JP2014059308A - 測定ヘッドおよび測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容易な交換を可能にするレーザ加工された開口の測定ヘッド、およびレーザ加工された開口の測定方法の提供。
【解決手段】加工具の測定ヘッドは、測定ヘッドを加工具の部品に接続するための機械的コネクタ１４を含み、さらに、測定ヘッドを流体源に接続するための流体コネクタ１７を含む。測定ヘッドは、加工対象物に生成された開口に押圧され得る流体出口４５，４６を含む。流体出口は環状弾性シール部材４５と口４６で構成され、生成された開口を通る流れの圧力および／または流量を測定することにより開口の断面を測定することが可能である。
【選択図】図４

Description

本発明は、独立請求項の前提部に従う測定ヘッドおよび測定方法に関する。

レーザ加工具は様々な目的に使用されている。レーザ加工具は、一方で表面加工に使用され、他方で嵩高い加工対象物の加工にも使用され得る。加工対象物の仕上げの場合、レーザビームによって、目的をもって個々の層を移動することで、精密に規定されたダイスを生産することが可能である。しかし、レーザビームは、切断し、および／または穿孔し、および／または部品を溶接するために使用することもできる。

様々な使用の種類が、様々なレーザ加工ヘッドを必要としている。一方で、たとえば、加工ヘッドを通るレーザ光の異なる光学的影響および評価を可能にする異なる光学モジュールを有することによって、それらは光学特性において相違し得る。レーザ加工は、また、多かれ少なかれ複雑なセンサシステムを含み、センサシステムは、たとえば、発せられたレーザ光および、随意的に、反射されたレーザ光（処理によって発せられた光）を受けて評価することが可能である。更なる光学的および他のセンサが、加工ヘッドに備えられることもある。加工ヘッドは、たとえば、レーザビームの焦点状態を、随意的に動作中にも、変化させるための調節可能な合焦装置などの、光学的アクチュエータ技術を含むこともある。レーザビームを加工対象物表面の端から端まで所望の態様で案内するための、ビームガイドが備えられることもある。

さらに、レーザ加工具の加工ヘッドは流体ガイドを有してもよい。特定のガス、たとえば、窒素または不活性ガスなどの保護ガス、あるいは、酸素などの反応性ガスが、たとえば、加工ヘッドを介して当面の加工地点へと案内され得る。

加工ヘッドが交換されるとき、これは、もはや不要になったヘッドが手作業で除かれ、新たに必要になるヘッドが、同じく手作業で、レーザ加工具のシステムの残余部分に接続されるという方法で、行われる。この目的のために、特に機械的な接続、ただし光学的でも、電気的でもよい接続、さらに随意的には流体接続が、確立されるべきである。

図１は、この概念が適用され得るレーザ加工具１を模式的に示している。参照符号２は、通常は、機械空間２ｃを取り囲む剛性の機械フレーム２ａ、および随意的に扉２ｂ、を含む筐体を示している。符号３，３ａ，３ｂおよび３ｃはそれぞれ、工具アームの部品を示している。符号４（４ａ，４ｂ，４ｃ）は、加工対象物９と加工ヘッド１０との相対的な移動を可能にする移動軸を模式的に表している。これらの軸は駆動軸であり、複数の並進軸および複数の回転軸を含み得る。いくつかの軸が重複して設けられてもよい。これに代えて、移動軸は、加工対象物テーブルと機械フレーム２ａとの間、あるいは、機械フレーム２ａと加工ヘッド１０との間に、設けられてもよい。１以上の軸が重複して設けられてもよい。

符号５は、アーム上のコネクタを示しており、加工ヘッドはこのコネクタに接続することができる。前述のように、コネクタは、機械的接続、ならびに随意的に電気的、光学的および流体接続の確立に必要な手段を含む。符号６は、通常は、レーザ光および随意的に必要なガスのほか、電気エネルギおよび制御信号を機械に提供する供給手段を示す。符号６ａは、信号を送受する制御部を表す。符号６ｂは、レーザ光を生成し、または加工ヘッド１０にレーザ光を転送するレーザユニットを表す。符号６ｃは流体源を表し、たとえば
、加圧空気源または別のガス（不活性ガス、窒素、酸素など）の源である。これらのパラメータ（電気エネルギ、電気信号、レーザ光、流体）は、模式的に示した導管８を介して供給ユニット６からコネクタ５を経てレーザヘッド１０に、後者が適切な態様で受けるように、供給される。

