JP2014096447A

JP2014096447A - 基板搬送装置

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Publication number: JP2014096447A
Application number: JP2012246455A
Authority: JP
Inventors: Hideo Matsubayashi; 英雄松林
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2012-11-08
Filing date: 2012-11-08
Publication date: 2014-05-22
Anticipated expiration: 2032-11-08
Also published as: JP6125203B2

Abstract

【課題】吸着ヘッドに吸着された基板を次の場所への搬送中に正しい位置に位置決めし得るようにする。
【解決手段】各ガイド部材２２を離反位置に回動させた状態で基板Ｂを吸着ヘッド１１に吸着させたのち、回動規制手段により各ガイド部材２２を当接位置に向けて回動させるとともに、一時的に吸着を解除して基板Ｂを基板載置部Ｃに対して位置決めし、その後再度基板Ｂを吸着ヘッド１１に吸着させて位置合わせする。
【選択図】図１

Description

本発明は、プリント配線基板等の基板を搬送するために用いられる基板搬送装置に関し、さらに詳しく言えば、前工程で吸着ヘッドに吸着された基板を正しい位置に位置合わせして次工程に搬送する技術に関するものである。

この種の基板搬送装置は、例えば特許文献１に記載され、図９に模式的に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚの３軸方向に移動可能で、下端に吸着ヘッド１０１を有するピックアップユニット１００を備えている。なお、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向は水平面内で直交する２方向、Ｚ軸方向は垂直方向である。

図９（ａ），（ｂ）は、一例として、前工程のトレイＴ１に収納されている基板Ｂを吸着ヘッド１０１にて吸着し、次工程のトレイＴ２上に搬送する状態を示しているが、トレイＴ１とトレイＴ２との間の距離が一定である場合、ピックアップユニット１００は、その間を往復するように、図示しない制御手段によって、その水平方向の移動距離が制御される。

この方法によれば、ピックアップユニット１００を、図９（ａ）と図９（ｂ）との間で往復させればよく、ピックアップユニット１００の次工程のトレイＴ２に対する位置補正等を行う必要がないため、制御系を含めて装置全体の構成が簡素であり、コスト的にも安価に済ませることができる。

しかしながら、前工程での基板ピックアップ時に、基板Ｂの位置が横方向および／または回転方向にずれて、基板ＢがトレイＴ１からはみ出している場合には、そのまま基板Ｂが次工程に搬送されることから、図９（ｂ）に示すように、基板Ｂを次工程のトレイＴ２に収納することができなくなる、という問題が生ずる。

特開平６−１１５７３３号公報

そこで、本発明が解決しようとする課題は、吸着ヘッドに吸着された基板を次の場所への搬送中に正しい位置に位置決めし得るようにすることにある。

上述した課題を達成するため、本発明は以下に示すいくつかの特徴を備えている。すなわち、被搬送物としての基板を解離可能に吸着する吸着ヘッドおよび上記吸着ヘッドを昇降駆動する第１アクチュエータを有するピックアップユニットと、上記ピックアップユニットをＸ，Ｙ，Ｚの３軸方向に移動させる搬送駆動部と、上記基板の搬送を制御する制御部とを含み、上記基板を上記吸着ヘッドにて吸着して所定の位置にまで搬送する基板搬送装置において、上記吸着ヘッドに吸着された上記基板を、その搬送中に搬送先の基板載置部に対して位置決めする位置決め手段を備え、上記位置決め手段は、上記ピックアップユニットの周りに配置された水平回転軸に回動可能に保持され、下端側が上記基板の４辺の各々に対して当接離反可能な４つのガイド部材と、上記各ガイド部材の下端側を上記基板の各辺に当接させて上記基板を上記基板載置部に対して位置決めする当接位置と上記基板の各辺から離反させる離反位置とに回動させる回動規制手段とを備え、上記制御部は、上記回動規制手段により上記各ガイド部材を上記離反位置に回動させた状態で上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させたのち、上記回動規制手段により上記各ガイド部材を上記当接位置に向けて回動させるとともに、一時的に吸着を解除して上記基板を上記基板載置部に対して位置決めし、その後再度上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させることを特徴としている。

より好ましい態様として、上記各ガイド部材は、上記回動規制手段により上記当接位置に回動したとき、それら下端縁によって囲まれる面が上記基板の投影面積内に含まれ、上記各ガイド部材の下端側の内面に四角錐状のガイド面が形成されることを特徴としている。

