JP2014035435A - 光結合回路素子及びその作製方法 - Google Patents
光結合回路素子及びその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014035435A JP2014035435A JP2012176355A JP2012176355A JP2014035435A JP 2014035435 A JP2014035435 A JP 2014035435A JP 2012176355 A JP2012176355 A JP 2012176355A JP 2012176355 A JP2012176355 A JP 2012176355A JP 2014035435 A JP2014035435 A JP 2014035435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- optical
- optical waveguide
- waveguide
- coupling circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 215
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 64
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 64
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 28
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 23
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-N ammonium fluoride Chemical compound [NH4+].[F-] LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】本発明では、形成するミラーの角度に応じてミラー形成部におけるレジスト膜を形成する位置を変えることで、湾曲したミラー面を形成する。かかる湾曲したミラー面により光の集光性を大幅に向上させることが可能である(図2(b)を参照)。本発明の方法は、光導波路上に光学素子を配置した後にミラー面を形成することが可能であるため、個々の光学素子の作製状態に合わせて、高精度にミラーの形成条件・形状を変えることが可能である。
【選択図】図4
Description
図3に、本実施形態に係る光結合回路素子の基本構成を示す。本実施形態に係る光結合回路素子は、基板301と、基板301上に成膜された光導波路と、光導波路上に配置された光学素子306とから構成される。光学素子306付近の光導波路端において、湾曲面のミラー305が形成される。
エッチングが進行する。酸化膜のエッチング溶液としては、NH4F:HF:H2Oの水溶液、HF:H2Oの水溶液等がある。溶液の混合比率を変えることでエッチングレートを調節することができる。
上記第1の実施形態では、異方性プラズマエッチングを複数回行って多面から成るミラー面を得た後でウェットエッチングを行い、全体的に湾曲した面を得た。本実施形態では、図6に示すように、異方性プラズマエッチングを複数回行って多面から成るミラー面を得た後で、ミラー面の各頂点の周辺のみをウェットエッチングにより削り込むことにより、複数の湾曲した面から成るミラー面を形成する。
図8に示すように、本実施形態に係る光結合回路素子は、Si基板801と、Si基板801上の第1の導波路層802と、第1の導波路層802上の第2の導波路層803と、第2の導波路層803上の第3の導波路層804と、第3の導波路層804上に配置されたPD806と、複数の湾曲面を有するミラー807とから構成された光結合回路素子であって、高ドーパント層805が、第1の導波路層802と第2の導波路層803との間及び第2の導波路層803と第3の導波路層804との間に積層されている。ドーパント物質として、Ge,B,P,F等を用いることができる。これらのドーパント物質は光導波路のコアもしくはクラッド部に添加される場合もあるので、その場合にはそれらの添加量より高くする必要がある。ただし添加する物質により単位体積あたり添加量が同じでもエッチング速度が異なるため、必要なエッチング量に応じてドーパント物質を選択する必要がある。またある程度高いエッチングレートを得たい場合には、1mol%以上添加するのが望ましい。
上記の、第1乃至第3の実施形態では、光導波路が形成された基板の面の法線方向に対して湾曲したミラー面(本明細書では「縦方向に湾曲したミラー面」ともいう)を形成した。本実施形態では、光導波路が形成された基板の面の法線方向とコアの伸長方向との両方に垂直な方向に対して湾曲したミラー面(本明細書では「水平方向に湾曲したミラー面」又は「横方向に湾曲したミラー面」ともいう)を形成する。
本実施形態では、第4の実施形態に係る水平方向に湾曲したミラー構造を、特定の構造を持つPDと共に用いる。これにより、集光特性の向上を実現しつつ複数のPDを近接して配置することが可能となる。
本実施形態では、第4の実施形態で説明した水平方向に湾曲したミラー構造を、マルチモード導波路と共に用いる。本実施形態に係る光結合回路素子を、図15に示す。
図17に、本実施形態に係る光結合回路素子の構造を示す。図17に示すように、ミラー1704は、コア1701の端部から離れた場所に形成される。図17に示す光導波路は、一般的な導波路作製と同様、膜堆積等により作製することができる。
101 基板
102 下部クラッド
103 コア
104 上部クラッド
105 ミラー
106 PD受光部
107 PD
200 PLC
201 基板
202 下部クラッド
203 コア
204 上部クラッド
205 ミラー
206 PD受光部
207 PD
301 基板
302 下部クラッド
303 コア
304 上部クラッド
305 ミラー
306 光学素子
401 Si基板
402 下部クラッド
403 コア
404 上部クラッド
405 PD
406 フォトレジスト
407 ミラー開口部
408 ミラー溝
501 PD
601 Si基板
602 下部クラッド
603 コア
604 上部クラッド
605 ミラー
701 Si基板
702 下部クラッド
703 コア
704 上部クラッド
705 基本モード受信PD
706 高次モード受信PD
707 ミラー
708 ミラーで反射された基本モードの光
709 ミラーで反射された高次モードの光
801 Si基板
802 第1の導波路層
803 第2の導波路層
804 第3の導波路層
805 高ドーパント層
806 PD
807 ミラー
1001 コア
1002 クラッド
1003−1,1003−2 高ドーパント層
1101 コア
1102 クラッド
1103−1,1103−2 高ドーパント層
1201 コア
1202 クラッド
1203−1,1203−2 高ドーパント層
1204 PD
1205 ミラー
1301 コア
1302 クラッド
1303−1,1303−2 高ドーパント層
1304 PD
1305 球面ミラー
1401 pコンタクト層
1402 nコンタクト層
1403 平面ミラー
1404 湾曲したミラー
1411 反射された光
1501 コア
1502 クラッド
1503−1,1503−2 高ドーパント層
1504 PD
1505 湾曲したミラー
1601 コア
1602 クラッド
1603 PD
1604 湾曲したミラー
1701 コア
1702 クラッド
1703 PD
1704 ミラー
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路上の光学素子と、
前記光導波路を伝播する光を反射して前記光学素子に結合させるために前記光導波路端部に形成されるミラーと
を備えた光結合回路であって、
前記光導波路は、コア及びクラッドから構成され、
前記ミラーは、前記光導波路が形成された基板の面の法線方向(z軸方向とする)に対して湾曲していることを特徴とする光結合回路。 - 基板と、
前記基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路上の光学素子と、
前記光導波路を伝播する光を反射して前記光学素子に結合させるために前記光導波路端部に形成されるミラーと
を備えた光結合回路であって、
前記光導波路は、コア及びクラッドから構成され、
前記ミラーは、前記光導波路が積層する基板の面の法線方向(z軸方向とする)と、前記光導波路の伸長方向(x軸方向とする)とに垂直な方向(y軸方向とする)に対して湾曲していることを特徴とする光結合回路。 - 前記光導波路は、前記コアからy軸方向に沿って所定距離離れた2箇所に高ドーパント層を更に備えたことを特徴とする請求項2に記載の光結合回路。
- 前記ミラーはz軸方向に対して湾曲していることを特徴とする請求項2または3に記載の光結合回路。
- 前記光学素子は、フォトダイオード(以下、PDとする)であり、
前記PDの受光部は、pコンタクト層及びnコンタクト層から構成され、
前記pコンタクト層は、円形であり、
前記nコンタクト層は、前記pコンタクト層の円形形状に沿った湾曲構造を持つことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光結合回路。 - 前記光導波路は、マルチモード導波路であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の光結合回路。
- 前記ミラーは、前記光導波路の光が出射するコア端部から離れて形成されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の光結合回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012176355A JP5904901B2 (ja) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 光結合回路素子及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012176355A JP5904901B2 (ja) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 光結合回路素子及びその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014035435A true JP2014035435A (ja) | 2014-02-24 |
JP5904901B2 JP5904901B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=50284454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012176355A Expired - Fee Related JP5904901B2 (ja) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 光結合回路素子及びその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5904901B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017028125A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ素子 |
KR20170093126A (ko) | 2014-12-10 | 2017-08-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 광 전기 혼재 기판 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03290606A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2001138337A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-22 | Canon Inc | 変形半球状マイクロ構造体用金型、マイクロ凹面鏡及びその作製方法 |
JP2001141965A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Canon Inc | 光結合器、その作製方法、およびこれを用いた光送受信装置、光インターコネクション装置 |
JP2002289906A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Hitachi Ltd | 半導体受光素子、半導体受光装置及び半導体装置 |
US20040005119A1 (en) * | 2002-06-07 | 2004-01-08 | Sang-Pil Han | Parallel optical interconnection module and method for manufacturing the same |
JP2007156026A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Kyocera Corp | 光配線モジュール |
