JP2014097566A - 基板周縁部を加工するブラスト加工装置およびこの装置を用いたブラスト加工方法 - Google Patents
基板周縁部を加工するブラスト加工装置およびこの装置を用いたブラスト加工方法 Download PDFInfo
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Abstract
表に薄膜層が形成された基板の基板周縁部の薄膜層を除去する加工装置であって、従来の加工装置よりも加工時間が短く、且つ生産性が向上したブラスト加工装置およびブラスト加工方法を提供する。
【解決手段】
基板周縁部を遊挿する基板遊挿部が形成された基板周縁部加工室と基板周縁部に向かって噴射材を噴射するノズルとを含み、且つ集塵機構が連結された基板周縁部加工機構と、前記基板が載置され該基板を前記ノズルに対して相対的に水平移動させる基板移動回転機構と、前記基板搬送機構を下降させて前記基板を前記基板移動回転機構に転置する昇降機構とを備える。基板周縁部加工機構を低い位置に配置することができるので、加工能力を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
また、本発明のブラスト加工装置において、前記クリーニング機構は、前記基板の表面に対向するように配置され、下端が開口したケーシングと、前記ケーシングの内部に先端が挿入して配置され、前記基板に向けて圧縮空気を噴射するクリーニングノズルと、前記ケーシングに設けられ、集塵機構と連通される吸引部材と、を備えていることを特徴としてもよい。クリーニングノズルより噴射された圧縮空気により、基板表面に付着した噴射材を含む微粉末が基板表面より離れ浮遊する。浮遊した微粉末は、ケーシング内の空間は吸引機構によって吸引される。これにより、基板表面に付着(残留)した噴射材を除去することができる。
また、本発明のブラスト加工方法において、前記基板周縁部の少なくとも1辺の不必要な薄膜層を除去した後に、該基板を前記基板移動回転機構によって90度回転させる工程と、前記基板移動回転機構を水平移動して前記基板の不必要な薄膜層が除去された周縁部の辺に隣接された少なくとも1辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿する工程と、前記基板移動回転機構を更に水平移動しながら前記ノズルより噴射材を噴射して、該基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿された周縁部の不必要な薄膜層を除去すると共に、該噴射材を前記集塵機構で吸引する工程と、をさらに含むことを特徴としてもよい。
本発明のブラスト加工方法により、基板をノズルに対して相対的に水平移動させる基板移動回転機構が従来の加工装置より低い位置にはいちされている。すなわち、基板移動回転機構の重心が低くなるので、生産性を向上させるために基板の水平移動の速度を上昇させた場合でも、振動することなく安定して移動することができる。以上のように、本発明によって、基板の水平移動の速度を速くして加工速度を速くした場合でも安定してブラスト加工を行うことができ、基板周縁部の薄膜層を除去することができる。
また、本発明のブラスト加工方法において、前記第一加工辺の薄膜層が除去された基板を前記基板移動回転機構によって90度回転させる工程と、前記基板移動回転機構を水平移動して第一加工辺に隣接する第二加工辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部にそれぞれ遊挿する工程と、前記基板移動回転機構を更に水平移動しながら前記ノズルより噴射材を噴射して、前記第二加工辺の薄膜層を除去すると共に、前記基板周縁部加工機構の内部で発生した粉塵を前記集塵機構で吸引する工程と、をさらに含むことを特徴としてもよい。
対向する平行の2辺の周縁部の不要な薄膜層を同時に除去できるので、短時間で基板周縁部の不必要な薄膜層を除去することができる。
前記制御手段に、基板Sを良好に加工するための条件(基板Sの寸法、基板Sの移動速度、噴射圧力、走査回数、加工幅、等)を入力する。入力後、加工開始釦をONにすることで、入力した条件での加工が開始され、自動で加工が完了する。ここで、制御手段はブラスト加工装置10の動作を入力し、制御できさえすればよく、例えばプログラマブルロジックコントロータ(PLC)やデジタルシグナルプロセッサ(DSP)等のモーションコントローラ、高機能携帯端末、高機能携帯電話、等を用いてもよい。