より好ましい態様として、上記各ガイド部材は、上端と下端とが相反する方向に回動するように、それらの中間部分が上記水平回転軸に保持され、上記回動規制手段は、上記ガイド部材の下端側を上記当接位置に向けて付勢するように上記各ガイド部材の上端側の内面に設けられた第１付勢手段と、上記各ガイド部材の上端側と下端側との間の外面に沿って移動可能で上記第１付勢手段よりも大きな付勢力を有する第２付勢手段とを含み、上記各ガイド部材は、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも上方の上記上端側にあるとき上記離反位置に保持され、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも下方の上記下端側にあるとき上記当接位置に保持されることを特徴としている。

さらに好ましい態様として、上記各第２付勢手段は、同時に移動し得るように上記各ガイド部材の周りを囲む環状のフレームに取り付けられており、上記回動規制手段は、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側にかけて昇降させる第２アクチュエータを備えていることを特徴としている。

また別の態様として、上記各ガイド部材は、上端と下端とが相反する方向に回動するように、それらの中間部分が上記水平回転軸に保持され、上記回動規制手段は、上記ガイド部材の下端側を上記当接位置に向けて付勢するように上記各ガイド部材の上端側の内面に設けられた第１付勢手段と、上記各ガイド部材の周りを囲む環状のフレームとを含み、
上記フレームは、上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて移動可能であり、上記水平回転軸よりも上方に位置するとき、上記ガイド部材の外周面に接して、上記第１付勢手段による上記ガイド部材の上記当接位置へ回動を阻止し、上記水平回転軸よりも下方に位置したとき、上記当接位置への回動を許容することを特徴としている。

上記回動規制手段には、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて昇降させる第２アクチュエータを備えていることを特徴としている。

また別の態様として、上記回動規制手段は、斜め方向に形成された溝で、その溝上端側が上記当接位置(もしくは上記離反位置)、溝下端側が上記離反位置(もしくは上記当接位置)を規定するカム溝を有する昇降可能なカムプレートと、上記ガイド部材側に設けられ上記カム溝と係合するカムフォロワとからなることを特徴としている。

これによれば、回動規制手段により上記各ガイド部材を上記離反位置に回動させた状態で上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させたのち、上記回動規制手段により上記各ガイド部材を上記当接位置に向けて回動させるとともに、一時的に吸着を解除して上記基板を上記基板載置部に対して位置決めし、その後再度上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させることにより、基板が基板載置部の中心からずれた状態で保持されたとしても、ガイド部材によって中心に位置合わせすることができ、基板載置部の中に確実に納めることができる。

また、各ガイド部材は、上記回動規制手段により上記当接位置に回動したとき、それら下端縁によって囲まれる面が上記基板の投影面積内に含まれ、上記各ガイド部材の下端側の内面に四角錐状のガイド面が形成されることにより、４枚のガイド部材を内側に傾け、四角錐状の内周面によって基板を確実に中心に合わせることができる。

さらに、各ガイド部材は、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも上方の上記上端側にあるとき上記離反位置に保持され、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも下方の上記下端側にあるとき上記当接位置に保持されることにより、簡単な仕組みで基板の位置合わせを行うことができる。

上記各第２付勢手段は、同時に移動し得るように上記各ガイド部材の周りを囲む環状のフレームに取り付けられており、上記回動規制手段は、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側との間を昇降させる第２アクチュエータを備えていることにより、回動ガイドを上下に昇降させるだけで、簡単にガイド部材の開閉を行うことができる。

ガイフレームは、上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて移動可能であり、上記水平回転軸よりも上方に位置するとき、上記ガイド部材の外周面に接して、上記第１付勢手段による上記ガイド部材の上記当接位置へ回動を阻止し、上記水平回転軸よりも下方に位置したとき、上記当接位置への回動を許容することにより、回動規制手段によって、ガイド部材が内側に回動することを規制することができる。

また、回動規制手段には、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて昇降させる第２アクチュエータを備えていることにより、環状フレームが上下に摺動するのに合わせて、ガイド部材を開いたり閉じたりすることができる。

