CN103770013A - 加工基板周缘部的喷丸加工装置以及喷丸加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工基板周缘部的喷丸加工装置以及喷丸加工方法。喷丸加工装置具备:基板周缘部加工机构,其具备:形成有供基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于基板松弛插入部的基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与基板周缘部加工室连通的集尘机构;基板移动旋转机构,其具备载置基板并使该基板相对于喷嘴相对水平移动且使基板旋转的机构;基板输送机构,其将基板输送至基板移动旋转机构的初始停止位置的上方;升降机构,其用于使基板输送机构下降来将基板转移放置于基板移动旋转机构。

Description

加工基板周缘部的喷丸加工装置以及喷丸加工方法
技术领域
本发明涉及用于除去在基材的表面形成有薄膜层的基板上的该基板周缘部的薄膜层的加工装置亦即喷丸加工装置、以及使用了该喷丸加工装置的基板的加工方法。
背景技术
在基材的表面形成薄膜层时,存在基板周缘部的薄膜层的厚度比中间部厚、以及薄膜层到达背面的情况。
以薄膜太阳能电池板为例进行说明。对于薄膜太阳能电池板而言,层叠有透明电极层、半导体层、金属层等的薄膜层形成于玻璃等透光性基板的表面。层叠工序例如通过气相反应来进行,但是此时有上述薄膜层经由周缘部而到达背面的情况。太阳能电池模块追求表面与背面之间的绝缘性能。因此,本申请发明人提出用于通过利用喷丸加工技术除去薄膜太阳能电池板的周缘部的薄膜层来提高上述绝缘性能的装置。
专利文献1:WO2011/152073号文本
专利文献1所述的装置能够除去太阳能电池板的周缘部的薄膜层。但是,在作为环境负荷小的发电装置而急需设置太阳能电池的过程中,追求能够进设置太阳能电池一步地提高生产率的加工装置。
发明内容
本发明是一种喷丸加工装置,其用于对在表面上形成有薄膜层的基板除去基板周缘部的薄膜层,其特征在于,具备:基板周缘部加工机构,该基板周缘部加工机构具备形成有供上述基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于上述基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与上述喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与上述基板周缘部加工室连通的集尘机构;基板移动旋转机构,该基板移动旋转机构具备载置上述基板并使该基板相对于上述喷嘴相对水平移动且使上述基板旋转的机构;基板输送机构,该基板输送机构将上述基板输送至上述基板移动旋转机构的初始停止位置的上方;以及升降机构,该升降机构用于使上述基板输送机构下降来将上述基板转移放置于基板移动旋转机构。
本发明的喷丸加工装置将使基板相对于喷嘴相对水平移动的基板移动旋转机构配置于比现有的加工装置(在以下的说明中,只要无特别说明,则“现有的加工装置”是指专利文献1的加工装置)低的位置。即,相比现有的加工装置,基板移动旋转机构的重心较低,因此在为了提高生产率而使基板的水平移动的速度上升的情况下,能够无振动且稳定地移动基板。如上所述,根据本发明,在加快了加工速度的情况下也能够稳定地进行喷丸加工,从而能够除去基板周缘部的薄膜层。
另外,本发明的喷丸加工装置的特征在于,上述喷嘴是通过在该喷嘴内部产生的吸引力吸引喷射材料的构造的喷嘴。
本发明的喷丸加工装置与现有的加工装置相比将喷嘴配置于更低的位置,因此喷嘴与喷射材料供给机构之间的距离变长,所以吸引喷射材料的吸引力变小。即,从喷射喷嘴相对地喷射气固两相流的喷射力变大,因此加工能力提高。
并且,本发明的喷丸加工装置的特征在于也可以形成为,上述喷嘴具有下述构造,即:具备喷射压缩空气的空气喷嘴、设有供给喷射材料的喷射材料供给路径且在内部设有与上述供给路径连通的混合室的喷嘴支架、以及与上述混合室连通并设于上述空气喷嘴的延长方向的喷射喷嘴,并且,该喷嘴通过在上述混合室内产生的吸引力吸引喷射材料。
本发明的构造的喷嘴形成为:由于通过空气喷嘴喷射的压缩空气在喷嘴支架内的混合室内产生负压,通过该负压而将喷射材料吸引至混合室,在该混合室形成气固两相流,并从喷射喷嘴喷射该气固两相流的构造。该喷嘴能够连续喷射喷射材料,因此生产率较好。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为,上述喷射材料供给机构还具备用于将预先设定的量的喷射材料连续供给至上述喷嘴的定量供给机构。由此能够进行稳定的喷丸加工,因此不会由于加工不足而产生不良品。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为还具备与上述基板周缘部加工机构邻接的清洁机构。
由此,即使通过基板周缘部加工机构未吸净喷射材料而在基板表面附着有喷射材料,也能够通过上述清洁机构除去该喷射材料。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为具备:配置为与上述基板的表面不接触并对置且下端开口的壳体、配置为前端插入于上述壳体的内部并向上述基板喷射压缩空气的清洁喷嘴、以及设于上述壳体并与集尘机构连通的吸引部件。通过上述清洁喷嘴喷射的压缩空气剥离附着于基板表面的含有喷射材料的微粉末。剥离的微粉末漂浮于壳体内的空间。吸引部件与吸引机构连结,并通过该吸引机构吸引壳体内的空间。由此,能够除去附着(残留)于基板表面的喷射材料。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为,还具备从外侧将上述基板周缘部加工机构、上述基板移动旋转机构、以及上述基板输送机构包装的筐体,上述基板输送机构还具备:将上述基板送入上述筐体内的功能、和将除去上述基板周缘部的薄膜层后的基板向上述筐体的外部送出的功能。由此,相比现有的加工装置,基板输送机构少,因此能够廉价地制造装置。