JP2014079867A - びびり振動抑制方法および工作機械 - Google Patents

びびり振動抑制方法および工作機械 Download PDF

Info

Publication number
JP2014079867A
JP2014079867A JP2012231114A JP2012231114A JP2014079867A JP 2014079867 A JP2014079867 A JP 2014079867A JP 2012231114 A JP2012231114 A JP 2012231114A JP 2012231114 A JP2012231114 A JP 2012231114A JP 2014079867 A JP2014079867 A JP 2014079867A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moment
inertia
rotating body
machining program
chatter vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012231114A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5997577B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Yoshino
清 吉野
Hirotaka Mizukami
裕登 水上
Takayuki Kato
隆幸 加藤
Noriyoshi Ito
範佳 伊藤
Nobuki Nishidera
信希 西寺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Okuma Corp
Original Assignee
Okuma Corp
Okuma Machinery Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okuma Corp, Okuma Machinery Works Ltd filed Critical Okuma Corp
Priority to JP2012231114A priority Critical patent/JP5997577B2/ja
Priority to ITRM20130559 priority patent/ITRM20130559A1/it
Priority to CN201310475810.8A priority patent/CN103769945B/zh
Priority to DE201310111300 priority patent/DE102013111300A1/de
Priority to US14/057,078 priority patent/US9612595B2/en
Publication of JP2014079867A publication Critical patent/JP2014079867A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5997577B2 publication Critical patent/JP5997577B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41115Compensation periodical disturbance, like chatter, non-circular workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Software Systems (AREA)

Abstract

【課題】加工のたびにワークの慣性モーメントを求めることなく、容易に回転速度の変動の限界を算出し、モータが破損することのないびびり振動抑制方法を提供する。
【解決手段】びびり振動抑制方法は、前記回転体の慣性モーメントを取得する取得ステップ(S3)と、前記取得された慣性モーメントを示す値を前記加工プログラムに記録する記録ステップ(S4)と、びびり振動を抑制するために前記回転体の回転速度を変動させる際の変動振幅および変動周期を、前記加工プログラムに記録された慣性モーメントを示す値、および、前記回転体を回転させるモータの最大入力電力から算出する算出ステップ(S5)と、を備える。
【選択図】 図3

