JP2014070226A - 蒸着源および微粒子形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同軸型真空アーク蒸着源5のアノード電極23内にガスライン101を介してH2ガスを導入することにより、膜やナノ粒子の酸化を抑制しすることができる。アノード電極23の内周面とトリガ電極13の外周面との間の領域に、真空チャンバ2の外部からのガスライン101の先端部を位置させている。ガスライン101を介して真空チャンバ2の外部からH2が領域201内に先端部から流入する。また、ガスライン101を介して同時にN2ガスもアノード電極23内に導入することにより酸化のない十分窒化しているNb、Ta,Ti,Zrなど窒化物や炭窒化物の膜やナノ微粒子を形成する。
【選択図】図1
Description
しかるに最近アークプラズマ蒸発法を用いて真空ないしは低圧のガス雰囲気中で直接ナノ粒子を作成し基材に担持するという乾式法が注目を浴びている。この方法は従来の湿式法に較べ、触媒を製造・担持するプロセスが極めて簡便な画期的な方法である。
また、チャンバを十分ベーキングし、基材の粉を加熱したり真空中で保持したりして十分脱水させても酸素の混入を避けることは困難である。そのため、これらの誘電体膜(透明、絶縁性)が生じてしまい、触媒機能を十分に発現させることできない場合があるという問題がある。
好適には、本発明の蒸着源は、前記混合ガス内での前記水素ガスの分圧は0.1Pa〜50Paである。
図2は、図1に示す同軸型真空アーク蒸着源5の構成を説明するための図である。
図1に示す真空チャンバ2は、円筒状をしている。
真空チャンバ2内には、被蒸着体保持部4および同軸型真空アーク蒸着源5が収納されている。
被蒸着体保持部4には、同軸型真空アーク蒸着源5からのイオン化された微粒子が蒸着される基板あるいは基材である被蒸着体3が着脱自在に保持される。
ガスライン101は、図示しないガス供給源からガスの供給を受けている。
(1)1/2O2=O[M]
(2)H2O=1/2O2+H2
あるいはH2O=O[M]+H2
ここで、[M]は真空チャンバ2の内壁に吸着していることをを示している。
さらにナノ粒子固有の問題として、ナノ粒子は非常に界面活性であり酸素を取り込みやすいという点があることも当該発明者は見出した。
ナノ粒子や金属膜などへの酸素を取り込むのを防ぐには上記式(1)、(2)における反応雰囲気(真空壁、粉体など)中の酸素ガスや水分の分圧を下げるか、還元剤であるH2の分圧を上げることが考えられる。H2の分圧を上げるには真空チャンバ2内にH2ガスを導入し、さらにはH2ガスを活性化させるためH2ガスを強く励起させること(H2分圧を上げることに対応)が必要である。
従ってアーク放電が起こる蒸着材料11上端面およびその近傍周囲が火点となっている。ここを目掛けてガスを流せばガスは激しく励起されることになる。
従ってナノ粒子中あるいは膜中の酸素を下げるには、本実施形態のように、ガスライン101を使って、この火点であるアノード電極23とトリガ電極13との間の空間にH2ガスを導入できる仕組みを作ることが有効である。
ガスライン101を介して真空チャンバ2の外部からH2が領域201内に先端部101aから流入する。
ガスライン101としては、例えば、同軸型真空アーク蒸着源5を支える複数本(例えば3本)の支柱の1本を利用し、それを中空構造したものを用いる。
またN2ガスによる窒化の反応はO2ガスによる酸化反応よりマイルドであるのでN2ガスもガスライン101を利用して真空チャンバ2内に導入できるようにした。
すなわち、本実施形態では、ガスライン101を介してN2とH2との混合ガスを流入する。
ここで、当該混合ガス内でのH2ガスの分圧は、例えば0.1Pa〜50Paが望ましい。0.1Pa以上としたのは、0.1Pa未満であると還元作用が不十分となるという不都合があることが確認されている。また、50Pa以下としたのは50Paを超えると水素プラズマの放電が不安定になるという不都合があることが確認されている。
トリガ電極13はこのハット型の絶縁碍子14により、カソード電極12と蒸着材料11との両方と絶縁されている。
11の構成物質が蒸発し、蒸気や、イオンや電子等が発生する。また、蒸着材料11と絶縁碍子14のつなぎ目から電子が発生する。
アーク電源32により、放電電圧100Vで電荷を充電しておく。ここで、コンデンサユニット33は、720μFとする。
