JP2014035039A - アクチュエータ、及びアクチュエータの製造方法 - Google Patents

アクチュエータ、及びアクチュエータの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】安定した動作が可能なアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ10は、モータの回転軸の回転運動によって回転運動するボールねじ軸61と、ボールねじ軸61の回転運動に伴って、ボールねじ軸61の軸方向(Y軸方向)に直線運動するスライド部50と、スライド部50に固定されることで、スライド部50とともに直線運動するロッド11と、ボールねじ軸61を、回転可能に支持するリアブラケット80と、リアブラケット80が固定され、ロッド11の軸方向にスライド部50を移動可能に支持するレール部を有するケース部材30と、リアブラケット80が固定され、スライド部50を覆うケース部材40と、リアブラケット80を、ケース部材30、40それぞれに対して、軸方向に押し付けるように固定するボルト18とを有する。
【選択図】図5

Description

本発明は、アクチュエータ、及びアクチュエータの製造方法に関する。
ロッドタイプのリニアアクチュエータは、例えば、モータの回転運動に基づいて、ロッドが往復運動する。これにより、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、作業対象のワークを押圧するなど、様々な作業を行う(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1に記載のアクチュエータにおいては、モータの回転運動を直線運動に変換しているため、モータの回転運動に起因したトルクがロッドに伝わり、ロッドの先端に振れが生じやすい。この問題に対して、スライド部が、剛性の転動体を介して、剛性の素材からなるレール部に支持されたアクチュエータが考えられている(特願2011−264151号明細書)。このアクチュエータによれば、モータの回転に起因したトルクが、スライド部に加わっても、スライド部は、剛性の転動体を介して、剛性のレール部に支持されているため、モータの回転軸周りに動きにくくなる。このため、モータの回転に起因したトルクが、スライド部を介して、ロッドに伝わりにくく、ロッドの先端部の振れの発生を抑制することができる。
特開2002−130419号公報
しかしながら、このアクチュエータ(特願2011−264151号明細書に記載のアクチュエータ)を用いて、ロッドの先端をワークに押し付けた場合、押付け力に対する反力が、ロッドが固定されたスライド部やボールねじ軸を介して、ボールねじ軸を回転可能に支持するベアリングハウジングに伝わる。このため、ベアリングハウジングの下端近傍に固定されたベースに曲げモーメントが加わり、レール部や転動体が配置される溝部が撓むおそれがある。結果として、スライド部及びロッドが、安定して移動しにくくなるおそれがある。
本発明は、上述の事情の下になされたもので、安定した動作が可能なアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供する。
上述の目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動によって回転運動する回転軸部材と、
前記回転軸部材の回転運動に伴って、前記回転軸部材の軸方向に直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定されることで、前記スライド部とともに直線運動するロッドと、
前記回転軸部材を、回転可能に支持する第1支持部材と、
前記第1支持部材が固定され、前記軸方向に前記スライド部を移動可能に支持するレール部を有する第1ケース部材と、
前記スライド部を覆うように前記第1ケース部材に取り付けられるとともに、前記第1支持部材が固定される第2ケース部材と、
前記第1支持部材を、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第1固定手段と、
を有する。
前記第1固定手段は、ボルトから構成され、
前記第1支持部材には、前記第1固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれには、前記第1固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていてもよい。
前記アクチュエータは、
前記ロッドを、前記軸方向に移動可能に支持する第2支持部材と、
前記第2支持部材を、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第2固定手段と、
を有していてもよい。
前記第2固定手段は、ボルトから構成され、
前記第2支持部材には、前記第2固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材には、前記第2固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていてもよい。
前記スライド部には、前記軸方向に沿って溝部が形成され、
前記スライド部は、前記溝部と前記レール部との間を転動する複数の転動体を介して、前記第1ケース部材に支持されていてもよい。
前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の一方には、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の他方に突出する凸部が、前記軸方向に沿って形成され、
前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の他方には、前記凸部が係合する凹部が、前記軸方向に沿って形成され、
前記凸部が、前記凹部に係合することにより、前記第2ケース部材は、前記第1ケース部材に対して、軸方向に直角する方向に係止されていてもよい。
前記第1ケース部材の前記軸方向の一方の端面と、前記第2ケース部材の前記軸方向の一方の端面とは、面一に形成され、
前記第1ケース部材の前記軸方向の他方の端面と、前記第2ケース部材の前記軸方向の他方の端面とは、面一に形成されていてもよい。
前記回転軸部材は、ボールねじ軸から構成され、
前記スライド部は、前記ボールねじ軸の回転運動を直線運動に変換するボールねじナットを有していてもよい。
本発明の第2の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
前記アクチュエータの製造方法であって、
