JP2014049444A - 位相板を備えるtemでの試料の可視化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 像を記録しながら非回折ビーム(回折パターン)に対して位相板を移動させることによって、フーリエ領域での突然の遷移はより穏やかな遷移に変化する。その結果、アーティファクトが小さくなる。
【選択図】 図3
Description
22 ホイル薄膜
24 カーボンコーティング
26 孔
28 軸
50 ホルダ構造
52 阻止部材
54 直線
100 TEM
102 光軸
104 粒子源
106 収束系
108 試料
110 試料ホルダ
112 対物レンズ
114 後焦点面
116 拡大系
118 位相板
120 マニピュレータ
122 投影系
124 検出器
126 ガラス窓
128-1…128-7 偏向器
401 対象物
402 対象物
403 対象物
600 非回折ビーム
602 阻止部材
604 支持アーム
Claims (13)
- 位相板を備える透過型電子顕微鏡での試料の可視化方法であって、
前記試料には電子ビームが照射され、
前記試料は、前記電子ビームを非回折ビームと回折ビームに分離し、
当該電子顕微鏡は、位相板、フーコーの素子、又はヒルベルトの素子からなる群から選ばれるコントラスト改善素子を備え、
前記コントラスト改善素子は、低空間周波数でのコントラストの改善を目的とし、
前記コントラスト改善素子は、対物レンズの後焦点面内又は該面の像内に設けられ、
前記コントラスト改善素子は、前記非散乱ビームに対して、ある位置を有し、
前記像の生成中に、前記コントラスト改善素子と前記非散乱ビームの相互の位置が変化する、
ことを特徴とする方法。 - 前記コントラスト改善素子が、当該電子顕微鏡に対して静止した状態を保持し、
前記ビームは前記試料に対して傾斜し、
前記ビームが傾斜する結果、前記対物レンズの後焦点面中又は前記面の像中に生成される回折像がシフトする、
請求項1に記載の方法。 - 前記ビームが前記試料に対して錐体状の傾斜をしめ志、
前記対物レンズの後焦点面中又は前記面の像中に生成される回折像が円運動し、
前記円運動は、ある直径を有する円によって表される、
請求項2に記載の方法。 - 前記ビームが前記試料に対して時間依存する傾斜を示し、
前記対物レンズの後焦点面中又は前記面の像中に生成される回折像が直線運動し、
前記直線運動は、前記コントラスト改善素子の真っ直ぐなエッジに対して垂直な方向のある線分によって表される、
請求項2に記載の方法。 - 前記コントラスト改善素子が、前記非回折ビームに対して垂直な面内で、当該顕微鏡に対して機械的に移動する、請求項1に記載の方法。
- 前記コントラスト改善素子が、当該顕微鏡に対する円又は線分の軌跡に従う、請求項5に記載の方法。
- 前記相互の位置が反復的に変化し、かつ、
前記反復的に変化する際の周波数が1Hz乃至50Hzである、
請求項1乃至6のうちいずれか一項に記載の方法。 - 前記コントラスト改善素子が孔を有し、かつ、
前記円の直径が、前記孔の直径の0.5倍乃至1倍である、
請求項3、5、及び6のうちいずれか一項に記載の方法。 - 前記コントラスト改善素子がエッジを有し、かつ、
前記直線運動の振幅は、前記エッジまでの距離の0.5倍乃至1倍である、
請求項3、5、及び6のうちいずれか一項に記載の方法。 - 像を取得する間、前記コントラスト改善素子によって遮断される電流に比例する信号が、前記前記コントラスト改善素子に対して前記ビームを中心に位置設定するのに用いられる、
請求項1乃至9のうちいずれか一項に記載の方法。 - 試料の像を取得するための透過型電子顕微鏡であって、
当該顕微鏡は、コントラスト改善素子と当該顕微鏡を制御するプログラム可能な制御装置を備え、
前記制御装置は、像を取得している間に、前記ビームが前記コントラスト改善素子全体にわたって移動するように、当該顕微鏡を制御するようにプログラムされる、
ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 前記制御装置が、像を取得している間に、前記コントラスト改善素子全体にわたって前記ビームを移動させるように偏向器を制御する、請求項11に記載の透過型電子顕微鏡。
- 像を取得する間、前記コントラスト改善素子によって遮断される電流に比例する信号を測定する手段を備え、
前記信号は、前記コントラスト改善素子に対して前記ビームを中心に位置設定するのに用いられる、
請求項11又は12に記載の透過型電子顕微鏡。
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