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为具备用于使被输送至上述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位机构。通过这种定位机构能够高精度地加工上述基板。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为:具备一对上述基板周缘部加工机构,该基板周缘部加工机构配置为使各自的上述基板松弛插入部彼此相对且隔开规定的间隔。由于能够同时加工上述基板的彼此平行地对置的两边的基板周缘部,所以能够缩短加工时间。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为:配置有基板中间部加工机构,该基板中间部加工机构具备:配置为与上述基板的表面对置且下端开口的飞散防止罩、配置为前端插入于上述飞散防止罩的内部并对除上述基板周缘部以外的部分喷射喷射材料的喷嘴、以及设于上述飞散防止罩并与上述集尘机构连结的吸引部件。飞散防止罩与集尘机构由吸引部件连通。通过由喷嘴喷射出的喷射材料来除去除基板周缘部以外的位置(基板中间部)的薄膜层。喷射材料、微粒(由于与被除去的薄膜层、基板之间的碰撞而形成为无法再使用的大小的喷射材料)这类的粉尘在飞散防止罩内被集尘机构吸引。这样,能够通过该基板中间部加工机构除去基板的内侧的薄膜层。从通过该基板中间部加工机构除去的部分的中心切断该基板,由此能够获得多块除去了周缘部的薄膜层的基板。
另外,本发明所述的喷丸加工装置也可以形成为,通过上述喷丸加工装置加工的基板是在透光性基材(玻璃、树脂(例如聚对苯二甲酸乙二酯树脂)等)的平面上层积用于形成薄膜太阳能电池板的薄膜层(透明电极层、光半导体层、金属层等)而得的薄膜太阳能电池板。通过本发明的喷丸加工装置,能够获得表面与背面之间的绝缘特性优秀的太阳能电池板。
另外,本发明涉及一种喷丸加工方法,其用于通过喷丸加工装置除去基板周缘部的薄膜层,其特征在于,具备:通过上述基板输送机构将上述基板输送至上述基板移动旋转机构的上方的工序、用于使被输送至上述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位工序、使上述基板输送机构下降来将上述基板转移放置于上述基板移动旋转机构并且将该基板固定于基板移动旋转机构的工序、使上述基板移动旋转机构水平移动来将上述基板周缘部的至少一边松弛插入于上述基板周缘部加工机构的基板松弛插入部的工序、以及一边使上述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过上述喷嘴喷射喷射材料来除去松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周缘部的薄膜层并且通过上述集尘机构吸引该喷射材料的工序。
另外,本发明所述的喷丸加工方法也可以形成为还包括:在除去上述基板周缘部的至少一边的薄膜层后通过上述基板移动旋转机构使该基板旋转90度的工序、使上述基板移动旋转机构移动来将与除去了上述基板的薄膜层的周缘部的边邻接的至少一边分别松弛插入于上述基板松弛插入部的工序、以及一边使上述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过上述喷嘴喷射喷射材料来除去松弛插入于该基板松弛插入部的周缘部的薄膜层并且通过上述集尘机构吸引该喷射材料的工序。
通过本发明的喷丸加工方法,与现有的加工装置相比,将使基板相对于喷嘴相对水平移动的基板移动旋转机构配置于更低的位置。即,基板移动旋转机构的重心变低,因此在为了提高生产率而使基板的水平移动的速度上升的情况下,也能够无振动且稳定地移动。如上所述,根据本发明,在加快了加工速度的情况下,也能够进行稳定的喷丸加工,从而能够除去基板周缘部的薄膜层。
另外,本发明涉及喷丸加工方法,其用于通过喷丸加工装置除去基板周缘部的薄膜层,其特征在于,具备:将上述基板输送至上述基板移动旋转机构的上方的工序、用于使被上述基板输送机构输送至基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位工序、使上述基板输送机构下降来将上述基板转移放置于上述基板移动旋转机构并且将该基板固定于基板移动旋转机构的工序、使上述基板移动旋转机构水平移动来将上述基板的作为对置的周缘部的第一加工边分别松弛插入于上述基板松弛插入部的工序、一边使上述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过上述喷嘴喷射喷射材料来除去上述第一加工边的薄膜层并且通过上述集尘机构吸引上述基板周缘部加工机构的内部产生的粉尘的工序。
另外,还可以形成为,还包括:通过上述基板移动旋转机构使除去了上述第一加工边的薄膜层的基板旋转90度的工序、使上述基板移动旋转机构水平移动来将与第一加工边邻接的第二加工边分别松弛插入于上述基板周缘部加工机构的基板松弛插入部的工序、一边使上述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过上述喷嘴喷射喷射材料来除去上述第二加工边的薄膜层并且通过上述集尘机构吸引在上述基板周缘部加工机构的内部产生的粉尘的工序。由于能够同时除去对置的平行的两边的周缘部的不必要的薄膜层,所以能够短时间内除去基板周缘部的薄膜层。
根据本发明,能够获得相比现有的加工装置缩短加工时间且提高了生产率的喷丸加工装置以及喷丸加工方法。
附图说明
图1是对本发明的第一实施方式进行说明的说明图。(A)图是俯视剖视图,(B)图是主视剖视图。
图2是表示本发明的第一实施方式中的基板周缘部加工机构的说明图。(A)图是侧视图,(B)图是俯视图,(C)图是用于对基板周缘部加工机构的结构进行说明的示意图,(D)图是(B)图的纵剖视图。
图3是表示本发明的第一实施方式中的喷嘴的说明图。(A)图是主视图,(B)图是(A)图中的A-A剖视图。
图4是对本发明的第一实施方式中的清洁机构进行说明的主视剖视图。
图5是用于对本发明的第一实施方式中的加工基板的工序进行说明的说明图。(A)图是表示工序1的从主视方向观察的剖视图,(B)图是表示工序2的从主视方向观察的剖视图。
