JP2014048063A - 測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】波形発生装置の周波数特性を精度良く測定する。
【解決手段】波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定装置であって、周波数が異なる複数の正弦波信号を順次に波形発生装置から出力させる制御部と、波形発生装置から出力された複数の正弦波信号のそれぞれを測定する測定部と、測定部による測定結果に基づき波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、を備え、制御部は、トリガ信号を波形発生装置から出力させるとともに、複数の正弦波信号のそれぞれをトリガ信号に同期させて出力させ、測定部は、トリガ信号および正弦波信号を入力して、トリガ信号を基準に正弦波信号を取り込むオシロスコープである測定装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置および測定方法に関する。

波形データに応じた波形の信号を発生する任意波形発生器および入力した信号の波形を表す波形データを取得するデジタイザが知られている。従来、任意波形発生器およびデジタイザは、数十メガヘルツから数百メガヘルツ程度の周波数の信号の発生および取得をしていた。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特開２０１０−１１７３４９号公報
［特許文献２］特開２００８−２８６６９９号公報

ところで、近年、数ギガヘルツから数十ギガヘルツの周波数の信号の発生および取得をする任意波形発生器およびデジタイザが開発されてきた。このような高周波数に対応した任意波形発生器およびデジタイザは、内部回路の周波数特性が、発生する信号の精度および取得する信号の精度に大きく影響する。従って、このような任意波形発生器およびデジタイザは、予め内部回路の周波数特性を測定して校正をする必要がある。

任意波形発生器の周波数特性を測定する方法としては、測定対象の任意波形発生器から例えば矩形波を発生させて、基準となるデジタイザ（周波数特性がフラットなデジタイザ）により波形を取得させる。そして、基準となるデジタイザにより取得した波形データと任意波形発生器から発生させた信号の波形を表す波形データとに基づき、測定対象の任意波形発生器の周波数特性を算出する。

また、デジタイザの周波数特性を測定する方法として、基準となる任意波形発生器（周波数特性がフラットな任意波形発生器）から例えば矩形波を発生させて、測定対象のデジタイザにより波形を取得させる。そして、測定対象のデジタイザにより取得した波形データと任意波形発生器に発生させた信号の波形を表す波形データとに基づき、測定対象のデジタイザの周波数特性を算出する。

しかし、矩形波の周波数成分は、周波数が高くなるほどパワーが小さくなる。従って、上述のような測定方法では、高周波数領域の周波数特性の誤差が大きくなってしまっていた。

本発明の第１の態様においては、波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定装置であって、周波数が異なる複数の正弦波信号を順次に前記波形発生装置から出力させる制御部と、前記波形発生装置から出力された前記複数の正弦波信号のそれぞれを測定する測定部と、前記測定部による測定結果に基づき前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、を備える測定装置、および、測定方法を提供する。

本発明の第２の態様においては、波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定装置であって、トリガ信号を前記波形発生装置から出力させるとともに、被測定信号を前記トリガ信号に同期させて前記波形発生装置から出力させる制御部と、前記波形発生装置から出力された前記被測定信号を前記トリガ信号を基準に測定する測定部と、前記測定部による測定結果に基づき前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、を備える測定装置、および、測定方法を提供する。

本発明の第３の態様においては、信号をサンプリングして波形データを生成する波形取得装置の周波数特性を測定する測定装置であって、周波数が異なる複数の正弦波信号を基準となる波形発生装置から順次に出力させて、前記複数の正弦波信号の波形データを前記波形取得装置により取得させる制御部と、前記波形取得装置により取得された前記複数の正弦波信号のそれぞれの波形データに基づき、前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、を備える測定装置、および、測定方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る測定装置１０の構成を測定対象の波形発生装置２００の構成とともに示す。 本実施形態に係る測定装置１０が、波形発生装置２００から出力させる正弦波信号およびトリガ信号の一例を示す。 本実施形態に係る測定装置１０の処理フローを示す。 波形発生装置２００から出力される複数の正弦波信号のそれぞれの波形データ（周波数毎の振幅および位相）、測定装置１０により測定された複数の正弦波信号のそれぞれの測定データ（周波数毎の振幅および位相）、および、算出部１６により算出された波形発生装置２００の周波数特性（周波数毎の振幅特性および位相特性）の一例を示す。 直交検波方式により正弦波信号の振幅および位相を算出する場合に取得するサンプル点の一例を示す。 本実施形態の第１変形例に係る測定装置１０の構成を波形発生装置２００とともに示す。 トリガ信号が重畳された正弦波信号の一例を示す。 トリガ信号が重畳された正弦波信号の他の一例を示す。 本実施形態の第２変形例に係る測定装置５０の構成を基準となる波形発生装置２００および波形取得装置３００とともに示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る測定装置１０の構成を測定対象の波形発生装置２００の構成とともに示す。図２は、本実施形態に係る測定装置１０が、波形発生装置２００から出力させる正弦波信号およびトリガ信号の一例を示す。

