるように回転して、これによってベーン本体２２も回転し、ベーン装置１１が全閉状態から開状態へと移行する。またこの際、ドライブリング２３は実線の位置から一点鎖線の位置となるように、軸線Ｏ方向の一方側となる下流側に向かって押し出されるように移動する。
また、ベーン装置１１の開度がさらに大きくなると、リンク部材２４が一点鎖線の位置から二点鎖線の位置となるようにさらに回転して、ドライブリング２３は、今度はリンク部材２４によって軸線Ｏ方向の他方側となる上流側に向かって引っ張られるように移動する。

ここで、本実施形態では、リンク部材２４が軸線Ｏ方向から図４の紙面に向かって時計回りに傾斜した状態で、羽根部２２ａの表面がちょうど軸線Ｏ方向を向き、羽根部２２ａが流入流路Ｓ３を完全に閉塞する全閉状態となっている。そして、この全閉状態からリンク部材２４が図４の紙面に向かって反時計回りに回転するに従って、羽根部２２ａの表面が向く方向が軸線Ｏ方向から次第に傾斜することで、流入流路Ｓ３が開放されていく。

このような遠心圧縮機１においては、ベーン装置１１が設けられていることで、駆動機構２５によって、ドライブリング２３を回転させて全てのリンク部材２４を回転させ、ベーン本体２２の角度を変化させて流入流路Ｓ３を流通する流体Ｆの流量を調整することができる。

ここで、例えば流体Ｆの流量がゼロとなるベーン装置１１の全閉状態においては、上流側となる吸込み側と、下流側となる吐き出し側との圧力差によって、ベーン本体２２が軸線Ｏ方向に押し付けられ、開閉動作に大きな力を要することがある。

このような場合であっても、駆動機構２５によってドライブリング２３には直接回転力が付与されるため、全てのリンク部材２４に均一に回転力を付与することが可能となる。
従って、全てのリンク部材２４を円滑に回転させることが可能であり、駆動機構２５の電動機２６の動力を低減しながら、ベーン本体２２の取り付け角度を調整することができる。

さらに、ドライブリング２３は周方向への移動に加え、軸線Ｏ方向への移動も可能となっているが、これは予めリンク部材２４の回転動作に応じて軸線Ｏ方向にガタを設けているわけではなく、積極的に軸線Ｏ方向への動作が許容された構造となっている。よってドライブリング２３が動作する際に、ドライブリング２３が軸線Ｏ方向に対して傾斜してしまうこと、即ちカジリが発生することはなく、ベーンの開度調整の精度が低下してしまうことがない。

また、ドライブリング２３には伝達アーム２８によって回転力が伝達されており、構造がシンプルであるためコストの低減が可能である。

さらにこの伝達アーム２８においては、駆動レバー３６とドライブリング２３とが自在継手３０を介して連結されていることで、電動機２６の回転力が伝達アーム２８によってドライブリング２３に伝達される際に、伝達アーム２８が三次元的に円滑に動作可能となる。従って、ドライブリング２３が周方向への移動にともなって軸線Ｏ方向に移動している状態にあっても、この動作を妨げることなく確実に力を電動機２６からドライブリング２３へ伝達可能となる。従って、さらに精度よく流入流路Ｓ３を流通する流体Ｆの流量調整が可能である。

本実施形態の遠心圧縮機１によると、ドライブリング２３へ回転力を直接付与することで、全てのリンク部材２４を円滑に動作させることができるため、コストを抑えるとともに精度よく流量調整が可能となる。

〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機５１について説明する。
なお、第一実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、伝達アーム５８が第一実施形態とは異なっている。

図５に示すように、伝達アーム５８は、第一実施形態と同様に、出力軸２６ａに固定して連結された駆動レバー３６と、駆動レバー３６とドライブリング２３の突起部６０との間に設けられ、これらに連結された駆動リンクバー６５とを有している。

駆動リンクバー６５における連結棒状部７１は、ドライブリング２３の外周側で軸線Ｏの周方向に沿って延びる矩形部７２と、この矩形部７２の両端部で、軸線Ｏ方向の上流側に向かって直角に折れ曲がるようにして矩形部７２と一体に形成された屈曲部７３とを有し、この屈曲部７３には矩形部７２の延在方向貫通する貫通孔７３ａが形成されている。