さらに、機械は、一般的なセンサおよびアクチュエータ技術、ならびに機械を制御し動作させる制御部品を含んでいる。特に、位置センサが個々の軸に設けられてよい。個々の軸は、自動的に、電気的に、または空気圧的に駆動され得る。制御部は、複雑な制御任務を実行するための、より複雑な計算機を有してもよい。

これまでのところ、加工ヘッドが交換されるとき、機械的接続は、対応する取り扱い動作によって、手作業で行われている。そして、電気的接続および空気圧接続が、同じく手によって、個別に確立される。レーザ光接続は、機械的接続と同時になされてきた。なぜなら、機械的接続が、しばしば、特に所望のかつ必要な整合配置において、レーザ光接続をも同時に確立するからである。

加工ヘッドの交換が煩雑で時間を要することは、従来の方法の欠点である。特に、長時間を要する加工処理の場合、他の目的には必要でない人員を、加工ヘッドの交換のためだけに維持しなければならないであろう。

本発明の目的は、容易な交換を可能にする測定ヘッドおよび測定方法を提供することにある。

この目的は、独立請求項の特徴によって達成される。従属請求項は、本発明の好ましい実施形態に関する。

本発明に従う測定ヘッドは、測定ヘッドを加工具の部品（５）に接続するための機械的コネクタ（１４）、および、測定ヘッドを流体源に接続するための流体コネクタ（１７）を含み、加工対象物に押圧され得る流体出口（４５，４６）を備える。
以下、図面を参照しながら本発明の個々の実施形態を説明する。

レーザ加工具を模式的に示す図である。 加工ヘッドを模式的に示す図である。 加工ヘッドマガジンを模式的に示す図である。 加工ヘッドマガジンを模式的に示す図である。 加工ヘッドマガジンを模式的に示す図である。 加工ヘッドマガジンを模式的に示す図である。 加工ヘッドを示す図である。 測定システムを示す図である。

本明細書において、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。本発明の特徴は、組み合せることが技術的理由で不可能とされない限り、明示的に述べられなくても、互いに組み合せることが可能であると意図されている。

図２は、加工ヘッド１０を示している。符号１１は、同時に、加工ヘッドの長手軸、レーザビーム、およびレーザビームのビーム路をそれぞれ示し得る。符号１２は、たとえば、随意的に電気的に駆動し得る合焦ユニット１２ａ、おそらく光学ビームスプリッタ１２ｂおよび光学センサ１２ｃを特に含む、光学ユニットを表す。この場合、ビーム偏向のための、不図示のビームガイドも備えてよい。符号１３は、流体の流れを制御しかつ随意的に測定する、流体制御部を表す。

符号１４ａおよび１４ｂは、機械的コネクタを表しており、ここではきのこ型のピンとして描いているが、たとえば凹部などの他の形態であってもよい。これらは、加工ヘッド１０とレーザ加工具１の部品、特に図１の機械コネクタ５、との間に位置を定められる、機械的に高強度で高剛性の機械的コネクタとして機能する。

符号１５は、本質的にレーザ光の通過を可能にする開口であり得る光路コネクタを示す。さらに、ヘッドの内部を浸透性の汚染から実質的に保護する機能を備えた、放射線を透過させる窓１８ｃを備えてもよい。

符号１６は電気的コネクタを示す。これは多くの個別接点を有してよい。電気エネルギ（供給電圧、供給電流）がこれらの接点を経由して与えられてよく、駆動信号がヘッド内部の個々の部品に与えられてもよく、測定および他の信号がヘッド内のセンサから戻されてもよい。電気的コネクタ１６は、必要数の接点を有するコネクタでよい。この数は比較的高い。光学システム１２は、必要な信号を受け、おそらく得られた信号を出力するために、電気的コネクタ１６への電気的接続を有してもよい。