トリガ電極13にトリガ電源31からの3.4kVのトリガパルスを印加し、カソード電極に取付けられた蒸着材料11とトリガ電極13の間に、ハット型碍子14を介して印加することで、ハット型碍子14表面で沿面放電が発生し、蒸着材料11とアノード電極23との間でコンデンサユニット33に蓄電された電荷が放電され、カソード電極に多量の電流が流入し、カソード電極に取付けられた蒸着材料11が液相から気相、さらにプラズマが形成される。
ターゲット3にNbCを用い、N2ガスあるいはN2+H2ガスをガスラインよりアノード内に直接導入し、放電電圧:100V,コンデンサー容量:720μF,で12000ショットを5HZで放電しSiウエハ基板および透明なガラス基板3上にNbCN膜を成膜した。
基板3はアノード電極23の前方80mmの位置に置いた。その時の膜の外観およびシート抵抗を表1に示す。
しかるにN2のみで放電した膜はいずれもこげ茶の半透明の膜でシート抵抗も1〜30kΩ/□と高くなっていた。
これはN2のみ添加した場合、真空チャンバ2内の壁に吸着していた水分がN2プラズマでたたかれて膜中に酸素[O]が混入して誘電体に近い膜が出来ていることを示している。
これはNbCターゲットの窒化の例であるが、TiターゲットをN2ガス雰囲気で放電してTを作成した場合も同様な結果が得られている。ちなみにこの場合N2ガスのみであると出来たTiN(O)膜の組成はTi=29%、N=27%,O=31%と[O]が膜中に大量に混入していた(膜のXPS分析結果)。
また、微粒子形成装置1によれば、ガスライン101を介して同時にN2ガスもアノード電極23内に導入することにより酸化のない十分窒化しているNb、Ta,Ti,Zrなど窒化物や炭窒化物の膜やナノ微粒子を形成できる。
すなわち、当業者は、本発明の技術的範囲またはその均等の範囲内において、上述した実施形態の構成要素に関し、様々な変更、コンビネーション、サブコンビネーション、並びに代替を行ってもよい。
また、上述した実施形態では、ガスライン101を介してH2ガスとN2ガスの混合ガスを流入する場合を例示したが、あるいはH2と炭化水素の混合ガスを流入するようにしてもよい。
なおこれらの実施例では膜の作成に利用したが、ナノ粒子、アイランド作成においても利用できることはいうまでもない。
3…被蒸着体
5…同軸型真空アーク蒸着源
6…電源装置
7…被蒸着体
11…蒸着材料
12…カソード電極
14…絶縁碍子
23…アノード電極
31…トリガ電源
32…アーク電源
33…コンデンサユニット
101…ガスライン
Claims (4)
- 円筒状のアノード電極と、円柱状のカソード電極と、円筒状のトリガ電極と、前記カソード電極に接続された蒸着材料と、前記蒸着材料と前記トリガ電極との間に配置された絶縁碍子とを有し、
前記蒸着材料は、前記トリガ電極に近接した位置に配置され、
前記トリガ電極に電圧を印加すると、当該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が蒸発するように構成された蒸着源であって、
前記円筒状のアノード電極と前記円筒状のトリガ電極との間の空間内に、当該空間の外部から水素ガスを導入する導入路の噴出口が位置している
蒸着源。 - 窒素、アルゴンおよび炭化水素の少なくとも一つの反応ガスと前記水素ガスとの混合ガスが前記噴出口から噴出される
請求項1に記載の蒸着源。 - 前記混合ガス内での前記水素ガスの分圧は0.1Pa〜50Paである
請求項2に記載の蒸着源。 - 蒸着源と、
蒸着源の蒸着材料から発生したイオン化された微粒子が蒸着される被蒸着体を保持する被蒸着体保持手段
を有し、
前記蒸着源は、
円筒状のアノード電極と、円柱状のカソード電極と、円筒状のトリガ電極と、前記カソード電極に接続された前記蒸着材料と、前記蒸着材料と前記トリガ電極との間に配置された絶縁碍子とを有し、前記アノード電極および前記絶縁碍子が前記カソード電極および前記蒸着材料を中心に同心円軸上に配置され、さらに前記蒸着材料は前記トリガ電極に近接した位置に配置され、
前記トリガ電極に電圧を印加すると、当該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が蒸発してイオン化された微粒子を前記被蒸着体に蒸着するように構成された蒸着源であって、
前記円筒状のアノード電極と前記円筒状のトリガ電極との間の空間内に、当該空間の外部から水素ガスを導入する導入路の噴出口が位置している
微粒子形成装置。
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