JP2014041784A - MoSi2系コイルヒーター及びそれを用いた管状ヒーターモジュール - Google Patents
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- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 15
- 238000002791 soaking Methods 0.000 abstract 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 2
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000003232 water-soluble binding agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/40—Heating elements having the shape of rods or tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
- H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/40—Heating elements having the shape of rods or tubes
- H05B3/54—Heating elements having the shape of rods or tubes flexible
- H05B3/56—Heating cables
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/018—Heaters using heating elements comprising mosi2
Landscapes
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Abstract
【解決手段】コイルの内径(D)が300 mm以上のMoSi2系コイルヒーター21において、コイルの内径とヒーター間距離(t)が0.9≦t/(D/2)1/2≦4.0の条件を満たす構成とする。
【選択図】図3
Description
本発明のMoSi2系ヒーター線材は、MoSi2粉末、バインダー、水等を含む押出成形用の坏土を作製し、数メートル(m)の棒状素材を成形、それを乾燥、脱バインダー、焼結して製作する。バインダーとしては、メチルセルロース等の水溶性のバインダー、又は膨潤性ベントナイト等を使用することができる。焼結は、MoSi2系材料の組成により、また目的とする組織により異なるが、非酸化性雰囲気中、1350〜1600℃程度の温度範囲で行う。MoSi2系ヒーター線材の線径としては2〜12 mmが好ましい。線径が24 mmより大きくなると押出後の乾燥工程でクラックが発生し、製造が難しい。MoSi2系ヒーターには、端子部の発熱を低く抑えるため、通常ヒーター線径の約2倍の径の端子線材が使用される。端子線材の製造性を考慮すると、MoSi2系ヒーター線材は、線径が12 mm以下であることが好ましい。線径は2〜8 mmがより好ましく、3〜6 mmがさらに好ましい。
MoSi2系コイルヒーターを製作するための中間部材として、半円形状の部材が、通電曲げ加工によって製作される。図1は半円形状の中間部材を製作する工程を模式的に示す。まず、1本のMoSi2系ヒーター線材1の両端を、通電曲げ加工機のクランプ部2に固定し、クランプ部2を通して線材1に通電、可塑性を有する状態まで加熱する(図1(a))。次に、ヒーター線材1に通電加熱しながら、数個のピンからなるガイド3(ピンの数はコイルの大きさに依存して調整する)に沿ってクランプ部2を引張りながら移動し(図1(b))、最終的に、最初のヒーター線材1の直線方向から90°の方向に、二つのクランプ部2が平行になるまで移動する。温度は1400〜1550℃の範囲で、引張荷重はヒーター線材が伸びて径が小さくならない程度の力とすることが好ましい。曲げ加工終了後、ヒーター線材1を半円形状に切断し、さらに、端面4が半円の接線に垂直な面となるように研磨して半円部材11とする。もちろん、後工程の接合工程で接合個所が増えることになるが、半円形状以下の1/3円形状や1/4円形状でもかまわない。
コイルヒーターは、半円部材11同士を拡散接合することによって製作する。図2は拡散接合によりコイルヒーターを製作する工程を模式的に示す。拡散接合にあたっては、半円部材11の端面4近傍を接合面に垂直に、すなわち接合部の接線方向に押圧できるようクランプ部6で固定する。各接合面4にはクランプ部6を通し所定の圧力をかけながら通電し、高温加圧され、溶着により接合部5が形成される。また、クランプ部6は、曲率をもった半円部材11を固定できるように工夫されており、コイルの曲率に応じて使い分けされる。半ターン毎に、所定のピッチずつずらして接合していき、所定のターン数のコイルヒーターが完成したら、同じく拡散接合により両端部に端子を接合する。
本発明の管状モジュールヒーターに使用する断熱材は、管状のセラミックモールドであり、材質はアルミナ質の耐熱性の高いものが好ましい。一般に、抵抗ヒーターは加熱時には膨張し、また冷却時には収縮するが、この膨張・収縮を拘束すると局部的な変形が生じて異常加熱による断線を引き起こす場合が多い。よって、MoSi2系コイルヒーターのモールドへの配設にあたっては、膨張・収縮を拘束しないような工夫が求められる。その点からも、従来のMoSi2系ヒーターは、U字形状とし、ステープルによって吊り下げる方式を取っていた。本発明の管状ヒーターモジュールの断面の一部を示す図3では、MoSi2系コイルヒーター21はセラミックモールド30に形成したコイル状の溝内31にフリーな状態で配設されている。すなわちMoSi2系コイルヒーター21は、溝の一方の側面に支持されているが、溝から飛び出さず、且つその上を自由に動けることが必要である。そのためには、セラミックモールドの溝31の内表面が、MoSi2系コイルヒーター21と反応しにくく、且つ変形しにくい硬さを有していることが好ましい。また、溝の大きさとしては、MoSi2系コイルヒーター21が拘束されない十分な幅と深さを有しているものとする。図示しないが、溝の何カ所かにステープルを渡して、MoSi2系コイルヒーターが溝31から出ないようにしてもよい。
平均粒径2.7μmのMoSi2にベントナイト15体積%と所定量の水を加え、混練して、成形用坏土を得た。さらに、得られた坏土から、押出成形機を用いて3.4 mmφと6.8 mmφの棒状に成形し、800 mmの長さに切断した。乾燥後、窒素雰囲気中1500℃で2時間焼成し、約3 mmと約6 mmの棒状焼結体を得た。3 mmφ×700 mmの棒状焼結体から、両端をクランプし、図1に示す方法で曲げ加工(加工温度1450℃)により内径300 mmの擬半円形状の中間素材を成形し、さらに半円形状に切断、二つの切断面が同一平面上に入るように研磨した。半円部材は、図2に示す方法で突合せ抵抗溶接により、ピッチ(P)23 mmのコイル状に接合した。半円部材40個から20ターンのコイルヒーターを製作した。さらに、6 mmφの棒状焼結体から機械加工により製作した端子を両端に接合した。また、内径294 mm、外径460 mm、高さ500 mmの一対の半円筒状のセラミックモールドに、溝幅6 mm、深さ10 mmの溝をピッチ(P)23 mmの間隔で形成した。一方の半円筒状セラミックモールドに20ターンのコイルヒーター全体が溝の内部に収まるようにセットし、他方の半円筒状セラミックモールドをその上に合わせ、モールドの合わせ面を耐熱セラミック接着剤で接着した。なお、モールドの合わせ面には、端子が通る溝が加工されている。
製作した管状ヒーターモジュールの下部(底部)と上部(蓋部)に、それぞれ厚さ100 mmのアルミナ断熱材を配置し、ヒーターモジュールの温度制御用に、B熱電対をヒーターモジュールの内周面から中心に向かって10 mm、蓋部から250 mmの位置にセットした。温度分布の測定は、ヒーターモジュールの温度を1500℃にセットし、温度分布測定用の別のB熱電対を、ヒーターモジュールの内周面から中心に向かって50 mmの位置、蓋部から100 mmの位置と底部から100 mmの位置の間の300 mmの範囲に亘って測定した。温度はコイルとの位置関係により僅かに変化したが、温度の最大値と最小値の差異ΔTは3℃以内であった。
ヒーターモジュールの寿命試験として、室温から1500℃までの昇降温を行った。1500℃で1時間保持後、室温まで冷却するパターンを500サイクル行った。コイルヒーターには特に変形は見られず、断線も生じなかった。変形の有無は、図4に示すように、試験後のコイルヒーターのモールドのヒーター溝に対する位置関係により判定し、ヒーター断面がヒーター溝の内周端から内側に半円分を超えて突出した部分が1ケ所でもあれば、変形が有りとした。
ヒーター線材の線径は3 mmのままとし、コイルヒーターのコイル内径Dを300 mm、600 mm及び900 mmと、各コイル内径Dに対し、ヒーター間距離tを表1に示す距離にセットして、実施例1に準じた方法で、コイルヒーターと円筒状ヒーターモジュールを製作した。セラミックモールドの大きさは、コイル内径に応じた内径及び外径としたが、高さは全て500 mmとした。よって、ターン数は、ヒーター間距離tに対応した数とした。各実施例及び各比較例について、実施例1と同様にして、温度分布を測定し、さらに寿命試験を行った。その結果を実施例1の結果も含み表1に示す。ここで、温度分布の結果は、温度分布が3℃以内の場合を◎、3℃を超え5℃以内の場合を○、5℃を超えた場合を×で示し、寿命試験の結果は、前述の変形無しの場合を○、変形有りの場合を×で示した。総合評価としては、温度分布と寿命試験の結果のいずれか一方で×があれば×、何れも○の場合は○、温度分布で◎であれば◎とした。
2 クランプ
3 ガイドピン
4 半円部材端面
5 接合部
6 クランプ部
11 半円部材
21 コイルヒーター
30 セラミックモールド
31 溝内
Claims (2)
- MoSi2系コイルヒーターであって、コイルの内径(D)が300 mm以上であり、前記コイルの内径(D)とヒーター間距離(t)が0.9≦t/(D/2)1/2≦4.0の条件を満たすことを特徴とするMoSi2系コイルヒーター。
- セラミックモールドの内周に形成されたコイル状の溝の中に、請求項1に記載のMoSi2系コイルヒーターが配設されたことを特徴とする管状ヒーターモジュール。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012184115A JP5508487B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 管状ヒーターモジュール |
EP13306161.4A EP2701458B1 (en) | 2012-08-23 | 2013-08-21 | MoSi2-based coil heater and tubular heater module having the same |
CN201310369681.4A CN103634953B (zh) | 2012-08-23 | 2013-08-22 | 管状加热器模块 |
KR1020130100481A KR101439051B1 (ko) | 2012-08-23 | 2013-08-23 | MoSi₂―계 코일 히터 및 그를 포함하는 관형 히터 모듈 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012184115A JP5508487B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 管状ヒーターモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014041784A true JP2014041784A (ja) | 2014-03-06 |
JP5508487B2 JP5508487B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=49084955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012184115A Active JP5508487B2 (ja) | 2012-08-23 | 2012-08-23 | 管状ヒーターモジュール |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2701458B1 (ja) |
JP (1) | JP5508487B2 (ja) |
KR (1) | KR101439051B1 (ja) |
CN (1) | CN103634953B (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3812324A (en) * | 1971-07-08 | 1974-05-21 | Itt | Glow coil ignitor |
KR100297282B1 (ko) * | 1993-08-11 | 2001-10-24 | 마쓰바 구니유키 | 열처리장치 및 열처리방법 |
JPH08143365A (ja) | 1994-11-15 | 1996-06-04 | Riken Corp | 二珪化モリブデンヒーター |
SE522581C2 (sv) * | 2002-02-27 | 2004-02-17 | Sandvik Ab | Element av molybdensilicidtyp |
US8119954B2 (en) * | 2003-01-07 | 2012-02-21 | Micropyretics Heaters International, Inc. | Convective heating system for industrial applications |
JP2005100695A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Ngk Insulators Ltd | 基板加熱方法、抵抗発熱体付基板及びその製造方法 |
JP2005175366A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | ヒータおよびヒータ付き炉 |
EP2119314B1 (en) * | 2007-03-05 | 2015-07-29 | Sandvik Intellectual Property AB | Heating element and insert for electric furnaces |
JP2012526355A (ja) * | 2009-05-05 | 2012-10-25 | サンドヴィク インテレクチュアル プロパティー アーゲー | 発熱体 |
-
2012
- 2012-08-23 JP JP2012184115A patent/JP5508487B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-21 EP EP13306161.4A patent/EP2701458B1/en not_active Not-in-force
- 2013-08-22 CN CN201310369681.4A patent/CN103634953B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-08-23 KR KR1020130100481A patent/KR101439051B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101439051B1 (ko) | 2014-09-05 |
CN103634953A (zh) | 2014-03-12 |
CN103634953B (zh) | 2015-06-10 |
EP2701458A1 (en) | 2014-02-26 |
JP5508487B2 (ja) | 2014-05-28 |
KR20140026303A (ko) | 2014-03-05 |
EP2701458B1 (en) | 2016-12-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140114 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20140114 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20140212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140221 |
|
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