さらに、上記回動規制手段は、斜め方向に形成された溝で、その溝上端側が上記当接位置(もしくは上記離反位置)、溝下端側が上記離反位置(もしくは上記当接位置)を規定するカム溝を有する昇降可能なカムプレートと、上記ガイド部材側に設けられ上記カム溝と係合するカムフォロワとからなることにより、カムとカムフォロアを用いてガイド板を機械的に開閉することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の構成を模式的に示した模式図。基板搬送装置を上部から見た状態の模式図。プランジャーの構造を説明するための要部断面図。ガイド部材と、回動ガイドの相対的な動きを説明する説明図。（ａ）〜（ｄ）ガイド部材による基板の位置合わせ手順を説明する説明図。（ａ）〜（ｃ）ガイド部材による基板の位置合わせ手順を説明する説明図。本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置の構成を模式的に示した模式図。（ａ）本発明の第３実施形態に係る基板搬送装置の構成を模式的に示した模式図および（ｂ）ガイド部材を傾けた位置のカムとカムフォロアの説明図。（ａ），（ｂ）従来の基板搬送装置の搬送手順を模式的に説明する模式図。

次に、本発明のいくつかの実施形態について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１に示すように、この第１実施形態に係る基板搬送装置は、回路基板Ｂを保持して搬送するピックアップユニット１と、同ピックアップユニット１によって保持された基板Ｂの位置を搬送先の収納トレイＴ２の基板載置部Ｃ（図５（ｄ）参照）に位置決めする位置決め部２と、位置決め部２の回動を規制するための回動規制部３とを含んでおり、これらが主搬送部の可動アームＦによって支持されている。

この例において、可動アームＦは、図示しないＸ，Ｙ，Ｚの３軸移動機構によって移動可能となっている。ここで、Ｘ軸方向とは紙面左右方向、Ｙ軸方向とは紙面垂直方向、Ｚ軸方向とは紙面上下方向を言う。

基板Ｂは、一般的な矩形状のプリント基板が用いられるが、本発明において、基板Ｂの具体的な構成は任意であってよく、例えば丸形や楕円状などであっても、本発明の基板搬送装置には適用可能である。

ピックアップユニット１は、下端に吸着ヘッド１１を有するヘッド支持部１２と、ヘッド支持部１２を上下に昇降させる第１アクチュエータ１３とを備えている。ヘッド支持部１２は、矩形状の板体を呈し、その底面（図１では下面）には、吸着ヘッド１１が取り付けられている。

吸着ヘッド１１は、図示しない真空ポンプに接続された、いわゆる吸引型の吸着ヘッドであって、この例ではヘッド支持部１２の底面に４カ所設けられている。この例において、吸着ヘッド１１は吸引型であるが、本発明において吸着ヘッド１１の数や仕様は、特に限定されるものではない。

この実施形態において、第１アクチュエータ１３は、図示しない制御手段の指令によって可逆回転するモータと、モータに接続された送りネジ軸１３１を有する直動機構である。このネジ軸１３１の下端が、ヘッド支持部１２の上面中央に接続されている。電動モータの回転駆動力を利用したネジ式であるが、これ以外の機械式であってもよし、圧縮空気を用いるなどしてもよい。

図２を併せて参照して、位置決め部２は、ピックアップユニット１の一部に固定される支持フレーム２１と、支持フレーム２１に水平回転軸２１１を介して回動自在に取り付けられる４枚のガイド板（ガイド部材）２２とを備えている。

この実施形態において、支持フレーム２１は、ピックアップユニット１の第１アクチュエータ１３の図示しないフレームに対して固定されており、この例では、互いに平行な２対のフレームを、前後および左右（図２では上下および左右）に沿って組み込んだ、いわゆる井桁状に形成されている。

支持フレーム２１の各先端は、ガイド板２２の両側を挟み込んで支持するためコ字状に形成されており、ガイド板２２が固定ピン型の水平回転軸２１１を介して回転可能に支持されている。各ガイド板２２は、重心が水平回転軸２１１の位置から下となるように中央から上端寄りの位置で固定されている。

この例において、支持フレーム２１は井桁状に形成されているが、これ以外の形状であってもよく、ヘッド支持部１２の中心を通る対角線上に少なくとも１組のガイド板２２が回動可能に支持可能な構造であれば、仕様に応じて任意に変更可能である。

ガイド板２２は、例えばアルミニウムや合成樹脂などからなる矩形板であって、それぞれがヘッド支持部１２の中心を通る対辺に沿って、中心から等間隔となるように配置されている。

ガイド板２２の水平回転軸２１１から上端に至る間には、ガイド板２２の下端側を常にヘッド支持部１２の中心に向けて内側に押圧するため、ガイド板２２の内周面Ｌ１を押圧する第１プランジャ２３（第１付勢手段）が設けられている。本発明において、ヘッド支持部１２の中心とは、後述する搬送先の収納トレイＴ２に設けられた基板載置部Ｃの中心でもある。

