JP2014102296A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために本発明の光学フィルタの一態様は、
光透過性を有する基板と、
前記基板上に設けられて膜厚方向に屈折率変化する屈折率傾斜薄膜と、
前記屈折率傾斜薄膜上に設けられて光透過性および耐候性を含んだ多機能膜とを備え、
前記多機能膜の上には、可視光の波長よりも短いピッチの微細構造体を設けてなる
ことを特徴とする。

Claims (14)

1. 光透過性を有する基板と、
   前記基板上に設けられて膜厚方向に屈折率変化する屈折率傾斜薄膜と、
   前記屈折率傾斜薄膜上に設けられて光透過性および耐候性を含んだ多機能膜とを備え、
   前記多機能膜の上には、可視光の波長よりも短いピッチの微細構造体を設けてなることを特徴とする光学フィルタ。
2. 前記基板と、前記屈折率傾斜薄膜の前記基板側との間に他の多機能膜を備えることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
3. 前記屈折率傾斜薄膜は、膜厚方向に屈折率の前記屈折率変化の傾きの正負が変化し、前記基板側の終点及び前記微細構造体側の終点の少なくとも一方の屈折率に向かって単調に近づく屈折率変化となる変化点を含む特性を備え、
   前記基板側に設けられる前記他の多機能膜においては、該他の多機能膜の屈折率と、前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率変化における前記基板側の終点の屈折率との差は、該他の多機能膜と前記変化点との屈折率差よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の光学フィルタ。
4. 前記屈折率傾斜薄膜は、膜厚方向に屈折率の前記屈折率変化の傾きの正負が変化し、前記基板側の終点及び前記微細構造体側の終点の少なくとも一方の屈折率に向かって単調に近づく屈折率変化となる変化点を含む特性を備え、
   前記微細構造体側に設けられる多機能膜においては、該多機能膜の屈折率と、前記屈折率傾斜薄膜の膜厚方向の屈折率変化における前記微細構造体側の終点の屈折率との差は、該多機能膜と前記変化点との屈折率差よりも小さいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
5. 前記屈折率傾斜薄膜の前記多機能膜側の屈折率変化の終点と前記多機能膜との屈折率差、及び前記多機能膜と前記微細構造体との屈折率差は０．０５以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
6. 前記屈折率傾斜薄膜は、金属または半金属の酸化物により構成され、
   前記多機能膜は、少なくとも前記屈折率傾斜薄膜を形成している酸化物の飽和酸化物により形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
7. 前記多機能膜が、Ａｌ、Ｓｉのうち少なくともどちらか一方を含んだ酸化物であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
8. 前記多機能膜が、Ａｌ及びＳｉを含んだ酸化物であることを特徴とする請求項７に記載の光学フィルタ。
9. 前記多機能膜が、複数の金属または半金属元素を含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
10. 前記微細構造体は、可視光の波長よりも短いピッチの周期構造を有すること特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
11. 前記屈折率傾斜薄膜は、その膜厚方向において、
    可視波長領域の分光透過特性が長波長側になるにつれて高くなる領域と、
    可視波長領域の分光透過特性が長波長側になるにつれて低くなる領域と、
    を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
12. 前記多機能膜は、前記微細構造体の密着膜としての機能を含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
13. 請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光学フィルタを撮影光学系に用いたことを特徴とする光学機器。
14. 請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光学フィルタを表示部に用いたことを特徴とする電子機器。