符号１７は、１以上の流体コネクタを示す。これらは、流体サイクルの往路および復路であり得る。しかし、往路で複数の異なる流体を案内し、それらの出口が適切な態様で設けられるようにすることも可能である。出口は、たとえば、加工対象物に向けられたノズルを通して設けるとよい。流体は、流体制御部１３によって制御することができる。流体
制御部１３は、必要な信号を受け、おそらく得られた信号を出力するために、電気的コネクタ１６への電気的接続を有してもよい。

符号１８は、通常は加工ヘッドの筐体を示す。これは多かれ少なかれ閉じられていてよい。符号１８ａは、ヘッドの部品を囲む、たとえば、多かれ少なかれ筒状のスリーブである。符号１８ｂは、加工対象物に向うレーザビーム出口１８ｄに対向して位置するヘッドプレートである。一方、出口１８ｄは、レーザ透過性の窓によって閉じられている。ヘッドプレート１８ｂおよび／またはヘッド１０の更なる部品は、前述のコネクタ１４〜１７を支持し保持し得る。このプレートは、ヘッド軸１１およびレーザビーム路それぞれに対して、垂直に位置してよい。

コネクタ１４〜１７のそれぞれは、特別な動作方向を必要としてもよい。これは、機械的コネクタ１４ａ，１４ｂについては、破線軸１９ａによって示されており、電気的コネクタ１６については、軸１９ｂによって示されており、空気圧コネクタ１７については、軸１９ｃによって示されている。個々の接続を確立するための移動に対応するこれらの軸１９ａ，１９ｂおよび１９ｃは、示したように平行な並進移動でよく、図２に示したようにヘッドの軸１１に平行でよい。

接続を確立させる相手であるレーザ加工具の部品、つまり、機械コネクタ５の部品の対応するデザインについては、示していない。機械コネクタ５は、加工ヘッドのコネクタのデザインに対して、対向するように実質的にデザインされている。

さらに、剛性機械的接続が確立された後に、接続された部品（加工ヘッド、レーザ加工具の部品）を相互にロックして、たとえば振動によって、接続がひとりでに解除されることのないようする、ロック装置が備えられてもよい。したがって、ロックは、接続が解除される前に、解放されなければならない。ロックは、可動部を含み得る。これらは、弾性的に付勢され、および／または電気的もしくは空気圧的に動作可能でよい。ロック装置および特にその可動部は、機械に、特に機械コネクタ５に、備えられてよい。ただし、それらはヘッドに備えることもできる。

上記の説明とは対照的に、発明的にデザインされたコネクタを介して接続を確立するための相対移動は、回転移動および／または並進移動と回転移動の組み合わせを有してもよい。複数の移動が備えられる場合、そのうちの１つは、コネクタの機械的な相互接近に役立ち、他が、含まれるコネクタを介しての接続（機械的、電気的、光、流体）を実際に確立する役割を果たすとよい。

相対移動およびあり得る前以ての開始移動は、機械制御部を制御することにより、機械によって、その１つ以上の軸４を使用して、自動的に行われ得る。加工ヘッド１０の受容、保管および交換は、そうすると、加工対象物を加工するための主たる加工プログラムの一部であってよい。

単純な実施形態において、本発明に従う加工ヘッド１０は、機械的コネクタ１４および光路コネクタ１５を備えるのみでよい。この場合、レーザビームは、加工ヘッドを介して軸１１に沿って、特に加工対象物９に向けて案内され、ビームは加工対象物９にて所望の加工を行う。接続の確立および解除は、前述のように、すべてのヘッド部品の一様な共通の相対移動を介してなされ得る。前述のように、光接続の確立は、ヘッドの位置合わせのみが必要であるなら、比較的容易である。これは、機械的接続が確立される間に行われ得る。そうでない場合、レーザビームのための光路結合は、実質的に、通路１５ならびに、随意に、対応する開口に対向する位置を取り得る窓１８ｃおよび機械コネクタ側の窓を含み得る。