图6是用于对本发明的第一实施方式中的加工基板的工序进行说明的说明图。(A)图是表示工序3的从主视方向观察的剖视图,(B)图是表示工序4的从主视方向观察的剖视图。
图7是用于对本发明的第一实施方式中的加工基板的工序进行说明的说明图。(A)图是表示工序5的从主视方向观察的剖视图,(B)图是表示工序6的从主视方向观察的剖视图。
图8是表示本发明的第二实施方式中的基板中间部加工机构的说明图。(A)图是对基板中间部加工机构进行说明的主视剖视图,(B)图是对配置有基板中间部加工机构的喷丸加工装置进行说明的俯视剖视图。
图9是对由本发明的第二实施方式的喷丸加工装置加工的基板的状态进行说明的说明图。
附图标记的说明:
10…喷丸加工装置;11…筐体;11a…基板送入口;11b…基板送出口;12…基板周缘部加工机构;12a…上部壳体;12b…下部壳体;12c…吸引部件;12d…隔离件;12e…基板松弛插入部;12f…喷嘴固定部件;13…清洁机构;13a…壳体;13b…清洁喷嘴;13c…吸引部件;14…基板输送机构;14a…输送辊;14b…架台;14c…辊部件;14d…轴;14e…轴承;15…升降机构;16…定位机构;16a…第一固定部件;16b…第二固定部件;16c…调整部件;16d…调整机构;17…基板移动旋转机构;17a…载置台;17b…行进机构;17c…转动机构;18…喷射材料供给机构;18a…料斗;18b…定量供给机构;19…基板中间部加工机构;19a…飞散防止罩;19b…喷嘴;19c…吸引部件;F1、F2…凸缘部;H…软管;M…加工区域;N…喷嘴;S…基板;S'…(切断后的)基板;U…基板周缘部加工单元;U'…基板中间部加工单元。
具体实施方式
参照图对本发明的喷丸加工装置的一个例子进行说明。另外,只要无特别说明,实施方式的说明中的“上下左右方向”是指图中的方向。
如图1的(A)以及(B)所示,第一实施方式的喷丸加工装置10具备:一对基板周缘部加工单元U、基板输送机构14、升降机构15、定位机构16、基板移动旋转机构17、喷射材料供给机构18、从外侧将上述机构包装的筐体11、以及对上述机构等的动作进行控制的控制机构(未图示)。基板周缘部加工单元U包括基板周缘部加工机构12、和在该基板周缘部加工机构12的左右(基板S的行进方向)邻接的清洁机构13。另外,在筐体11的该图的上部以及下部的壁面分别形成有用于将基板S送入喷丸加工装置10内的开口部即基板送入口11a、和用于将喷丸加工结束后的基板S从喷丸加工装置10送出的开口部即基板送出口11b。
如图2所示,基板周缘部加工机构12具备基板周缘部加工室、以及向基板S喷射喷射材料的喷嘴N,其中,基板周缘部加工室具备底面敞开的箱体即上部壳体12a、上表面敞开且横剖面的剖面面积从上端部趋向下方而缩小的中空的下部壳体12b、与上述下部壳体12b的底部连结的中空的吸引部件12c、以及用于将上述上部壳体12a与上述下部壳体12b隔开间隔地连结的隔离件12d。上部壳体12a的下端面与下部壳体12b的上端面形状相同,并配置为分离。
在上部壳体12a的下端以及下部壳体12b的上端,分别设有“コ”字形且形状大致相同的凸缘部F1、F2。并且,上述隔离件12d的上端面以及下端面与上述凸缘部F1、F2形状大致相同。经由上述隔离件12d将上述凸缘部F1、F2连结,由此将上部壳体12a与下部壳体12b连结,并且形成供基板S的周缘部松弛插入的基板松弛插入部12e。需要选择上述基板松弛插入部12e的间隔(图2的(A)中的上下方向的长度),使得在松弛插入基板S时,至少在基板S与开口端之间形成有上下方向的适度的间隙。即,使基板S不与基板松弛插入部接触。若间隙过小,则基板S与开口端接触,从而有基板S损伤的危险。若间隙过大,则吸引外部空气的风速变小,因此无法充分吸引粉尘(由喷嘴N喷射出的喷射材料以及由于喷射材料碰撞基板S而产生的基板S的切削粉等微粒)。其结果是,该粉尘向基板周缘部加工机构12外漏出。上述基板松弛插入部12e的间隔由间隔件12d的厚度决定,因此能够根据基板S的厚度适当地选择该间隔件12d的厚度。在本实施方式中,以基板S的表面以及背面与上述基板松弛插入部12e的端面之间的间隔为1.0~5.0mm的方式选择隔离件。
喷嘴N被固定为下端的喷射口插入上述上部壳体12a的内部。另外,吸引部件12c与用于吸引并回收基板周缘部加工机构12的内部产生的粉尘的集尘机构(未图示)连结。经由吸引部件12c通过上述集尘机构吸引并回收粉尘。通过上述集尘机构的吸引力从上述基板松弛插入部12e吸引外部空气,因此在该基板松弛插入部12e附近产生从外部向内部流动的气流。由此,粉尘不会从该基板松弛插入部12e向基板周缘部加工机构12的外部漏出。
喷嘴N的喷射口的形状不特别进行限定,形成为矩形并配置为长边与基板S的加工边正交,由此能够扩大加工区域M的宽度。在基板周缘部加工机构12的内部,产生向吸引部件12c的方向流动的气流,因此,通过使从喷嘴N喷射喷射材料的喷射方向以趋向基板周缘部侧的方式倾斜,由此能够通过吸引部件12c高效地吸引粉尘。该角度形成为喷嘴N的中心线相对于基板S呈30~70度即可。在将喷嘴N配置为倾斜的情况下,设置能够将喷嘴N固定为倾斜的部件即可。例如图2所示,也可以使用具有规定的角度斜面的三棱柱形状的喷嘴固定部件12f、五边形等多边形固定部件等。
喷嘴N的构造不特别进行限定,形成为利用喷嘴N的内部产生的负压吸引喷射材料并且在内部与压缩空气混合,并作为气固两相流通过喷射口喷射的构造即可。作为具体例,如图3所示,喷嘴N具备:用于向喷嘴N导入压缩空气的空气喷嘴Na、用于喷射喷射材料形成气固两相流的喷射喷嘴Nb、将上述空气喷嘴Na从上端插入并嵌合且上述喷射喷嘴Nb与下端连结的喷嘴支架Nc。空气喷嘴Na形成为两端开口的中空形状,内径趋向压缩空气流动的方向(该图下方)而变小。喷射喷嘴Nb设有从上端趋向下端形状相同的流道剖面。在喷嘴支架Nc的内部也可以构成为设有混合室Ne以及与该混合室Ne连通的喷射材料供给路径(供给孔)Nd。