図３を併せて参照して、第１プランジャ２３は、支持フレーム２１の一部に固定されるシリンダ２３１と、シリンダ２３１の内周面に沿って挿通可能なピストンヘッド部２３２とを有し、シリンダ２３１とピストンヘッド部２３２との間には、圧縮バネ２３３が配置されている。

これによれば、圧縮バネ２３３による弾性復元力によって、ピストンヘッド部２３２が常に外側に向けてバネ付勢するようになっている。なお、ピストンヘッド部２３２は、シリンダ２３１から抜け落ちないようになっているが、その構成は特に説明しない。

したがって、この第１プランジャ２３によりガイド板２２の上端側の内周面Ｌ１を外側に向かって押圧することにより、押圧力は水平回転軸２１１によって内側向きの力に変換され、その結果、ガイド板２２の下端が常に内側に向けて押圧される。

この実施形態において、第１付勢手段として第１プランジャ２３が用いられているが、各ガイド板２２の先端をヘッド支持部１２の中心に向けて押圧可能な押圧手段であれば、これ以外の押圧手段が用いられてもよい。すなわち、圧縮バネをむき出しで使用してもよいし、圧縮空気プランジャなどによって押圧してもよい。

図１および図２を参照して、回動規制部３は、その一部が各ガイド板２２の外周面に沿って上下に移動するガイドリング３１と、ガイドリング３１を上下方向に昇降させるための第２アクチュエータ３２とを備えている。

ガイドリング３１は、４枚のガイド板２２を含む外接円よりも大径な内周面を有する環状フレームからなる。ガイドリング３１の内周面の各ガイド板２２に対向する位置には、ガイドリング３１を上下方向に昇降する際にガイド板２２に沿って摺接する第２プランジャ３３が設けられている。

第２プランジャー３３は、上記第１プランジャー２３と基本的には同じ構成であって、基端側（シリンダ側）がガイドリング３１の内周面側に固定されており、各ガイド板２２の外周面を常に押圧するようになっている。

再び図１を参照して、第２アクチュエータ３２は、上述した第１アクチュエータ１３と同じモータ３５の回転駆動力によってネジ軸シャフトを回転する直動機構が用いられている。これ以外の機械式であってもよし、圧縮空気を用いるなどしてもよい。本発明において、第２アクチュエータ３２の具体的な構成は任意であってよい。

第２アクチュエータ３２のシャフトの下端には、ガイドリング３１を保持する昇降フレーム３４が一体的に取り付けられている。昇降フレーム３４は、ガイドリング３１を吊り下げて保持する吊り下げアーム３４１と、吊り下げアーム３４１を支持するとともにモータ３５に接続される接続アーム３４２とを備えている。本発明において、昇降フレーム３４の具体的な構成は任意的事項である。

この実施形態において、第２プランジャ３３は、内蔵する圧縮バネの弾性復元力が第１プランジャ２３の弾性復元力と同等もしくはそれよりも大きくなるように設定されている。

これによれば、ガイドリング３１が水平回転軸２１１よりも上に位置している場合（図１参照）、第１プランジャ２３と第２プランジャ３３とがガイド板２２を挟んで両側から押圧することにより、４つの各ガイド板２２の下端がヘッド支持部１２とは離反する方向に押し広げられる。

これに対して、ガイドリング３１が水平回転軸２１１よりも下に位置した場合（図４参照）は、第１プランジャ２３と第２プランジャ３３との押圧力がそれぞれガイド板２２の先端をヘッド支持部１２に向かう方向に作用することによって、基板Ｂの側辺Ｌ２を４つの各ガイド板２２の内周面Ｌ１で押圧し、ヘッド支持部１２の中心に基板Ｂを位置合わせすることができる。

次に、図５および図６を参照しながら、この基板搬送装置の位置合わせ手順の一例について説明する。図５（ａ）に示すように、図示しない制御手段は、搬送元のトレイＴ１上の基板Ｂを把持するため、第１アクチュエータ１３を起動して、ヘッド支持部１２を下降させる。

併せて制御手段は、図示しない吸引手段を駆動して、吸着ヘッド１１の先端に吸引力を与える。ヘッド支持部１２が下降し、吸着ヘッド１１の先端が基板Ｂに触れることにより、吸着ヘッド１１によって基板Ｂが吸着される。