基板搬送機構14が作動した後、基板搬入口11aより基板Sを遊挿する。ここでは、長辺方向より遊挿した場合を例に説明する。基板搬入口11aより遊挿された基板Sは基板搬送機構14によって前進する。そして、第一固定部材16aに衝突して搬送方向端の位置決めが完了する。その後、調整部材16cが前進して、基板Sを左方に移動させる。その後、基板Sの左辺が第二固定部材16bに衝突して左右方向の位置決めが完了する。基板Sの位置決めが完了したら、前記基板搬送機構14が停止する。なお、第一固定部材16aは、加工完了後に基板Sと衝突しないように、該第一固定部材16a同士の間隔が該基板の短辺の長さ以上になるように配置されている。(図5(A)を参照)
昇降機構15が作動して基板搬送機構14が下降する。基板Sの下方には基板移動回転機構17の載置テーブル17aが停止している(初期停止位置)。基板搬送機構14が載置テーブル17aより下方になると、基板Sは基板搬送機構14より載置テーブル17aに転置される。基板Sが載置テーブル17aに転置されたら吸引機構が作動して、基板Sが該載置テーブル17a上に固定される。このようにして基板Sは、互いに対向する長辺である第一加工辺が上下方向に位置し、且つ基板Sの平面中心が載置テーブル17aが回動する際の軸心と一致するように載置テーブル17a上に載置され、固定される。(図5(B)を参照)
前記間隔調整機構が作動して一対の基板周縁部加工ユニットU(基板周縁部加工機構12および該基板周縁部加工機構12の左右に隣接されたクリーニング機構13)が、第一加工辺同士の間隔に合わせて図1(A)における上下方向に移動する。これにより基板周縁部加工ユニットU同士の間隔が調整される。次いで、集塵機構が作動し、基板周縁部加工機構12内およびクリーニング機構13内を吸引する。更に、圧縮空気供給機構および噴射材供給機構18が作動して、ノズルNより噴射材が噴射され、クリーニングノズル13bより圧縮空気が噴射される。その後、走行機構17bが作動し、載置テーブル17aが右方向に移動する。そして、基板Sの第一加工辺が基板周縁部加工機構12の基板遊挿部12eに遊挿され、通過する。基板遊挿部12eに遊挿された第一加工辺がノズルNの下方を通過することで、前記第一加工辺の薄膜層が除去される。基板周縁部加工機構12を通過した基板Sの表面には、粉塵が吸引しきれずに残留している場合がある。この粉塵は、基板周縁部加工機構12の右方に隣接されたクリーニング機構13の下方を通過することで除去される。また、このように、従来のブラスト加工装置に比べ基板Sの重心を低くして移動することができるので、上下方向の振動が少なくなり、安定して移動することができる。(図6(A)を参照)
第一加工辺の全長が前記基板周縁部加工ユニットUを通過し、基板Sが右方の所定の位置(往路停止位置)まで進んだら、走行機構17bの作動が停止する。停止後、第一加工辺に隣接する第二加工辺(互いに対向する短辺)が上下方向に位置するように、回動機構17cが作動して基板Sを90度回動させる。また、前記間隔調整機構が作動して前記一つの基板周縁部加工ユニットUが、図1(A)における重下方向に移動する。これにより基板周縁部加工ユニットU同士の間隔が調整される。(図6(B)を参照)
走行機構17bが作動し、基板Sおよび載置テーブル17aが左方向に移動する。そして、前記第二加工辺が基板周縁部加工機構12の基板遊挿部12eに遊挿され、通過する。基板遊挿部12eに遊挿された第二加工辺がノズルNの下方を通過することで、前記第二加工辺の薄膜層が除去される。基板周縁部加工機構12を通過した基板Sの表面には、粉塵が吸引しきれずに残留している場合がある。この粉塵は、基板周縁部加工機構12の左方に隣接されたクリーニング機構13の下方を通過することで除去される。そして、第二加工辺の全長が前記基板周縁部加工ユニットUを通過し、載置テーブル17aが左方の所定の位置(初期停止位置)まで進んだら、走行機構17bの作動が停止する。(図7(A)を参照)
走行機構17bの作動が停止した後、前記噴射材供給機構18および前記圧縮空気供給機構の作動が停止し、噴射材および圧縮空気の噴射を停止する。その後、前記集塵機構の作動が停止する。また、前記吸引機構の作動が停止し、基板Sの固定が解除される。次いで、昇降機構15が作動して基板搬送機構14が上昇し、基板Sが搬送ローラ14a上に転置される。基板搬送機構14が所定の位置まで上昇したら、前記昇降機構15の作動が停止する。その後、前記回転機構の作動によって基板搬送機構14が作動して基板Sが前進する。そして、基板搬出口11bより搬出される。このように、基板Sの搬入および搬出を同一の基板搬送機構14によって行うことができるので、従来のブラスト加工装置に比べ、安価にブラスト加工装置を製造することができる。(図7(B)を参照)