喷射材料供给路径Nd经由软管H与配置于喷嘴N的上方的喷射材料供给机构18连结。喷射材料供给机构18具备:存积喷射材料的料斗18a、和从该料斗连续取出(切出)规定量的喷射材料的定量供给机构18b。如果能够仅通过料斗18a稳定地取出规定量的喷射材料,那么也可以不设有定量供给机构18b。定量供给机构18b也可以选择平板给料器、螺旋送料器等公知的方法。在本实施方式中,使用螺旋送料器。
上述空气喷嘴Na的上端经由软管(未图示)与压缩空气供给机构(未图示)连结。若使该压缩空气供给机构动作而向喷嘴N的内部的空间即混合室Ne喷射压缩空气,则在混合室Ne产生负压。从配置于喷嘴N的上方的上述喷射材料供给机构18取出的喷射材料,由于上述负压而通过喷射材料供给路径Nd被吸引至混合室Ne。所吸引的喷射材料在该混合室Ne与压缩空气混合,并作为气固两相流通过喷射喷嘴Nb喷射。
喷射喷嘴Nb的下端即喷射口的形状可以为圆形也可以为矩形。在本实施方式中,使喷射口的形状形成为长方形,并配置为长边位于与加工边正交的方向。由此,能够以宽的宽度进行加工。
在将喷射材料存积于加压容器并通过对该加压容器加压来将喷射材料供给至喷嘴的机构的喷丸加工装置(所谓的加压式)中,能够连续进行喷丸加工的时间由加压容器的容量限制。与此相对,使用了本实施方式的喷嘴N的喷丸加工装置不需要前述的加压容器,而能够在大气压下存积喷射材料来将其供给至喷嘴N。喷射出的喷射材料能够如后所述地通过分离机构分离而再次使用(喷射)。即,能够循环喷射喷射材料,因此能够连续进行喷丸加工。另外,能够通过上述喷射材料供给机构18稳定且连续地供给规定量的喷射材料,因此能够稳定地进行喷丸加工。并且,在本实施方式中,能够将喷嘴N配置于比现有的喷丸加工装置低的位置,因此比现有的喷丸加工装置加工能力强。从空气喷嘴Na被供给至喷嘴N的内部的压缩空气的压力被分解为来自喷射喷嘴Nb的喷射力与喷射材料的吸引力的产生力。若将喷射材料供给机构18配置于喷嘴N的上方,并且延长该喷射材料供给机构18与喷嘴N之间的距离,则喷射材料的吸引力变小。其结果是,来自喷射喷嘴Nb的喷射力增大,因此加工能力提高。
以能够良好地除去不必要的薄膜层并且不损伤除此以外的部分的薄膜层的方式选择喷射材料以及喷射压力。喷射材料只要是通常用于喷丸加工的材料即可,不特别进行限定。例如,能够从陶瓷类的磨粒或砂粒(氧化铝类、碳化硅类、氧化锆类等);金属类的丸粒、钢丝切制丸粒或砂粒(铁类、不锈钢类、非铁类等);玻璃类的弹珠或粉末、树脂类的丸粒(尼龙树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂等);以及植物类的丸粒(核桃、桃、杏等)中选择出。另外,关于喷射材料的粒子径,只要能够无脉动等且稳定地通过喷嘴N喷射即可,例如能够从0.01~0.6mm的范围选择,优选能够从0.02~0.06mm的范围选择。喷射压力能够从0.2~0.8MPa的范围选择,优选能够从0.3~0.6MPa的范围选择。
以使基板S的对置的两边(图1的(A)中的上下的边)松弛插入的方式配置有两台该基板周缘部加工机构12。具体而言,基板周缘部加工机构12的基板松弛插入部12e配置为彼此相对。基板周缘部加工机构12与用于配合基板S的尺寸来调整基板周缘部加工机构12彼此之间的间隔的间隔调整机构(未图示)连结,并能够通过该间隔调整机构使基板周缘部加工机构12沿图1的(A)中的上下方向移动。
进一步使用图4对与基板周缘部加工机构12连结的清洁机构13进行说明。在图4中,基板S的行进方向为左右方向。清洁机构13具备:下端开口的箱体即壳体13a、配置于顶面的中央部的清洁喷嘴13b、以及两端开口的圆筒形状的吸引部件13c。清洁喷嘴13b与上述压缩空气供给机构连结,下端(前端)即喷射口插入并固定于上述壳体13a的内部。上述吸引部件13c以其一端处于上述清洁喷嘴13b的左右(即基板S的行进方向)的方式与上述壳体13a的顶面连结,另一端经由软管与集尘机构连结。由此,上述壳体13a的内侧空间与集尘机构连通。
清洁机构13配置为,当基板S在下方通过时在壳体13a的下端与该基板S之间形成有适度的间隙。当附着有粉尘的基板S在清洁机构13的下方通过时,通过清洁喷嘴13b向该基板S吹出压缩空气而使粉尘从基板S的表面脱离并升起,并且通过由吸引部件13c吸引该粉尘,由此来除去基板S表面的粉尘。在壳体13a的下端部附近,通过设于壳体13a与基板S之间的间隙吸引外部空气,从而产生从该壳体13a的外侧向内侧流动的气流。因此,粉尘不会向清洁机构13的外部漏出。但是,若壳体13a的下端与基板S之间的间隙过小,则基板S与壳体13a的下端接触,从而有基板S损伤的危险。若间隔过大,则吸引外部空气的风速变小,因此无法充分吸引飞散于清洁机构13的内部的粉尘。其结果是,该粉尘向上述清洁机构13的外部漏出。因此,需要将上述间隙设定为基板S不与壳体13a接触且不损失吸引力的范围。在本实施方式中,将基板S的表面与上述壳体13a的下端之间的间隔(间隙)设定为0.5~4.5mm。
为了高效地除去附着于基板S的表面的粉尘,也可以与压缩空气一起从清洁喷嘴13b喷射减弱附着力的物质(少许水分、静电除去剂、离子或自由基等)。或者,也可以通过清洁喷嘴13b吹出高速脉冲空气(超声波送风)。在本实施方式中使用超声波送风。
清洁喷嘴13b的喷射口的形状不特别进行限定,可以适当地选择圆形、矩形等。
基板输送机构14具备:多个彼此等间隔且平行地排列配置的输送辊14a、和支承该输送辊14a的架台14b。输送辊14a具备:用于输送基板S的辊部件14c、和成为该辊部件14c的旋转轴的轴14d。除配置于最外部的辊之外,辊部件14c沿轴14d的长边方向以规定的间隔设置。另外,除配置于最外部的辊之外,辊部件14c配置为邻接的输送辊14a的辊部件14c相对于输送方向(在图1的(A)中为下方向)形成为交错状。通过将辊部件14c配置为交错状,输送基板S时的推进性能提高。
各输送辊14a的轴14d经由轴承14e而被架台14b支承为能够旋转。并且,上述轴14d与马达等旋转机构(未图示)连结。能够通过使上述旋转机构旋转来驱动输送辊14a旋转(在图1的(A)中,上面向下方向旋转),而能够由辊部件14c向基板S传递输送力来进行输送。