その際、基板Ｂを上から見て、図６（ａ）に破線で示すように、トレイＴ１の基板載置部に基板Ｂがずれた状態で収納されているとすれば、基板Ｂはずれた状態のまま吸着ヘッド１１によって吸着される。

基板Ｂが吸着されると、制御手段は、第１アクチュエータ１３に上昇指令を出す。これを受けて、図５（ｂ）に示すように、第１アクチュエータ１３はヘッド支持部１２を初期位置まで持ち上げる。

ヘッド支持部１２が持ち上げられたことを確認すると、制御手段は、第２アクチュエータ３２に下降指令を出す。これを受けて、第２アクチュエータ３２は、ガイドリング３１を下降させる。

ガイドリング３１が下降し、ガイド板２２の水平回転軸２１１より下に位置すると、図５（ｃ）に示すように、第１および第２プランジャ２３，３３の押圧力によって各ガイド板２２が回動し、その内周面Ｌ１が基板Ｂの側辺Ｌ２に当接する。その際、制御手段は吸着手段の吸引を一時的に解除する。

これにより、図６（ｂ）に示すように、基板Ｂの四方から各ガイド板２２が基板Ｂの各側辺Ｌ２を中心に向かって押圧することにより、当初ずれて吸着された基板Ｂがピックアップユニット２の中心（基板載置部Ｃの中心）に位置決めされる。

次に、制御手段は、第２アクチュエータ３２に上昇指令を出し、これを受けて、第２アクチュエータ３２は、ガイドリング３１を再び初期位置まで持ち上げる。これにより、図６（ｃ）に示すように、各ガイド板２２が開かれ、ヘッド支持部１２の中心に基板Ｂが保持された状態となる。

さらに制御手段は、可動アームＦによりピックアップユニット２を収納トレイＴ２の直下に移動させたのち、第１アクチュエータ１３に下降指令を出す。これを受けて、第１アクチュエータ１３は、ヘッド支持部１２を収納トレイＴ２の基板載置面Ｃまで下降させる。

しかるのち、制御手段は、吸着ノズル１１の吸引を解除することにより、図５（ｄ）に示すように、基板Ｂが基板載置面Ｃに収納される。最後に、制御手段は、第１アクチュエータ１３に上昇指令を与えて、ヘッド支持部１２を再び初期位置に戻す。

上記第１実施形態では、ガイドリング３１には、ガイド板２２を押圧するための第２プランジャ３３が取り付けられているが、本発明において、ガイド板２２を押圧する付勢手段は、少なくとも一方に設けられていればよい。

すなわち、図７に示すように、この第２実施形態に係る基板搬送装置のガイドリング３１は、内周面３１１が各ガイド板２２の外周面に沿って摺接するように配置されている。なお、図７において、支持アームＦは省略されている。

これによれば、ガイドリング３１が水平回転軸２１１よりも上方に位置したとき、ガイドリング２２の内周面３１１とガイド板２２の外周面とがほぼ密着した状態であることにより、ガイド板２２の下端が内側に回動するのを防止する回動規制手段として機能することになる。

逆に、ガイドリング３１が水平回転軸２１１よりも下方に位置したとき、ガイド板２２の外周面に対するガイドリング３１の内周面３１１による規制が解除されることにより、ガイド板３３の下端が内側に回動できるようになる。このような態様も本発明に含まれる。

この例において、ガイド板２２は基板Ｂの四辺Ｘを囲むように４カ所設けられているが、ヘッド支持部１２の中心を含む対角線状に対向するように少なくとも１対設けられていればよい。

また、ガイドリング３１とプランジャ２３，３３による回動規制手段に代えて、図８に示す回動規制手段を用いてもよい。すなわち、図８（ａ）に示すように、この第３実施形態に係る基板搬送装置は、第２アクチュエータ３２により上下に往復移動するカム板３５と、ガイド板２２の下端を回動させるためのカムフォロア２４とを有している。

カム板３５には、円弧状に形成されたカム溝３５１が、この例では右斜め方向に設けられている。これによれば、図８（ｂ）に示すように、カム板３５を上に移動させることにより、カムフォロア２４がカム溝３５１に沿って移動し、これにより、ガイド板２２が回動される。

この例において、カム溝３５１は、カムフォロア２４がスムーズに追従しやすいように円弧状に形成されているが、カム板３５を上下に動かした際に、カムフォロア２４が左右に移動可能な形状、すなわち、上下方向に対して斜め方向に形成された溝であればよく、直線状に形成されてもよい。