より複雑な実施形態においては、機械的コネクタ１４および光路コネクタ１５に加えて、電気的コネクタ１６が備えられてもよい。電気的コネクタ１６を介する接続は、機械的接続と同時に、特に同じ相対移動（図２において、図示の軸１９ａおよび１９ｂに沿う）によって、確立される。コネクタ１６は、電気的接続を確立するために接続の相対移動によって押し込まれるレーザ加工具の部品側の、対向するコネクタに出会う。電気的接続は、エネルギを伝送しおよび／または信号を伝送するための接続であってよい。信号が、加工ヘッド内の部品に達する（駆動信号）、あるいは、加工ヘッド内の部品からコネクタ１６に達してもよい（測定信号）。ビーム合焦ユニット１２ａを駆動する駆動信号、光学センサ１２ｃのセンサ信号、ならびに、流体制御部１３からの駆動信号および測定信号が、伝送されてもよい。不図示の、更なる駆動信号および測定信号が伝送されてもよい。

他の実施形態において、ヘッドは、単に、機械的コネクタおよび電気的コネクタを有してもよい。これは、たとえば、加工対象物の大きさおよび寸法を得るために、加工対象物を機械的に移動する測定ヘッドであってもよい。この測定ヘッドは、触知的（走査ヘッド）、容量的、誘導的、または光学的な態様で動作し得る。そして、光路コネクタおよび流体コネクタは、省略可能であるか、あるいは、機械的コネクタ１４を介しての機械的接続および電気的コネクタ１６を介しての電気的接続の確立のために機械に備えられるコネクタが、干渉しないようなデザインとされる。

他の実施形態において、図２に示されているすべてのコネクタ（機械的、光学的、電気的および流体）が備えられてもよい。ただし、不必要ならば、電気的コネクタ１６は、随意的に省略してよい。

加工ヘッドがレーザ光を使用する限り、加工ヘッドは穿孔ヘッド、切断ヘッドまたは溶接ヘッドであってもよい。この場合、加工対象物上の個々の当面望まれる加工地点には、ヘッド１０を全体として移動させることによって接近させる。レーザ光は、固定的に規定された光路を通ってヘッドを通過する。しかし、加工ヘッドは、走査ヘッドであってよく、たとえば、互いに対して何らかの角度で配置された駆動可能で調節可能な１つ以上のミラーという形態の、走査ユニットを有してもよい。光路は、ヘッドが全体として静止したままで、加工対象物９上の個々の当面望まれる加工地点への接近が走査ユニットによってなされるように、ヘッド内で変更してもよい。走査ユニットは、ビームを１次元的または２次元的に偏向させることが可能である。ビームは速く、加工対象物上の軌道上を１００ｍｓ未満または１０ｍｓ未満内で進む。制御は、電気的コネクタ１６からの信号に従ってなされ得る。ヘッド１０内に自動制御部を設けてもよい。走査信号を電気コネクタ１６に返してもよい。

他の実施形態において、加工ヘッドは、機械的コネクタ１４以外に、単に流体コネクタ１７を有してよい。図４に示すように、たとえば測定処理のために、測定ヘッド４０が構築され得る。その場合、測定ヘッドは、加工対象物９に押し当てることが可能な、規定の流体出口を有してよい。そうすると、加工対象物９に創生された開口を通る流体の流れを生成することが可能である。この流れは、たとえば創生された孔の断面を測定するために、圧力および／または流量に基づいて測定することが可能である。たとえば測定スキャナを介して走査するには、孔が細すぎることがしばしばある。その場合、強制貫通流を用いる流れ測定が、通過容易性についての、および随意的に、創生された孔の直径についての決定を可能にするであろう。

本実施形態において、加工対象物に向う流体出口は、環状の弾性シール部材４５、特に、加工対象物表面に流体出口開口を選択的に押し当てることによって、加工対象物９に作製される通路と気密接続を創出する、出口開口の周りの弾性リングを含む口４６を有して
よい。口４６およびシール部材４５は、加工対象物ごとに個別に形成して、おそらく平面ではない加工対象物表面に適合させ得る。口４６は、比較的小さくて、孔を覆うだけでよい。ただし、より大きくて数個の孔を覆ってもよい。この口は、ヘッド４０のマウスピース４４によって形成してよい。マウスピース４４は、界面４７で自動交換可能とし得る。そして、個々の開口または小範囲のための符号４６ａおよび対応するシール４５ａによって、開口の湾曲した線のための符号４６ｂおよび対応するシール４５ｂによって、または、複数の開口に覆われる広範囲のための符号４６ｃおよび対応するシール４５ｃによって、模式的に示されるように、形状の異なる口開口を有する複数のマウスピースをマガジンに備える。動作は、高圧の代わりに陰圧を使用することで行い得る。