11 筐体
11a 基板搬入口
11b 基板搬出口
12 基板周縁部加工機構
12a 上部ケーシング
12b 下部ケーシング
12c 吸引部材
12d スペーサ
12e 基板遊挿部
12f ノズル固定部材
13 クリーニング機構
13a ケーシング
13b クリーニングノズル
13c 吸引部材
14 基板搬送機構
14a 搬送ローラ
14b 架台
14c ローラ部材
14d シャフト
14e ベアリング
15 昇降機構
16 位置決め機構
16a 第一固定部材
16b 第二固定部材
16c 調整部材
16d 調整機構
17 基板移動回転機構
17a 載置テーブル
17b 走行機構
17c 回動機構
18 噴射材供給機構
18a ホッパ
18b 定量供給機構
19 基板中間部加工機構
19a 飛散防止カバー
19b ノズル
19c 吸引部材
F1、F2 フランジ部
H ホース
M 加工領域
N ノズル
S 基板
S’ (切断後の)基板
U 基板周縁部加工ユニット
U’ 基板中間部加工ユニット
Claims (13)
- 表面に薄膜層が形成されている基板において、基板周縁部の不必要な薄膜層を除去するためのブラスト加工装置であって、
前記基板周縁部を遊挿する基板遊挿部が形成された基板周縁部加工室と、前記基板周縁部加工室の内部に先端が挿入して配置され、前記基板遊挿部に遊挿された前記基板周縁部に対して噴射材を噴射するノズルと、を備え且つ内部に発生した粉塵を吸引する集塵機構が前記基板周縁部加工室に連通された基板周縁部加工機構と、
前記基板が載置され該基板を前記ノズルに対して相対的に水平移動し、且つ前記基板を回転させる機構を備えた基板移動回転機構と、
前記基板を前記基板移動回転機構の初期停止位置の上方に搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構を下降させ、前記基板を基板移動回転機構に転置するための昇降機構と、
を備えることを特徴とするブラスト加工装置。 - 前記ノズルは、該ノズル内部で発生した吸引力により噴射材を吸引する機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のブラスト加工装置。
- 前記噴射材供給機構は、予め設定された量の噴射材を前記ノズルに連通して供給するための定量供給機構をさらに備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のブラスト加工装置。
- 前記基板周縁部加工機構に隣接されるクリーニング機構を更に備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載のブラスト加工装置。
- 前記基板周縁部加工機構と前記基板移動回転機構と前記基板搬送機構とを外包する筐体をさらに備え、
前記基板搬送機構は、前記基板を前記筐体内に搬入する機能と、前記基板周縁部の薄膜層を除去した後の基板を前記筐体の外部に搬出する機能と、をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載のブラスト加工装置。 - 前記基板周縁部加工機構を一対備え、該基板周縁部加工機構は各々の前記基板遊挿部を互いに向き合わせて所定の間隔を空けて配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1つに記載のブラスト加工装置。
- 前記基板に対向するように配置され、下端が開口した飛散防止カバーと、前記飛散防止カバーの内部に先端が挿入して配置され、前記基板周縁部以外の部分に対して噴射材を噴射するノズルと、前記飛散防止カバーに設けられ、前記集塵機構と連結される吸引部材と、を備える基板中間部加工機構が更に配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載のブラスト加工装置。
- 前記ブラスト加工装置により加工する基板が、透光性基材の平面上に薄膜太陽電池パネルを形成するための薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルであることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1つに記載のブラスト加工装置。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか1つに記載のブラスト加工装置による前記基板周縁部の薄膜層を除去するためのブラスト加工方法であって、
