JP2014053362A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態によれば、パターン形成方法は、ガイド層が設けられた基板上に、第1セグメント及び第2セグメントを含む第1自己組織化材料層を形成する工程と、前記第1自己組織化材料層を相分離させ、前記第1セグメントを含む第1領域と前記第2セグメントを含む第2領域とを有する第1自己組織化パターンを形成する工程と、前記第1自己組織化パターン上に、第3セグメント及び第4セグメントを含む第2自己組織化材料層を形成する工程と、前記第2自己組織化材料層を相分離させ、前記第3セグメントを含む第3領域と前記第4セグメントを含む第4領域とを有する第2自己組織化パターンを形成する工程と、を備える。
【選択図】図6
Description
102、202 402 被加工膜
103、205 レジスト
104、106、206、208、404 ブロックコポリマー層
105、107〜110、207、209、210、301〜303、405、407 自己組織化パターン
204、403 中性化膜
406 ブレンドポリマー層
Claims (10)
- 凹凸パターンが設けられた基板上に、第1セグメント及び第2セグメントを含む第1自己組織化材料層を形成する工程と、
前記第1自己組織化材料層を相分離させ、前記第1セグメントを含む第1領域と前記第2セグメントを含む第2領域とを有する第1自己組織化パターンを形成する工程と、
前記第1自己組織化パターン上に、第3セグメント及び第4セグメントを含む第2自己組織化材料層を形成する工程と、
前記第2自己組織化材料層を相分離させ、前記第3セグメントを含む第3領域と前記第4セグメントを含む第4領域とを有する第2自己組織化パターンを形成する工程と、
を備え、
前記第1セグメントは前記第3セグメントと同一のポリマーであり、
前記第2セグメントは前記第4セグメントと同一のポリマーであり、
前記第1自己組織化パターンのピッチは、前記第2自己組織化パターンのピッチのn倍(nは自然数)であり、
前記第1自己組織化材料層の形成に用いられる溶液の溶媒と、前記第2自己組織化材料層の形成に用いられる溶液の溶媒とは異なり、
前記第1自己組織化材料層の形成に用いられる溶液は熱架橋剤を含み、
前記第1領域はシリンダー状又はスフィア状であり、
前記第2領域は連続相であり、
前記第1自己組織化材料層の膜厚は、前記第1領域の径と同程度であり、
前記ガイド層は、凹凸パターンを有するか、又は、前記第1セグメントとの界面張力が、第2セグメントとの界面張力と同じである第1のパターン部材と、前記第1セグメントとの界面張力が、前記第2セグメントとの界面張力とは異なる第2のパターン部材とが所定のパターンに形成された層を有することを特徴とするパターン形成方法。 - ガイド層が設けられた基板上に、第1セグメント及び第2セグメントを含む第1自己組織化材料層を形成する工程と、
前記第1自己組織化材料層を相分離させ、前記第1セグメントを含む第1領域と前記第2セグメントを含む第2領域とを有する第1自己組織化パターンを形成する工程と、
前記第1自己組織化パターン上に、第3セグメント及び第4セグメントを含む第2自己組織化材料層を形成する工程と、
前記第2自己組織化材料層を相分離させ、前記第3セグメントを含む第3領域と前記第4セグメントを含む第4領域とを有する第2自己組織化パターンを形成する工程と、
を備えるパターン形成方法。 - 前記第1セグメントは前記第3セグメントと同一のポリマーであることを特徴とする請求項2に記載のパターン形成方法。
- 前記第2セグメントは前記第4セグメントと同一のポリマーであることを特徴とする請求項3に記載のパターン形成方法。
- 前記第1自己組織化パターンのピッチは、前記第2自己組織化パターンのピッチのn倍(nは自然数)であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1自己組織化材料層の形成に用いられる溶液の溶媒と、前記第2自己組織化材料層の形成に用いられる溶液の溶媒とは異なることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1自己組織化材料層の形成に用いられる溶液は熱架橋剤を含むことを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1領域はシリンダー状又はスフィア状であり、
前記第2領域は連続相であり、
前記第1自己組織化材料層の膜厚は、前記第1領域の径と同程度であることを特徴とする請求項2乃至7のいずれかに記載のパターン形成方法。 - 前記ガイド層は凹凸パターンを有し、前記凹凸パターンの凹部に前記第1自己組織化材料層を形成することを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記ガイド層は、前記第1セグメントとの界面張力が、第2セグメントとの界面張力と同じである第1のパターン部材と、前記第1セグメントとの界面張力が、前記第2セグメントとの界面張力とは異なる第2のパターン部材とが所定のパターンに形成された層を有することを特徴とする請求項2乃至8のいずれかに記載のパターン形成方法。
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