前記第1ケース部材と前記第2ケース部材とを挟み込むように保持する保持部材によって、前記第1ケース部材と前記第1ケース部材とを保持する保持工程と、
前記保持工程によって保持された前記第1ケース部材の一方の端面と、前記第2ケース部材の一方の端面とが、面一になるように、前記第1ケース部材の端面及び前記第2ケース部材の端面を削る第1切削工程と、
前記保持工程によって保持された前記第1ケース部材の他方の端面と、前記第2ケース部材の他方の端面とが、面一になるように、前記第1ケース部材の端面及び前記第2ケース部材の端面を削る第2切削工程と、
を含む。
本発明によれば、ロッドの先端をワークに押し付けた場合、この押付け力に対する反力が、回転軸部材及び第1支持部材等を介して、第1ケース部材だけでなく、第2ケース部材にも伝わる。これにより、第1ケース部材及び第2ケース部材には、曲げモーメントが加わりにくくなるため、第1ケース部材に形成されたレール部が撓みにくくなる。結果として、レール部に沿って移動するスライド部及びロッドの動作を、安定したものにできる。
本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。 アクチュエータの正面図である。 図2のA−A断面図である。 モータユニット等の分解斜視図である。 アクチュエータの分解斜視図である。 アクチュエータの分解断面図である。 ケース部材の斜視図(その1)である。 2つのケース部材を分解して示す正面図である。 2つのケース部材を相互に係止した状態を示す正面図である。 図8Bの矢印Cで示した部分の拡大図である。 図8Bの矢印Dで示した部分の拡大図である。 ケース部材の斜視図(その2)である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの製造方法において、ケース部材の端面を加工する工程を説明するための斜視図(その1)である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの製造方法において、ケース部材の端面を加工する工程を説明するための斜視図(その2)である。 スライド部、及び下側のケース部材を分解して示す図である。 スライド部、及び下側のケース部材等の断面図である。 図12のB−B断面図である。 スライド部、ボールねじナット、及びボールねじ軸等を分解して示す一部断面図である。 カップリング等を示す斜視図である。 アクチュエータの動作を説明するための断面図(その1)である。 アクチュエータの動作を説明するための断面図(その2)である。 アクチュエータの動作を説明するための断面図(その3)である。 アクチュエータの作用を説明するための模式図である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの上側のケース部材の取外し方法を説明するための斜視図である。 従来のアクチュエータの作用を説明するための比較例を示す模式図(その1)である。 従来のアクチュエータの作用を説明するための比較例を示す模式図(その2)である。 スライド部及びケース部材の変形例を示す図である。 ケース部材の変形例を示す図である。 図22Aの矢印Eで示した部分の拡大図である。 ケース部材の凸部の変形例を示す図(その1)である。 ケース部材の凸部の変形例を示す図(その2)である。 ケース部材の凸部の変形例を示す図(その3)である。
以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ10について説明する。なお、図中のXY平面は水平な面であり、図中のZ軸の方向は鉛直方向である。
アクチュエータ10は、図1に示すように、Y軸方向に往復運動するロッド11を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ10は、ロッド11と、モータユニット20と、ケース部材30、40と、フロントブラケット70(第2支持部材)と、リアブラケット80(第1支持部材)とを有している。
図2は、アクチュエータの正面図である。フロントブラケット70は、8本のボルト17によって、ケース部材30、40に固定されている。なお、8本のボルト17は、ロッド11の外周に沿って、ほぼ等間隔に取り付けられる。
図3は、図2のA−A断面図である。ロッド11は、図3に示すように、内部に孔が形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド11の−Y側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具12が捻じ込まれて固定されている。
モータユニット20は、図4に示すように、モータ21と、モータ21を収納するモータカバー22と、アクチュエータケーブル24とを有する。
モータ21は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸23(回転軸)、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ21には、アクチュエータケーブル24を介して電源からの電力が供給される。モータ21に電力が供給されることによって、モータ21のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸23に出力される。また、モータ21は、XZ平面に平行な方向に張り出すように形成されたフランジ部25を有している。このフランジ部25には、Y軸方向に貫通する貫通孔25aが4つ形成されている。貫通孔25aには、ボルトやねじ等の止め具が挿入される。この止め具により、モータ21は、リアブラケット80に固定される。また、出力軸23の先端には、カップリング26(継手部材)が取り付けられている。
モータカバー22は、略直方体のケースである。モータカバー22の−Y側の面には、開口が形成されている。この開口から、モータ21が収納される。また、アクチュエータケーブル24は、モータカバー22の上面(+Z側の面)から引き出されている。モータカバー22は、モータ21を覆いつつ、リアブラケット80に固定される。
アクチュエータ10は、図5及び図6に示すように、上述したロッド11、モータユニット20、ケース部材30、40等に加えて、ロッド11をY軸方向に案内するためのスライド部50と、モータユニット20の回転運動を直線運動に変換するボールねじ60と、フロントブラケット70及びリアブラケット80を固定するためのボルト17(第2固定手段)、ボルト18(第1固定手段)を有している。
ケース部材30は、図7に示すように、スライド部50をY軸方向に移動可能に支持する部材である。ケース部材30は、ケース部材30の本体部分と、後述するレール部38、39とを有する。ケース部材30の本体部分は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。また、ケース部材30の断面(XZ断面)は、略U字状に形成されている。ケース部材30は、底板部31と、底板部31の+X側及び−X側の端部から上方(+Z方向)に延びるように形成された側壁部32、33とを有する。
図8Aに示すように、側壁部32、33の内側の面(側壁部32の−X側の面、側壁部33の+X側の面)には、凹部32a、33aがそれぞれ形成されている。この凹部32a、33aには、Y軸方向を長手方向とする線状のレール部38、39が取り付けられている。レール部38、39は、例えば、鋼材からなる。レール部38の−X側の面及びレール部39の+X側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。なお、本実施形態では、レール部38、39は、ケース部材30を構成する一つの部品であり、ケース部材30の本体部分とは、別の部材として構成されているが、ケース部材30の本体部分に一体に形成されていてもよい。
側壁部32、33の上部の外側(側壁部32の上部の+X側、側壁部33の上部の−X側)には、切欠部32b、33bが形成されている。切欠部32bの内側(−X側)には、上方(+Z方向)に突出するように、突出部34が形成されている。同様に、切欠部33bの内側(+X側)には、上方(+Z方向)に突出するように、突出部35が形成されている。
突出部34、35の外面(突出部34の+X側の面、突出部35の−X側の面)には、凹部36、37がそれぞれ形成されている。凹部36、37は、Y軸方向に沿った線状に形成されている。凹部36、37の溝の内周面は、湾曲面に形成されている。
ケース部材40は、図5及び図6に示すように、スライド部50の上方を覆う部材であり、ケース部材30の上側(+Z側)に配置される。ケース部材40は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。また、ケース部材40の断面(XZ断面)は、略U字状に形成されている。ケース部材40は、天板部41と、天板部41の+X側の端部及び−X側の端部から下方(−Z方向)に延びるように形成された側壁部42、43とを有する。
図8Aに示すように、側壁部42、43の下部の内側(側壁部42の下部の−X側、側壁部43の下部の+X側)には、切欠部42b、43bが形成されている。切欠部42bの外側(+X側)には、下方(−Z方向)に突出するように、突出部44が形成される。同様に、切欠部43bの外側(−X側)には、下方(−Z方向)に突出するように、突出部45が形成される。なお、ケース部材40の側壁部42、43に形成された切欠部42b、43bのX軸方向の長さL1は、ケース部材30の突出部34、35の厚みL2(X軸方向の厚み)と同等である。また、ケース部材40の突出部44、45の厚みL3(X軸方向における厚み)は、ケース部材30の側壁部32、33に形成された切欠部32b、33bのX軸方向の長さL4と同等である。
突出部44、45の内側の面(突出部44の−X側の面、突出部45の+X側の面)には、凸部46、47がそれぞれ形成されている。凸部46、47は、Y軸方向に沿った線状に形成されている。また、凸部46と凸部47とは、対向するように形成されている。また、凸部46、47は、その断面が、略半円形状に形成され、ケース部材30の凹部36、37に係合する形状となっている。
ケース部材30、40は、図7に示すように、長手方向(Y軸方向)のそれぞれの長さが同等となるように形成されている。ケース部材30、40の−Y側の端面は、XZ平面に平行な平面に構成されている。ケース部材30の−Y側の端面には、4つのねじ穴30aが形成されている。詳しくは、ねじ穴30aは、ケース部材30の底板部31に2つ形成され、側壁部32、33にそれぞれ1つずつ形成されている。ケース部材40の−Y側の端面にも、4つのねじ穴40aが形成されている。詳しくは、ねじ穴40aは、ケース部材40の天板部41に2つ形成され、側壁部42、43にそれぞれ1つずつ形成されている。ねじ穴30a、40aには、フロントブラケット70を固定するためのボルト17が挿入される(図5参照)。
また、図9に示すように、ケース部材30、40の+Y側の端面も、XZ平面に平行な平面に構成されている。ケース部材30の+Y側の端面には、4つのねじ穴30bが形成されている。ねじ穴30bは、ケース部材30の底板部31に2つ形成され、側壁部32、33にそれぞれ1つずつ形成されている。ケース部材40の+Y側の端面にも、4つのねじ穴40bが形成されている。ねじ穴40bは、ケース部材40の天板部41に2つ形成され、側壁部42、43にそれぞれ1つずつ形成されている。ねじ穴30b、40bには、リアブラケット80を固定するためのボルト18が挿入される(図5参照)。
上述のように構成されたケース部材40は、ケース部材30に対して、Y軸方向にスライドさせることで、ケース部材30に嵌め込まれる。そうすると、図8B、図8C、及び図8Dに示すように、ケース部材30の側壁部32、33に形成された切欠部32b、33bに、ケース部材40の突出部44、45が嵌り込む。同時に、ケース部材40の側壁部42、43に形成された切欠部42b、43bに、ケース部材30の突出部34、35が嵌り込む。これにより、ケース部材40は、ケース部材30に対して、X軸方向に係止される。また、このとき、ケース部材40の突出部44、45に形成された凸部46、47が、ケース部材30の突出部34、35に形成された凹部36、37に嵌り込んで係合する。凸部46、47は、凹部36、37に対して、X軸方向に嵌り込むため、これにより、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Z軸方向に係止される。以上により、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向に係止される。すなわち、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Y軸方向にスライドさせる以外は、ケース部材30から外せなくなる。
以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ10の製造方法におけるケース部材30、40の端面を加工する工程を、図10A及び図10Bを参照して説明する。
先ず、アルミニウムを押出成形するなどして、ケース部材30及びケース部材40を用意する。このケース部材30は、すでに、凹部36、37や、ねじ穴30a、30bが形成されているとともに、凹部36、37には、レール部38、39が取り付けられているものである。同様に、ケース部材40も、すでに、ねじ穴40a、40bが形成されているものである。