Description

本発明は工作機械による加工の際に発生するびびり振動を、回転軸の回転速度を変動させることにより抑制する制御方法および工作機械に関する。
工作機械により切削加工を行った場合に、工具または被加工物の剛性が低いと、いわゆる「びびり振動」が発生することがある。びびり振動が発生すると、工具が欠損したり、被加工物の表面精度を悪化させたりするなどの問題が生じる。このびびり振動は、加工面に生じた1回転前の起伏(振動)と、現在の切削による振動と、の間に位相遅れが生じることにより、被加工物の切取り厚さが変動し振動が拡大していくものである。このびびり振動を抑制する技術として、特許文献1及び特許文献2において対策が提案されている。特許文献1及び特許文献2に記載の技術は、回転軸の回転速度を変動させることにより、工具に入力される力を不規則にして、びびり振動を抑制しようとする技術である。特許文献1,2には、回転軸の回転速度を変動させる際の変動振幅と変動周期とを設定して、びびり振動を抑制する装置が開示されている。
特開昭49−105277号公報 実公昭61−3522号公報
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載の方法は回転速度を変動させるために、変動振幅と変動周期との2つの値を設定する必要がある。びびり振動を抑制するためには、ある値以上の変動振幅で、変動周期を短く設定する方が、効果が高いことが知られている。すなわち、回転軸の加減速を急激に行う方が、びびり振動抑制効果が大きいことが知られている。しかし、回転軸の加減速を過度に繰り返すと、モータに流入する入力電力が多くなり、モータが発熱し破損する恐れがあった。
そこで、モータの最大入力電力と回転体の慣性モーメントから、回転速度を変動させる限界の値を見つけてから、本来の目的の加工を行う方法が考えられる。そのためには、慣性モーメントを求める専用の動作を行い、工作機械を制御するNC装置に記録する必要がある。同一のワークを加工する場合は慣性モーメントを更新する必要はないが、異なるワークの場合には、再度慣性モーメントを求める専用の動作を行うか、以前に求めた慣性モーメントをオペレータがNC装置に設定する必要があり、作業工数がかかってしまう。また、同じワークを他の工作機械で加工する場合にも同様の作業工数がかかり合理的でない。
本発明は上記問題に鑑みなされたものであって、加工のたびにワークの慣性モーメントを求めることなく、容易に回転速度の変動の限界を算出し、モータが破損することのないびびり振動抑制方法、および、工作機械を提供することを目的とする。
本発明のびびり振動抑制方法は、記憶部に記憶された加工プログラムに従って、ワークまたは工具を含む回転体を回転させて切削加工する工作機械における、びびり振動を抑制するびびり振動抑制方法であって、前記回転体の慣性モーメントを取得する取得ステップと、前記取得された慣性モーメントを示す値を前記加工プログラムに記録する記録ステップと、びびり振動を抑制するために前記回転体の回転速度を変動させる際の変動振幅および変動周期を、前記加工プログラムに記録された慣性モーメントを示す値、および、前記回転体を回転させるモータの最大入力電力から算出する算出ステップと、を備えることを特徴とする。
好適な態様では、前記取得した回転体の慣性モーメントから、予め記憶している前記工作機械の回転部品の慣性モーメントを減算した値を、前記慣性モーメントを示す値として、前記加工プログラムに記録する。他の好適な態様では、前記加工プログラムにおいて、前記ワークを複数の工程に分けて加工することが指示されている場合、前記取得ステップでは、前記工程ごとに前記回転体の慣性モーメントを取得し、前記記録ステップでは、前記工程ごとに取得された前記回転体の慣性体モーメントを示す値を、前記工程ごとに前記加工プログラムに記憶する。
他の本発明である工作機械は、記憶部に記憶された加工プログラムに従って、ワークまたは工具を含む回転体を回転させて切削加工を行う工作機械であって、前記回転体の慣性モーメントを取得する慣性モーメント取得手段と、前記慣性モーメント取得手段により慣性モーメントが取得された場合に、前記加工プログラムに前記取得された慣性モーメントを記録する記録手段と、びびり振動を抑制するために前記回転体の回転速度を変動させる際の変動振幅および変動周期を、前記加工プログラムに記録された慣性モーメント、および、前記回転体を回転させるモータの最大入力電力から算出する算出手段と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、一度求めた慣性モーメントが加工プログラムに記録されるため、同じワークを加工する際に慣性モーメントを求める動作を再度行う必要がなく、容易に回転速度の変動の限界を算出して、モータが破損することなくびびり振動を抑制することができる。
本発明の実施形態であるNC旋盤の概略構成図である。 回転軸の回転速度の変動例を示す説明図である。 びびり振動抑制方法のフローチャートである。 加工プログラムの一部を示す説明図である。
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態であるNC旋盤の概略構成図である。主軸台7には、チャック2と爪3を介してワーク4を把握する主軸1が回転自在に軸支されている。主軸台7に固定されたステータ6aおよび主軸1に固定されたロータ6bからなるモータ6により、主軸1とロータ6bとチャック2と爪3とワーク4とから形成される回転体が、回転駆動される。主軸台7には、主軸1の回転速度を検出するエンコーダ5が固定されている。回転軸制御部8は、モータ6およびエンコーダ5に接続され、NC装置9は、回転軸制御部8に回転速度を指令する。回転軸制御部8は、エンコーダ5から検出される主軸1の回転速度を常時監視しながら、NC装置9から指令された回転速度で回転体を回転させるよう、モータ6に供給する入力電流を調整している。