この特徴は、本発明の独自の特徴とみなされる。これは、上述のように、ヘッドコネクタのデザインと共に使用することができるが、それから独立して使用することもできる。よって、対応する加工ヘッドは、従来の態様で加工システムに接続する（たとえば、機械的接続および流体接続の手作業での形成）こともできる測定ヘッドを表すであろう。ここで、流体の圧力および／または流体の流量の測定をすることが可能である。これらは、加工ヘッドから離れて導管８を介して知られるので、加工ヘッド１０の外部で実施することが可能である。流れ抵抗は、圧力と流量の商として評価することが可能である（オームの法則Ｒ＝Ｕ／Ｉと同様）。得られる値は、先に形成された孔の透過容易性および直径または最小断面積についての決定を可能にする。随意的に、仕上げを行ってもよく、または、後のために処理パラメータを変更することもできる。本実施形態においては、ある程度、加工ヘッド内で測定、たとえば流量測定および／または圧力測定、を行うことも可能である。この場合、電気信号が加工ヘッド内で生成されることになり、これは予め備えられる電気的コネクタを介して導出される。前述のように、測定目的のための流体の使用という上記特徴は、加工ヘッドのコネクタの前述のデザインとは独立して使用し得るが、これらのデザインと共に使用してもよい。流体は加圧空気でよい。

ただし、上述の測定ヘッドを、前記加工ヘッドユニット（光路、電気的コネクタ）と組み合せてもよい。流体出口はレーザ光出口に隣接し得る。これらは、共通の出口を有してもよく、たとえば、ヘッド筐体の全体が流体導管として使用されるとき、または、レーザ光が窓を通過して流体路に入った後、流体路の外に出るときである。

本発明に従うレーザ加工具１は、対向する態様で加工ヘッド１０自体のコネクタ１４〜１７と合致するようにデザインされた、加工ヘッド１０のための機械コネクタ５を有している。これは、適宜必要なコネクタを含む。機械側でアーム部品の変更が不可能であるか、あるいは変更しないことが好ましい場合、機械コネクタ５は、対向する個々のコネクタ（機械的、レーザ、電気的、流体）をすべて有してよく、これらは、上記で加工ヘッドの実施形態を参照して示したように、必要に応じて、個別に搭載される加工ヘッドによって使用されるか、空いたままとされる。

図１に模式的に示すように、レーザ加工具１は、複数の加工ヘッド１０ａおよび測定ヘッド１０ｂのためのマガジン７を有し得る。マガジン７は、加工具１の内部２ｃに位置してよい。図３Ａに示すように、マガジンは、それぞれ加工ヘッド１０を受容することが可能な複数のベアリング位置３１ａ〜３１ｆを有し得る。マガジン７は、アームが接近し、次いで接続の確立に必要な相対移動も行い得る態様での、レーザ加工具のアームによるアクセスが可能である。好ましい実施形態において、加工ヘッド１０と機械コネクタ５との接続が確立または解除されるとき、加工ヘッド１０は静止したままであり、機械コネクタがその軸４の１つに沿ってまたはその周りに移動する。ただし、逆であってもよく、両者が移動してもよい。

示した実施形態では、加工ヘッドはマガジン内で隣り合わせに配列されている。ただし
、配列は鉛直方向であってもよい。図３Ｂに示すように、マガジンはマガジンフレーム３３、および、マガジンフレーム内に格納し、マガジンフレームから拡げ得る引き出し３２を有し得る。その駆動は電気的または空気圧的に行い得る。引き出し３２は、様々な加工ヘッド１０のための、実際の収容位置３１ａ〜３１ｆを有する。ヘッドが交換されるときに、引き出し３２は図３Ｂに示すように拡げられ、そうでないときには、引き出しは格納される。

さらに、個々の加工ヘッド１０、特にその接続部を覆いまたは閉じて、接続部が汚れないようにする、フラップ３４ａ〜３４ｆが備えられてよい。フラップ３４は、マガジンが当面必要でない、つまり操作されないときには、加工ヘッドの接続部の上方に位置する。図３Ｂに示すように、加工ヘッドが交換されるときに、フラップは開かれ、つまり開放される。フラップは、個別に、または、まとめて操作してもよい。フラップおよび引き出しは、全体的な機械制御部を制御することによって、自動的に操作してもよい。

しかも、図３Ｃによれば、マガジンを囲い、加工ヘッド１０が通る開口３６を有する、フード３５が備えられ得る。加工ヘッド１０は、図３Ｃに示すように、開口３６を通して引き出し３２を拡げることにより、開口３６を通る。一方、フード３５の開口３６は、マガジン７が必要でないときに、開口３６を閉じるもう１つのフラップ３７を有し得る（図３Ｄ）。フラップ３７は、機械的に、たとえば引き出し３２を拡げることにより、共に動作してよく、あるいは、独立して制御してもよい。フード３５は、マガジン７を完全に包囲して、汚染物質および加工対象物のレーザ加工の間に生じる処理材料が、加工ヘッドに達しないようにしてよい。

他の流体測定方法は、以下のように設計される。
加工ヘッドがアクセスし得る機械の一部において、サンプル加工対象物、たとえば定められた厚さの板、が固定締結された態様で保持される。１以上の開口（貫通孔）が、加工ヘッドによって、サンプル加工対象物に形成される。前述のように、上記開口は、流体を用いて通過容易性について定性的に検査され、および、随意的に、断面について定量的に検査される。検査の結果に応じて、加工手順が影響され得る。たとえば、処理パラメータ（たとえば、レーザ性能、位置制御）が調節もしくは変更され、または手作業の介入が必要とされる。サンプル加工対象物の加工および測定は、加工が開始される前に、あるいは加工と共に、実際の加工対象物に対して実行し得る。

上述の検査は、前述のように、測定ヘッドを用いて、または、前述のように動作（流量測定、圧力測定、随意の商形成、評価）するが、加工対象物上に固定的に備えられる、自己の静止流体測定ユニットを用いて行われてよい。たとえば、サンプル加工対象物は、加圧空気出口の前に締結されてもよい。

最後に、貫通孔が設けられた加工対象物を、締結された状態で、加圧流体源（たとえば、加圧空気源）に直接接続して、加工対象物の貫通孔を提示し、１回または数回、結果の流体パラメータを追跡して具体的に評価することも可能である。いくつかのタービン翼は、たとえば、翼面に向う冷却流体のための細かい分岐通路を有するより大きな内部通路を有する。大きな通路は、空気によって加圧され得る。レーザ穿孔によって分岐通路が作製されていくにつれて、圧力および流量を追跡し評価すること、つまり検査することが可能になる。試験結果に応じて、処理手順は前述のように影響され得る。通路に代えて、加工対象物の加工表面の後ろ側がアクセス可能になれば、加工は、同様の態様で、なされてもよい。

図５は、これを図示しており、加工対象物９が、たとえば爪５１を介して、強固に締結される加工対象物ホルダ５０の実施形態を示す。加工対象物ホルダ５０は、機械の加工対
象物テーブルそのものであってよく、または、加工対象物テーブルに締結され得る介在部品であってもよい。加工対象物ホルダ５０は、流体供給部５２ａおよび弾性シール部材５３を有する。符号５２ｂは流体導管を表し、符合５４ａおよび５４ｂは、たとえば、流体圧力および流体流量のセンサを表す。符号５５は、流体源（高圧または陰圧）を示す。符号１０は、たとえば、上から下までの孔９ｂを形成するレーザ穿孔ヘッドを表しており、この孔は中央の通路９ａと連通する。流体源での条件が一定であれば、孔９ｂが追加されるごとに、流体流量は増大し、流体流量は減少する。これらの値および／または導出値（たとえば商）は、目標値と比べることが可能である。必要な場合、処理は影響もしくは変更され、または停止される。加圧空気供給部を含む加工対象物ホルダは、本発明の独立した部分であると理解すべきである。