続いて、ケース部材40を、Y軸方向にスライドさせることで、ケース部材30に嵌め込む。これにより、ケース部材40を、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向に係止する。
続いて、図10Aに示すように、2つの治具98、99(保持部材)を用いて、ケース部材30とケース部材40とを挟み込むように、ケース部材30及びケース部材40を保持する。このとき、ケース部材40は、ケース部材30に係止されているため、治具98、99を装着しやすくなる。
続いて、図10Bに示すように、切削部材97を用いて、ケース部材30、40の−Y側の端面を削る。例えば、切削部材97を回転させつつ、ケース部材30、40の−Y側の端面に沿って、+X方向に移動させる。切削部材97には、例えば、エンドミルが用いられる。これにより、ケース部材30の−Y側の端面及びケース部材40の−Y側の端面は、面一になるように形成される。
同様に、切削部材97を用いて、ケース部材30、40の+Y側の端面を削る。これにより、ケース部材30の+Y側の端面及びケース部材40の+Y側の端面は、面一になるように形成される。また、ケース部材30、40の+Y側及び−Y側の両端面が、面一になるように形成されることで、ケース部材30、40の長手方向(Y軸方向)の長さが同等になる。
図5及び図6に戻り、スライド部50は、ロッド11が固定されることにより、ロッド11とともに+Y方向及び−Y方向の双方向に移動する部材である。スライド部50は、図11に示すように、複数の転動体59を有しており、この転動体59によって、ケース部材30に支持されている。この転動体59は、剛性の素材からなり、例えば、鋼材からなる。転動体59は、スライド部50とケース部材30との間に複数配置されている。
図12及び図13に示すように、スライド部50の下端(−Z側の端部)近傍の+X側の面及び−X側の面には、Y軸方向に沿って凹部51、52がそれぞれ形成されている。凹部51、52は、Y方向に沿って形成されている。この凹部51、52には、Y軸方向を長手方向とするレール部53、54が取り付けられている。レール部53の+X側の面及びレール部54の−X側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。レール部53、54のそれぞれの溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。なお、本実施形態では、レール部53、54は、スライド部50を構成する一つの部品であり、スライド部50の本体部分とは、別の部材として構成されているが、スライド部50の本体部分に一体に形成されていてもよい。
スライド部50には、図6に示すように、Y軸方向に貫通する貫通孔55が形成されている。貫通孔55の−Y側からは、ロッド11が挿入されて固定される。貫通孔55の+Y側からは、後述するボールねじナット62が挿入されて固定される。また、スライド部50には、図12及び図13に示すように、貫通孔55の内径よりも小さい内径に形成された一対の貫通孔56、57が形成されている。貫通孔56、57は、その内径が、転動体59の直径よりも僅かに大きく形成されており、転動体59が通過する循環路として用いられる。
また、スライド部50には、図11及び図13に示すように、貫通孔56、57の開口を覆うように、4つのリターンキャップ58が、取り付けられている。リターンキャップ58は、例えば、2本のねじによって固定されている。このリターンキャップ58の内部には、転動体59が、循環する循環路が形成されている。リターンキャップ58に形成された循環路は、略U字状に形成された通路から構成される。
上述のように構成されたスライド部50は、図11に示すように、複数の転動体59を介して、ケース部材30に取り付けられる。スライド部50が取り付けられると、図13に示すように、転動体59は、ケース部材30に取り付けられたレール部38、39と、スライド部50に取り付けられたレール部53、54との間に挟まれる。レール部38、39とレール部53、54との間で、転動体59が転動することにより、スライド部50は、ケース部材30に支持されつつ、+Y方向及び−Y方向の双方向に円滑に移動する。
ボールねじ60は、図6に示すように、ボールねじ軸61(回転軸部材)と、ボールねじナット62とを有する。ボールねじ60は、ボールねじ軸61の回転運動を、ボールねじナット62の直線運動に変換する部材である。
ボールねじ軸61は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体61aと、ボールねじ軸本体61aの+Y側の端部に形成された小径部61bとから構成される。ボールねじ軸61の小径部61bには、ベアリングユニット90とカップリング64(継手部材)が取り付けられる。
ボールねじナット62は、図14に示すように、ボールねじ軸61のボールねじ軸本体61aの外周に配置されている。このボールねじナット62は、ボールねじ軸61に複数の転動体63を介して嵌め込まれる。この転動体63が転動することにより、ボールねじ軸61の回転運動が、ボールねじナット62の直線運動に円滑に変換される。また、ボールねじナット62は、スライド部50に形成された貫通孔55の+Y側からは、挿入されて、ボルト等により固定される。
カップリング64は、図15に示すように、ボールねじ軸61の小径部61bに取り付けられている。詳しくは、小径部61bの外周面は、雄ねじが形成されており、カップリング64は、小径部61bに捻じ込まれる。カップリング64は、モータユニット20の出力軸23の先端に取り付けられたカップリング26に嵌合する形状に形成されている。カップリング64とカップリング26とが嵌合することにより、ボールねじ軸61は、出力軸23とともに回転する。これにより、出力軸23の回転運動がボールねじ軸61に伝達される。
フロントブラケット70(第2支持部材)は、図5に示すように、ケース部材30、40の−Y側に固定される部材である。フロントブラケット70には、図6に示すように、ロッド11を通すための貫通孔71が形成されており、この貫通孔71の内周面には、オイルレスベアリング72が配置されている。オイルレスベアリング72は、ロッド11をY軸方向に移動可能に支持する。また、フロントブラケット70には、Y軸方向に貫通する貫通孔73が形成されている。貫通孔73は、図5に示すように、貫通孔71の外周に沿って、8箇所、形成されている。この貫通孔73には、フロントブラケット70を、ケース部材30、40に固定するためのボルト17が挿入される。貫通孔73に挿入されたボルト17は、ケース部材30、40のねじ穴30a、40aに捻じ込まれる。これにより、フロントブラケット70は、+Y方向に押し付けられるように、ケース部材30、40に固定される。
リアブラケット80(第1支持部材)は、図5に示すように、ケース部材30、40の+Y側に固定される部材である。リアブラケット80は、ブラケット本体80Aと、ボールねじ軸61を回転可能に支持するベアリングユニット90とを有する。
ブラケット本体80Aには、図6に示すように、ボールねじ軸61を通すための貫通孔81が形成されている。また、ブラケット本体80Aの−Y側には、ベアリングユニット90が固定される。ベアリングユニット90は、例えば、ボルトによって、ブラケット本体80Aに固定される。また、ブラケット本体80Aには、Y軸方向に貫通する貫通孔83が形成されている。貫通孔83は、図5に示すように、貫通孔81の外周に沿って、8箇所、形成されている。この貫通孔83には、リアブラケット80を、ケース部材30、40に固定するための8本のボルト18が挿入される。貫通孔83に挿入されたボルト18は、ケース部材30、40のねじ穴30b、40bに捻じ込まれる。これにより、リアブラケット80は、−Y方向に押し付けられるように、ケース部材30、40に固定される。
ベアリングユニット90は、例えば、ベアリング91と、ベアリングハウジングと、ベアリング押え部とを有する。このベアリングユニット90は、ボールねじ軸61を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、ベアリング91が配置されている。ベアリング91は、例えば、円錐ころ軸受から構成される。ベアリング91は、貫通孔の−Y側から嵌め込まれ、ベアリング押え部によって押さえ込まれている。そして、ベアリング押え部は、ボルトによって、ベアリングハウジングに固定されている。ベアリング91によって、ボールねじ軸61は回転可能に支持される。
上述のように構成されたアクチュエータ10の動作について、図16A〜図16Cを用いて説明する。
先ず、モータユニット20のモータ21に電源が供給されることによって、図16Aに示すように、モータ21の出力軸23が所定の方向に回転(正転)する。出力軸23が所定の方向に回転すると、出力軸23に接続されているボールねじ軸61が、出力軸23とともに回転(正転)する。
ボールねじ軸61が回転すると、図16Bに示すように、ボールねじ軸61の回転運動に伴って、ボールねじナット62が、例えば、−Y方向に直線運動をする。ボールねじナット62が、−Y方向に移動すると、ボールねじナット62に固定されているスライド部50も、ボールねじナット62とともに−Y方向に移動をする。
このとき、図13を参照するとわかるように、ケース部材30のレール部38、39と、スライド部50のレール部53、54との間の転動体59が転がり接触しながら転動する。転動体59が、レール部38、39とレール部53、54と間を転がり接触しながら転動することにより、スライド部50は、円滑に−Y方向に移動する。
スライド部50が−Y方向に移動をすると、図16Bに示すように、スライド部50に固定されているロッド11も、スライド部50とともに−Y方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12が−Y方向に移動する。このとき、ロッド11の先端側に、ワークWが配置されている場合は、ロッド11(詳しくは、ロッド11の先端金具12)がワークWを押し付ける。
このとき、図17に示すように、ロッド11がワークWを押し付ける押付け力P1に対する反力P2が、スライド部50、ボールねじ60を介して、リアブラケット80に伝達される。リアブラケット80は、ボルト18によって、ケース部材30及びケース部材40それぞれに、Y軸方向に固定されている。このため、反力P2は、矢印P3に示されるように、ケース部材30だけでなく、ケース部材40にも伝わる。
以上により、ロッド11及び先端金具12の−Y方向への移動が完了する。
次に、モータユニット20の出力軸23が所定の方向とは逆方向に回転(逆転)すると、図16Cに示すように、出力軸23に接続されているボールねじ軸61も、出力軸23とともに逆方向に回転(逆転)する。
ボールねじ軸61が回転すると、ボールねじ軸61の回転運動に伴って、ボールねじナット62が、+Y方向に直線運動をする。ボールねじナット62が、+Y方向に移動すると、ボールねじナット62に固定されているスライド部50も、ボールねじナット62とともに+Y方向に移動をする。
このときも、図13を参照するとわかるように、ケース部材30のレール部38、39と、スライド部50のレール部53、54との間の転動体59が転がり接触しながら転動する。転動体59が、レール部38、39とレール部53、54と間を転がり接触しながら転動することにより、スライド部50は、円滑に+Y方向に移動する。
スライド部50が+Y方向に移動をすると、図16Cに示すように、スライド部50に固定されているロッド11も、スライド部50とともに+Y方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12が+Y方向に移動し、ロッド11(詳しくは、ロッド11の先端金具12)がワークWから離間する。
以上により、ロッド11及び先端金具12の+Y方向への移動が完了し、ロッド11及び先端金具12は、初期位置まで戻る。
上述のように構成されたアクチュエータ10において、スライド部50の転動体59や、ボールねじ60の転動体63にグリスを注入するなどの保守作業を行う場合には、以下のように行われる。
先ず、図1に示すアクチュエータ10から、モータユニット20を取り外すとともに、全てのボルト17を取り外して、フロントブラケット70を取り外す。続いて、図18に示すように、8本のボルト18のうち、リアブラケット80をケース部材40に固定する4本のボルト18(+Z側の4本のボルト18)を取り外す。続いて、ケース部材40を−Y方向にスライド移動させて、ケース部材40を取り外す。この状態で、グリス注入作業などの保守作業を行う。保守作業が終了したら、再び、ケース部材40を+Y方向にスライド移動させて、ケース部材40を取り付ける。そして、ボルト17によって、フロントブラケット70を取り付ける。以上により、保守作業は、完了する。
以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ10によれば、リアブラケット80は、ボルト18によって、ケース部材30、40それぞれに対して、−Y方向に押し付けられるように固定されている。このため、ロッド11の先端をワークWに押し付けた場合、図17に示すように、押付け力P1に対する反力P2が、ボールねじ60やリアブラケット80を介して、ケース部材30だけでなく、ケース部材40にも伝わる。これにより、ケース部材30、40に、曲げモーメントが加わりにくくなるため、ケース部材30に形成されたレール部38、39が撓みにくくなる。