また、NC装置9には、加工プログラム等を記憶する記憶部11と、モニタ等による出力とキーボード等による入力とを行う入出力部10と、が接続されている。NC装置9は記憶部11に記憶された加工プログラムに従い、主軸1を回転させながら図示しない工具をワーク4の回転軸方向及び又は半径方向に送り移動させることで、切削加工を行うものである。さらに、NC装置9には、入出力部10から主軸1の回転速度、変動振幅、および、変動周期が入力される。そして、これにより、主軸1の回転速度が、図2に示すように、NC装置9及び回転軸制御部8を介して、指定した変動振幅及び変動周期で変動できるようになっている。
慣性モーメントは、ステータ6aに入力する電流と回転体の回転速度変化から求めることができる。例えば、NC装置9から回転軸制御部8に対して、回転体をある回転速度で回転するよう速度指令を出すと、回転体は、停止状態から徐々に速度を上げて指令回転速度に達する。このときの回転体の慣性モーメントJと、角加速度αと、モータ6のトルクTとの間には式1の関係がある。
T=J・α・・・(1)
また、トルクTは、入力電流Iと、モータによって決まるトルク定数kと、で式2のように表すことができる。
T=k・I・・・(2)
ここで、角加速度αは、エンコーダ5で検出される回転速度の変化量から算出でき、回転軸制御部8で入力する入力電流Iは、既知である。そのため、式1及び式2から、慣性モーメントJを算出することができる。このような演算をNC装置9で行い、求めた慣性モーメントはNC装置9の加工プログラムに記録される。なお、このエンコーダ5や、慣性モーメントを計算するNC装置9等が、回転体の慣性モーメントを取得する取得手段として機能する。
本実施形態のNC旋盤で用いられる、びびり振動抑制方法を図3のフローチャートを用いて説明する。ステップS1では、ワークの加工プログラムが、記憶部11からNC装置9に読み込まれる。ステップS2では、この加工プログラム全体に対して慣性モーメントJが記録されているか否か判定し、記録されていない場合にはステップS3に進み、記録されている場合にはS5に進む。ステップS3では、既知の方法により回転体の慣性モーメントを測定する。例えば、前述の方法や回転体を加減速させ、その際にモータ6に供給する入力電流と回転速度の変化とから慣性モーメントを求める方法等が提案されている。
ステップS4では、ステップS3で求めた慣性モーメントを、記録手段として機能するNC装置9が、NC装置9内の加工プログラムに記録する。この記録した加工プログラムの例を図4に示す。ステップS3で求めた慣性モーメントが、例えば、0.5kg・mであった場合、この「0.5」という数値を、加工プログラムの先頭に慣性モーメントの変数名INAに続けて記録する。ステップS5では、算出手段として機能するNC装置9が、プログラムに記録されている慣性モーメントと、予め記憶部11に記憶されているモータ6の最大入力電力とから、回転速度を変動する際の限界の変動振幅と変動周期を式3から求める。なお、式3において、Qは、回転速度変動振幅[%]、Rは、回転速度変動周期[sec]、Sは、主軸回転速度[min−1]、Pは、モータの最大入力電力[W]である。
Q=4500・P・R/(π・S・J)・・・(3)
ここで得られた変動振幅と変動周期の関係は一次式であるため、ステップS6で、入出力部10のモニタにグラフとして表示してもよいし、代表値を数値で表示してもよい。
なお、ステップS4で慣性モーメントをNC装置9内の加工プログラムに記録したが、この加工プログラムを保存することで、記憶部11に慣性モーメントを記録した加工プログラムが記憶される。これ以降、慣性モーメントも記録された加工プログラムを読み込むことができる。
このようにすることで、一度求めた慣性モーメントを加工プログラムに記録できるため、同じワークを加工する際に慣性モーメントを求める動作を再度行う必要がなく、容易に回転速度の変動の限界を算出することができ、ひいては、モータが破損することなくびびり振動を抑制することができる。
なお、ステップS4において、回転体の慣性モーメントを記録するとしたが、工作機械の回転部品の慣性モーメントを減算した慣性モーメントを記録してもよい。すなわち、NC旋盤に固有である主軸1と、ロータ6bの慣性モーメントとを予め記憶部11に記憶しておき、この値を測定した回転体の慣性モーメントから減算した値を記録してもよい。こうすることで、他のNC旋盤で加工する際には、そのNC旋盤固有の主軸と、ロータの慣性モーメントに、加工プログラムに記録されている慣性モーメントを加算するだけで、回転体の慣性モーメントを求めることができる。したがって、ワークと加工プログラムをセットにして移動するだけで、慣性モーメントを求める動作を省くことができ、合理的で汎用的にびびり振動を抑制することができる。
また、これまでは、加工前の初期状態における慣性モーメントを測定する方法について説明してきたが、工程毎に慣性モーメントを測定し、加工プログラムに記録することもできる。ワークは加工により削られていくため、慣性モーメントが減少していく。そのため、例えば、外形の荒加工工程や、内径の仕上げ加工工程など加工工程ごとに慣性モーメントを測定し、加工工程の区切りに記録することにより、それぞれの工程に応じた慣性モーメントを得ることができる。この値を用いることで、工程ごとに最適な回転速度の変動振幅と変動周期とを算出することができる。
なお、これまでワークを回転させて切削加工を行うNC旋盤を例に説明してきたが、本発明は、工具を回転させて切削加工を行うマシニングセンタ等、他の工作機械にも適用できるものである。
1 主軸、2 チャック、3 爪、4 ワーク、5 エンコーダ、6 モータ、6a ステータ、6b ロータ、7 主軸台、8 回転軸制御部、9 NC装置、10 入出力部、11 記憶部。

