JP2014081266A - 圧力センサ用部品 - Google Patents
圧力センサ用部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014081266A JP2014081266A JP2012229026A JP2012229026A JP2014081266A JP 2014081266 A JP2014081266 A JP 2014081266A JP 2012229026 A JP2012229026 A JP 2012229026A JP 2012229026 A JP2012229026 A JP 2012229026A JP 2014081266 A JP2014081266 A JP 2014081266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible
- pressure sensor
- sensor component
- flexible portion
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明の圧力センサ用部品において、絶縁基体1は、基体部2と基体部2上に設けられた枠部3と、基体部2の上方であって枠部3の内側に設けられた可撓部4とを有している。絶縁基体1は、基体部2と枠部3と可撓部4とに囲まれた内部空間5を有している。内部空間5を挟むように複数の電極6が設けられている。枠部3は、可撓領域4よりも上方に位置する上端部31を有しており、平面視において上端部31が可撓部4の中央に向かって伸びている。
【選択図】 図1
Description
図1に示された例のように、本発明の第1の実施形態における圧力センサ用部品において、絶縁基体1は、基体部2と基体部2上に設けられた枠部3と、基体部2の上方であって枠部3の内側に設けられた可撓部4とを有している。絶縁基体1は、基体部2と枠部3と可撓部4とに囲まれた内部空間5を有している。内部空間5を挟むように複数の電極6が設けられている。枠部3は、可撓領域4よりも上方に位置する上端部31を有しており、上端部31が可撓部4の中央に向かって伸びる延出部31aを有している。なお、本実施形態における圧力センサ用部品は、図1に示された例のように、上端部31および絶縁基体1の側面を被覆部材11によって覆われている。
れると、その圧力に応じて可撓部4が内部空間5側に撓んで対向する電極6同士の間隔が、圧力が加えられる前に比べて小さくなって、電極6同士の間の静電容量が大きくなる。圧力センサは、このような静電容量の変化を検出することによって、外部の圧力の変化を静電容量の変化として検出できる。なお、圧力が大きく減少した場合は、その圧力に応じて可撓部4が内部空間5と反対側に撓んで対向する電極6の間隔が大きくなって、電極6同士の間の静電容量が小さくなることとなる。
層と厚さ0.1〜3μm程度の金めっき層とが順次被着される。
次に、本発明の第2の実施形態による圧力センサ用部品について、図2および図3を参照しつつ説明する。
次に、本発明の第3の実施形態による圧力センサ用部品について、図4を参照しつつ説明する。
次に、本発明の第4の実施形態による圧力センサ用部品について、図5を参照しつつ説明する。
2・・・・基体部
3・・・・枠部
31・・・・上端部
31a・・・延出部
4・・・・可撓部
5・・・・内部空間
6・・・・電極
7・・・・配線導体
8・・・・凹部
9・・・・通路
10・・・・封止材
11・・・・被覆部材
Claims (3)
- 基体部と、該基体部上に設けられた枠部と、前記基体部の上方であって枠部の内側に設けられた可撓部と、前記基体部、枠部、可撓部に囲まれた内部空間とを有する絶縁基体と、
前記内部空間を挟むように、前記絶縁基体に設けられている複数の電極とを備えており、前記枠部が前記可撓部よりも上方に位置する上端部を有しており、
平面視において、前記上端部が前記可撓部の中央に向かって伸びていることを特徴とする圧力センサ用部品。 - 断面視において、前記上端部が、前記可撓部の中央部に向かって前記可撓部に近づくように傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ用部品。
- 断面視において、前記上端部の内側面が、曲面状に曲がっている曲面部を有することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ用部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012229026A JP5969351B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 圧力センサ用部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012229026A JP5969351B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 圧力センサ用部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014081266A true JP2014081266A (ja) | 2014-05-08 |
JP5969351B2 JP5969351B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
ID=50785579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012229026A Expired - Fee Related JP5969351B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 圧力センサ用部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5969351B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0495743A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-27 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式差圧検出器 |
JP2002111011A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Yamatake Corp | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
JP2003065869A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
JP2003065873A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
JP2003309270A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-31 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 半導体基板にダイアフラムを形成する方法 |
JP2006010539A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Yamatake Corp | 容量式圧力センサ及びこの製造方法 |
-
2012
- 2012-10-16 JP JP2012229026A patent/JP5969351B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0495743A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-27 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式差圧検出器 |
JP2002111011A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Yamatake Corp | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
JP2003065869A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
JP2003065873A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
JP2003309270A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-31 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 半導体基板にダイアフラムを形成する方法 |
JP2006010539A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Yamatake Corp | 容量式圧力センサ及びこの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5969351B2 (ja) | 2016-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010197057A (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP5247605B2 (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP5969351B2 (ja) | 圧力センサ用部品 | |
JP5295071B2 (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP2002107254A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4628083B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ、圧力検出装置、感圧素子および圧力検出装置用パッケージの製造方法 | |
JP4034988B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ及び圧力検出装置 | |
JP6122354B2 (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP2006047327A (ja) | 圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置 | |
JP6605971B2 (ja) | センサ用パッケージおよびセンサ装置 | |
JP4794073B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4744088B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4974424B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4859280B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージおよびその製造方法 | |
JP4863569B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4925522B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2002323394A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP4508666B2 (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP5806164B2 (ja) | センサ装置用部品およびセンサ装置 | |
JP2003130744A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2010008115A (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP2006047326A (ja) | 圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置 | |
JP2011095018A (ja) | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 | |
JP2002350265A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ | |
JP2004205377A (ja) | 圧力検出装置用パッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160707 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5969351 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |