JP2014045167A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、第1半導体領域と、第2半導体領域と、第3半導体領域と、第4半導体領域と、を備える。前記第1半導体領域は、第1導電形の領域である。前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の上に設けられ前記第1半導体領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する。前記第3半導体領域は、前記第2半導体領域の上に設けられた第2導電形の領域である。前記第4半導体領域は、前記第3半導体領域の上または前記第3半導体領域の一部に設けられ前記第3半導体領域の格子歪みよりも大きな格子歪みを有する。
【選択図】図1
Description
前記第1半導体領域は、第1導電形の領域である。
前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の上に設けられ前記第1半導体領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する。
前記第3半導体領域は、前記第2半導体領域の上に設けられた第2導電形の領域である。
前記第4半導体領域は、前記第3半導体領域の上または前記第3半導体領域の一部に設けられ前記第3半導体領域の格子歪みよりも大きな格子歪みを有する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
また、以下の説明では、一例として、第1導電形をn形、第2導電形をp形とした具体例を挙げる。
また、以下の説明において、n+、n、n−及びp+、p、p−の表記は、各導電形における不純物濃度の相対的な高低を表す。すなわち、n+はnよりもn形の不純物濃度が相対的に高く、n−はnよりもn形の不純物濃度が相対的に低いことを示す。また、p+はpよりもp形の不純物濃度が相対的に高く、p−はpよりもp形の不純物濃度が相対的に低いことを示す。
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図1に表したように、第1の実施形態に係る半導体装置110は、第1半導体領域である基板10と、第2半導体領域である第1エピタキシャル成長層20と、第3半導体領域である第2エピタキシャル成長層30と、第4半導体領域である欠陥抑制層40と、を備える。また、半導体装置110は、第1電極であるカソード電極70と、第2電極であるアノード電極80とを備える。
このような半導体装置110は、例えばPiNダイオードである。
先ず、半導体装置110のカソード電極70に対してアノード電極80が正になるよう(順方向)電圧を印加した場合の動作を説明する。順方向電圧を印加した場合、p+形の第2エピタキシャル成長層30と、n−形の第1エピタキシャル成長層20と、の界面に存在するpn接合面を介してビルトインポテンシャルを超えた電子及びホールが流れる。これにより、半導体装置110に電流が流れる(順方向動作)。
図2には、本実施形態に係る半導体装置110の電流(I)−電圧(V)特性と、参考例に係る半導体装置190のI−V特性と、が表されている。
参考例に係る半導体装置190は、本実施形態に係る半導体装置110の欠陥抑制層40を備えていない。半導体装置190のその他の構成は半導体装置110と同様である。
次に、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
なお、本実施形態では、SiCを用いたバイポーラダイオード(PiNダイオード)の製造方法について説明する。
図4(a)〜図5(c)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する模式的断面図である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図6は、第3の実施形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図6に表したように、第3の実施形態に係る半導体装置120は、第1半導体領域である基板10と、第2半導体領域である第1エピタキシャル成長層20と、第3半導体領域である第2エピタキシャル成長層30と、第4半導体領域である欠陥抑制層40と、第5半導体領域であるソース領域35と、ゲート絶縁膜60と、ゲート電極Gと、第1電極であるドレイン電極71と、第2電極であるソース電極81と、を備える。
すなわち、半導体装置120は、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)である。
ドレイン電極71は、基板10の第2主面10bに接する。ドレイン電極71は、基板10とオーミック接続している。
ドレイン電極71に、ソース電極81に対して正の電圧が印加された状態で、ゲート電極Gに閾値以上の電圧が印加されると、第2エピタキシャル成長層30におけるゲート絶縁膜60との界面付近に反転層(チャネル)が形成される。これにより、半導体装置120はオン状態になり、ドレイン電極71からソース電極81へ電流が流れる。
次に、第4の実施形態について説明する。
図7は、第4の実施形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図7に表したように、第4の実施形態に係る半導体装置130は、第1半導体領域である基板10と、第2半導体領域である第1エピタキシャル成長層20と、第3半導体領域である第2エピタキシャル成長層30と、第4半導体領域である欠陥抑制層40と、第5半導体領域であるエミッタ領域36と、ゲート絶縁膜60と、ゲート電極Gと、第1電極であるコレクタ電極72と、第2電極であるエミッタ電極82と、を備える。
すなわち、半導体装置130は、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)である。
コレクタ電極72は、基板10の第2主面10bに接する。コレクタ電極72は、基板10とオーミック接続している。
コレクタ電極72に、エミッタ電極82に対して正の電圧が印加された状態で、ゲート電極Gに閾値以上の電圧が印加されると、ベース領域である第2エピタキシャル成長層30におけるゲート絶縁膜60との界面付近に反転層(チャネル)が形成される。これにより、電子がエミッタ領域36からチャネルを介して第2エピタキシャル成長層30(ベース領域)に注入され、オン状態になる。このときさらに、コレクタ電極72から正孔が第1エピタキシャル成長層20(ドリフト領域)に注入される。ドリフト領域に注入された正孔は、ベース領域を通ってエミッタ電極82へ流れる。半導体装置130においては、オン状態のとき、正孔がコレクタ電極72からドリフト領域に注入され、伝導度変調が生じてドリフト領域の抵抗が低減する。
次に、第5の実施形態について説明する。
図8は、第5の実施形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図8に表したように、第5の実施形態に係る半導体装置140は、第1半導体領域である基板10と、第2半導体領域である第1エピタキシャル成長層20と、第3半導体領域である第2エピタキシャル成長層30と、第4半導体領域である欠陥抑制層40と、第1電極であるカソード電極70と、第2電極であるアノード電極80と、を備える。
すなわち、半導体装置140は、MPS(Merged PiN Schottky)ダイオードである。
カソード電極70は、基板10の第2主面10bに接する。カソード電極70は、基板10とオーミック接続している。
先ず、半導体装置140のカソード電極70に対してアノード電極80が正になるよう(順方向)電圧を印加した場合の動作を説明する。順方向電圧を印加した場合、エネルギー障壁を越えた電子が第1エピタキシャル成長層20からショットキー電極86(アノード電極80)に流れる。また、p+形の第2エピタキシャル成長層30と、n−形の第1エピタキシャル成長層20と、の界面に存在するpn接合面を介してビルトインポテンシャルを超えた電子及びホールが流れる。これにより、半導体装置140に電流が流れる(順方向動作)。
Claims (10)
- 第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の上に設けられ前記第1半導体領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の上に設けられた第2導電形の第3半導体領域と、
前記第3半導体領域の上または前記第3半導体領域の一部に設けられ前記第3半導体領域の格子歪みよりも大きな格子歪みを有する第4半導体領域と、
を備えた半導体装置。 - 前記3半導体領域は、前記第2半導体領域の上の一部に設けられ、
前記第4半導体領域は、前記第3半導体領域の上から前記第2半導体領域の上にかけて設けられた請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2半導体領域及び前記第3半導体領域は、エピタキシャル成長によって形成された結晶構造を有する請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第4半導体領域は、前記第3半導体領域に含まれる不純物とは異なる不純物を含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第4半導体領域に含まれる前記不純物は、不活性元素を含む請求項4記載の半導体装置。
- 前記不純物は、Ar、Si及びCのうち少なくとも1つである請求項5記載の半導体装置。
- 前記第4半導体領域の不純物濃度は、前記第3半導体領域の不純物濃度よりも高い請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1半導体領域、前記第2半導体領域、前記第3半導体領域及び前記第4半導体領域は、炭化珪素を含む請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1半導体領域は、第1面を有し立方晶の炭化珪素を含む基板であり、
前記基板の前記第1面は、前記炭化珪素の基底面面に対して0度よりも大きく8度以下で傾斜している請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 第1導電形の第1半導体領域の上に、前記第1半導体領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する第2半導体領域を形成する工程と、
前記第2半導体領域の上に、第2導電形の第3半導体領域を形成する工程と、
前記第3半導体領域にイオン注入を行うことにより、前記第3半導体領域の格子歪みよりも大きな格子歪みを有する第4半導体領域を形成する工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。
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