JP2007225920A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Ricoh Co Ltd | 光素子、光モジュール、画像形成装置 |
-
2012
- 2012-08-08 JP JP2012176355A patent/JP5904901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03290606A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2001138337A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-22 | Canon Inc | 変形半球状マイクロ構造体用金型、マイクロ凹面鏡及びその作製方法 |
JP2001141965A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Canon Inc | 光結合器、その作製方法、およびこれを用いた光送受信装置、光インターコネクション装置 |
JP2002289906A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Hitachi Ltd | 半導体受光素子、半導体受光装置及び半導体装置 |
US20040005119A1 (en) * | 2002-06-07 | 2004-01-08 | Sang-Pil Han | Parallel optical interconnection module and method for manufacturing the same |
JP2007156026A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Kyocera Corp | 光配線モジュール |
JP2007225920A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Ricoh Co Ltd | 光素子、光モジュール、画像形成装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170093126A (ko) | 2014-12-10 | 2017-08-14 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 광 전기 혼재 기판 |
US10288823B2 (en) | 2014-12-10 | 2019-05-14 | Nitto Denko Corporation | Opto-electric hybrid board |
JP2017028125A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5904901B2 (ja) | 2016-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2281215B1 (en) | Integrated photonics device | |
TWI522668B (zh) | Optical waveguide and optical waveguide module | |
CN110637246B (zh) | 具有集成准直结构的光子芯片 | |
JP2016009151A (ja) | 光結合構造、半導体デバイス、マルチ・チップ・モジュールのための光インターコネクト構造、および光結合構造のための製造方法 | |
JPH11153719A (ja) | プレーナ導波路ターニングミラーを有する光集積回路 | |
JP2008015434A (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 | |
JP5904901B2 (ja) | 光結合回路素子及びその作製方法 | |
US10302871B2 (en) | Microfabricated fiber optic platform | |
JP5819874B2 (ja) | 光機能素子の作製方法 | |
JP5753136B2 (ja) | 光結合回路素子及びその作製方法 | |
US6868210B2 (en) | Optical waveguide and their application of the optical communication system | |
JP5904954B2 (ja) | 集積型受光素子 | |
JP2006039255A (ja) | 光結合装置及びその製造方法 | |
JP2016014842A (ja) | 光導波路部品およびその製造方法 | |
JP2003035846A (ja) | 光電変換装置 | |
JP2009300562A (ja) | 多チャンネル直角光路変換素子 | |
JP6427072B2 (ja) | 光ファイバブロック | |
JP7099395B2 (ja) | 光導波路部品及びその製造方法 | |
JP5908369B2 (ja) | 受光デバイス | |
JP6325941B2 (ja) | 光回路 | |
JP2002311270A (ja) | 垂直伝搬型光導波路及びその製造方法 | |
JP5772436B2 (ja) | 光結合器及び光デバイス | |
JP5801833B2 (ja) | 集積型受光素子 | |
JP2008040261A (ja) | 光反射回路 | |
JP2014186263A (ja) | 光導波路素子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140320 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151026 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20151208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160222 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160229 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160314 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5904901 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |