JP2014063922A - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
磁気抵抗効果素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014063922A JP2014063922A JP2012208788A JP2012208788A JP2014063922A JP 2014063922 A JP2014063922 A JP 2014063922A JP 2012208788 A JP2012208788 A JP 2012208788A JP 2012208788 A JP2012208788 A JP 2012208788A JP 2014063922 A JP2014063922 A JP 2014063922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- ferromagnetic layer
- ferromagnetic
- concentration
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
Abstract
【解決手段】磁化方向が可変の強磁性層103と、磁化方向が不変の強磁性層105と、強磁性層103と強磁性層105との間に配置されたトンネルバリア層104とを備える。強磁性層103のトンネルバリア層104に対するエネルギー障壁が、強磁性層105のトンネルバリア層104に対するエネルギー障壁よりも高く、強磁性層105がFe、Co、Niの少なくともいずれかを含む主成分と、Mg、Al、Ca、Sc、Ti、V、Mn、Zn、As、Sr、Y、Zr、Nb、Cd、In、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Wのいずれかからなる添加元素とを含み、平行状態から反平行状態への書き込み時に強磁性層105に正のバイアスが印加される。
【選択図】図1
Description
ap_fit φ=1.385eV s=1.008nm
φ−0.3eV φ=1.085eV s=1.118nm
φ−0.4eV φ=0.985eV s=1.165nm
φ−0.5eV φ=0.885eV s=1.218nm
図4(a)は、図3(b)から、φ−0.3eV、φ−0.4eV、φ−0.5eVについて、反平行状態の抵抗Rapを以下に示す方法により換算した結果である。
(Rmax_φ−0.4eV_2) = Rmax_exp × ( Rmax_φ−0.4eV) / Rmax_fit
(Rmax_φ−0.5eV_2) = Rmax_exp × ( Rmax_φ−0.5eV) / Rmax_fit
図4(b)は、図4(a)から計算される、MR比のバイアス電圧依存性を示す図である。
Claims (5)
- 磁化方向が可変の第1の強磁性層と、
磁化方向が不変の第2の強磁性層と、
前記第1の強磁性層と前記第2の強磁性層との間に配置されたトンネルバリア層と、を具備し、
前記第1の強磁性層の前記トンネルバリア層に対するエネルギー障壁が、前記第2の強磁性層の前記トンネルバリア層に対するエネルギー障壁よりも高く、
前記第2の強磁性層がFe、Co、Niの少なくともいずれかを含む主成分と、Mg、Al、Ca、Sc、Ti、V、Mn、Zn、As、Sr、Y、Zr、Nb、Cd、In、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Wのいずれかからなる添加元素とを含み、
平行状態から反平行状態への書き込み時に前記第2の強磁性層に正のバイアスが印加されることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 第1の強磁性層と、
第2の強磁性層と、
前記第1の強磁性層と前記第2の強磁性層との間に配置されたトンネルバリア層と、を具備し、
前記第1の強磁性層及び前記第2の強磁性層の少なくとも一方が、Fe、Co、Niの少なくともいずれかを含む主成分と、前記主成分が持つ仕事関数の濃度加重平均より低い仕事関数を持つ添加元素とを含むことを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記添加元素は、Mg、Al、Ca、Sc、Ti、V、Mn、Zn、As、Sr、Y、Zr、Nb、Cd、In、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Wの少なくともいずれかであることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の強磁性層及び前記第2の強磁性層が共に前記添加元素を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 書き込み時に、前記第2の強磁性層に正のバイアスが印加されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208788A JP5777588B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 磁気抵抗効果素子 |
US14/019,415 US9196823B2 (en) | 2012-09-21 | 2013-09-05 | Magnetoresistive effect element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012208788A JP5777588B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 磁気抵抗効果素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014063922A true JP2014063922A (ja) | 2014-04-10 |
JP5777588B2 JP5777588B2 (ja) | 2015-09-09 |
Family
ID=50338702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012208788A Active JP5777588B2 (ja) | 2012-09-21 | 2012-09-21 | 磁気抵抗効果素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9196823B2 (ja) |
JP (1) | JP5777588B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9666790B2 (en) * | 2015-07-17 | 2017-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing techniques and corresponding devices for magnetic tunnel junction devices |
US9853210B2 (en) * | 2015-11-17 | 2017-12-26 | International Business Machines Corporation | Reduced process degradation of spin torque magnetoresistive random access memory |
US9935261B1 (en) * | 2017-04-05 | 2018-04-03 | Headway Technologies, Inc. | Dielectric encapsulation layer for magnetic tunnel junction (MTJ) devices using radio frequency (RF) sputtering |
CN107140971B (zh) * | 2017-04-18 | 2020-06-30 | 陕西科技大学 | 一种在高电场下具有稳定铁电性的HoSrMnZn共掺铁酸铋铁电薄膜及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007201059A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Toshiba Corp | 磁気素子、磁気記録装置及び書き込み方法 |
JP2008243327A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toshiba Corp | 垂直通電型gmr再生素子、並びにこのgmr再生素子を具えることを特徴とする磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2009182130A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法 |
JP2010114143A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法 |
JP2010177256A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Fujitsu Ltd | 磁気メモリ装置 |
JP2011114151A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 高い交換結合エネルギーを有する交換結合膜、それを用いた磁気抵抗効果ヘッド、磁気センサおよび磁気メモリ、並びにその製造方法 |
