JP2014075336A - 熱陰極、電子放射装置、及び熱陰極の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱陰極は、エミッタ上部20とエミッタ本体部30とを有する、結晶エミッタまたは焼結エミッタと、カーボン材料を用いて、エミッタ本体部の側面外周に塗布された下側コーティング部42と、下側コーティング部から連続して形成され、隙間を空けてエミッタ上部を取り囲む上側コーティング部41とを有するカーボンコーティング部と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図2A
Description
エミッタ上部とエミッタ本体部とを有する、結晶エミッタまたは焼結エミッタと、
カーボン材料を用いて、エミッタ本体部の側面外周に塗布された下側コーティング部と、下側コーティング部から連続して形成され、隙間を空けてエミッタ上部を取り囲む上側コーティング部とを有するカーボンコーティング部と、
を備えることを特徴とする。
エミッタ上部とエミッタ本体部とを有するエミッタと、エミッタ本体部の側面外周に塗布されると共に、エミッタ上部を空間的な隙間を空けて取り囲むように塗布されたカーボンコーティング部と、を有する熱陰極と、
エミッタヒータと、
エミッタのための支持体と、
を備えることを特徴とする。
エミッタの上部を犠牲膜で被覆する工程と、
犠牲膜上にわたってカーボンコーティングを塗布する工程と、
上部を取り囲むが上部から離間されるカーボンコーティングを残存させるように犠牲膜を除去する工程と、
を備えることを特徴とする。
以下、実施の形態1では、高輝度で長寿命の熱陰極およびその製造方法について説明する。特に、カーボンコーティングと陰極の表面との間に隙間が存在し、それにより、陰極の損傷をもたらすであろうカーボンと結晶エミッタ材料との相互作用を防止する陰極について説明する。
1.エミッタ本体、円錐部または円錐領域、および、ティップを備えるエミッタを設ける工程。
2.エミッタの上部を犠牲膜で被覆する工程。言い換えれば、エミッタの円錐部および場合により、ティップを一時的な犠牲層またはコーティングで被覆する工程。
3.犠牲膜上にわたってカーボンコーティングを塗布する工程。具体的には、エミッタ本体の外面と一時的なコーティング(犠牲膜)とに対してカーボンの層を塗布する工程であって、カーボンが円錐部を覆う一時的なコーティング(犠牲膜)だけに対して塗布されるが陰極のティップに対しては塗布されない工程。この工程は、一時的な保護層を有する中間陰極(例えば、図4(c)参照)の形成をもたらす。
4.上部を取り囲むが上部から離間されるカーボンコーティングを残存させるように犠牲膜を除去する工程。具体的には、他の陰極構成要素を損傷させることなく、一時的なコーティング(犠牲膜)の除去をもたらす状態に中間陰極を晒す工程。この工程は、エミッタの円錐部付近で結晶とカーボンコーティングとの間に数ミクロン幅の隙間を残す。
20 エミッタ上部
21 斜面
22 電子放射面
30 エミッタ本体
31 外周側面
40 コーティング部
41 上側コーティング部
42 下側コーティング部
43 上面
50 隙間
100 陰極
200 陰極ホルダ
Claims (13)
- エミッタ上部とエミッタ本体部とを有する、結晶エミッタまたは焼結エミッタと、
カーボン材料を用いて、前記エミッタ本体部の側面外周に塗布された下側コーティング部と、前記下側コーティング部から連続して形成され、隙間を空けて前記エミッタ上部を取り囲む上側コーティング部とを有するカーボンコーティング部と、
を備えることを特徴とする熱陰極。 - 前記結晶エミッタまたは焼結エミッタは、六ホウ化ランタン(LaB6)、六ホウ化セリウム(CeB6)、炭化ハフニウム(HfC)、焼結LaB6、焼結CeB6、焼結HfC、焼結タングステン−バリウム−酸素−Al(W−Ba−Al−O)、および、焼結スカンデート(Ba−Sc−W−O)から成る群から選択される材料から形成されることを特徴とする請求項1記載の熱陰極。
- 前記エミッタ上部は、円錐形に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の熱陰極。
- 前記エミッタ上部は、0〜90度の範囲の円錐角を有することを特徴とする請求項3記載の熱陰極。
- 前記カーボンコーティング部は、黒鉛、コロイド黒鉛、DLC(ダイヤモンド状炭素)、および、熱分解炭素から成る群から選択されることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の熱陰極。
- 前記隙間は、1μm〜15μm幅であることを特徴とする請求項1〜5いずれか記載の熱陰極。
- エミッタ上部とエミッタ本体部とを有するエミッタと、前記エミッタ本体部の側面外周に塗布されると共に、前記エミッタ上部を空間的な隙間を空けて取り囲むように塗布されたカーボンコーティング部と、を有する熱陰極と、
エミッタヒータと、
前記エミッタのための支持体と、
を備えることを特徴とする電子放射装置。 - 前記エミッタ上部が円錐形であることを特徴とする請求項7記載の電子放射装置。
- エミッタの上部を犠牲膜で被覆する工程と、
前記犠牲膜上にわたってカーボンコーティングを塗布する工程と、
前記上部を取り囲むが前記上部から離間される前記カーボンコーティングを残存させるように前記犠牲膜を除去する工程と、
を備えることを特徴とする熱陰極の製造方法。 - 前記上部は、円錐形であることを特徴とする請求項9記載の熱陰極の製造方法。
- 前記除去する工程は、エッチング、溶解、および、蒸発から成る群から選択される技術によって行なわれることを特徴とする請求項9又は10記載の熱陰極の製造方法。
- 前記犠牲膜が有機材料から形成され、前記除去する工程は、前記有機材料の蒸発を引き起こすのに十分な熱を加えることによって行なわれることを特徴とする請求項9又は10記載の熱陰極の製造方法。
- 前記有機材料がアクリル樹脂であることを特徴とする請求項12記載の熱陰極の製造方法。
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