辊部件14c中的与基板S抵接并向该基板S传递输送力的抵接部件,优选使用闭孔构造的聚氨酯树脂,并进一步优选将该聚氨酯树脂的硬度形成为JIS-A中50~60(在JIS K6253中规定)左右的硬度。例如在基板S为玻璃、树脂等易损伤的材质的情况下,假设粉尘进入基板S与输送辊14c之间,则在输送基板S时会由于上述粉尘而损伤基板S。如前所述,若使抵接部件为闭孔构造的聚氨酯树脂,则即使粉尘进入基板S与输送辊14c之间,也能够防止将粉尘过度按压于基板S的情况,因此能够防止损伤基板S。
架台14b与升降机构15连结,能够通过该升降机构15使输送辊14a升降(在图1的(A)中为相对于纸面为铅垂方向,在图1的(B)中为上下方向)。升降机构能够选择由油压、气压、电驱动的缸体;具备滚珠丝杠、带等的电动滑块;齿条齿轮等公知的方法。在本实施方式中,使用通过气压驱动的缸体(气缸)。
定位机构16具备:相对于输送的基板S配置于输送方向侧(在图1的(A)中为下方)的第一固定部件16a、相对于输送的基板S配置于与输送方向侧的边邻接的一侧的边侧(在图1的(A)中为左方)的第二固定部件16b、以及相对于输送的基板S配置于另一方的边(在图1的(A)中为右方向)的调整部件16c。第一固定部件16a固定于设定基板S的下边的位置的位置,第二固定部件16b固定于设定基板S的左边的位置的位置。调整部件16c与前进机构164连结,从而能够通过该前进机构16d向该图左方向前进。从基板送入口11a松弛插入并与输送辊14a的上表面接触的基板S,被基板输送机构14向图1的(A)中的下方输送。若基板S被输送至规定的位置,则基板S的下边碰撞第一固定部件16a,由此无法前进。接下来,调整部件16c向左方前进并与基板S的右边接触。推压该调整部件16c使之前进,由此基板S向左方移动,从而基板S的左边与第二固定部件16b接触。通过以上的工序,对基板S被定位成:使该基板S位于在初始停止位置停止的后述的载置台17a的上方、且该基板S的中心点位于该载置台17a的转动的轴的铅垂方向延长线上。第一固定部件16a、第二固定部件16b、调整部件16c与基板S接触,因此优选为软质材料,但是若硬度过低则定位精度变差,因此需要形成为不损伤基板S的程度的硬度。在本实施方式中,使用聚对苯二甲酸乙二酯(PET)树脂。另外,前进机构16d也可以选择由油压、气压、电气驱动的缸体;具备滚珠丝杠、带等的电动滑块;齿条齿轮等公知的方法。在本实施方式中使用气缸。
基板移动旋转机构17具备:载置并且固定基板S的载置台17a、使该载置台17a向左右方向移动的行进机构17b、以及使该载置台17a转动的转动机构17c。载置台17a能够载置基板S,且当行进机构17b移动时基板S在载置台17a上不能够移动即可,因此能够选择配置机械式固定的构造、摩擦系数高的片材等公知的方法。在本实施方式中,形成为以下构造,即:在平板上配置多个与真空泵等吸引机构(未图示)连接的吸附垫,在该吸附垫上载置基板S后启动该吸引机构,由此通过吸引力使基板S紧贴于该吸附垫上。另外,载置台17a在通过基板输送机构14输送基板S时配置于输送辊14a的下方。如后所述,为了使载置台17a载置基板S,而使输送辊14a下降。因此,载置台17a构成为在输送辊14a下降时不与之接触。
为了加工基板S,行进机构17b能够使载置有基板S的载置台17a沿左右方向移动。在基板S移动时,必须使基板S以不与基板周缘部加工机构12的基板松弛插入部12e的端部以及清洁机构13的下端接触的方式移动。另外,若不使基板S以恒定速度移动,则会成为产生加工不均的原因。行进机构17b只要能够使基板S不在图1的(B)中的上下方向振动且能够使基板S在通过基板周缘部加工机构12时以恒定的速度在左右方向移动,则其构造不特别进行限定。例如,能够选择具备滚珠丝杠、带等的电动滑块;齿条齿轮;以及自行式台车等公知的方法。在本实施方式中,使用具备带的电动滑块。另外,在从初始停止位置开始移动时以及停止时对基板S施加不必要的冲击的情况下,优选使用变换器等能够调整移动速度的装置,控制开始时以及停止时的速度。
转动机构17c以图1的(A)中的载置台17a的上表面的中心为轴使载置台17a转动90度。另外,在载置台17a载置有基板S,因此若在使载置台17a转动时对基板S施加大的振动、离心力,则有基板S的位置与载置台17a错开的危险。这样,转动机构17c只要能够转动而不对基板S施加强振动、冲击力即可,对构造不特别进行限定。例如,能够选择马达、缸体等公知的方法。另外,在转动开始时以及停止时对基板S施加不必要的冲击的情况下,优选使用能够调整旋转速度的装置,控制开始时以及停止时的速度。在该情况下,例如,能够选择直接驱动马达、伺服马达、能够调整伸缩速度的缸体(例如伺服缸体)等公知的方法。在本实施方式中,使用直接驱动马达。
接下来,进一步使用图5~图7对通过本实施方式的喷丸加工装置除去基板S的周缘部的薄膜层的工序进行说明。图4~图6分别表示从主视方向观察的剖视图。此处,以加工长方形的薄膜太阳能电池板用基板的情况为例进行说明。
(准备工序)
对上述控制机构输入用于良好地加工基板S的条件(基板S的尺寸、基板S的移动速度、喷射压力、扫描次数、加工宽度等)。在输入后,开启(ON)加工开始按钮,以输入的条件开始加工,且自动完成加工。此处,控制机构只要能够输入并控制喷丸加工装置10的动作即可,例如可以使用可编程逻辑控制器(PLC)、数字信号处理器(DSP)等运动控制器、高功能移动终端、高功能移动电话等。
(工序1:送入工序)
在基板输送机构14动作后,从基板送入口11a将基板S松弛插入。此处,以从长边方向松弛插入的情况为例进行说明。从基板送入口11a松弛插入的基板S由于基板输送机构14而前进。然后,碰撞第一固定部件16a,从而输送方向端的定位完成。之后,调整部件16c前进,使基板S向左方移动。之后,基板S的左边碰撞第二固定部件16b,从而左右方向的定位完成。若基板S的定位结束,则上述基板输送机构14停止。此外,第一固定部件16a配置为该第一固定部件16a彼此的间隔形成为该基板的短边的长度以上,以使第一固定部件16a在加工结束后不与基板S碰撞。(参照图5的(A))
(工序2:载置工序)