本発明は、以下の実施の形態が可能である。
（１）レーザ加工具（１）の加工ヘッド（１０）であって、加工ヘッドをレーザ加工具の部品（５）に接続するための機械的コネクタ（１４）を含み、さらに、光路コネクタ（１５）、電気的コネクタ（１６）、および流体コネクタ（１７）のうちの１つ以上を含む加工ヘッド（１０）において、
機械的剛性接続、ならびに、光および／または流体および／または電気的導管のための、レーザ加工具の部品上の対応するコネクタとの接続が、加工ヘッド（１０）とレーザ加工具の部品（５）との１以上の共通の相対移動で実現され得るように、備えられるコネクタがデザインされていることを特徴とする加工ヘッド（１０）。

（２）レーザビーム光学系（１２ａ）、レーザビームガイド、レーザビーム出口（１８ｄ）、１以上のセンサ（１２ｃ）、１以上の流体ガイド（１３）、および１以上の流体出口の１つ以上を含むことを特徴とする加工ヘッド。

（３）長手軸（１１）を有し、
前記相対移動が、長手軸に平行な直線移動および／または長手軸の周りの回転移動を含むことを特徴とする加工ヘッド。

（４）測定流体を案内するための流体ガイドを含むことを特徴とする加工ヘッド。

（５）前記コネクタは、それらの動作のために、平行なまたは同心の移動方向（１９ａ〜１９ｃ）を有することを特徴とする加工ヘッド。

（６）前記コネクタ（１４〜１７）の１つ以上を支持するヘッドプレート（１８ｂ）を備えることを特徴とする加工ヘッド。

（７）機械フレーム（２ａ）、動作アーム（３）、工具テーブル、複数の並進および／または回転軸（４）、ならびに加工ヘッド（１０）を接続するための動作アーム（３）上の機械コネクタ（５）を含むレーザ加工具において、
加工ヘッド（１０）を接続するための機械コネクタ（５）が、請求項１〜５のいずれか１項に従ってデザインされていることを特徴とするレーザ加工具。

（８）動作アーム（３）によって自動的に起動され得る１以上の加工ヘッド（１０）を所定位置に保持するマガジン（７）を備えることを特徴とするレーザ加工具。

（９）マガジン（７）の周りの、開口（３６）を含むフード（３５）を備えることを特徴とするレーザ加工具。

（１０）レーザ加工具の加工ヘッドを収容する方法であって、加工ヘッドが、加工ヘッドをレーザ加工具の機械コネクタ（５）に接続するための機械的コネクタ（１４）を含み、加えて、光路コネクタ（１５）および／または電気的コネクタ（１６）および／または流体コネクタ（１７）を含む方法において、
機械コネクタ（５）によって加工ヘッドの格納位置に到達する工程、ならびに、
機械的接続およびさらなる接続を確立するために、機械コネクタ（５）と加工ヘッド（１０）の１以上の相対移動を実行する工程、を含むことを特徴とする方法。

Claims (7)

1. 加工具（１）の測定ヘッド（１０）であって、測定ヘッドを加工具の部品（５）に接続するための機械的コネクタ（１４）、および、測定ヘッドを流体源に接続するための流体コネクタ（１７）を含む測定ヘッドにおいて、
   加工対象物に押圧され得る流体出口（４５，４６）を備えることを特徴とする測定ヘッド（１０）。
2. 流体圧力測定装置（４３）および／または流体流量測定装置（４２）を備えることを特徴とする請求項１に記載の測定ヘッド。
3. 流体出口が、加工対象物表面への気密接続を確立するためのシール部材（４５）、特に、出口開口の周りの弾性的リングを備えることを特徴とする請求項１または２に記載の測定ヘッド。
4. 機械的剛性接続、および、流体導管のための、加工具の部品上の対応するコネクタとの接続が、測定ヘッドと加工具の部品（５）との１以上の共通の相対移動で実現され得るように、備えられるコネクタがデザインされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の測定ヘッド。
5. 加工対象物に生成される開口を測定する測定方法において、
   前記開口を通る流体の流れを生じさせる工程、流体の流量および／または流体の圧力を測定する工程、ならびに測定結果を評価する工程を含むことを特徴とする測定方法。
6. 開口が加圧されたサンプル加工対象物に加工形成され、実際の加工対象物の加工が評価結果に応じて影響され得ることを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 加圧流体が実際の加工対象物に適用され、加工の進捗に応じて１つ以上の流体パラメータが求められて評価され、加工対象物の加工が評価結果に応じて影響され得ることを特徴とする請求項５に記載の方法。

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