JP2007319927A - 孔加工方法及び孔加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】管状ワークの閉塞端に必要な開口面積の孔をレーザ加工する際の、孔径の把握をより正確に行い、必要な開口面積の孔をより精密に加工する。
【解決手段】管状ワークWにレーザLを照射して、管状ワークWの閉塞端に孔をレーザ加工する際に、ワーク温度が急激に上昇して、供給手段から管状ワーク内部へと供給されるアシストガスが膨張する。すると、計測手段26により計測される、管状ワーク内部へ供給されるアシストガスの供給量は、実際のアシストガスの流量よりも少なくなってしまう。そこで、管状ワークW内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段32により、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正する。補正後の値から管状ワークWの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握する。
【選択図】図1
【解決手段】管状ワークWにレーザLを照射して、管状ワークWの閉塞端に孔をレーザ加工する際に、ワーク温度が急激に上昇して、供給手段から管状ワーク内部へと供給されるアシストガスが膨張する。すると、計測手段26により計測される、管状ワーク内部へ供給されるアシストガスの供給量は、実際のアシストガスの流量よりも少なくなってしまう。そこで、管状ワークW内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段32により、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正する。補正後の値から管状ワークWの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握する。
【選択図】図1
Description
本発明は、管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する孔加工方法及び孔加工装置に関するものである。
自動車用エンジンの燃料供給手段として、今日では、電子燃料噴射装置が一般的になっており、この電子燃料噴射装置により、エンジンの運転状態に応じて最適量の燃料を供給することが可能となり、燃費の向上や、低排出ガス化が促進されている。
この電子燃料噴射装置に用いられるインジェクタは、燃料噴射量を高精度に制御するために、燃料噴射孔の加工を高精度に行う必要がある。そこで、インジェクタの燃料噴射孔を穿孔する際にレーザ孔開け加工法を用い、その際に、インジェクタ内部に、加圧されたアシストガスを供給して、アシストガスの供給量を計測することにより、レーザビームで開けられた孔径を把握する手法が発明されている(例えば、特許文献1参照。)。かかる孔加工方法は、インジェクタに限らず、他の管状ワークの閉塞端に必要な開口面積の孔を精密加工する際にも有効である。
この電子燃料噴射装置に用いられるインジェクタは、燃料噴射量を高精度に制御するために、燃料噴射孔の加工を高精度に行う必要がある。そこで、インジェクタの燃料噴射孔を穿孔する際にレーザ孔開け加工法を用い、その際に、インジェクタ内部に、加圧されたアシストガスを供給して、アシストガスの供給量を計測することにより、レーザビームで開けられた孔径を把握する手法が発明されている(例えば、特許文献1参照。)。かかる孔加工方法は、インジェクタに限らず、他の管状ワークの閉塞端に必要な開口面積の孔を精密加工する際にも有効である。
本発明は、上記のごとく、管状ワークの閉塞端に必要な開口面積の孔をレーザ加工する際の、孔径の把握をより正確に行い、必要な開口面積の孔をより精密に加工することを目的とするものである。
上記課題を解決するための、本発明に係る孔加工方法は、管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する孔加工方法であって、前記管状ワーク内にアシストガスを加圧供給してその供給量を計測し、前記管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき、前記管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正し、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、レーザ出力を調整することを特徴とするものである。
管状ワークの閉塞端に孔をレーザ加工する際に、管状ワークの閉塞端へとレーザ照射を開始してから比較的短い時間は、ワーク温度が急激に上昇して管状ワーク内部のアシストガスが膨張する。すると、管状ワーク内部のガス圧が上昇して、管状ワーク内部へ供給されるアシストガスの供給量が、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量よりも少なく計測されてしまう。
そこで、本発明では、管状ワーク内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出す。そして、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正し、補正後の値から管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求めることで、孔径の把握を正確に行う。このようにして、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るためのレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