なお、カム溝３５１は、ガイド板２２の回動方向に合わせて、互いに向き合うガイド板２２同士が対称形状となることにより、ガイド板２２同士を互いに内側に向けて回動させることができる。このような態様も本発明に含まれてよい。

１ピックアップユニット
１１吸着ヘッド
１２ヘッド支持部
１３第１アクチュエータ
２位置決め部
２１支持フレーム
２２，２２ａガイド板
２３第１プランジャ
３ガイド部
３１ガイドリング
３２第２アクチュエータ
３３第２プランジャ
３４昇降フレーム
３５モータ
Ｂ基板
Ｔ１，Ｔ２収納トレイ

Claims

被搬送物としての基板を解離可能に吸着する吸着ヘッドおよび上記吸着ヘッドを昇降駆動する第１アクチュエータを有するピックアップユニットと、上記ピックアップユニットをＸ，Ｙ，Ｚの３軸方向に移動させる搬送駆動部と、上記基板の搬送を制御する制御部とを含み、上記基板を上記吸着ヘッドにて吸着して所定の位置にまで搬送する基板搬送装置において、
上記吸着ヘッドに吸着された上記基板を、その搬送中に搬送先の基板載置部に対して位置決めする位置決め手段を備え、
上記位置決め手段は、上記ピックアップユニットの周りに配置された水平回転軸に回動可能に保持され、下端側が上記基板の４辺の各々に対して当接離反可能な４つのガイド部材と、上記各ガイド部材の下端側を上記基板の各辺に当接させて上記基板を上記基板載置部に対して位置決めする当接位置と上記基板の各辺から離反させる離反位置とに回動させる回動規制手段とを備え、
上記制御部は、上記回動規制手段により上記各ガイド部材を上記離反位置に回動させた状態で上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させたのち、上記回動規制手段により上記各ガイド部材を上記当接位置に向けて回動させるとともに、一時的に吸着を解除して上記基板を上記基板載置部に対して位置決めし、その後再度上記基板を上記吸着ヘッドに吸着させることを特徴とする基板搬送装置。
上記各ガイド部材は、上記回動規制手段により上記当接位置に回動したとき、それら下端縁によって囲まれる面が上記基板の投影面積内に含まれ、上記各ガイド部材の下端側の内面に四角錐状のガイド面が形成されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
上記各ガイド部材は、上端と下端とが相反する方向に回動するように、それらの中間部分が上記水平回転軸に保持され、
上記回動規制手段は、上記ガイド部材の下端側を上記当接位置に向けて付勢するように上記各ガイド部材の上端側の内面に設けられた第１付勢手段と、上記各ガイド部材の上端側と下端側との間の外面に沿って移動可能で上記第１付勢手段よりも大きな付勢力を有する第２付勢手段とを含み、
上記各ガイド部材は、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも上方の上記上端側にあるとき上記離反位置に保持され、上記第２付勢手段が上記水平回転軸よりも下方の上記下端側にあるとき上記当接位置に保持されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
上記各第２付勢手段は、同時に移動し得るように上記各ガイド部材の周りを囲む環状のフレームに取り付けられており、上記回動規制手段は、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて昇降させる第２アクチュエータを備えていることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
上記各ガイド部材は、上端と下端とが相反する方向に回動するように、それらの中間部分が上記水平回転軸に保持され、
上記回動規制手段は、上記ガイド部材の下端側を上記当接位置に向けて付勢するように上記各ガイド部材の上端側の内面に設けられた第１付勢手段と、上記各ガイド部材の周りを囲む環状のフレームとを含み、
上記フレームは、上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて移動可能であり、上記水平回転軸よりも上方に位置するとき、上記ガイド部材の外周面に接して、上記第１付勢手段による上記ガイド部材の上記当接位置へ回動を阻止し、上記水平回転軸よりも下方に位置したとき、上記当接位置への回動を許容することを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
上記回動規制手段には、上記フレームを上記ガイド部材の上端側と下端側とにかけて昇降させる第２アクチュエータを備えていることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
上記回動規制手段は、斜め方向に形成された溝で、その溝上端側が上記当接位置(もしくは上記離反位置)、溝下端側が上記離反位置(もしくは上記当接位置)を規定するカム溝を有する昇降可能なカムプレートと、上記ガイド部材側に設けられ上記カム溝と係合するカムフォロワとからなることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。