駆動リンクバー６５における自在継手７５は、球面軸受３３と、この球面軸受３３を保持するとともに連結棒状部７１の屈曲部７３に向かって、即ち軸線Ｏの周方向に沿って延びる棒状部７６とを備えており、この棒状部７６にはその端面から延在方向に向かって凹むように雌ネジ部７６ａ（第一ネジ部）が設けられている。

そして、屈曲部７３の貫通孔７３ａにはボルト（第二ネジ部）７７が挿通して設けられるとともに、自在継手７５の棒状部７６が屈曲部７３に当接した状態で、棒状部７６の雌ネジ部７６ａにボルト７７が螺合することで、駆動リンクバー６５が構成されている。

ここで、本実施形態では第一実施形態と異なり、出力軸２６ａが軸線Ｏに直交するように電動機２６が設けられており、さらに、ドライブリング２３の突起部６０は、軸線Ｏ方向の下流側を向く表面に当接するように別体で取り付けられているが、これらは第一実施形態と同様に設けられていてもよい。

本実施形態の遠心圧縮機５１によると、自在継手７５を駆動リンクバー６５に取り付けてこれらを結合する際に、棒状部７６を駆動リンクバー６５に当接させた状態で、ボルト７７を締結する。従って、駆動リンクバー６５の長さと自在継手７５の長さとを合算した合計の長さ寸法、即ち伝達アーム５８の長さ寸法は、いずれの作業者が締結作業を行ったとしても必ず同じ寸法となる。

よって、伝達アーム５８の長さ調節に要する作業が不要となるため、組み立てに要する時間を短縮でき、作業性向上につながる。

なお、本実施形態では、自在継手７５の棒状部７６の雌ネジ部７６ａに螺合する雄ネジ部はボルト７７となっているが、例えばボルト７７に代えて、連結棒状部７１の屈曲部７３から突出するように雄ネジ部を連結棒状部７１に一体に設けて、この雄ネジ部に雌ネジ部７６ａを螺合させてもよい。

〔第三実施形態〕
次に、第三実施形態に係る遠心圧縮機８１について説明する。
なお、第一実施形態及び第二実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、第二実施形態の遠心圧縮機５１を基本構成とし、駆動機構８２の伝達アーム８３が第二実施形態とは異なっている。

図６に示すように、伝達アーム８３は、出力軸２６ａに固定して連結された駆動レバー３６と、駆動レバー３６とドライブリング２３の突起部６０との間に設けられ、これらに連結された駆動リンク部材８４とを有している。

駆動リンク部材８４は、ドライブリング２３から離間するように軸線Ｏの径方向に向かって延びる板状をなす連結部８５と、この連結部８５に設けられた二つの自在継手７５とを備えている。

そして、二つの自在継手７５は、一方が駆動レバー３６に連結され、他方がドライブリング２３に連結されている。またこれら自在継手７５は、連結部８５において互いに軸線Ｏの径方向に離間するように、連結部８５にボルト７７によって取り付けられている。

即ち、これら二つの自在継手７５は、駆動レバー３６とドライブリング２３との間を一直線に結ぶようには設けられておらず、オフセットさせた状態で設けられていることになる。

本実施形態の遠心圧縮機８１によると、電動機２６の設置位置が、ドライブリング２３から径方向に離間していたとしても、伝達アーム８３によって、駆動レバー３６とドライブリング２３とを確実に連結することができる。

より具体的には、例えば、小型の遠心圧縮機ではドライブリング２３が小径となり、第二実施形態の遠心圧縮機５１と比較すると、電動機２６との間の相対位置関係も変化し得る。そして、電動機２６とドライブリング２３とが離間している場合には、図６に示すように、仮に駆動レバー３６とドライブリング２３とを直線で連結すると、球面軸受３３の振れ角はαとなってしい、この振れ角αが球面軸受３３の可動範囲を超えてしまうことがある。

この点、本実施形態のように連結部８５を介して二つの自在継手７５をオフセットして設けることで、球面軸受３３の振れ角を可動範囲内に抑えることが可能となるため、電動機２６の設置位置に関わらず、駆動レバー３６とドライブリング２３とを確実に連結することができる。

また、第二実施形態と同様に、伝達アーム８３の長さ調節に要する作業が不要となるため、組み立てに要する時間を短縮でき、作業性向上につながる。

なお、電動機２６の設置位置が、ドライブリング２３から軸線Ｏ方向に離間している場合、軸線Ｏ方向及び径方向に離間している場合にも、同様に伝達アーム８３を適用可能である。

