JP2014096642A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014096642A JP2014096642A JP2012245786A JP2012245786A JP2014096642A JP 2014096642 A JP2014096642 A JP 2014096642A JP 2012245786 A JP2012245786 A JP 2012245786A JP 2012245786 A JP2012245786 A JP 2012245786A JP 2014096642 A JP2014096642 A JP 2014096642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ground
- adjustment
- signal line
- oscillator
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体基板50上に、トランジスタ12と、これに接続され、信号線路32及び信号線路32の両側に沿って所定の距離で位置する第1グランド34を含むコプレーナ線路30とを含む発振器100を形成する工程と、発振器100の特性を測定する工程と、第1グランド34上に設けられるべき調整グランド42の層のパターンを備えてなり、調整グランド42の平面上における信号線路32との距離が、所定の距離と同じ距離のパターンおよび所定の距離よりも小さい距離のパターンを含む複数の調整マスクの中から、測定の結果に基づいて1つを選択する工程と、選択された調整マスクを利用して第1グランド34上に調整グランド42を形成する工程と、を備える半導体装置の製造方法。
【選択図】 図7
Description
f∝1/{2π*(√LC)}………(式1)
なお、図1に示すキャパシタ14、20、21には、それぞれ例えばMIM(Metal Insulation Metal)構造のキャパシタを用いることができるが、これ以外の形態のキャパシタを用いてもよい。
12 トランジスタ
14、20、21 キャパシタ
16 正帰還部
22 バラクタダイオード
24 抵抗
26 下部電極
28 上部電極
29 誘電体層
30 コプレーナ線路
32 信号線路
34 第1グランド
36、40、44 ビア
38 第2グランド
42 調整グランド
46 ベタグランド
50 半導体基板
52、56、60、64 絶縁層
54、58、62、66 配線層
70 保護膜
72 下地金属
74 半田ボール
100 電圧制御発振器
Claims (10)
- 半導体基板上に、トランジスタと、これに接続され、信号線路及び前記信号線路の両側に沿って所定の距離で位置する第1グランドを含むコプレーナ線路とを含む発振器を形成する工程と、
前記発振器の特性を測定する工程と、
前記第1グランド上に設けられるべき調整グランドの層のパターンを備えてなり、前記調整グランドの平面上における前記信号線路との距離が、前記所定の距離と同じ距離のパターンおよび前記所定の距離よりも小さい距離のパターンを含む複数の調整マスクの中から、前記測定の結果に基づいて1つを選択する工程と、
前記選択された調整マスクを利用して前記第1グランド上に調整グランドを形成する工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に、トランジスタと、これに接続され、信号線路及び前記信号線路の両側に沿って所定の距離で位置する第1グランドを含むコプレーナ線路とを含む発振器を形成する工程と、
前記発振器の特性を測定する工程と、
前記信号配線を覆う領域を備えた、前記第1グランド上に設けられるべき調整グランドの層のパターンをそれぞれが備えてなり、前記信号配線を覆う領域の割合が互いに異なる複数の調整マスクの中から、前記測定の結果に基づいて1つを選択する工程と、
前記選択された調整マスクを利用して前記第1グランド上に前記調整グランドを形成する工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1グランドと前記調整グランドの間には、両者の間を電気的に接続するビアが設けられてなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1グランドと前記調整グランドの間には、第2グランドがさらに設けられてなり、前記発振器の特性の測定は、前記第2グランドが形成された後に実施されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1グランドと前記第2グランドの間には絶縁膜が介在してなり、前記第1グランドを形成するために用いられるマスクは、キャパシタの下部電極のパターンを形成するために用いられるマスクと共通であり、
前記第2グランドを形成するために用いられるマスクは、キャパシタの上部電極のパターンを形成するために用いられるマスクと共通であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記調整マスクは、前記発振器と接続される配線層のパターンを形成するために用いられるマスクと共通であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記調整グランドを形成した場合の前記発振器の周波数帯は、前記発振器の特性を測定した時点での周波数帯よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた発振器とを備え、
前記発振器は、トランジスタとこれに接続され、信号線路及び前記信号線路の両側に沿って所定の距離で位置する第1グランドを含むコプレーナ線路を含んでなり、
前記コプレーナ線路には、前記第1グランド上に設けられ、平面上における前記信号線路との距離が、前記所定の距離よりも小さい距離の調整グランドの層からなるパターンを含むことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた発振器とを備え、
前記発振器は、トランジスタとこれに接続され、信号線路及び前記信号線路の両側に沿って所定の距離で位置する第1グランドを含むコプレーナ線路を含んでなり、
前記コプレーナ線路には、前記第1グランド上に設けられるとともに、前記信号線路を覆う領域を備えた調整グランドの層からなるパターンを含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1グランドと前記調整グランドの間には、第2グランドがさらに設けられてなることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012245786A JP6107063B2 (ja) | 2012-11-07 | 2012-11-07 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012245786A JP6107063B2 (ja) | 2012-11-07 | 2012-11-07 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014096642A true JP2014096642A (ja) | 2014-05-22 |
JP6107063B2 JP6107063B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=50939419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012245786A Expired - Fee Related JP6107063B2 (ja) | 2012-11-07 | 2012-11-07 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6107063B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020156000A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0310408A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-18 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
JPH05136612A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-06-01 | Tdk Corp | 発振器モジユール |
JPH06209076A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Nippondenso Co Ltd | 高周波集積回路装置の調整方法 |
JPH07115032A (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-02 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 薄膜コンデンサおよび薄膜コンデンサを含む半導体集積回路の製造方法 |
JPH08116201A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Nec Corp | インピーダンス変換装置 |
JPH09172386A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波装置 |
JPH1093348A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Denso Corp | 電圧制御発振器 |
JP2000114870A (ja) * | 1998-10-06 | 2000-04-21 | Nec Corp | マイクロ波発振器 |
JP2002506303A (ja) * | 1998-03-06 | 2002-02-26 | シーティーエス・コーポレーション | 金属蓋開口選択により同調する電圧制御発振器 |
JP2004235706A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 電圧制御型共振器及び電圧制御型発振器のトリミング方法 |
JP2005065212A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-03-10 | Seiko Epson Corp | 発振周波数の検査調整装置及び検査調整方法 |
JP2006128912A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Ntt Docomo Inc | 共振器及び可変共振器 |
-
2012
- 2012-11-07 JP JP2012245786A patent/JP6107063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0310408A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-18 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
JPH05136612A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-06-01 | Tdk Corp | 発振器モジユール |
JPH06209076A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Nippondenso Co Ltd | 高周波集積回路装置の調整方法 |
JPH07115032A (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-02 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 薄膜コンデンサおよび薄膜コンデンサを含む半導体集積回路の製造方法 |
JPH08116201A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-07 | Nec Corp | インピーダンス変換装置 |
JPH09172386A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波装置 |
JPH1093348A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Denso Corp | 電圧制御発振器 |
JP2002506303A (ja) * | 1998-03-06 | 2002-02-26 | シーティーエス・コーポレーション | 金属蓋開口選択により同調する電圧制御発振器 |
JP2000114870A (ja) * | 1998-10-06 | 2000-04-21 | Nec Corp | マイクロ波発振器 |
JP2004235706A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 電圧制御型共振器及び電圧制御型発振器のトリミング方法 |
JP2005065212A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-03-10 | Seiko Epson Corp | 発振周波数の検査調整装置及び検査調整方法 |
JP2006128912A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Ntt Docomo Inc | 共振器及び可変共振器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020156000A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
CN111726082A (zh) * | 2019-03-22 | 2020-09-29 | 精工爱普生株式会社 | 电路装置、振荡器、电子设备以及移动体 |
JP7314553B2 (ja) | 2019-03-22 | 2023-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
CN111726082B (zh) * | 2019-03-22 | 2023-08-04 | 精工爱普生株式会社 | 电路装置、振荡器、电子设备以及移动体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6107063B2 (ja) | 2017-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7875911B2 (en) | Semiconductor device and oscillator | |
US8014124B2 (en) | Three-terminal metal-oxide-metal capacitor | |
US7183625B2 (en) | Embedded MIM capacitor and zigzag inductor scheme | |
US7312684B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2009515356A (ja) | 高周波数動作においてアプリケーションを分離するのに適したトレンチキャパシタ装置 | |
JP2005311852A (ja) | 高周波増幅装置 | |
JP4946219B2 (ja) | 可変インダクタ及びこれを用いた半導体装置 | |
US20090267727A1 (en) | Thin film resistor element and manufacturing method of the same | |
US9373434B2 (en) | Inductor assembly and method of using same | |
JP2013102356A (ja) | 無線装置およびその製造方法 | |
US6806106B2 (en) | Bond wire tuning of RF power transistors and amplifiers | |
JP2019220668A (ja) | 半導体装置 | |
US8395233B2 (en) | Inductor structures for integrated circuit devices | |
JP4930500B2 (ja) | 半導体装置、及び発振器 | |
JP6107063B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2000068714A (ja) | ミリ波用整合回路および通信モジュール | |
US7009276B2 (en) | Thin film capacitor, thin film capacitor array and electronic component | |
JP2019220669A (ja) | 半導体装置 | |
KR101703261B1 (ko) | 반도체 장치 | |
KR100849428B1 (ko) | 분기구조를 갖는 대칭형 인덕터 및 그 제조 방법 | |
JP4507508B2 (ja) | インダクタ装置およびその製造方法 | |
US20160181242A1 (en) | Passive device and manufacturing method thereof | |
JP2011114059A (ja) | スパイラルインダクタおよびスパイラルインダクタの製造方法 | |
US8710622B2 (en) | Defected ground plane inductor | |
JP2007081267A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6107063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |