JP2014106184A - 差圧センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ11の一方の面にセンサベース13−1を接合し、他方の面にセンサベース13−2を接合する。導圧管14−1の一端をセンサベース13−1の連通孔13−1aに挿入固定し、導圧管14−1の他端をバリアベース12−2の導圧路12−2bに挿入固定する。導圧管14−2の一端をセンサベース13−2の連通孔13−2aに挿入固定し、導圧管14−2の他端をバリアベース12−3の導圧路12−2bに挿入固定する。導圧管14−1の管路14−1aを封入室の一部として流体圧力P1をセンサダイアフラム11−1の一方の面に導く圧力伝達媒体16−1を封入する。導圧管14−2の管路14−2aを封入室の一部として流体圧力P2をセンサダイアフラム11−1の他方の面に導く圧力伝達媒体16−2を封入する。バリアベース12−2,12−2にリング状の溝12−2d,12−3dを形成する。
【選択図】 図1
Description
図1はこの発明に係る差圧センサの一実施の形態(実施の形態1)の要部を示す断面図である。同図において、12はセンサハウジングであり、円筒状のリングボディ12−1と、円板状のバリアベース12−2,12−3とから構成されている。リングボディ12−1およびバリアベース12−2,12−3は例えばステンレス製とされている。
図2にこの発明に係る差圧センサの他の実施の形態(実施の形態2)の要部を示す。同図において、図1と同一符号は図1を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (4)
- 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの一方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの一方の面へ第1の流体圧力を導く第1の導圧孔を有する第1の保持部材と、前記センサダイアフラムの他方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの他方の面へ第2の流体圧力を導く第2の導圧孔を有する第2の保持部材とを少なくとも備えたセンサチップと、
前記センサチップを収容するセンサ室と、前記センサ室の第1の内壁面まで前記第1の流体圧力を導く第1の導圧路と、前記センサ室の前記第1の内壁面と対向する第2の内壁面まで前記第2の流体圧力を導く第2の導圧路とを有するセンサハウジングとを備えた差圧センサにおいて、
前記センサチップの一方の面に接合され前記第1の導圧孔に連通する第1の連通孔を有する第1の接続部材と、
前記センサチップの他方の面に接合され前記第2の導圧孔に連通する第2の連通孔を有する第2の接続部材と、
前記第1の接続部材の第1の連通孔にその一端が挿入固定され、前記センサハウジングの第1の導圧路にその他端が挿入固定された第1の導圧管と、
前記第2の接続部材の第2の連通孔にその一端が挿入固定され、前記センサハウジングの第2の導圧路にその他端が挿入固定された第2の導圧管とを備え、
前記第1の導圧管の管路を封入室の一部として、前記第1の流体圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に導く第1の圧力伝達媒体が封入され、
前記第2の導圧管の管路を封入室の一部として、前記第2の流体圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に導く第2の圧力伝達媒体が封入されている
ことを特徴とする差圧センサ。 - 請求項1に記載された差圧センサにおいて、
前記第1の接続部材は、
前記センサチップの一方の面との間に前記第1の連通孔につながる間口の広い第1の空間を有し、
前記第2の接続部材は、
前記センサチップの他方の面との間に前記第2の連通孔につながる間口の広い第2の空間を有する
ことを特徴とする差圧センサ。 - 請求項1又は2に記載された差圧センサにおいて、
前記センサハウジングは、
前記センサ室の第1の内壁面を提供する第1の壁面部材と、
前記センサ室の第2の内壁面を提供する第2の壁面部材とを備え、
前記第1および第2の壁面部材は、
前記第1よび第2の圧力伝達媒体が膨張もしくは収縮してその媒体の容積が変化した場合に、その媒体の容積変化による応力の発生を緩和する方向に変位する、
ことを特徴とする差圧センサ。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された差圧センサにおいて、
前記第1の流体圧力を受圧して前記第1の圧力伝達媒体に伝える第1の受圧ダイアフラムと、
前記第2の流体圧力を受圧して前記第2の圧力伝達媒体に伝える第2の受圧ダイアフラムとを備え、
前記第1および第2の受圧ダイアフラムは、
前記センサハウジングの外周面に設けられている
ことを特徴とする差圧センサ。
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