〔第四実施形態〕
次に、第四実施形態に係る遠心圧縮機９１について説明する。
なお、第一実施形態から第三実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
図７に示すように、本実施形態では、第二実施形態の遠心圧縮機５１を基本構成とし、電動機２６の制御を行うトルク検出部９３及び制御部９４をさらに備えている。

トルク検出部９３は、電動機２６のトルクを検出し、検出信号を制御部９４へ出力する。このトルク検出部９３は、例えば、電動機２６の電流値を検出する電流センサや、電動機２６の出力軸２６ａに設置したひずみゲージ等を用いることができる。

制御部９４は、トルク検出部９３からの検出信号を受けて、この検出信号の値が予め設定された閾値を超えた場合に、電動機２６の出力軸２６ａを逆回転させる。若しくは、一度逆回転させた後に、再度、通常動作時の方向に回転させたり、回転方向の変更を所定の回数繰り返すようにする。

本実施形態の遠心圧縮機９１によると、例えば、なんらかの原因によって、ドライブリング２３、リンク部材２４等がスムーズに動作しなくなってしまった場合には、通常動作時と比較して、電動機２６のトルクが大きくなる。

ここで、このように電動機２６のトルクが大きくなると、電動機２６の電流値も大きくなることから、制御部９４において、通常動作時の電動機２６のトルクに対応する電流値を上記閾値として設定し、電動機２６の電流値がこの閾値を超えると制御部９４によって電動機２６を制御するようにする。よって、ドライブリング２３、リンク部材２４等を通常動作の状態へ復帰させることが可能となる。即ち、トルク検出部９３として電流センサを用いて、少なくとも一回、電動機２６の出力軸２６ａを逆回転させることで、ドライブリング２３、リンク部材２４等を通常動作の状態へ復帰させることができる。

また、電動機２６のトルクが大きくなると電動機２６の出力軸２６ａにひずみが生じる。このため、制御部９４において、正常動作時の電動機２６のトルクに対応する出力軸２６ａのひずみ量を上記閾値として設定しておくことで、トルク検出部９３としてひずみゲージを採用して電動機２６の制御し、ドライブリング２３、リンク部材２４等を通常動作の状態へ復帰させることができる。

従って、例えば、仮にドライブリング２３にカジリが生じてベーン本体２２が動作しなくなってしまっても、メンテナンスを行うことなく、ドライブリング２３、リンク部材２４等を通常動作状態に自動で復帰させることができ、ベーン本体２２の角度調整が可能となる。このため、直ぐに開度の制御が不能になることはなく、信頼性、使用性の向上を図ることができる。

なお、トルク検出部９３として電流センサ、ひずみゲージを用いる場合以外に、例えば、電動機２６のトルクの状態を監視するとともにベーン本体２２の動作、停止の状態を監視する監視装置を設けてもよい。そして例えば、電動機２６のトルクが発生しているにも関わらずベーン本体２２が動作していない状況であれば、ドライブリング２３、リンク部材２４等が通常の動作状態となっていないことが想定される。従って、この場合には制御部９４を用いて、上述したように電動機２６の制御を行うことで、ドライブリング２３、リンク部材２４等を通常動作の状態へ復帰させることができる。

さらに、このようにトルク検出部９３からの検出信号をデータロガー等によって記録して、動作状態の遠隔監視を行うことも可能である。また、トルク検出部９３からの検出信号が上記閾値を超えた場合に警報を発するアラーム手段を別途設けて、このアラーム手段の警報をインターネット回線等を通じて確認することで、メンテナンスの要否を判断することも可能である。

〔第五実施形態〕
次に、第五実施形態に係る遠心圧縮機１０１について説明する。
なお、第一実施形態から第四実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、第二実施形態の遠心圧縮機５１を基本構成とし、駆動機構１０２の伝達アーム１０３が第二実施形態とは異なっている。

図８（ａ）、図８（ｂ）に示すように、伝達アーム１０３は、出力軸２６ａに固定して連結された駆動レバー３６と、駆動レバー３６とドライブリング２３の突起部６０との間に設けられ、これらに連結された駆動リンク部材１０５とを有している。

駆動リンク部材１０５は、図８（ａ）に示すように、二つの自在継手７５と、第二実施形態の矩形部７２と同等形状をなす矩形部１０５ａと、屈曲部７３と同等形状をなす屈曲部１０５ｂとを有している。また、二つの屈曲部１０５ｂに挟み込まれるようにして、二つの自在継手７５の間に設けられたダンピング部材１０４を有し、このダンピング部材１０４は、例えば硬質ゴム等の材料によって形成されている。

ここで、図８（ｂ）に示すように、伝達アーム１０３は、駆動リンク部材１０５に代えて駆動リンク部材１０５Ａを有していてもよい。
具体的には、この駆動リンク部材１０５Ａは、二つの自在継手７５と、これら自在継手７５同士の間で各々の自在継手７５に設けられて、自在継手７５の棒状部７６の延在方向に直交する方向に突出する一対のフランジ部１０６Ａとを有している。

さらに、駆動リンク部材１０５Ａは、これら一対のフランジ部１０６Ａによって挟み込まれるようにして設けられたＯリング１０７Ａと、Ｏリング１０７Ａの径方向内側に配されて、硬質ゴム等の材料によって形成されたダンピング部材１０４Ａとを有している。
また、一対のフランジ部１０６Ａ同士を突き合わせてＯリング１０７Ａ及びダンピング部材１０４Ａを一対のフランジ部１０６Ａで挟み込んだ状態で、これら一対のフランジ部１０６Ａを締結して固定するボルト１０８Ａが設けられている。

本実施形態の遠心圧縮機１０１によると、伝達アーム１０３にダンピング部材１０４（１０４Ａ）を適用したことで、流入する流体Ｆによる自励振動等の振動現象の抑制を図ることが可能となる。このため、遠心圧縮機１０１の構成部品の摩耗や、劣化を防止でき、製品寿命を延ばすことが可能となる。

特に、図８（ｂ）に示す駆動リンク部材１０５Ａでは、引っ張り力をボルト１０８Ａで受け、また圧縮力をダンピング部材１０４Ａで受けることが可能となるため、さらに効果的に振動現象の抑制を図ることができる。

なお、本実施形態の伝達アーム１０３において、ダンピング部材１０４、１０４Ａは上述したものには限定されず、自在継手７５同士の間に介在されて作用力の減衰が可能な部材であればよい。

また、本実施形態の伝達アーム１０３を、第一実施形態、第三実施形態、及び第四実施形態の遠心圧縮機１、８１、９１にも適用可能である。

〔第六実施形態〕
次に、第六実施形態に係る遠心圧縮機１１１について説明する。
なお、第一実施形態から第五実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、ベーン本体１１２が第一実施形態から第五実施形態とは異なっている。

図９に示すように、ベーン本体１１２は、リンク部材１２２との連結部分に設けられたトルクリミッタ部１１３を有している。

ここで、ベーン本体１１２における軸部１１２ｂ（回転軸）には、径方向の外側を向く端面から軸線Ｏの径方向の内側に向かって孔部１１２ｃが形成されている。
さらに、このリンク部材１２２は、上述したリンク部材２４と略同一形状の部材となっているが、リンク部材１２２には上記孔部１１２ｃに径方向に対向する位置で、軸線Ｏの径方向外側に向かって凹む凹部１２２ａが形成されている。

また、軸部１１２ｂとリンク部材１２２とは、上述したピン２４ｂと略同一のピン１２４によって連結されているが、このピン１２４には先端側に雄ネジ部１２４ａが形成されており、軸部１１２ｂに形成された雌ネジ部１１２ｄに螺合している。さらに、これらピン１２４及び軸部１１２ｂが、リンク部材１２２に対して軸線Ｏの径方向を回転軸線として相対回転可能となっている。

トルクリミッタ部１１３は、孔部１１２ｃに底部から径方向に延びるように設けられたコイルバネ１１３ａと、コイルバネ１１３ａの先端に取り付けられているとともに、リンク部材１２２と凹部１２２ａとの間にわたって配されたボール部材１１３ｂとを有して、いわゆるボールプランジャとなっている。そして、このボール部材１１３ｂは、コイルバネ１１３ａによってリンク部材１２２の凹部１２２ａに付勢されている。

本実施形態の遠心圧縮機１１１によると、トルクリミッタ部１１３を採用することで、ドライブリング２３、リンク部材１２２の通常動作時には、ボール部材１１３ｂがリンク部材１２２と凹部１２２ａとの間にわたって配されて、凹部１２２ａに付勢されているため、軸部１１２ｂとリンク部材１２２との相対回転が規制されている。

ここで、なんらかの原因によって、一つのベーン本体１１２が回転しなくなってしまった場合には、このベーン本体１１２に連結されたリンク部材１２２が動作せず、ドライブリング２３が動作しなくなってしまう。