JP2012074716A (ja) * | 2011-11-15 | 2012-04-12 | Sony Corp | 記憶素子及びメモリ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4387955B2 (ja) | 2001-04-24 | 2009-12-24 | パナソニック株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
KR100954970B1 (ko) | 2001-10-12 | 2010-04-29 | 소니 주식회사 | 자기 저항 효과 소자, 자기 메모리 소자, 자기 메모리 장치 및 이들의 제조 방법 |
JP4533807B2 (ja) | 2005-06-23 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子及び磁気ランダムアクセスメモリ |
JP2009152333A (ja) | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 強磁性トンネル接合素子、磁気ヘッド、及び磁気記憶装置 |
JP4703660B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2011-06-15 | 株式会社東芝 | スピンmos電界効果トランジスタ |
JP4724196B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2011-07-13 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子及び磁気ランダムアクセスメモリ |
JP5117421B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2013-01-16 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
JP2011138954A (ja) | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Canon Anelva Corp | 強磁性層の垂直磁化を用いた磁気トンネル接合デバイスの製造方法 |
JP5724256B2 (ja) | 2010-09-14 | 2015-05-27 | ソニー株式会社 | 記憶素子、メモリ装置 |
JP5093910B2 (ja) | 2010-09-16 | 2012-12-12 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ |
JP5123365B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2013-01-23 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ |
-
2012
- 2012-09-21 JP JP2012208788A patent/JP5777588B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-05 US US14/019,415 patent/US9196823B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007201059A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Toshiba Corp | 磁気素子、磁気記録装置及び書き込み方法 |
JP2008243327A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toshiba Corp | 垂直通電型gmr再生素子、並びにこのgmr再生素子を具えることを特徴とする磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2009182130A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法 |
JP2010114143A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法 |
JP2010177256A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Fujitsu Ltd | 磁気メモリ装置 |
JP2011114151A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 高い交換結合エネルギーを有する交換結合膜、それを用いた磁気抵抗効果ヘッド、磁気センサおよび磁気メモリ、並びにその製造方法 |
JP2012074716A (ja) * | 2011-11-15 | 2012-04-12 | Sony Corp | 記憶素子及びメモリ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140085971A1 (en) | 2014-03-27 |
JP5777588B2 (ja) | 2015-09-09 |
US9196823B2 (en) | 2015-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9178135B2 (en) | Magnetic device | |
JP6139444B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果素子の製造方法及び磁気メモリ | |
JP5480321B2 (ja) | 磁気メモリ及びその製造方法 | |
US8564080B2 (en) | Magnetic storage element utilizing improved pinned layer stack | |
JP5232206B2 (ja) | 磁気抵抗素子及び磁気ランダムアクセスメモリ | |
CN107611256B (zh) | 磁器件 | |
JP2013048210A (ja) | 磁気抵抗素子 | |
KR102335104B1 (ko) | 자기 소자 | |
US10431733B2 (en) | Perpendicular magnetic tunnel junction devices with high thermal stability | |
JP5728311B2 (ja) | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ | |
JP2013008868A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US9647203B2 (en) | Magnetoresistive element having a magnetic layer including O | |
JP2012182217A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2016018964A (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP2012099741A (ja) | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその製造方法 | |
US10923531B2 (en) | Nonvolatile memory device having an oxidized magnetic material film around a magnetic material layer and method of manufacturing the same | |
JP2008109118A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびそれを用いた磁気ランダムアクセスメモリ | |
JP2013235914A (ja) | 磁気抵抗素子および磁気メモリ | |
US20130032910A1 (en) | Magnetic memory device and method of manufacturing the same | |
KR20180135149A (ko) | 자기 메모리 장치 및 이의 제조 방법 | |
US20120175716A1 (en) | Storage element and storage device | |
JP2014072392A (ja) | 記憶素子、記憶装置、磁気ヘッド | |
JP5777588B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP2012160681A (ja) | 記憶素子、メモリ装置 | |
JP2013012681A (ja) | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140109 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150707 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5777588 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |