JP6279783B2 - カソード及びカソードの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
犠牲膜101は、種々の方法で形成することができる。例えば、図5(a)及び図5(b)に示すように回転台Rに本体10を載置し、回転台Rを回転させながら本体10の上部12に犠牲膜101の前駆体である有機物Oの溶液を塗布し、犠牲膜101を形成するようにしてもよい(スピンコート法)。また、図6(a)及び図6(b)に示すように本体10の上部12を直接、犠牲膜101の前駆体である有機物Oの溶液に浸して、本体10の上部12に犠牲膜101を形成してもよい。
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、上記実施形態は、例示であり、本発明を上記実施形態に限定することを意図するものではない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、実施形態に係るカソード100は、scanning electron microscopes(SEM)、transmission electron microscopes(TEM)等、種々の装置に用いることができる。
Claims (5)
- 上部の先端が平坦または球状の円錐形状であり、前記上部は、前記先端に配置される電子放出面と、この電子放出面の下方に配置される錐面と、を有するカソード本体と、
前記電子放出面を露出する開口を有し、前記錐面を溝を介して覆う、カーボンからなる被覆層と、
を備え、
前記溝の幅は、1μm以上10μm以下であり、前記電子放出面の周囲における前記溝の幅の最大値と最小値との差が1μm以下であるカソード。 - 上部の先端が平坦または球状の円錐形状であり、前記上部は前記先端に配置される電子放出面と、この電子放出面の下方に配置される錐面と、を有するカソード本体の前記上部に、厚みが1μm以上10μm以下であり、前記厚みの最大値と最小値の差が1μm以下の犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上にカーボンからなる被覆層を形成する工程と、
前記犠牲膜を除去し、前記錐面と前記被覆層との間に所定幅の溝を形成する工程と、
を有するカソードの製造方法。 - 上部の先端が平坦または球状の円錐形状であり、前記上部は前記先端に配置される電子放出面と、この電子放出面の下方に配置される錐面と、を有するカソード本体を回転台に載置し、
前記回転台を回転させながら前記カソードの前記上部に、有機物の溶液を塗布して所定の膜厚の犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上にカーボンからなる被覆層を形成する工程と、
前記犠牲膜を除去し、前記錐面と前記被覆層との間に所定幅の溝を形成する工程と、
を有するカソードの製造方法。 - 上部の先端が平坦または球状の円錐形状であり、前記上部は、前記先端に配置される電子放出面と、この電子放出面の下方に配置される錐面と、を有するカソード本体の前記上部を有機物の溶液に浸して、所定の膜厚の犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上にカーボンからなる被覆層を形成する工程と、
前記犠牲膜を除去し、前記錐面と前記被覆層との間に所定幅の溝を形成する工程と、
を有するカソードの製造方法。 - 前記犠牲膜を形成した後、前記犠牲膜の一部を除去して平坦化する工程をさらに有する請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のカソードの製造方法。
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