このため、全てのベーン本体１１２が動作しなくなり、流入する流体Ｆの流量調整が不可能となってしまう。この際、ベーン本体１１２の軸部１１２ｂとリンク部材との連結部分に作用するトルクは、通常動作時と比較して大きくなる。

ここで、本実施形態ではトルクが予め設定した閾値を超えた場合に、トルクリミッタ部１１３のボール部材１１３ｂがコイルバネ１１３ａの付勢力に抗して孔部１１２ｃの内部に収容されるように押し込まれるようにしておく。このようにすることで、トルクがこの閾値を超えると、軸部１１２ｂとリンク部材１２２との間で相対回転が可能となる。

従って、軸部１１２ｂとリンク部材１２２との相対回転により、一つのベーン本体１１２が動作しない状態でも、このベーン本体１１２を連結するリンク部材１２２のみを動作させることができ、ドライブリング２３を動作させ、他のベーン本体１１２を動作させることが可能となる。よって、完全に流量調整機能を失うことはなくなり、信頼性、使用性の向上につながる。

なお、本実施形態のトルクリミッタ部１１３は、ボールプランジャに限定されず、例えば、軸部１１２ｂとリンク部材１２２との間に摩擦部材を設け、ベーン本体１１２に作用するトルクが一定値を超えた場合に、摩擦部材で生じる摩擦力に抗して軸部１１２ｂとリンク部材１２２とが相対回転するような構造としてもよい。またその他、種々の公知のトルクリミッタを適用可能である。

以上、本発明の実施形態について詳細を説明したが、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において、多少の設計変更も可能である。
上述の実施形態では、駆動機構２５（５５、８２、１０２）には電動機２６、伝達アーム２８（５８、８３、１０３）を用いているが、例えば油圧シリンダ等によってドライブリング２３に対して回転力を付与することも可能である。

また、伝達アーム２８（５８、８３、１０３）については、例えば、図１０に示すように、遠心圧縮機の機種に応じて、専用部品としてもよい。ここで、伝達アーム２８の長さ寸法はドライブリング２３の外径に依存し、ドライブリング２３の外径に対する伝達アーム２８の長さ寸法の比が０．３〜０．７となることが好ましい。
そして、伝達アーム２８にこのように専用部品を用いた場合には、伝達アーム２８を組立てる必要がないため、組み立てに要する時間を短縮できる、また伝達アーム２８で必要な長さ調節も不要となるため、作業性向上につながる。

１…遠心圧縮機 ２…主軸 ３…主電動機 ３ａ…主出力軸 ５…ギア機構 ６、７…軸受 ８…吸込口 ９…吐出口 １０…インペラ（羽根車） １０Ａ…一段インペラ １０Ｂ…二段インペラ １１…ベーン装置 １２…ケーシング １３…内部ケーシング １５…主軸ギア １６…出力軸ギア １７…ディスク １８…ブレード ２０…リターンベーン ２２…ベーン本体 ２２ａ…羽根部 ２２ｂ…軸部（回転軸） ２３…ドライブリング ２３ａ…突起部 ２４…リンク部材 ２４ａ、２４ｂ…ピン ２５…駆動機構 ２６…電動機 ２６ａ…出力軸 ２８…伝達アーム ３０…自在継手 ３１…連結棒状部 ３１ａ…雌ネジ部（第二ネジ部） ３２…ピン ３３…球面軸受 ３４…棒状部 ３４ａ…雄ネジ部（第一ネジ部） ３５…駆動リンクバー ３６…駆動レバー Ｓ１…圧縮流路 Ｓ２…流路 Ｓ２ａ…第一段ディフューザ流路 Ｓ２ｂ…リターン流路 Ｓ２ｃ…吸込流路 Ｓ２ｄ…第二段ディフューザ流路 Ｓ３…流入流路 Ｆ…流体 Ｏ…軸線 ５１…遠心圧縮機 ５５…駆動機構 ５８…伝達アーム ６０…突起部 ６５…駆動リンクバー ７１…連結棒状部 ７２…矩形部 ７３…屈曲部 ７３ａ…貫通孔 ７５…自在継手 ７６…棒状部 ７６ａ…雌ネジ部（第一ネジ部） ７７…ボルト（第二ネジ部） ８１…遠心圧縮機 ８２…駆動機構 ８３…伝達アーム ８４…駆動リンク部材 ８５…連結部 ９１…遠心圧縮機 ９３…トルク検出部 ９４…制御部 １０１…遠心圧縮機 １０２…駆動機構 １０３…伝達アーム １０４…ダンピング部材 １０５…駆動リンク部材 １０５ａ…矩形部 １０５ｂ…屈曲部 １０４Ａ…ダンピング部材 １０５Ａ…駆動リンク部材 １０６Ａ…フランジ部 １０７Ａ…Ｏリング １０８Ａ…ボルト １１１…遠心圧縮機 １１２…ベーン本体 １１２ｂ…軸部（回転軸） １１２ｃ…孔部 １１２ｄ…雌ネジ部 １１３…トルクリミッタ部 １１３ａ…コイルバネ １１３ｂ…ボール部材 １２２…リンク部材 １２２ａ…凹部 １２４ピン… １２４ａ…雄ネジ部