そこで、本発明では、管状ワーク内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出す。そして、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正し、補正後の値から管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求めることで、孔径の把握を正確に行う。このようにして、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るためのレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
又、本発明において、前記管状ワークの温度を測定し、該測定結果に基づき、前記管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正し、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、レーザ出力を調整することとしても良い。
この構成によれば、管状ワークの温度を測定することにより、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき割出された、アシストガス供給量の減少分についてのクロスチェックを行い、アシストガスの供給量の計測値を補正することで、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量の計測精度を、高めることができる。
この構成によれば、管状ワークの温度を測定することにより、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき割出された、アシストガス供給量の減少分についてのクロスチェックを行い、アシストガスの供給量の計測値を補正することで、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量の計測精度を、高めることができる。
又、上記課題を解決するための、本発明に係る孔加工装置は、管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する孔加工装置であって、レーザ照射手段と、前記管状ワーク内にアシストガスを加圧供給する供給手段と、アシストガスの供給量を計測する計測手段と、前記レーザ照射手段から管状ワークの閉塞端に照射されるレーザの出力に基づき、前記管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正する補正手段と、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、前記レーザ照射手段のレーザ出力を制御する制御手段とを備えることを特徴とするものである。
上記構成において、レーザ照射手段から管状ワークにレーザを照射して、管状ワークの閉塞端に孔をレーザ加工する際に、管状ワークの閉塞端へとレーザ照射を開始してから比較的短い時間は、ワーク温度が急激に上昇して、供給手段から管状ワーク内部へと供給されるアシストガスが膨張する。すると、管状ワーク内部のガス圧が上昇して、計測手段により計測される、管状ワーク内部へ供給されるアシストガスの供給量は、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量よりも少なくなってしまう。
そこで、本発明では、管状ワーク内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段により、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正する。そして、制御手段により、補正後の値から管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るための、レーザ照射手段のレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
そこで、本発明では、管状ワーク内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段により、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、アシストガスの供給量の計測値を、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分で補正する。そして、制御手段により、補正後の値から管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るための、レーザ照射手段のレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
又、本発明において、前記管状ワークの温度を測定する測定手段と、該測定手段の測定結果に基づき、管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分だけ前記アシストガスの供給量の計測値を補正する補正手段と、補正後の計測値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、前記レーザ照射手段のレーザ出力を制御する制御手段とを備えることとしてもよい。
この構成によれば、測定手段により管状ワークの温度を測定し、補正手段により、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき割出された、アシストガス供給量の減少分についてのクロスチェックを行うことができる。そして、制御手段によって、アシストガスの供給量の計測値を補正することにより、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量の計測精度を、高めることができる。
この構成によれば、測定手段により管状ワークの温度を測定し、補正手段により、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき割出された、アシストガス供給量の減少分についてのクロスチェックを行うことができる。そして、制御手段によって、アシストガスの供給量の計測値を補正することにより、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量の計測精度を、高めることができる。
本発明はこのように構成したので、管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する際の、孔径の把握をより正確に行い、必要な開口面積の孔をより精密に精密加工することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図1(a)に示される、本発明の実施の形態に係る孔加工装置10は、管状ワークWの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する装置である。又、管状ワークWは、図示の例では、自動車用エンジンの電子燃料噴射装置に用いられるインジェクタである。孔加工装置10は、レーザ発振器12と、レーザ発振器12から発振されたレーザビームLを折り返すミラー14と、レーザビームLを絞り込むための集光光学系16とからなるレーザ照射手段を備えている。レーザ発振器12及びミラー14は、孔加工装置10のフレーム18に固定されているが、集光光学系16は、位置調整が可能なように、スライドテーブル20を介してフレーム18に固定されている。又、管状ワークWの加工姿勢を調整するための治具22が、フレーム18に固定されている。治具22は、管状ワークWを簡単な操作で確実に保持することができるように、クランプ構造を有していることが望ましい。
図1(a)に示される、本発明の実施の形態に係る孔加工装置10は、管状ワークWの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する装置である。又、管状ワークWは、図示の例では、自動車用エンジンの電子燃料噴射装置に用いられるインジェクタである。孔加工装置10は、レーザ発振器12と、レーザ発振器12から発振されたレーザビームLを折り返すミラー14と、レーザビームLを絞り込むための集光光学系16とからなるレーザ照射手段を備えている。レーザ発振器12及びミラー14は、孔加工装置10のフレーム18に固定されているが、集光光学系16は、位置調整が可能なように、スライドテーブル20を介してフレーム18に固定されている。又、管状ワークWの加工姿勢を調整するための治具22が、フレーム18に固定されている。治具22は、管状ワークWを簡単な操作で確実に保持することができるように、クランプ構造を有していることが望ましい。
又、孔加工装置10は、図1(b)に示されるように、管状ワークW内にアシストガスを加圧供給する供給手段24と、アシストガスの供給量を計測する計測手段26とを備えている。供給手段24は、窒素ガス等の不活性ガスを充填したガスボンベ等が用いられ、ガス管28を介して、治具22に密閉状態で固定された管状ワークW内部のガス流路Waに、アシストガスを供給するものである。計測手段26は、ガス管28に接続された流量計であり、アシストガス流量Qの計測データを孔加工装置10の制御手段30に送信するものである。なお、ガス管28には、更に、アシストガスの流量調整弁が設けられている。
制御手段30は、パーソナルコンピュータ等の電子計算機により構成されている。そして、レーザ照射手段のレーザ発振器12から管状ワークWの閉塞端に照射されるレーザの出力に基づき、管状ワークW内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、かかる減少分で、計測手段26により得られたアシストガスの供給量の計測値を補正する補正手段32を備えている。
又、孔加工装置10は、管状ワークWの温度を測定する測定手段34として、非接触型の温度測定器(例えば、赤外線放射温度計)を備えている。そして、補正手段32は、レーザ発振器12からレーザ出力データOを、測定手段34から管状ワークWの温度データTを受け、これらのデータに基づき、管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すことができる。
具体的には、管状ワークW内のアシストガスの膨張量は、管状ワークの温度と、管状ワークW内部のガス流路Waの容積(一定値)と、アシストガスのガス比熱(一定値)との積によって求められる。又、管状ワークWの温度についても、レーザ出力(設定値)と、管状ワークWの光吸収率(一定値)との積により求められる。従って、レーザ出力から、管状ワークW内のアシストガスの膨張量を算出し、かかるアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すことができる。
具体的には、管状ワークW内のアシストガスの膨張量は、管状ワークの温度と、管状ワークW内部のガス流路Waの容積(一定値)と、アシストガスのガス比熱(一定値)との積によって求められる。又、管状ワークWの温度についても、レーザ出力(設定値)と、管状ワークWの光吸収率(一定値)との積により求められる。従って、レーザ出力から、管状ワークW内のアシストガスの膨張量を算出し、かかるアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すことができる。
そして、制御手段30は、補正手段32により補正された後の、アシストガスの供給量の計測値から、管状ワークWの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、レーザ照射手段のレーザ発振器12に、レーザ出力制御指令Sを出力し、レーザビームLのオン・オフ制御を行う。
なお、測定手段34により得られる温度データTは、レーザ出力に基づき算出される管状ワークWの温度を、確認・実証するために用いるものであり、測定手段34を省略することも可能である。一方、必要に応じ測定手段34により得られる温度データTのみに基づき、管状ワークW内のアシストガスの膨張量を算出し、かかるアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すこととしても良い。
なお、測定手段34により得られる温度データTは、レーザ出力に基づき算出される管状ワークWの温度を、確認・実証するために用いるものであり、測定手段34を省略することも可能である。一方、必要に応じ測定手段34により得られる温度データTのみに基づき、管状ワークW内のアシストガスの膨張量を算出し、かかるアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すこととしても良い。
図2には、実験装置36が示されている。この実験装置36は、孔加工装置10の補正手段32(図1(a))において、レーザ発振器12からレーザ出力データOに基づき、管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すための一手順として、ワークにレーザが照射された後、アシストガス供給量が減少する様子を、実際の加工前に確認するためのものである。実験装置36は、孔加工装置10のレーザ発振器12、ミラー14を用いると共に、ガス室Rを備えるテストピースWTに対し、アシストガスの供給手段24から、ガス管28を介してアシストガスを供給するものである。ガス管28には、アシストガスの流量を計測する計測手段26が配置されており、テストピースWTへと供給されるアシストガスの流量を測定することができる。又、レーザ発振器12からのレーザビームLの照射の有無を把握するために、PINフォトダイオード38が用いられており、計測手段26からの計測データとPINフォトダイオード38からのオン・オフ信号とが、パーソナルコンピュータ等の電子計算機を用いた測定記録装置40へと送られるようになっている。
この実験装置36を用い、テストピースWTに孔を開けないように出力を調整して、レーザビームを照射した結果が図3に例示されている。縦軸において、アシストガスの流量Qは、レーザ照射前の流量に対する増減量を示している。図3から明らかなように、レーザ出力Oが0.4(arb.)を下回る値でテストピースWTに照射されると、照射開始から時間t=4秒程度までは、計測手段26による流量計測値QTは比較的急速に流量を減少させ、その後は緩やかに減少して、毎分0.4リットル弱の減少量で推移している。
一方、図4には、孔加工装置10により実際に管状ワークWに穿孔したときの、ガス流量の推移が例示されている。図4においても、縦軸において、アシストガスの流量Qは、レーザ照射前の流量に対する増減量を示している。この場合には、レーザ出力Oが約0.4(arb.)でテストピースWTに照射されると、照射開始から時間t=0.6秒前後までは、計測手段26による流量計測値QAは、急速に毎分0.5リットル程度の減少を示し、照射開始から時間t=1.0秒前後で当初の流量に戻り、その後は流量増加に転じていることがわかる。このように、孔加工装置10の計測手段26により得られるアシストガスの流量QAが変化する理由は、レーザ照射開始直後は孔が穿孔されておらず、又は穿孔された孔の開口面積も狭いものであることから、ワークの温度上昇に伴うアシストガスの膨張の影響が大きく現れるが、孔の開口面積の増加により、孔からのアシストガスの流出量が増加すると、アシストガスの膨張による流量減少の効果が小さくなることによるものである。
そこで、補正手段32では、図3に示される、アシストガスの膨張に起因する流量減少分QTで、図4に示される、孔加工装置10の計測手段26により得られるアシストガスの流量QAを補正し、図5に示されるように、管状ワークWの先端に開けられた孔からの正確なアシストガスの流出量QRを割出している。
そして、制御手段30では、補正後の値QR(正確なアシストガスの流出量)から、管状ワークWの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、必要な開口面積となるまで孔径が広げられたことを、補正後の値QRから把握した時点で、レーザ発振器12に対し、レーザ照射を停止するように、制御指令Sを出力するものである。
そして、制御手段30では、補正後の値QR(正確なアシストガスの流出量)から、管状ワークWの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、必要な開口面積となるまで孔径が広げられたことを、補正後の値QRから把握した時点で、レーザ発振器12に対し、レーザ照射を停止するように、制御指令Sを出力するものである。
なお、インジェクタの先端部には、同一円周上に複数の燃料噴射孔を加工する必要があることから、必要な数の燃料噴射孔が得られるまで、一つの管状ワークWに対するレーザ穿孔作業が行われる。このため、一つの穿孔作業が終わる毎に、計測手段26により得られるアシストガスの流量Qは零調整され、かつ、夫々の穿孔作業毎に、上記流量補正が行われるものである。
上記構成をなす、本発明の実施の形態によれば、次のような作用効果を得ることが可能となる。すなわち、レーザ照射手段(12、14、16)から管状ワークWにレーザLを照射して、管状ワークWの閉塞端に孔をレーザ加工する際に、管状ワークWの閉塞端へとレーザ照射を開始してから比較的短い時間は、ワーク温度が急激に上昇して、供給手段から管状ワーク内部へと供給されるアシストガスが膨張する(図2)。すると、管状ワーク内部のガス圧が上昇し、計測手段により計測される、管状ワーク内部へ供給されるアシストガスの供給量は、穿孔された孔から実際に流出するアシストガスの流量よりも少なくなってしまう(図3)。
そこで、本発明の実施の形態では、管状ワークW内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段32により、管状ワークW内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分QTを割出し、アシストガスの供給量の計測値QAを、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分QTで補正し、補正後の値QRを得る(図5)。そして、制御手段32により、補正後の値QRから管状ワークWの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るための、レーザ照射手段のレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
そこで、本発明の実施の形態では、管状ワークW内部のアシストガスの膨張量がレーザ出力に比例することを利用して、補正手段32により、管状ワークW内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分QTを割出し、アシストガスの供給量の計測値QAを、アシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分QTで補正し、補正後の値QRを得る(図5)。そして、制御手段32により、補正後の値QRから管状ワークWの閉塞端に開けられた孔径を求め、正確な孔径を把握することで、必要な孔径を得るための、レーザ照射手段のレーザ出力の調整を適切に行うことが可能となる。
又、測定手段34により管状ワークWの温度を測定し、補正手段32により、管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出すことで、管状ワークWの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき割出された、アシストガス供給量の減少分についてのクロスチェックを行うことができる。そして、制御手段30によって、アシストガスの供給量の計測値を補正することにより、管状ワークWに穿孔された孔から、実際に流出するアシストガスの流量QRの計測精度を、高めることができる。
10:孔加工装置、12:レーザ発振器、14:ミラー、16:集光光学系、24:供給手段、26:計測手段、28:ガス管、30:制御手段、32:補正手段、34:測定手段、QA:アシストガスの供給量、QR:補正後のアシストガスの供給量、QT:管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分、W:管状ワーク
Claims (4)
- 管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する孔加工方法であって、
前記管状ワーク内にアシストガスを加圧供給してその供給量を計測し、前記管状ワークの閉塞端に照射されるレーザ出力に基づき、前記管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正し、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、レーザ出力を調整することを特徴とする孔加工方法。 - 前記管状ワークの温度を測定し、該測定結果に基づき、前記管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正し、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔径を求め、レーザ出力を調整することを特徴とする請求項1記載の孔加工方法。
- 管状ワークの閉塞端に、必要な開口面積の孔をレーザ加工する孔加工装置であって、
レーザ照射手段と、前記管状ワーク内にアシストガスを加圧供給する供給手段と、アシストガスの供給量を計測する計測手段と、前記レーザ照射手段から管状ワークの閉塞端に照射されるレーザの出力に基づき、前記管状ワーク内でのアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分で前記アシストガスの供給量の計測値を補正する補正手段と、補正後の値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、前記レーザ照射手段のレーザ出力を制御する制御手段とを備えることを特徴とする孔加工装置。 - 前記管状ワークの温度を測定する測定手段と、該測定手段の測定結果に基づき、管状ワーク内のアシストガスの膨張に起因するアシストガス供給量の減少分を割出し、該減少分だけ前記アシストガスの供給量の計測値を補正する補正手段と、補正後の計測値から前記管状ワークの閉塞端に開けられた孔の孔径を求め、前記レーザ照射手段のレーザ出力を制御する制御手段とを備えることを特徴とする請求項3記載の孔加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006156358A JP2007319927A (ja) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 孔加工方法及び孔加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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