Claims (4)

  1. 記憶部に記憶された加工プログラムに従って、ワークまたは工具を含む回転体を回転させて切削加工する工作機械における、びびり振動を抑制するびびり振動抑制方法であって、
    前記回転体の慣性モーメントを取得する慣性モーメント取得ステップと、
    前記取得された慣性モーメントを示す値を前記加工プログラムに記録する記録ステップと、
    びびり振動を抑制するために前記回転体の回転速度を変動させる際の変動振幅および変動周期を、前記加工プログラムに記録された慣性モーメントを示す値、および、前記回転体を回転させるモータの最大入力電力から算出する算出ステップと、
    を備えることを特徴とするびびり振動抑制方法。
  2. 前記取得した回転体の慣性モーメントから、予め記憶している前記工作機械の回転部品の慣性モーメントを減算した値を、前記慣性モーメントを示す値として、前記加工プログラムに記録する、ことを特徴とする請求項1に記載のびびり振動抑制方法。
  3. 前記加工プログラムにおいて、前記ワークを複数の工程に分けて加工することが指示されている場合、
    前記取得ステップでは、前記工程ごとに前記回転体の慣性モーメントを取得し、
    前記記録ステップでは、前記工程ごとに取得された前記回転体の慣性体モーメントを示す値を、前記工程ごとに前記加工プログラムに記憶する、
    ことを特徴とするびびり振動抑制方法。
  4. 記憶部に記憶された加工プログラムに従って、ワークまたは工具を含む回転体を回転させて切削加工を行う工作機械であって、
    前記回転体の慣性モーメントを取得する慣性モーメント取得手段と、
    前記慣性モーメント取得手段により慣性モーメントが取得された場合に、前記加工プログラムに前記取得された慣性モーメントを記録する記録手段と、
    びびり振動を抑制するために前記回転体の回転速度を変動させる際の変動振幅および変動周期を、前記加工プログラムに記録された慣性モーメント、および、前記回転体を回転させるモータの最大入力電力から算出する算出手段と、
    を備えることを特徴とする工作機械。
JP2012231114A 2012-10-18 2012-10-18 びびり振動抑制方法および工作機械 Active JP5997577B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012231114A JP5997577B2 (ja) 2012-10-18 2012-10-18 びびり振動抑制方法および工作機械
ITRM20130559 ITRM20130559A1 (it) 2012-10-18 2013-10-11 Metodo e macchina utensile per l'eliminazione delle vibrazioni di battimento.
CN201310475810.8A CN103769945B (zh) 2012-10-18 2013-10-12 颤振抑制方法和机床
DE201310111300 DE102013111300A1 (de) 2012-10-18 2013-10-14 Verfahren und Werkzeugmaschine zum Dämpfen von Ratterschwingungen
US14/057,078 US9612595B2 (en) 2012-10-18 2013-10-18 Chatter vibration suppressing method and machine tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012231114A JP5997577B2 (ja) 2012-10-18 2012-10-18 びびり振動抑制方法および工作機械

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014079867A true JP2014079867A (ja) 2014-05-08
JP5997577B2 JP5997577B2 (ja) 2016-09-28

Family

ID=50437162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012231114A Active JP5997577B2 (ja) 2012-10-18 2012-10-18 びびり振動抑制方法および工作機械