Claims (8)

1. 軸線回りに回転する主軸と、
   該主軸に取り付けられた羽根車と、
   前記羽根車への流入流路における流体の流量を調整するベーン装置とを備え、
   該ベーン装置は、
   前記流入流路に前記軸線の周方向に間隔をあけて複数が設けられ、それぞれ前記軸線の径方向に延びる回転軸回りに回転することで取り付け角度が変化するベーン本体と、
   一端が各前記回転軸に連結されて、該回転軸とともに回転する複数のリンク部材と、
   前記軸線を中心とした円環状をなして、複数の前記リンク部材の他端が連結されることで前記ベーン本体の回転に伴って前記リンク部材の回転軌跡に従って軸線方向及び周方向に移動する環状部材と、
   前記環状部材に接続されて該環状部材に対して接線方向に力を伝達する駆動機構と、
   を有することを特徴とする遠心圧縮機。
2. 前記駆動機構は、
   回転駆動する出力軸を備える電動機と、
   一端が前記出力軸に連結され、他端が前記環状部材に連結されて、前記電動機の回転力を前記環状部材の前記接線方向への力として伝達する伝達アームと、
   を有することを特徴とする請求項１に記載の遠心圧縮機。
3. 前記伝達アームは、
   前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、
   一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンクバーと、
   を有し、
   前記駆動リンクバーは、前記軸線の周方向に沿って延びる連結棒状部と、
   前記連結棒状部の両端に設けられた自在継手と、
   を備え、前記一端は前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の遠心圧縮機。
4. 前記自在継手は、
   前記駆動レバー及び前記環状部材に連結される二つの球面軸受と、各々の前記球面軸受けから前記連結棒状部に向かって延びて該連結棒状部に当接するとともに、当接する部分に第一ネジ部が設けられた棒状部と、
   を有し、
   前記連結棒状部には、前記第一ネジ部に螺合する第二ネジ部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の遠心圧縮機。
5. 前記伝達アームは、
   前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、
   一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンク部材と、
   を有し、
   前記駆動リンク部材は、
   前記環状部材から離間する方向に延びる連結部と、
   前記連結部に前記軸線方向及び前記軸線の径方向のうちの少なくとも一方に、互いに離間するように設けられた二つの自在継手と、
   を備え、前記一端は一方の前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は他方の前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の遠心圧縮機。
6. 前記伝達アームは、
   前記出力軸に固定されて該出力軸の径方向に延び、前記出力軸とともに回転する駆動レバーと、
   一端が前記駆動レバーに連結されるとともに他端が前記環状部材に連結された駆動リンク部材と、
   を有し、
   前記駆動リンク部材は、前記一端と前記他端との間に設けられて、該駆動リンク部材に作用する力を減衰するダンピング部材と、
   前記ダンピング部材に設けられた二つの自在継手と、
   を備え、前記一端は一方の前記自在継手を介して前記駆動レバーに連結され、前記他端は他方の前記自在継手を介して前記環状部材に連結されていることを特徴とする請求項２に記載の遠心圧縮機。
7. 前記電動機のトルクを検出するトルク検出部と、
   前記トルク検出部での検出値が予め設定された閾値を超えた場合に、前記電動機の前記出力軸を逆回転させる制御部と、
   をさらに備えることを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。
8. 前記ベーン本体は、該ベーン本体に作用するトルクが予め設定された閾値を超えた場合に、前記回転軸が前記リンク部材との間で相対回転可能とするトルクリミッタ部を有することを特徴とする請求項２から７のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。

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