JP2014073913A - 還元炉洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シーメンス法による多結晶シリコンの製造に使用されるベルジャー型還元炉を操業後に開放し、製品を取り出した後に、炉底部10を加熱した状態で炉底部10の表面をドライアイスブラストにより洗浄処理する。これまで省みられることのなかった炉底部10の表面を洗浄する操作により、その表面の清浄度及び光沢度が上り、製品の品質及び生産性が向上する。
【選択図】 図1
Description
11 電極
20 ベルジャー
30 ブラスト装置
31 ノズル
Claims (4)
- シーメンス法による多結晶シリコンの製造に使用されるベルジャー型還元炉を操業後に開放し、製品を取り出した後に炉底部を加熱した状態で炉底部の表面をドライアイスブラストにより洗浄処理する還元炉洗浄方法。
- 請求項1に記載の還元炉洗浄方法において、炉底部の加熱は、冷却水流路に加熱流体を流通させることにより行う還元炉洗浄方法。
- 請求項1又は2に記載の還元炉洗浄方法において、炉底部の加熱温度は、表面温度で30〜200℃である還元炉洗浄方法。
- 請求項1〜3の何れかに記載の還元炉洗浄方法において、ドライアイスブラストは、炉底部表面の光沢度が30〜1000となるまで行う還元炉洗浄方法。
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