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9612595B2 (ja)
JP (1) JP5997577B2 (ja)
CN (1) CN103769945B (ja)
DE (1) DE102013111300A1 (ja)
IT (1) ITRM20130559A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106002489A (zh) * 2016-07-07 2016-10-12 上海师范大学 一种消除数控机床切削颤振的自动补偿装置和方法
JP2017113831A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 シチズン時計株式会社 工作機械
EP3196721A1 (en) 2016-01-20 2017-07-26 Nakamura-Tome Precision Industry Co., Ltd Turning method for suppressing chatter vibration and machine tool
JP2020196057A (ja) * 2019-05-31 2020-12-10 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
JP2021037558A (ja) * 2019-08-30 2021-03-11 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
CN113189935A (zh) * 2021-04-29 2021-07-30 浙江陀曼云计算有限公司 基于时序功率数据的非侵入式生产节拍预测方法及系统
CN113500454A (zh) * 2021-07-21 2021-10-15 新代科技(苏州)有限公司 一种智慧主轴加减速的方法
WO2023095286A1 (ja) * 2021-11-26 2023-06-01 ファナック株式会社 工作機械制御装置及び工作機械
JP7439411B2 (ja) 2019-08-08 2024-02-28 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112013007679T5 (de) * 2013-12-13 2016-08-25 Mitsubishi Electric Corporation Numerische Steuerungsanlage und numerisches Steuerungsverfahren
CN104647132B (zh) * 2014-12-22 2016-01-20 华中科技大学 一种基于磁悬浮轴承电主轴的铣削颤振主动控制方法
JP6105650B2 (ja) * 2015-02-18 2017-03-29 ファナック株式会社 機械の負荷を低減する数値制御装置
JP6915782B2 (ja) 2018-02-06 2021-08-04 国立大学法人東海国立大学機構 加工装置および切削加工方法
JP7403282B2 (ja) * 2019-11-01 2023-12-22 オークマ株式会社 工作機械における主軸回転速度のモニタ装置及びモニタ方法、工作機械

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4509126A (en) * 1982-06-09 1985-04-02 Amca International Corporation Adaptive control for machine tools
JPH0546234A (ja) * 1991-08-20 1993-02-26 Yaskawa Electric Corp ロボツトの加減速時定数決定方法
JP2000099123A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボット
JP2004074349A (ja) * 2002-08-19 2004-03-11 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd Nc工作機械
JP2006346760A (ja) * 2005-06-13 2006-12-28 Mitsubishi Electric Corp 数値制御装置
JP2010188499A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械および加工方法
JP2012091283A (ja) * 2010-10-27 2012-05-17 Okuma Corp 工作機械
JP2012130983A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Okuma Corp 工作機械

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49105277A (ja) 1973-02-08 1974-10-04
JPS613522U (ja) 1984-06-12 1986-01-10 アルプス電気株式会社 対物レンズ駆動装置
CA2255915A1 (en) 1997-03-15 1998-09-24 Makino Milling Machine Co., Ltd. Machining processor
US7640832B2 (en) * 2003-07-24 2010-01-05 Hunter Engineering Company Method and apparatus for resurfacing brake rotors
US7730813B2 (en) * 2004-07-08 2010-06-08 University Of Florida Research Foundation, Inc. Variable tuned holder for machine tools
US7473160B1 (en) * 2006-08-09 2009-01-06 S.E. Huffman Corp Method and apparatus for grinding a workpiece
US7739576B2 (en) * 2006-08-31 2010-06-15 Micron Technology, Inc. Variable strength ECC
US8229598B2 (en) * 2007-09-06 2012-07-24 Okuma Corporation Vibration suppressing device for machine tool
US7933679B1 (en) * 2007-10-23 2011-04-26 Cessna Aircraft Company Method for analyzing and optimizing a machining process
JP4777960B2 (ja) * 2007-10-25 2011-09-21 オークマ株式会社 振動抑制装置
US8954185B2 (en) * 2008-03-26 2015-02-10 Haas Automation, Inc. Cut optimization system and method
JP5234772B2 (ja) * 2008-10-28 2013-07-10 オークマ株式会社 工作機械の振動抑制方法及び装置
ITMI20111889A1 (it) 2010-10-20 2012-04-21 Okuma Machinery Works Ltd Metodo di monitoraggio della fluttuazione della velocita' di rotazione dell'albero rotante in una macchina utensile, apparecchio di monitoraggio, e macchina utensile
JP5723262B2 (ja) 2010-12-02 2015-05-27 株式会社神戸製鋼所 薄膜トランジスタおよびスパッタリングターゲット

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4509126A (en) * 1982-06-09 1985-04-02 Amca International Corporation Adaptive control for machine tools
JPH0546234A (ja) * 1991-08-20 1993-02-26 Yaskawa Electric Corp ロボツトの加減速時定数決定方法
JP2000099123A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボット
JP2004074349A (ja) * 2002-08-19 2004-03-11 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd Nc工作機械
JP2006346760A (ja) * 2005-06-13 2006-12-28 Mitsubishi Electric Corp 数値制御装置
JP2010188499A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械および加工方法
JP2012091283A (ja) * 2010-10-27 2012-05-17 Okuma Corp 工作機械
JP2012130983A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Okuma Corp 工作機械

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017113831A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 シチズン時計株式会社 工作機械
EP3196721A1 (en) 2016-01-20 2017-07-26 Nakamura-Tome Precision Industry Co., Ltd Turning method for suppressing chatter vibration and machine tool
CN106002489B (zh) * 2016-07-07 2018-05-22 上海师范大学 一种消除数控机床切削颤振的自动补偿装置和方法
CN106002489A (zh) * 2016-07-07 2016-10-12 上海师范大学 一种消除数控机床切削颤振的自动补偿装置和方法
JP7318315B2 (ja) 2019-05-31 2023-08-01 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
JP2020196057A (ja) * 2019-05-31 2020-12-10 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
JP7439411B2 (ja) 2019-08-08 2024-02-28 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
JP2021037558A (ja) * 2019-08-30 2021-03-11 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
JP7347028B2 (ja) 2019-08-30 2023-09-20 株式会社ジェイテクト 歯車加工装置及び歯車加工方法
CN113189935A (zh) * 2021-04-29 2021-07-30 浙江陀曼云计算有限公司 基于时序功率数据的非侵入式生产节拍预测方法及系统
CN113500454B (zh) * 2021-07-21 2022-09-20 新代科技(苏州)有限公司 一种智慧主轴加减速的方法
CN113500454A (zh) * 2021-07-21 2021-10-15 新代科技(苏州)有限公司 一种智慧主轴加减速的方法
WO2023095286A1 (ja) * 2021-11-26 2023-06-01 ファナック株式会社 工作機械制御装置及び工作機械

Also Published As

Publication number Publication date
CN103769945A (zh) 2014-05-07
CN103769945B (zh) 2017-08-04
DE102013111300A1 (de) 2014-04-24
ITRM20130559A1 (it) 2014-04-19
US9612595B2 (en) 2017-04-04
US20140114462A1 (en) 2014-04-24
JP5997577B2 (ja) 2016-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5997577B2 (ja) びびり振動抑制方法および工作機械
JP5536608B2 (ja) 工作機械における振動抑制方法及び振動抑制装置
JP4743646B2 (ja) 工作機械の振動抑制装置
JP4582660B2 (ja) 工作機械の振動抑制装置
JP5507410B2 (ja) 工作機械における主軸回転速度のモニタ方法及びモニタ装置、工作機械
US9651936B2 (en) Machining method
JP2008290188A (ja) 振動抑制装置
CN103785906A (zh) 机床
JP2014087887A (ja) 工作機械
JP5226484B2 (ja) びびり振動抑制方法
JP5631779B2 (ja) 工作機械の振動抑制方法及び装置
JP5674449B2 (ja) 工作機械
JP5126665B2 (ja) 旋削加工方法及び旋削条件及び切削経路生成方法
JP5587707B2 (ja) 振動抑制装置
WO2020213387A1 (ja) 切削工具の摩耗検出方法および切削加工装置
JP5491350B2 (ja) 工作機械の振動抑制装置
JP5767931B2 (ja) 工作機械の振動抑制方法および振動抑制装置
JP2021070089A (ja) 工作機械における主軸回転速度のモニタ装置及びモニタ方法、工作機械
JP6040665B2 (ja) びびり振動抑制方法および工作機械
JP4995115B2 (ja) 振動抑制方法及び装置
JP5369718B2 (ja) 工作機械
WO2010095668A1 (ja) 工作機械および加工方法
KR20140083097A (ko) 공작기계의 스핀들 클램핑/언클램핑 자동 조절 장치 및 방법
CN114258632A (zh) 操作牙科工具机中的步进马达的方法
JP2019025617A (ja) 工作機械における工具切込方向の制御装置及び制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150428

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160119

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160314

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160712

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160823

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160826

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5997577

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150