升降机构15动作,从而基板输送机构14下降。基板移动旋转机构17的载置台17a停止于基板S的下方(初始停止位置)。若基板输送机构14处于比载置台17a靠下方的位置,则基板S从基板输送机构14转移放置于载置台17a。若基板S转移放置于载置台17a,则吸引机构动作,从而基板S被固定于该载置台17a上。这样,基板S以彼此对置的长边即第一加工边位于上下方向且基板S的平面中心与载置台17a转动时的轴心一致的方式被载置并固定于载置台17a上。(参照图5的(B))
(工序3:第一加工边的加工工序)
上述间隔调整机构动作,从而一对基板周缘部加工单元U(基板周缘部加工机构12以及在该基板周缘部加工机构12的左右邻接的清洁机构13),配合第一加工边彼此的间隔在图1的(A)中的上下方向移动。由此,调整基板周缘部加工单元U彼此的间隔。接下来,集尘机构动作,对基板周缘部加工机构12内以及清洁机构13内进行吸引。此外,压缩空气供给机构以及喷射材料供给机构18动作,通过喷嘴N喷射喷射材料,并通过清洁喷嘴13b喷射压缩空气。之后,行进机构17b动作,从而载置台17a向右方移动。然后基板S的第一加工边松弛插入并通过基板周缘部加工机构12的基板松弛插入部12e。松弛插入基板松弛插入部12e的第一加工边通过喷嘴N的下方,从而上述第一加工边的薄膜层被除去。存在粉尘未被吸净而残留于经过基板周缘部加工机构12后的基板S的表面的情况。该粉尘经过在基板周缘部加工机构12的右方邻接的清洁机构13的下方从而被除去。另外,这样,相比现有的喷丸加工装置能够降低基板S的重心并移动基板S,因此上下方向的振动较小,从而能够稳定地移动。(参照图6的(A))
(工序4:转动工序)
若第一加工边的全长经过上述基板周缘部加工单元U,并且基板S前进至右方的规定的位置(往路停止位置),则行进机构17b的动作停止。在停止后,转动机构17c动作来使基板S转动90度,以使与第一加工边邻接的第二加工边(彼此对置的短边)位于上下方向。另外,上述间隔调整机构动作,从而上述一个基板周缘部加工单元U在图1的(A)中的上下方向移动。由此,调整基板周缘部加工单元U彼此的间隔。(参照图6的(B))
(工序5:第二加工边的加工工序)
行进机构17b动作,从而基板S以及载置台17a向左方向移动。然后,上述第二加工边松弛插入并经过基板周缘部加工机构12的基板松弛插入部12e。松弛插入基板松弛插入部12e的第二加工边经过喷嘴N的下方,由此上述第二加工边的薄膜层被除去。存在粉尘未吸净而残留于经过基板周缘部加工机构12后的基板S的表面的情况。该粉尘经过在基板周缘部加工机构12的左方邻接的清洁机构13的下方从而被除去。然后,若第二加工边的全长经过上述基板周缘部加工单元U,并且载置台17a前进至左方的规定的位置(初始停止位置),则行进机构17b的动作停止。(参照图7的(A))
(工序6:送出工序)
在行进机构17b的动作停止后,上述喷射材料供给机构18以及上述压缩空气供给机构的动作停止,从而喷射材料以及压缩空气的喷射停止。之后,上述集尘机构的动作停止。另外,上述吸引机构的动作停止,从而解除基板S的固定。接下来,升降机构15动作,从而基板输送机构14上升,进而基板S被转移放置于输送辊14a上。若基板输送机构14上升至规定的位置,则上述升降机构15的动作停止。之后,由于上述旋转机构的动作而使基板输送机构14动作,从而基板S前进。然后,通过基板送出口11c将基板S送出。这样,能够利用同一基板输送机构14进行基板S的送入以及送出,因此相比现有的喷丸加工装置相比,能够廉价地制造喷丸加工装置。(参照图7的(B))
反复重复工序1~工序5,从而能够连续加工多块基板S。在连续加工多块基板S的情况下,在工序5中也可以不使喷射材料供给机构18、压缩空气供给机构、集尘机构的动作停止。
在基板S的薄膜层较硬的情况下等,通过一次加工无法完全除去不必要的薄膜层,在该情况下,也可以反复重复工序3~工序5而增加扫描次数。在增加扫描次数的情况下,也可以在再次进行工序3之前使转动机构17c动作来使基板S转动90度。
被集尘机构吸引并回收的喷射材料,被送至旋风分离器等分离机构(未图示),从而被分离为可再利用的喷射材料和除此以外的粉末,可再利用的喷射材料被送至喷射材料供给机构18,并再次通过喷嘴N喷射。
本实施方式的喷丸加工装置10具备一对基板周缘部加工机构12,但是也可以根据所希望的加工时间增减基板周缘部加工机构12的台数。例如,在配置有一台基板周缘部加工机构12(例如仅配置于图1的(A)中的上方)的情况下,能够通过使扫描次数(工序3~工序5的实施次数)为两次以上来完成加工。在该结构中,基板的加工时间变长,但是能够降低喷丸加工装置的制造费用。另外,若相对于一个边而增加基板周缘部加工机构12的台数,则加工能力提高,因此能够加快基板S的移动速度。其结果是,能够缩短基板S的加工时间,因此生产率提高。
在本实施方式中,在1台基板周缘部加工机构12配置有1台喷嘴N,但是也可以配置多台喷嘴。通过增加喷嘴的个数来提高加工能力,从而能够缩短加工时间。
(实施例)
将使用第一实施方式的喷丸加工装置除去基板S的周缘部的不必要的薄膜层的结果作为实施例进行说明。在实施例中,对于1100mm×1400mm×厚度3mm的薄膜太阳能电池板,使用第一实施方式的喷丸加工装置以表1的条件除去周缘部的不必要的薄膜层。实施例中使用的薄膜太阳能电池板是在透光性基材(在本实施例中为玻璃基材)的平面上层叠有为了形成薄膜太阳能电池板(以下记为面板)而必要的薄膜层(透明电极层、光半导体层、金属层等)的太阳能电池板。另外,以使用专利文献1所述的喷丸加工装置(现有的喷丸加工装置)进行同样的加工的例子为比较例1,以将面板的移动速度设为200mm/sec且其他的条件与比较例1相同地加工面板的例子为比较例2进行说明。并且将目标加工宽度(除去薄膜层的从周缘端起算的宽度)设为16mm。
表1:
Figure BDA0000374825220000181
通过扫描式电子显微镜(SEM)观察加工后的面板并对其进行评价。在实施例中,在加工区域M未残留有薄膜层,并且在除加工区域M以外的薄膜层上未能发现有伤。在比较例1中,在加工区域M残留有薄膜层。另外,在比较例2中,在加工区域未残留有薄膜层,并且在除加工区域以外的薄膜层未能发现有伤。其结果显示,在现有的喷丸加工装置中,在与本实施方式的喷丸加工装置相同条件下无法充分除去面板上的不必要的薄膜层,即本实施方式的喷丸加工装置比现有的喷丸加工装置加工能力强,并能够以1.25倍的加工速度进行加工。
接下来,将在一对基板周缘部加工机构12之间,配置有具备基板中间部加工机构19以及与该基板中间部加工机构19邻接的清洁机构13的基板中间部加工单元U'的情况作为第二实施方式进行说明。此处,以在一对基板周缘部加工单元U的中央设有一台基板中间部加工单元U',并通过基板周缘部加工单元U和基板中间部加工单元U'同时加工基板S的情况为例进行说明。根据该结构,喷丸加工后的基板S在第一加工边、第二加工边、以及以与第一加工边和第二加工边对置的方式形成于这两边彼此之间的边形成有加工区域M。而且,通过切断由上述基板中间部加工机构19形成的加工区域M的中央,能够获得四块除去了周缘部的不必要的薄膜层的基板S'。此外,第二实施方式的喷丸加工装置仅在配置有基板中间部加工单元这方面不同,因此此处仅对与第一实施方式之间的不同点进行说明。
如图8的(A)所示,基板中间部加工机构19具备:下端开口的箱体即飞散防止罩19a、配置于顶面的中央部的喷嘴19b、以及两端开口的圆筒形状的吸引部件19c。喷嘴19b以下端即喷射口位于上述飞散防止罩19a的内部的方式被固定,并且与喷射材料供给机构18以及压缩空气供给机构连结。上述吸引部件19c以位于喷嘴19b的左右(即基板S的行进方向)的方式与上述飞散防止罩19a的顶面连结,另一端经由软管与集尘机构连结。由此,上述飞散防止罩19a内侧的空间与集尘机构连通。此外,上述飞散防止罩19a的横剖面形状不特别进行限定,可以为四边形等多边形也可以为圆形。
喷嘴19b优选形成为与上述喷嘴N同样的构造。但是,喷嘴19b的喷射口的宽度优选为比上述喷嘴N的喷射口的宽度宽。如上所述,对于加工后的基板S而言,由于切断由基板中间部加工机构19加工的加工区域M的中央,所以基板中间部加工机构19的加工区域的宽度优选为比第一加工边以及第二加工边的加工宽度宽。例如以基板中间部加工机构19的加工区域M的宽度形成为第一加工边以及第二加工边的二倍左右的方式选择喷嘴19b的喷射口的宽度。喷嘴19b配置为不与基板S的表面接触,并与该表面对置。
基板中间部加工机构19配置为,当基板S在下方经过时,在飞散防止罩19a的下端与该基板S之间形成有适度的间隙。即,配置为飞散防止罩19a的下端不与基板S接触。在飞散防止罩19a的下端部附近,通过设于飞散防止罩19a与基板S之间的间隙吸引外部空气,因此产生从该飞散防止罩19a的外侧向内侧流动的气流。因此,粉尘不会向基板中间部加工机构19的外部漏出。但是,若飞散防止罩19a的下端与基板S之间的间隔过小,则有基板S与飞散防止罩19a的下端接触而损伤的危险。若间隔过大,则吸引外部空气的风速变小,因此无法充分吸引飞散于基板中间部加工机构19的内部的粉尘。其结果是,该粉尘向上述基板中间部加工机构19的外部漏出。若上述间隙过窄,则有基板S与飞散防止罩19a的下端接触而损伤的危险。因此,需要将上述间隙设定为基板S不与飞散防止罩19a接触且不损失吸引力的范围。在第二实施方式中,将基板S的表面与上述飞散防止罩19a的下端之间的间隔(间隙)设定为1.0~5.0mm。
在基板中间部加工机构19的左右,与基板周缘部加工机构12同样邻接有上述清洁机构13。在经过基板中间部加工机构19后的基板S的表面附着有粉尘的情况下,能够通过该清洁机构13除去该粉尘。
如图8的(B)所示,将具备基板中间部加工机构19以及与该基板中间部加工机构19邻接的清洁机构13的基板中间部加工单元U'配置为位于一对基板周缘部加工单元U彼此的中央。而且,在按照上述第一实施方式所示的工序1~工序6加工基板时,通过上述集尘机构对基板中间部加工单元U'的飞散防止罩19a与清洁机构13之间的内部进行吸引,并且通过上述喷嘴19b喷射喷射材料,通过上述清洁喷嘴13b喷射压缩空气来加工基板S。通过该加工,除去位于4边的周缘部以及这些边的中央并与4边对置的两直线的不必要的薄膜层的加工结束(参照图9的(A))。在加工结束后,切断由基板中间部加工机构19加工的加工区域的中央,由此能够获得四块除去了周缘部的不必要的薄膜层的基板S'(参照图9的(B))。
也可以配置多台基板中间部加工机构19。例如在一对基板周缘部加工单元U之间配置两台基板中间部加工机构19,并进行同样的加工,由此能够获得如图9的(C)所示的基板S。另外,与基板中间部加工机构19的台数无关,在仅进行工序3或工序5的任意一个的情况下,通过基板中间部加工机构19进行加工,由此也能够获得如图9的(D)所示的基板S(在图9的(D)中,仅在工序5时通过基板中间部加工机构19的喷嘴19b喷射喷射材料来进行加工)。
(工业上的利用可行性)
在实施例中,对加工薄膜太阳能电池板进行了说明,但是只要是除去基板周缘部的不必要的薄膜层的用途,便不限定于薄膜太阳能电池板而能够适当地使用本发明的喷丸加工装置。

Claims (15)

1.一种喷丸加工装置,其用于对在表面上形成有薄膜层的基板除去基板周缘部的薄膜层,其特征在于,具备:
基板周缘部加工机构,该基板周缘部加工机构具备形成有供所述基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于所述基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于所述基板松弛插入部的所述基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与所述喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与所述基板周缘部加工室连通的集尘机构;
基板移动旋转机构,该基板移动旋转机构具备载置所述基板并使该基板相对于所述喷嘴相对水平移动且使所述基板旋转的机构,
基板输送机构,该基板输送机构将所述基板输送至所述基板移动旋转机构的初始停止位置的上方,以及
升降机构,该升降机构用于使所述基板输送机构下降来将所述基板转移放置于基板移动旋转机构。
2.根据权利要求1所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷嘴是通过在该喷嘴内部产生的吸引力吸引喷射材料的构造的喷嘴。
3.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷嘴具有下述构造,即:具备喷射压缩空气的空气喷嘴、设有供给喷射材料的喷射材料供给路径且在内部设有与所述供给路径连通的混合室的喷嘴支架、以及与所述混合室连通并设于所述空气喷嘴的延长方向的喷射喷嘴,并且,该喷嘴通过在所述混合室内产生的吸引力吸引喷射材料。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷射材料供给机构还具备用于将预先设定的量的喷射材料连续供给至所述喷嘴的定量供给机构。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷丸加工装置还具备与所述基板周缘部加工机构邻接的清洁机构。
6.根据权利要求5所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述清洁机构具备配置为与所述基板的表面对置且下端开口的壳体、配置为前端插入于所述壳体的内部并向所述基板喷射压缩空气的清洁喷嘴、以及设于所述壳体并与集尘机构连通的吸引部件。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷丸加工装置还具备从外侧将所述基板周缘部加工机构、所述基板移动旋转机构、以及所述基板输送机构包装的筐体,
所述基板输送机构还具备:将所述基板送入所述筐体内的功能、和将除去所述基板周缘部的薄膜层后的基板向所述筐体的外部送出的功能。
8.根据权利要求1~7中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷丸加工装置具备用于使被输送至所述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位机构。
9.根据权利要求1~8中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
所述喷丸加工装置具备一对所述基板周缘部加工机构,所述基板周缘部加工机构配置为使各自的所述基板松弛插入部彼此相对且隔开规定的间隔。
10.根据权利要求1~9中的任一项所述的喷射加工装置,其特征在于,
所述喷丸加工装置还配置有基板中间部加工机构,该基板中间部加工机构具备配置为与所述基板的表面对置且下端开口的飞散防止罩、配置为前端插入于所述飞散防止罩的内部并对除所述基板周缘部以外的部分喷射喷射材料的喷嘴、以及设于所述飞散防止罩并与所述集尘机构连结的吸引部件。
11.根据权利要求1~10中的任一项所述的喷丸加工装置,其特征在于,
由所述喷丸加工装置加工的基板是在透光性基材的平面上层积用于形成薄膜太阳能电池板的薄膜层的薄膜太阳能电池板。
12.一种喷丸加工方法,其用于通过权利要求1~11中的任一项所述的喷丸加工装置除去所述基板周缘部的薄膜层,其特征在于,包括:
通过所述基板输送机构将所述基板输送至所述基板移动旋转机构的上方的工序,
用于使被输送至所述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位工序,
使所述基板输送机构下降来将所述基板转移放置于所述基板移动旋转机构并且将该基板固定于基板移动旋转机构的工序,
使所述基板移动旋转机构水平移动来将所述基板周缘部的至少一边松弛插入于所述基板周缘部加工机构的基板松弛插入部的工序,以及
一边使所述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过所述喷嘴喷射喷射材料来除去松弛插入于所述基板松弛插入部的所述基板周缘部的薄膜层并且通过所述集尘机构吸引该喷射材料的工序。
13.根据权利要求12所述的喷丸加工方法,其特征在于,还包括:
在除去所述基板周缘部的至少一边的薄膜层后通过所述基板移动旋转机构使该基板旋转90度的工序,
使所述基板移动旋转机构移动而使所述基板的与除去了薄膜层的周缘部的边邻接的至少一边松弛插入于所述基板松弛插入部的工序,以及
一边使所述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过所述喷嘴喷射喷射材料来除去松弛插入于该基板松弛插入部的周缘部的薄膜层,并且通过所述集尘机构吸引该喷射材料的工序。
14.一种喷丸加工方法,其用于通过权利要求10所述的喷丸加工装置除去所述基板周缘部的薄膜层,其特征在于,包括:
将所述基板输送至所述基板移动旋转机构的上方的工序,
用于使被所述基板输送机构输送至基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位工序,
使所述基板输送机构下降来将所述基板转移放置于所述基板移动旋转机构并且将该基板固定于基板移动旋转机构的工序,
使所述基板移动旋转机构水平移动来将所述基板的成为对置的周缘部的第一加工边分别松弛插入于所述基板松弛插入部的工序,
一边使所述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过所述喷嘴喷射喷射材料来除去所述第一加工边的薄膜层,并且通过所述集尘机构吸引所述基板周缘部加工机构的内部产生的粉尘的工序。
15.根据权利要求14所述的喷丸加工方法,其特征在于,还包括:
通过所述基板移动旋转机构使除去了所述第一加工边的薄膜层的基板旋转90度的工序,
使所述基板移动旋转机构水平移动来将与第一加工边邻接的第二加工边分别松弛插入于所述基板周缘部加工机构的基板松弛插入部的工序,
一边使所述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过所述喷嘴喷射喷射材料来除去所述第二加工边的薄膜层,并且通过所述集尘机构吸引所述基板周缘部加工机构的内部产生的粉尘的工序。
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