前記基板を前記基板搬送機構によって前記基板移動回転機構の上方に搬送する工程と、
前記基板移動回転機構の上方に搬送された基板を所定の位置で停止させるための位置決め工程と、
前記基板搬送機構を下降して前記基板を前記基板移動回転機構に載置すると共に該基板を基板移動回転機構に固定する工程と、
前記基板移動回転機構を水平移動して前記基板周縁部の少なくとも1辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿する工程と、
前記基板移動回転機構を更に水平移動させながら前記ノズルより噴射材を噴射して、前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿された前記基板周縁部の薄膜層を除去すると共に、該噴射材を前記集塵機構で吸引する工程と、
を備えることを特徴とするブラスト加工方法。 - 前記基板周縁部の少なくとも1辺の不必要な薄膜層を除去した後に、該基板を前記基板移動回転機構によって90度回転させる工程と、
前記基板移動回転機構を水平移動して前記基板の薄膜層が除去された周縁部の辺に隣接された少なくとも1辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿する工程と、
前記基板移動回転機構を更に水平移動しながら前記ノズルより噴射材を噴射して、該基板周縁部加工機構の基板遊挿部に遊挿された周縁部の不必要な薄膜層を除去すると共に、該噴射材を前記集塵機構で吸引する工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のブラスト加工方法。 - 請求項7に記載のブラスト加工装置による前記基板周縁部の薄膜層を除去するためのブラスト加工方法であって、
前記基板を前記基板移動回転機構の上方に搬送する工程と、
前記基板搬送機構によって基板移動回転機構の上方に搬送された基板を所定の位置で停止させるための位置決め工程と、
前記基板搬送機構を下降して前記基板を前記基板移動回転機構に載置すると共に該基板を基板移動回転機構に固定する工程と、
前記基板移動回転機構を水平移動して前記基板の対向する周縁部としての第一加工辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部にそれぞれ遊挿する工程と、
前記基板移動回転機構を更に水平移動しながら前記ノズルより噴射材を噴射して、前記第一加工辺の薄膜層を除去すると共に、前記基板周縁部加工機構の内部で発生した粉塵を前記集塵機構で吸引する工程と、
を備えることを特徴とするブラスト加工方法。 - 前記第一加工辺の不必要な薄膜層が除去された基板を前記基板移動回転機構によって90度回転させる工程と、
前記基板移動回転機構を水平移動して第一加工辺に隣接する第二加工辺を前記基板周縁部加工機構の基板遊挿部にそれぞれ遊挿する工程と、
前記基板移動回転機構を更に水平移動しながら前記ノズルより噴射材を噴射して、前記第二加工辺の薄膜層を除去すると共に、前記基板周縁部加工機構の内部で発生した粉塵を前記集塵機構で吸引する工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のブラスト加工方法。 - 四角形の板状の基材平面上に薄膜層が形成されている基板における、該基板周縁部の不必要な薄膜層を除去するためのブラスト加工装置であって、
前記基板周縁部を遊挿する基板遊挿部が形成された基板周縁部加工室と、前記基板周縁部加工室の内部に先端が挿入して配置され、前記基板遊挿部に遊挿された前記基板周縁部に対して噴射材を噴射するノズルと、を備え且つ内部に発生した粉塵を吸引する集塵機構が前記基板周縁部加工室に連通された基板周縁部加工機構と、
前記基板が載置され該基板を前記ノズルに対して相対的に移動し、且つ前記基板を回転させる機構を備えた基板移動回転機構と、
前記基板を前記基板移動回転機構の初期停止位置の上方に搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構に連結され、前記基板を基板移動回転機構に転置するために昇降する昇降機構と、
を備えることを特徴とするブラスト加工装置。
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