本実施形態に係る測定装置１０は、波形発生装置２００の周波数特性を測定する。そして、測定装置１０は、測定結果に基づいて、例えば周波数特性がフラットとなるように波形発生装置２００を補正する。

波形発生装置２００は、波形データに応じた波形の信号を発生する。波形発生装置２００は、一例として、波形メモリ２２０と、発振器２１０と、トリガ出力部２３０と、ＤＡＣ２４０とを備える。波形メモリ２２０は、波形発生装置２００から発生させるべき信号の波形を表す波形データを記憶する。発振器２１０は、クロック信号を発生する。

トリガ出力部２３０は、信号の取り込みタイミングを指定するトリガ信号を出力する。トリガ出力部２３０は、一例として、一定周期毎にトリガ信号を出力する。トリガ出力部２３０は、一例として、クロック信号を分周して、一定周期毎のトリガ信号を出力してもよい。なお、トリガ出力部２３０は、波形発生装置２００の外部に設けられ、波形発生装置２００から出力されたクロック信号を分周してトリガ信号を生成する構成であってもよい。

ＤＡＣ２４０は、波形メモリ２２０に記憶された波形データをデジタルアナログ変換して、波形データに応じた波形の信号を出力する。この場合において、ＤＡＣ２４０は、発振器２１０により発生されたクロック信号に基づき動作する。これにより、ＤＡＣ２４０は、トリガ出力部２３０から出力されるトリガ信号に同期した信号を出力することができる。

測定装置１０は、制御部１２と、測定部１４と、算出部１６と、補正部１８とを備える。制御部１２は、波形発生装置２００からトリガ信号を出力させる。制御部１２は、一例として、トリガ信号を一定の周期で出力させる。

さらに、制御部１２は、周波数が異なる複数の正弦波信号を、被測定信号として順次に波形発生装置２００から出力させる。この場合において、制御部１２は、複数の正弦波信号のそれぞれをトリガ信号に同期させて出力する。すなわち、制御部１２は、複数の正弦波信号のそれぞれを、トリガ信号を基準に予め設定された位相で出力させる。

また、制御部１２は、一例として、トリガ信号を一定の周期で出力させる場合、複数の正弦波信号のそれぞれの周波数をトリガ信号の周波数の整数倍とする。例えば、図２に示されるように、トリガ信号の周波数が１００ＭＨｚであれば、制御部１２は、１００ＭＨｚ、２００ＭＨｚ、３００ＭＨｚ、…、１０ＧＨｚといった周波数の正弦波信号を出力させる。

また、本例においては、制御部１２は、波形発生装置２００からトリガ信号および正弦波信号を並列に出力させる。即ち、制御部１２は、トリガ信号と正弦波信号とを異なる伝送線を介して出力させる。

測定部１４は、波形発生装置２００から出力されたトリガ信号および複数の正弦波信号のそれぞれを受信する。そして、測定部１４は、波形発生装置２００から出力された複数の正弦波信号のそれぞれの振幅および位相を測定する。この場合において、測定部１４は、複数のトリガ信号のそれぞれの位相を対応するトリガ信号を基準として測定する。本例においては、測定部１４は、トリガ信号および正弦波信号を入力して、トリガ信号を基準に正弦波信号の波形を取り込むオシロスコープである。

算出部１６は、測定部１４による測定結果に基づき波形発生装置２００の周波数特性を算出する。より具体的には、算出部１６は、波形発生装置２００から出力させた複数の正弦波信号の振幅およびトリガ信号に対する位相および振幅、測定部１４により測定された複数の正弦波信号の振幅およびトリガ信号に対する位相に基づき、波形発生装置２００の周波数特性を算出する。

補正部１８は、算出部１６により算出された周波数特性に基づき、波形発生装置２００の周波数特性を補正する。補正部１８は、一例として、波形発生装置２００の元の周波数特性に算出した周波数特性の逆特性が加わるように、波形発生装置２００を補正する。このような構成により、本実施形態に係る測定装置１０は、波形発生装置２００を周波数特性がフラットとなるように補正することができる。

図３は、本実施形態に係る測定装置１０の処理フローを示す。測定装置１０は、図３に示すフローを実行することにより、波形発生装置２００の周波数特性を補正する。

まず、ステップＳ１１において、制御部１２は、出力すべき正弦波信号の周波数の初期設定をする。続いて、ステップＳ１２において、制御部１２は、トリガ信号、および、設定された周波数の正弦波信号を波形発生装置２００から出力させる。この場合において、制御部１２は、正弦波信号の振幅を予め設定された値とするとともに、トリガ信号に対する正弦波信号の位相を予め設定された値とする。

続いて、ステップＳ１３において、測定部１４は、波形発生装置２００から出力された正弦波信号の振幅、および、トリガ信号に対する位相を測定する。本例においては、測定部１４は、オシロスコープであるので、トリガ信号のタイミングにおいて正弦波信号の波形のサンプリングを開始してサンプリングした波形を一定期間保持する。そして、測定部１４は、サンプリングした波形から、正弦波信号の振幅および位相を測定する。また、本例においては、測定部１４は、後述する直交検波方式により正弦波信号の振幅および位相を測定する。

続いて、ステップＳ１４において、制御部１２は、測定帯域内における測定対象となる複数の周波数の全てについて測定が終了したか否かを判定する。複数の周波数の全てについて測定がまだ終了していない場合には（ステップＳ１４のＮｏ）、制御部１２は、処理をステップＳ１５に進める。ステップＳ１５において、制御部１２は、出力すべき正弦波信号の周波数を変更する。そして、制御部１２は、処理をステップＳ１２に戻して変更した周波数の正弦波信号の出力（ステップＳ１２）、および、測定（ステップＳ１３）を実行する。

また、制御部１２は、複数の周波数の全てについて測定が終了した場合には（ステップＳ１４のＹｅｓ）、処理をステップＳ１６に進める。ステップＳ１６において、制御部１２は、複数の正弦波信号のそれぞれの振幅および位相に基づき、測定帯域内の周波数特性を算出する。

このような処理を実行することにより、測定装置１０は、高周波数帯域において信号のパワーを低下させずに正弦波信号を測定することができる。これにより、測定装置１０によれば、波形発生装置２００の周波数特性を測定帯域内の全てに亘り精度良く測定することができる。

図４は、波形発生装置２００から出力される複数の正弦波信号のそれぞれの波形データ（周波数毎の振幅および位相）、測定装置１０により測定された複数の正弦波信号のそれぞれの測定データ（周波数毎の振幅および位相）、および、算出部１６により算出された波形発生装置２００の周波数特性（周波数毎の振幅特性および位相特性）の一例を示す。

制御部１２は、図４に示されるように、複数の周波数（例えば、１００ＭＨｚ、２００Ｈｚ、３００ＭＨｚ、…）のそれぞれについて、設定された振幅Ａ（Ａ_１、Ａ_２、Ａ_３、…）および位相α（α_１、α_２、α_３、…）の正弦波信号を出力させる。ここで、位相αは、波形発生装置２００から出力されるトリガ信号の出力タイミングを基準として算出された値である。正弦波信号の振幅Ａおよび位相αは、周波数毎に同一であることが好ましいが、正弦波信号の周波数毎に異なる値であってもよい。

測定部１４は、図４に示されるように、複数の周波数（例えば、１００ＭＨｚ、２００Ｈｚ、３００ＭＨｚ、…）のそれぞれについて、波形発生装置２００から出力された正弦波信号の振幅Ｂ（Ｂ_１、Ｂ_２、Ｂ_３、…）および位相β（β_１、β_２、β_３、…）を測定して記憶する。ここで、位相βは、トリガ信号の入力タイミングを基準として算出された値である。

算出部１６は、波形発生装置２００の波形メモリ２２０に記憶された正弦波信号の振幅Ａおよび位相α、並びに、測定部１４により測定された正弦波信号の振幅Ｂおよび位相βに基づき、周波数毎に波形発生装置２００の振幅特性及び位相特性を算出する。より具体的には、算出部１６は、周波数毎に、波形メモリ２２０に記憶された正弦波信号の振幅Ａに対する測定部１４により測定された正弦波信号の振幅Ｂの割合Ｂ／Ａを、振幅特性として算出する。また、算出部１６は、周波数毎に、測定部１４により測定された正弦波信号の位相βから、波形メモリ２２０に記憶された正弦波信号の位相αを減じた値（β−α）を、位相特性として算出する。

図５は、直交検波方式により正弦波信号の振幅および位相を算出する場合に取得するサンプル点の一例を示す。本例においては、測定部１４は、直交検波方式により、複数の正弦波信号のそれぞれの振幅および位相を算出する。即ち、本例においては、測定部１４は、正弦波信号を１／４周期ずつ位相をずらして取得したサンプル点のレベルに基づき複数の正弦波信号のそれぞれの振幅および位相を算出する。

具体的には、測定部１４は、トリガ信号のタイミングおよび測定対象の正弦波信号の周期に基づき、トリガ信号のタイミングから予め定められた位相に応じた時間分遅延したタイミングを、基準位相（０度）の時点ｔ_１として特定する。さらに、測定部１４は、測定対象の正弦波信号の周期に基づき、基準位相から１／４周期位相が進んだ位相（９０度）の時点ｔ_２、基準位相から１／２周期位相が進んだ位相（１８０度）の時点ｔ_３、基準位相から３／４周期位相が進んだ位相（２７０度）の時点ｔ_４を特定する。

続いて、測定部１４は、サンプルした正弦波信号における、基準位相（０度）の時点ｔ_１のサンプル値Ｖ_１、基準位相から１／４周期位相が進んだ位相（９０度）の時点ｔ_２のサンプル値Ｖ_２、基準位相から１／２周期位相が進んだ位相（１８０度）の時点ｔ_３のサンプル値Ｖ_３、基準位相から３／４周期位相が進んだ位相（２７０度）の時点ｔ_４のサンプル値Ｖ_４を取得する。

続いて、測定部１４は、下記の式（１）に示されるように、基準位相（０度）の時点ｔ_１のサンプル値Ｖ_１から、基準位相から１／２周期位相が進んだ位相（１８０度）の時点ｔ_３のサンプル値Ｖ_３を減じた値Ｖ_１−Ｖ_３を２で除算した値を、実数成分Ｒとして算出する。

続いて、測定部１４は、下記の式（２）に示されるように、基準位相から１／４周期位相が進んだ位相（９０度）の時点ｔ_２のサンプル値Ｖ_２から基準位相から３／４周期位相が進んだ位相（２７０度）の時点ｔ_４のサンプル値Ｖ_４を減じた値Ｖ_２−Ｖ_４を２で除算した値を、虚数成分Ｉとして算出する。

そして、算出部１６は、下記の式（３）に示されるように、実数成分Ｒの二乗と虚数成分Ｉの二乗との加算値の平方根を、その周波数における振幅成分Ｂとして算出する。

さらに、算出部１６は、実数成分Ｒ及び虚数成分Ｉに基づき、その周波数における位相βを算出する。例えば、算出部１６は、実数成分Ｒが０以上の場合（０≦Ｒ）には、下記の式（４）に示されるように、実数成分Ｒに対する虚数成分Ｉの割合のアークタンジェントを、その周波数における位相βとして算出する。

また、例えば、算出部１６は、実数成分Ｒが０より小さい場合（Ｒ＜０）には、下記の式（５）に示されるように、実数成分Ｒに対する虚数成分Ｉの割合のアークタンジェントに、１８０°を加算した値を、その周波数における位相βとして算出する。

このような直交検波方式を用いることにより、算出部１６は、直流成分の誤差を除いて精度良く振幅および位相を算出することができる。

図６は、本実施形態の第１変形例に係る測定装置１０の構成を波形発生装置２００とともに示す。図７は、トリガ信号が重畳された正弦波信号の一例を示す。本変形例に係る測定装置１０は、図１に示した測定装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。

第１変形例において、制御部１２は、波形発生装置２００からトリガ信号が重畳された正弦波信号を出力させる。即ち、制御部１２は、トリガ信号と正弦波信号とを同一の伝送線を介して出力させる。例えば、制御部１２は、図７に示されるような、正弦波信号に、正弦波信号の振幅より大きな振幅のパルス波形のトリガ信号を加算した信号を波形発生装置２００から出力させる。

本変形例に係る測定装置１０は、トリガ抽出部２２を更に備える。トリガ抽出部２２は、トリガ信号が重畳された正弦波信号から、トリガ信号のみを抽出する。

例えば、トリガ信号が正弦波信号の振幅より大きな振幅のパルス波形である場合、トリガ抽出部２２は、トリガ信号が重畳された正弦波信号から、正弦波信号の振幅より大きな閾値以上の波形をトリガ信号として検出する。より具体的には、トリガ抽出部２２は、正弦波信号の振幅より大きくトリガ信号の振幅より小さい閾値と、トリガ信号が重畳された正弦波信号のレベルとを比較して、レベルが閾値より大きいタイミングを示す信号をトリガ信号として出力する。これにより、トリガ抽出部２２は、トリガ信号が重畳された正弦波信号から、トリガ信号を抽出することができる。トリガ抽出部２２は、抽出したトリガ信号を測定部１４へと供給する。

測定部１４は、トリガ抽出部２２から供給されたトリガ信号を入力して、入力したトリガ信号を基準として波形発生装置２００から出力された正弦波信号の振幅および位相を測定する。なお、測定部１４は、直交検波方式で振幅および位相を測定する場合には、トリガ信号を避けた時点のサンプル値に基づき、振幅および位相を測定する。

このような本変形例に係る測定装置１０によれば、トリガ信号と正弦波信号とを同一の伝送線により伝送させるので、伝送線の遅延差による誤差無く波形発生装置２００の周波数特性を測定することができる。

図８は、トリガ信号が重畳された正弦波信号の他の一例を示す。第１変形例において、制御部１２は、図８に示されるように、トリガ信号の発生タイミングと正弦波信号の発生タイミングとを時間的に異ならして重畳してもよい。制御部１２は、一例として、トリガ信号とトリガ信号との間において正弦波信号を出力させる。

これにより、本変形例に係る測定装置１０は、正弦波信号およびトリガ信号をより簡易に出力することができる。また、測定装置１０は、測定対象の正弦波信号の波形がトリガ信号により歪まないので、正弦波信号の振幅および位相をより精度良く測定することができる。

図９は、本実施形態の第２変形例に係る測定装置５０の構成を、基準となる波形発生装置２００および波形取得装置３００とともに示す。本変形例に係る測定装置５０は、図１または図６に示した測定装置１０と略同一の構成および機能を採るので、略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。

第２変形例に係る測定装置５０は、周波数特性を補正した後の波形発生装置２００を基準として用いて、波形取得装置３００の周波数特性を補正する。基準となる波形発生装置２００は、図１または図６に示した測定装置１０により予め補正されている。

第２変形例に係る測定装置５０は、制御部１２と、算出部１６と、補正部１８とを備える。制御部１２は、基準となる波形発生装置２００から測定用の信号を出力させる。制御部１２は、測定用の信号として、例えば、矩形波信号を出力させる。

また、制御部１２は、測定用の信号として、周波数が異なる複数の正弦波信号を順次に波形発生装置２００から出力させてもよい。この場合、制御部１２は、図７または図８に示したように、複数の正弦波信号のそれぞれにトリガ信号を重畳して出力する。

また、制御部１２は、波形取得装置３００に、基準となる波形発生装置２００から出力された信号の波形を取得させる。波形取得装置３００は、波形発生装置２００から出力された信号をアナログデジタル変換して、波形発生装置２００から出力された信号の波形を表す波形データを内部メモリに記憶する。

算出部１６は、波形取得装置３００により取得された信号の波形を表す波形データおよび基準となる波形発生装置２００から出力させた信号の波形を表す波形データに基づき、波形取得装置３００の周波数特性を算出する。

算出部１６は、一例として、周波数成分毎に、基準となる波形発生装置２００から出力された信号の振幅に対する、波形取得装置３００により取得された信号の振幅の割合を、振幅特性として算出する。また、算出部１６は、一例として、周波数成分毎に、波形取得装置３００により取得された信号の位相から、基準となる波形発生装置２００から出力された信号の位相を減じた値を、位相特性として算出する。

補正部１８は、算出部１６により算出された周波数特性に基づき、波形取得装置３００の周波数特性を補正する。補正部１８は、一例として、波形取得装置３００の元の周波数特性に算出した周波数特性の逆特性が加わるように、波形取得装置３００を補正する。このような構成により、本変形例に係る測定装置５０は、波形取得装置３００を周波数特性がフラットとなるように補正することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ 測定装置
１２ 制御部
１４ 測定部
１６ 算出部
１８ 補正部
２２ トリガ抽出部
５０ 測定装置
２００ 波形発生装置
３００ 波形取得装置
２１０ 発振器
２２０ 波形メモリ
２３０ トリガ出力部
２４０ ＤＡＣ

