JP2014102366A - 液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子基板10及び第2対向基板のうち少なくとも素子基板10は、少なくとも表示領域Eに設けられた第1部分E1と、少なくとも表示領域Eとシール材14との間に設けられた第2部分E2と、を有し、第1部分E1には表面層41が設けられており、第2部分E2には表面層41が設けられていない。
【選択図】図6
Description
<液晶装置の構成>
図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
図5は、液晶装置のうち主に無機配向膜の構成を示す模式平面図である。図6は、図5に示す液晶装置のA−A’線に沿う模式断面図である。図7は、液晶装置の各領域を示す模式平面図である。図8は、図7に示す液晶装置のK部における画素電極層を示す拡大平面図である。以下、主に無機配向膜の構成について、図5〜図8を参照しながら説明する。なお、第1基材10aから第3層間絶縁層11dまでを第1基材10aと称して説明する。
図9は、液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図10は、液晶装置の製造方法のうち一部の製造方法を示す模式図である。以下、液晶装置の製造方法を、図9及び図10を参照しながら説明する。
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図11を参照して説明する。図11は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。
<無機配向膜の構成>
図12は、第2実施形態の液晶装置のうち主に無機配向膜の構成を示す模式断面図である。以下、液晶装置の構造について、図12を参照しながら説明する。なお、第1基材10aから第3層間絶縁層11dまでを第1基材10aと称して説明する。
図13は、第2実施形態の液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図14は、液晶装置の製造方法のうち一部の製造方法を示す模式図である。以下、液晶装置の製造方法を、図13及び図14を参照しながら説明する。
上記した第2実施形態は、少なくとも表示領域Eとシール材14と平面視で重なる領域に表面層41を残すことに限定されず、例えば、表示領域Eのみに表面層41を残すようにしてもよい。製造方法としては、素子基板10と対向基板20とが貼り合わされた液晶装置200aに、表示領域Eと重なる領域に遮光部181aを有するフォトマスク181を用いて、紫外線を照射する。
上記したように、表面層を選択的に形成する方法は、フォトマスク及びUV照射で行うことに限定されず、例えば、液状の表面処理剤を用いてインクジェット法で必要な領域だけに形成するようにしてもよい。
上記した第2実施形態は、表示領域Eと表面層41が設けられている領域(第1部分E1)が同じであることに限定されず、第1実施形態のように、表示領域Eの外側の領域までが表面層41の設けられている第1部分E1としてもよい。
上記したように、表面層41が設けられている第1部分E1としては、表示領域Eと同じ領域や表示領域Eより外側の領域までとすることに限定されず、例えば、表示領域E(a)からダミー表示領域(b)に亘って表面層41の設けられている第1部分E1としてもよい。これによれば、表示領域E(a)からダミー表示領域bに亘って表面処理が施された第1部分E1であるので、同じ断面構造を有する領域が同じ表面処理(表面層41)の状態になる。よって、表示領域Eの周辺で表示ムラを抑えることが可能となり、表示品質の信頼性を向上させることができる。
上記したように、透過型の液晶装置100であることに限定されず、例えば、反射型の液晶装置に本発明を適用するようにしてもよい。
Claims (9)
- 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるシール材と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された液晶層と、
前記第1基板と前記液晶層との間に設けられた第1配向膜と、
前記第2基板と前記液晶層との間に設けられた第2配向膜と、
を含み、
前記第1配向膜は、
少なくとも表示領域に設けられた第1部分と、
前記第1部分と前記シール材との間に設けられた第2部分と、
を有し、
前記第1部分の表面より前記第2部分の表面の方が、疎水性基の密度が低いことを特徴とする液晶装置。 - 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるシール材と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された液晶層と、
前記第1基板と前記液晶層との間に設けられた第1配向膜と、
前記第2基板と前記液晶層との間に設けられた第2配向膜と、
を含み、
前記第1配向膜は、
少なくとも表示領域に設けられた第1部分と、
前記第1部分と前記シール材との間に設けられた第2部分と、
を有し、
前記第1部分には表面処理膜が設けられており、
前記第2部分には前記表面処理膜が設けられていないことを特徴とする液晶装置。 - 請求項1に記載の液晶装置であって、
前記表示領域には、
画素毎に所定のピッチで配列する複数の画素電極が設けられ、
前記表示領域の周囲に設けられたダミー表示領域には、
前記複数の画素電極と同一層からなり、前記複数の画素電極と実質的に等しいサイズおよびピッチで配列する複数のダミー画素電極が設けられ、
前記ダミー表示領域の周囲に設けられた非有効画素領域には、
前記複数の画素電極と同一層からなり、前記複数の画素電極と実質的に等しいサイズおよびピッチで配列された複数の導電膜と、互いに隣り合う前記複数の導電膜を接続する導電性の接続部と、を有する導電パターンが設けられ、
前記非有効画素領域の少なくとも一部に形成された前記第1配向膜は、前記表示領域及び前記ダミー表示領域に形成された前記第1配向膜よりも疎水性基の密度が低いことを特徴とする液晶装置。 - 請求項1に記載の液晶装置であって、
前記表示領域には、
画素毎に所定のピッチで配列する複数の画素電極が設けられ、
前記表示領域の周囲に設けられたダミー表示領域には、
前記複数の画素電極と同一層からなり、前記複数の画素電極と実質的に等しいサイズおよびピッチで配列する複数のダミー画素電極が設けられ、
前記ダミー表示領域の周囲に設けられた非有効画素領域には、
前記複数の画素電極と同一層からなり、前記複数の画素電極と実質的に等しいサイズおよびピッチで配列された複数の導電膜と、互いに隣り合う前記複数の導電膜を接続する導電性の接続部と、を有する導電パターンが設けられ、
前記ダミー表示領域及び非有効画素領域に形成された前記第1配向膜は、前記表示領域に形成された前記第1配向膜よりも疎水性基の密度が低いことを特徴とする液晶装置。 - 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるシール材と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された液晶層と、
前記第1基板と前記液晶層との間に設けられた第1配向膜と、
前記第2基板と前記液晶層との間に設けられた第2配向膜と、
を含む液晶装置の製造方法であって、
前記第1配向膜及び前記第2配向膜のうち少なくとも前記第1配向膜の表示領域に表面処理を施し、表面処理膜が形成された第1部分と、前記表面処理膜がない第2部分と、を形成する表面処理膜形成工程を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 請求項5に記載の液晶装置の製造方法であって、
前記表面処理膜形成工程は、
前記第1配向膜の表面に表面処理を施して表面処理層を形成する表面処理工程と、
少なくとも前記第1配向膜に形成された前記表示領域と前記シール材との間の前記表面処理層を除去して、前記第1部分及び前記第2部分を形成する除去工程と、
を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 第1基板と、
前記第1基板に対向配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板とを貼り合わせるシール材と、
前記第1基板と前記第2基板とにより挟持された液晶層と、
前記第1基板と前記液晶層との間に設けられた第1配向膜と、
前記第2基板と前記液晶層との間に設けられた第2配向膜と、
を含む液晶装置の製造方法であって、
前記第1配向膜及び前記第2配向膜に表面処理を施して表面処理膜を形成する表面処理膜形成工程と、
前記第1基板及び前記第2基板を前記シール材を介して貼り合わせる貼り合わせ工程と、
前記第1基板及び前記第2基板のうち、少なくとも一方の基板側から紫外線を照射して、少なくとも表示領域と前記シール材との間の前記表面処理膜を除去する除去工程と、
を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 請求項7に記載の液晶装置の製造方法であって、
前記除去工程は、前記表示領域と、前記第1基板及び前記第2基板の周縁部と、の間の前記表面処理膜を除去することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016009046A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び電気光学装置の製造方法 |
JP2016017984A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び電気光学装置の製造方法 |
JP2018200455A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置の製造方法 |
JP2020020918A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置および電子機器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10260406A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Fujitsu Ltd | 液晶表示パネル |
JP2005107416A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2011174966A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2012108464A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置および電子機器 |
-
2012
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10260406A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Fujitsu Ltd | 液晶表示パネル |
JP2005107416A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2011174966A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2012108464A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置および電子機器 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016009046A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び電気光学装置の製造方法 |
JP2016017984A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び電気光学装置の製造方法 |
JP2018200455A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置の製造方法 |
US10712620B2 (en) | 2017-05-30 | 2020-07-14 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing liquid crystal device, liquid crystal device, and electronic apparatus |
JP2020020918A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置および電子機器 |
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