JP2014067955A - エピタキシャルウェーハの製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エピタキシャルウェーハの製造装置としての気相成長装置1の反応容器2内にはサセプタ12が配置される。そのサセプタ12にシリコンウェーハWが載置される。気相成長装置1はサセプタ12を水平回転させる回転機構14と上下動させる上下動機構15とを備える。シリコンウェーハW上にエピタキシャル層を気相成長させる際には、回転機構14によりサセプタ12を水平回転させつつ、ガス供給方向(ガス供給側21、ガス排出側36)に向いたシリコンウェーハWの周縁部の結晶方位が<110>方位のときには、上下動機構15によりサセプタ12を下降させる。ガス供給方向に向いた結晶方位が<100>方位のときにはサセプタ12を上昇させる。
【選択図】図1
Description
前記原料ガスの供給方向に向いた前記半導体ウェーハの周縁部における結晶方位の、前記サセプタの水平回転にともなう周期的な変化に応じて、前記サセプタをその載置面に対して垂直な方向に周期的に上下させることを特徴とする。
前記原料ガスの供給方向に向いた前記半導体ウェーハの周縁部における結晶方位の、前記サセプタの水平回転にともなう周期的な変化に応じて、前記サセプタをその載置面に対して垂直な方向に周期的に上下させることを特徴とする。
2 反応容器
12 サセプタ
13 支持軸
14 回転機構
15 上下動機構
16 制御装置
21 ガス供給口
23 ガス案内部材
36 ガス排出口
101 シリコンウェーハの周縁部
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)
Claims (8)
- 反応容器内に水平に支持されたサセプタの載置面に半導体ウェーハを載置し、前記サセプタをサセプタ中心を回転軸として水平回転させつつ、前記反応容器の水平方向における一端側からエピタキシャル層形成用の原料ガスを供給して、前記半導体ウェーハ上にエピタキシャル層を気相成長させるエピタキシャルウェーハの製造装置において、
前記原料ガスの供給方向に向いた前記半導体ウェーハの周縁部における結晶方位の、前記サセプタの水平回転にともなう周期的な変化に応じて、前記サセプタをその載置面に対して垂直な方向に周期的に上下させることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造装置。 - 前記周縁部の結晶方位のうちファセット成長しやすい結晶方位である第1結晶方位が前記原料ガスの供給方向に向いたときに前記サセプタを前記垂直な方向に下げ、前記周縁部の結晶方位のうちファセット成長しにくい結晶方位である第2結晶方位が前記原料ガスの供給方向に向いたときに前記サセプタを前記垂直な方向に上げることを特徴とする請求項1に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。
- 前記半導体ウェーハはシリコンウェーハであり、
前記サセプタが45度回転する毎に前記サセプタを前記垂直な方向に上げ又は下げることを特徴とする請求項2に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。 - 前記シリコンウェーハは結晶方位が(100)方位のウェーハであり、
前記第1結晶方位は<110>方位であり、前記第2結晶方位は<100>方位であることを特徴とする請求項3に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。 - 反応容器内に水平に支持されたサセプタの載置面に半導体ウェーハを載置し、前記サセプタをサセプタ中心を回転軸として水平回転させつつ、前記反応容器の水平方向における一端側からエピタキシャル層形成用の原料ガスを供給して、前記半導体ウェーハ上にエピタキシャル層を気相成長させるエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記原料ガスの供給方向に向いた前記半導体ウェーハの周縁部における結晶方位の、前記サセプタの水平回転にともなう周期的な変化に応じて、前記サセプタをその載置面に対して垂直な方向に周期的に上下させることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記周縁部の結晶方位のうちファセット成長しやすい結晶方位である第1結晶方位が前記原料ガスの供給方向に向いたときに前記サセプタを前記垂直な方向に下げ、前記周縁部の結晶方位のうちファセット成長しにくい結晶方位である第2結晶方位が前記原料ガスの供給方向に向いたときに前記サセプタを前記垂直な方向に上げることを特徴とする請求項5に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記半導体ウェーハはシリコンウェーハであり、
前記サセプタが45度回転する毎に前記サセプタを前記垂直な方向に上げ又は下げることを特徴とする請求項6に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記シリコンウェーハは結晶方位が(100)方位のウェーハであり、
前記第1結晶方位は<110>方位であり、前記第2結晶方位は<100>方位であることを特徴とする請求項7に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
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