Claims (15)

1. 波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定装置であって、
   周波数が異なる複数の正弦波信号を順次に前記波形発生装置から出力させる制御部と、
   前記波形発生装置から出力された前記複数の正弦波信号のそれぞれを測定する測定部と、
   前記測定部による測定結果に基づき前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、
   を備える測定装置。
2. 前記制御部は、トリガ信号を前記波形発生装置から出力させるとともに、前記複数の正弦波信号のそれぞれを前記トリガ信号に同期させて出力させ、
   前記測定部は、前記複数の正弦波信号のそれぞれの位相を対応する前記トリガ信号を基準として測定する
   請求項１に記載の測定装置。
3. 前記測定部は、前記トリガ信号および前記複数の正弦波信号のそれぞれを入力して、前記トリガ信号を基準に前記複数の正弦波信号のそれぞれを取り込むオシロスコープである
   請求項２に記載の測定装置。
4. 前記制御部は、トリガ信号を一定の周期で前記波形発生装置から出力させるとともに、周波数が前記トリガ信号の整数倍の正弦波信号を前記波形発生装置から出力させる
   請求項２または３に記載の測定装置。
5. 前記制御部は、前記波形発生装置から前記トリガ信号および前記複数の正弦波信号のそれぞれを並列に出力させる
   請求項２から４の何れか１項に記載の測定装置。
6. 前記制御部は、前記波形発生装置から前記トリガ信号が重畳された正弦波信号を出力させる
   請求項２から４の何れか１項に記載の測定装置。
7. 前記制御部は、前記トリガ信号の発生タイミングとは異なる期間において前記正弦波信号を出力させる
   請求項６に記載の測定装置。
8. 前記制御部は、前記正弦波信号の振幅より大きな振幅の前記トリガ信号を前記正弦波信号に重畳し、
   前記測定部は、前記トリガ信号が重畳された前記正弦波信号から、前記正弦波信号の振幅より大きな閾値以上の波形を前記トリガ信号として検出する
   請求項６または７に記載の測定装置。
9. 前記測定部は、１／４周期ずつ位相をずらして取得したサンプル点のレベルに基づき前記複数の正弦波信号のそれぞれの振幅および位相を算出する
   請求項１から８の何れか１項に記載の測定装置。
10. 算出した周波数特性の逆特性が加わるように前記波形発生装置を補正する補正部を更に備える
    請求項１から９の何れか１項に記載の測定装置。
11. 波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定装置であって、
    トリガ信号を前記波形発生装置から出力させるとともに、被測定信号を前記トリガ信号に同期させて前記波形発生装置から出力させる制御部と、
    前記波形発生装置から出力された前記被測定信号を前記トリガ信号を基準に測定する測定部と、
    前記測定部による測定結果に基づき前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、
    を備える測定装置。
12. 信号をサンプリングして波形データを生成する波形取得装置の周波数特性を測定する測定装置であって、
    周波数が異なる複数の正弦波信号を基準となる波形発生装置から順次に出力させて、前記複数の正弦波信号の波形データを前記波形取得装置により取得させる制御部と、
    前記波形取得装置により取得された前記複数の正弦波信号のそれぞれの波形データに基づき、前記波形発生装置の周波数特性を算出する算出部と、
    を備える測定装置。
13. 波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定方法であって、
    異なる周波数の複数の正弦波信号を順次に前記波形発生装置から出力させ、
    前記波形発生装置から出力された前記複数の正弦波信号のそれぞれを測定して、前記波形発生装置の周波数特性を算出する
    測定方法。
14. 波形データに応じた波形の信号を発生する波形発生装置の周波数特性を測定する測定方法であって、
    トリガ信号を前記波形発生装置から出力させるとともに、被測定信号を前記トリガ信号に同期させて前記波形発生装置から出力させ、
    前記波形発生装置から出力された前記被測定信号を前記トリガ信号を基準に測定して、前記波形発生装置の周波数特性を算出する
    測定方法。
15. 信号をサンプリングして波形データを生成する波形取得装置の周波数特性を測定する測定方法であって、
    周波数が異なる複数の正弦波信号を基準となる波形発生装置から順次に出力させて、前記複数の正弦波信号の波形データを前記波形取得装置により取得させ、
    前記波形取得装置により取得された前記複数の正弦波信号のそれぞれの波形データに基づき、前記波形発生装置の周波数特性を算出する
    測定方法。

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