JP2014064042A - 凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法、凹凸構造膜付きガラス基板、太陽電池、及び、太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライエッチング時の蒸気圧が互いに異なる複数の酸化物からなるガラス基板に凹凸構造を付与するにあたり、ガラス基板の平坦な表面に、単一材料から構成される被加工膜を形成する被加工膜形成工程と、被加工膜の表面に、周期的な凹凸構造をドライエッチングで形成する凹凸構造形成工程と、を含むようにし、精度良く微細な凹凸構造がドライエッチングにより付与されるようにした。
【選択図】図1
Description
まず、凹凸構造膜付きガラス基板2上に、CVD法、スパッタ法等の成膜法で透明導電性材料からなる透明導電膜3を成膜する(透明導電膜成膜工程)。透明導電膜3は、例えばSnO2によって形成され、膜厚は例えば0.3〜2μmである。本実施形態においては、透明導電膜3を、凹凸構造膜22の凹凸構造26に起因して、下面3aに凹凸構造3bが形成される厚さとしている。すなわち、透明導電膜3の膜厚を比較的薄くして、凹凸構造膜22の凹凸構造26と同様の凹凸構造3bを下面3aに出現させている。
2 凹凸構造膜付きガラス基板
3 透明導電膜
3a 下面
3b 凹凸構造
3c 凸部
4 光電変換層
5 裏面反射層
6 裏面電極層
21 ガラス基板
22 凹凸構造膜
23 上面
24 下面
25 下面
26 凹凸構造
27 凸部
32 レジスト層
32a 開口
34 ステンシルマスク
34a 開口
36 マスク層
41 p型半導体層
42 i型半導体層
43 n型半導体層
44 下面
101 太陽電池
104 第1光電変換層
105 裏面反射層
106 裏面電極層
107 中間層
108 第2光電変換層
141 p型半導体層
142 i型半導体層
143 n型半導体層
144 下面
145 凹凸構造
161 Ag層
162 Al層
174 下面
175 凹凸構造
181 p型半導体層
182 i型半導体層
183 n型半導体層
184 下面
185 凹凸構造
201 太陽電池
202 凹凸構造膜付きガラス基板
222 凹凸構造膜
Claims (6)
- ドライエッチング時の蒸気圧が互いに異なる複数の酸化物からなるガラス基板の平坦な表面に、単一材料から構成され前記ガラス基板に対して屈折率がほぼ同じ被加工膜をスパッタリング法、真空蒸着法またはCVD法により形成する被加工膜形成工程と、
前記被加工膜の前記表面に、周期が1μm未満の凹凸構造をドライエッチングで形成する凹凸構造形成工程と、を含む凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法。 - 前記ガラス基板は、SiO2−Al2O3系ガラスからなり、
前記被加工膜は、Al2O3である請求項1に記載の凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法。 - 前記凹凸構造は、(凸部の高さ/凸部の周期)のアスペクト比が1未満である請求項1または2に記載の凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法により製造された凹凸構造膜付きガラス基板上に、前記凹凸構造膜の前記凹凸構造に起因して、表面に凹凸構造が形成される厚さに透明導電膜を成膜する導電膜成膜工程と、
前記透明導電膜上に光電変換層を形成する光電変換層形成工程と、を含み、
前記凹凸構造膜の凹凸構造と、前記透明導電膜の凹凸構造は、それぞれ、前記光電変換層における吸収端の波長に対応する光学波長よりも周期が小さい太陽電池の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法により製造された凹凸構造膜付きガラス基板上に、前記凹凸構造膜の前記凹凸構造に起因して、表面に凹凸構造が形成される厚さに透明導電膜を成膜する導電膜成膜工程と、
前記透明導電膜上に、前記透明導電膜の前記凹凸構造に起因して、表面に凹凸構造が形成される厚さに第1光電変換層を形成する第1光電変換層形成工程と、
前記第1光電変換層上に、前記第1光電変換層の前記凹凸構造に起因して、表面に凹凸構造が形成される厚さに中間層を形成する中間層形成工程と、
前記中間層上に第2光電変換層を形成する第2光電変換層形成工程と、を含み、
前記凹凸構造膜の凹凸構造と、前記透明導電膜の凹凸構造は、それぞれ、前記第1光電変換層における吸収端の波長に対応する光学波長よりも周期が小さく、
前記凹凸構造膜の凹凸構造と、前記透明導電膜の凹凸構造と、前記第1光電変換層の凹凸構造と、前記中間層の凹凸構造は、それぞれ、前記第2光電変換層における吸収端の波長に対応する光学波長よりも周期が小さい太陽電池の製造方法。 - 前記透明導電膜の凹凸構造は、点在する凸部により構成され、
前記凸部の高さは、形状を引き継がせる層の総厚の1/4以上である請求項4または5に記載の太陽電池の製造方法。
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