JP2014060269A - 保護被膜被覆方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転可能なスピンナテーブル(41)にウェーハ(W)の表面を上側にして保持するウェーハ保持工程と、スピンナテーブル(41)に保持されたウェーハ(W)の表面に液状樹脂(R)を滴下し、スピンナテーブル(41)を正回転方向に回転させることで滴下された液状樹脂(R)をウェーハ(W)の表面全域に拡散させ被膜を形成する第一の液状樹脂塗布工程と、第一の液状樹脂塗布工程後に、ウェーハ(W)の表面に形成された被膜に液状樹脂(R)を滴下し、スピンナテーブル(41)を逆回転方向に回転させることで滴下された液状樹脂(R)をウェーハ(W)の表面全域に拡散させ被膜を形成する第二の液状樹脂塗布工程と、第二の液状樹脂塗布工程後に、スピンナテーブル(41)を回転させ被膜を乾燥させる乾燥工程と、を設けた。
【選択図】図5
Description
6 保護膜被覆装置
41 保持テーブル(スピンナテーブル)
42 液状樹脂ノズル
85 バンプ(凹凸)
W ウェーハ
R 液状樹脂
Claims (1)
- 表面に凹凸を有するウェーハの該表面に樹脂による保護被膜を被覆する保護被膜被覆方法であって、
回転可能なスピンナテーブルにウェーハの該表面を上側にして保持するウェーハ保持工程と、
スピンナテーブルに保持されたウェーハの表面の中央領域に所定量の液状樹脂を滴下し、スピンナテーブルを正回転方向に回転させることによりウェーハの表面の中央領域に滴下された液状樹脂をウェーハの表面の全面に拡散させ被膜を形成する第一の液状樹脂塗布工程と、
該第一の液状樹脂塗布工程の後に、ウェーハの表面に形成された被膜の中央領域に所定量の液状樹脂を滴下し、スピンナテーブルを逆回転方向に回転させることにより中央領域に滴下された液状樹脂をウェーハの表面の全面に拡散させ被膜を形成する第二の液状樹脂塗布工程と、
該第二の液状樹脂塗布工程の後に、スピンナテーブルを回転させ被膜を乾燥させる乾燥工程と、
を備える、ことを特徴とする保護被膜被覆方法。
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