図19は、従来のアクチュエータ10Aの作用を説明するための断面図である。図19に示すように、従来のアクチュエータ10Aにおいては、リアブラケット80は、ボルト18によって、スライド部50を移動可能に支持するベース130に固定されている。そして、カバー140が、フロントブラケット70及びリアブラケット80に、上側(+Z側)から取り付けられる。カバー140は、ボルト141を−Z方向に挿入することにより固定される。このアクチュエータ10Aの場合、ロッド11の先端をワークWに押し付けると、押付け力P1に対する反力P2が、スライド部50やボールねじ60を介して、リアブラケット80に伝わる。そうすると、リアブラケット80とベース130との固定部分(ボルト18)を中心に曲げモーメントMが加わり、ベース130に形成されたレール部や溝部が撓むおそれがある。結果として、スライド部50及びロッド11が、安定して移動しにくくなるおそれがある。
これに対して、本実施形態に係るアクチュエータ10では、図17に示すように、押付け力P1に対する反力P2が、ケース部材30だけでなく、ケース部材40にも伝わるため、ケース部材30、40に曲げモーメントMが加わりにくくなる。このため、ケース部材30のレール部38、39が撓みにくくなり、結果として、レール部38、39に沿って移動するスライド部50及びロッド11の動作を、安定したものにできる。
また、本実施形態では、フロントブラケット70についても、ボルト17によって、ケース部材30、40それぞれに対して、+Y方向に押し付けられるように固定されている。このため、押付け力P1に対する反力P2が、ケース部材30だけでなく、ケース部材40にも、伝わりやすくなる。したがって、ケース部材30、40に曲げモーメントMが加わりにくくなる。これにより、ケース部材30のレール部38、39がより撓みにくくなり、結果として、レール部38、39に沿って移動するスライド部50及びロッド11の動作を、より安定したものにできる。
また、本実施形態では、フロントブラケット70を固定するためのボルト17は、Y軸方向に沿って取り付けられている。同様に、リアブラケット80を固定するためのボルト18も、Y軸方向に沿って取り付けられている。すなわち、ボルト17、18は、ケース部材30のレール部38、39に平行に取り付けられている。このため、ボルト17、18の締結に伴って生じる締結力に起因して、レール部38、39の撓みを抑制することができる。例えば、ボルトを、ケース部材30、40に上方(+Z方向)や下方(−Z方向)から取り付けた場合は、このボルトを締結したときに生じる締結力によって、ケース部材30、40が歪み、結果的に、ケース部材30のレール部38、39が撓むおそれがある。しかしながら、本実施形態においては、ボルト17、18は、ケース部材30のレール部38、39に平行に取り付けられているため、ボルト17、18をケース部材30、40に締結しても、レール部38、39が撓みにくくなる。結果として、レール部38、39に沿って移動するスライド部50及びロッド11の動作を、安定したものにできる。
また、本実施形態では、ケース部材30の凹部36、37への、ケース部材40の凸部46、47の係合等により、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向(例えば、Z軸方向やX軸方向)に係止されている。このため、押付け力P1に対して生じる反力P2等に起因して、ケース部材30のレール部38、39の撓みを抑制することができる。
例えば、図20に示すように、ケース部材30の凹部36、37やケース部材40の凸部46、47が形成されておらず、ケース部材40が、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向に係止されていないケース部材30、40について考える。この場合、アクチュエータ10Bが行う作業内容によっては、ケース部材30及びケース部材40それぞれが撓み、ケース部材30とケース部材40との間(ケース部材30とケース部材40との合わせ面)に隙間Sが生じるおそれがある。すると、アクチュエータ10Bの作業によって生じる振動により、ケース部材30、40の合わせ面が接触するなどして、異音が発生するおそれがある。この異音は、ケース部材30、40の長手方向(Y軸方向)の長さが長いほど、発生しやすくなる。また、ケース部材30が撓むため、ケース部材30のレール部や溝部が撓み、結果として、ロッド11が、安定して移動しにくくなるおそれがある。
しかしながら、本実施形態では、ケース部材30の凹部36、37への、ケース部材40の凸部46、47の係合等により、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Z軸方向に係止されているため、ケース部材30とケース部材40との間に隙間Sが生じることもなく、ケース部材30、40の合わせ面が接触するなどの異音が発生することもない。また、ケース部材30のレール部38、39が撓みにくくなり、結果として、レール部38、39に沿って移動するスライド部50及びロッド11の動作を安定したものにできる。
また、ケース部材40を、ケース部材30に固定するための特別な固定手段を不要とすることができる。例えば、ボルトやねじ等で、ケース部材40を、ケース部材30に固定する必要がないため、ボルトやねじ等を不要にできるとともに、ケース部材30、40にねじ穴を形成するための加工を施す必要もない。結果として、アクチュエータ10の製造コストを抑えることができる。
また、本実施形態では、図10A及び図10Bを参照するとわかるように、ケース部材30の凹部36、37とケース部材40の凸部46、47との係合により、ケース部材40は、ケース部材30に係止されているため、治具98、99を、ケース部材30、40に容易に装着できる。これにより、ケース部材30、40の端面の切削加工が行いやすくなる。したがって、ケース部材30、40の+Y側及び−Y側の両端面を、容易に面一に形成することができる。
また、本実施形態では、ケース部材30、40の+Y側及び−Y側の両端面は、面一に形成されているため、ケース部材30、40に、フロントブラケット70、リアブラケット80を、隙間なく取り付けることができる。例えば、ケース部材30、40の両端面は、面一に形成されていない場合は、フロントブラケット70、リアブラケット80が、Z軸方向に対して斜めに取り付けられてしまう。この場合、ロッド11の軸芯調整が困難になる。これに対して、本実施形態では、ケース部材30、40の両端面は、面一に形成されているため、フロントブラケット70、リアブラケット80を、隙間なく取り付けることができ、ロッド11の軸芯調整も容易になる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。
例えば、本実施形態においては、図12に示すように、スライド部50は、ケース部材30の側壁部32と側壁部33との間に嵌め込まれるように、ケース部材30に取り付けられる。しかしながら、これに限らず、図21に示すように、ケース部材30の底板部31に形成された突出部101が、スライド部50の突出部102と突出部103との間に嵌め込まれることで、スライド部50は、ケース部材30に取り付けられていてもよい。
また、本実施形態においては、図5に示すように、リアブラケット80を取り付けるためのボルト18は、8本である。しかしながら、これに限られず、7本以下であってもよいし、9本以上であってもよい。ただし、押付け力P1に対する反力P2が、できるだけ同じようにケース部材30、40に伝わるように、ケース部材30に取り付けられるボルト18の本数(本実施形態においては、4本)と、ケース部材40に取り付けられるボルト18の本数(本実施形態においては、4本)とは、同じ本数であることが好ましい。
同様に、本実施形態においては、図5に示すように、フロントブラケット70を取り付けるためのボルト17は、8本である。しかしながら、これに限られず、7本以下であってもよいし、9本以上であってもよい。ただし、押付け力P1に対する反力P2が、できるだけ同じようにケース部材30、40に伝わるように、ケース部材30に取り付けられるボルト17の本数(本実施形態においては、4本)と、ケース部材40に取り付けられるボルト17の本数(本実施形態においては、4本)とは、同じ本数であることが好ましい。
また、本実施形態においては、図8B、図8C、及び図8Dに示すように、ケース部材30の側壁部32、33に形成された切欠部32b、33bに、ケース部材40の側壁部42、43に形成された突出部44、45が嵌り込む。そして、ケース部材30の凹部36、37に、ケース部材40の凸部46、47が係合する。これにより、ケース部材40は、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向に係止されている。しかしながら、これに限らず、ケース部材40が、ケース部材30に対して、Y軸方向に直角する方向に係止される構造であれば、これ以外の構造であってもよい。
例えば、本実施形態においては、ケース部材30の側壁部32、33の上部の外側には、切欠部32b、33bが形成されている。一方、ケース部材40の側壁部42、43の下部の内側には、切欠部42b、43bが形成されている。しかしながら、これとは逆に、図22A及び図22Bに示すように、側壁部32、33の上部の内側(側壁部32の上部の−X側、側壁部33の上部の+X側)に、切欠部32b、33bが形成されていてもよいし、側壁部42、43の下部の外側(側壁部42の下部の+X側、側壁部43の下部の−X側)に、切欠部42b、43bが形成されていてもよい。
また、本実施形態においては、ケース部材30には、凹部36、37が形成されている。一方、ケース部材40には、凸部46、47が形成されている。しかしながら、これとは逆に、ケース部材30側に、凸部が形成されていてもよいし、ケース部材40側に、凹部が形成されていてもよい。
また、本実施形態においては、図8Cに示すように、凸部47は、その断面が、略半円形状となるように形成されているが、これに限られない。例えば、断面が、図23Aに示すように、四角形状となるように形成されてもよいし、図23Bに示すように、三角形状となるように形成されてもよい。また、図23Cに示すように、上方に突出する略T字形状に形成されていてもよい。また、これ以外の形状であってもよい。
また、本実施形態においては、フロントブラケット70及びリアブラケット80を、ケース部材30、40に固定するために、ボルト17、18が用いられている。しかしながら、これに限らず、止めねじ等であってもよい。
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
10、10A、10B アクチュエータ
11 ロッド
12 先端金具
17 ボルト(第2固定手段)
18 ボルト(第1固定手段)
20 モータユニット
21 モータ
22 モータカバー
22a 開口
23 出力軸(回転軸)
24 アクチュエータケーブル
25 フランジ部
26 カップリング
30 ケース部材(第1ケース部材)
30a、30b ねじ穴
31 底板部
32、33 側壁部
32a、33a 凹部
32b、33b 切欠部
34、35 突出部
36、37 凹部
38、39 レール部
40 ケース部材(第2ケース部材)
40a、40b ねじ穴
41 天板部
42、43 側壁部
42b、43b 切欠部
44、45 突出部
46、47 凸部
50 スライド部
51、52 凹部
53、54 レール部
55、56、57 貫通孔
58 リターンキャップ
59 転動体
60 ボールねじ
61 ボールねじ軸
61a ボールねじ軸本体
61b 小径部
62 ボールねじナット
63 転動体
64 カップリング
70 フロントブラケット(第2支持部材)
71 貫通孔
72 オイルレスベアリング
73 貫通孔
80 リアブラケット(第1支持部材)
80A ブラケット本体
81、83 貫通孔
90 ベアリングユニット
91 ベアリング
97 切削部材
98、99 治具
101、102、103 突出部
130 ベース
140 カバー
141 ボルト
L1、L4 長さ
L2、L3 厚み
P1 押付け力
P2 反力
M 曲げモーメント
W ワーク
S 隙間

Claims (9)

  1. モータの回転軸の回転運動によって回転運動する回転軸部材と、
    前記回転軸部材の回転運動に伴って、前記回転軸部材の軸方向に直線運動するスライド部と、
    前記スライド部に固定されることで、前記スライド部とともに直線運動するロッドと、
    前記回転軸部材を、回転可能に支持する第1支持部材と、
    前記第1支持部材が固定され、前記軸方向に前記スライド部を移動可能に支持するレール部を有する第1ケース部材と、
    前記スライド部を覆うように前記第1ケース部材に取り付けられるとともに、前記第1支持部材が固定される第2ケース部材と、
    前記第1支持部材を、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第1固定手段と、
    を有することを特徴とするアクチュエータ。
  2. 前記第1固定手段は、ボルトから構成され、
    前記第1支持部材には、前記第1固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
    前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれには、前記第1固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
  3. 前記ロッドを、前記軸方向に移動可能に支持する第2支持部材と、
    前記第2支持部材を、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第2固定手段と、
    を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
  4. 前記第2固定手段は、ボルトから構成され、
    前記第2支持部材には、前記第2固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
    前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材には、前記第2固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。
  5. 前記スライド部には、前記軸方向に沿って溝部が形成され、
    前記スライド部は、前記溝部と前記レール部との間を転動する複数の転動体を介して、前記第1ケース部材に支持されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  6. 前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の一方には、前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の他方に突出する凸部が、前記軸方向に沿って形成され、
    前記第1ケース部材及び前記第2ケース部材の他方には、前記凸部が係合する凹部が、前記軸方向に沿って形成され、
    前記凸部が、前記凹部に係合することにより、前記第2ケース部材は、前記第1ケース部材に対して、前記軸方向に直角する方向に係止されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  7. 前記第1ケース部材の前記軸方向の一方の端面と、前記第2ケース部材の前記軸方向の一方の端面とは、面一に形成され、
    前記第1ケース部材の前記軸方向の他方の端面と、前記第2ケース部材の前記軸方向の他方の端面とは、面一に形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  8. 前記回転軸部材は、ボールねじ軸から構成され、
    前記スライド部は、前記ボールねじ軸の回転運動を直線運動に変換するボールねじナットを有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
  9. 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
    前記第1ケース部材と前記第2ケース部材とを挟み込むように保持する保持部材によって、前記第1ケース部材と前記第2ケース部材とを保持する保持工程と、
    前記保持工程によって保持された前記第1ケース部材の一方の端面と、前記第2ケース部材の一方の端面とが、面一になるように、前記第1ケース部材の端面及び前記第2ケース部材の端面を削る第1切削工程と、
    前記保持工程によって保持された前記第1ケース部材の他方の端面と、前記第2ケース部材の他方の端面とが、面一になるように、前記第1ケース部材の端面及び前記第2ケース部材の端面を削る第2切削工程と、
    を含むことを特徴とするアクチュエータの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016084659A1 (ja) * 2014-11-25 2016-06-02 日本精工株式会社 電動式パワーステアリング装置用ハウジング
JP2018133938A (ja) * 2017-02-16 2018-08-23 株式会社アイエイアイ モータカバとアクチュエータ
CN113531074A (zh) * 2021-06-29 2021-10-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种位移促动器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63193637U (ja) * 1987-05-29 1988-12-13
JPH0665617U (ja) * 1993-02-25 1994-09-16 日本トムソン株式会社 直動転がり案内ユニット
JPH1030705A (ja) * 1996-07-17 1998-02-03 Tsubakimoto Chain Co クリーンルーム用直線作動機
JPH1151144A (ja) * 1997-08-05 1999-02-23 Smc Corp アクチュエータ
JP2010133438A (ja) * 2008-12-02 2010-06-17 Iai:Kk 電動アクチュエータと電動アクチュエータ組立方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63193637U (ja) * 1987-05-29 1988-12-13
JPH0665617U (ja) * 1993-02-25 1994-09-16 日本トムソン株式会社 直動転がり案内ユニット
JPH1030705A (ja) * 1996-07-17 1998-02-03 Tsubakimoto Chain Co クリーンルーム用直線作動機
JPH1151144A (ja) * 1997-08-05 1999-02-23 Smc Corp アクチュエータ
JP2010133438A (ja) * 2008-12-02 2010-06-17 Iai:Kk 電動アクチュエータと電動アクチュエータ組立方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016084659A1 (ja) * 2014-11-25 2016-06-02 日本精工株式会社 電動式パワーステアリング装置用ハウジング
JPWO2016084659A1 (ja) * 2014-11-25 2017-04-27 日本精工株式会社 電動式パワーステアリング装置用ハウジング
JP2018133938A (ja) * 2017-02-16 2018-08-23 株式会社アイエイアイ モータカバとアクチュエータ
CN113531074A (zh) * 2021-06-29 2021-10-22 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种位移促动器
CN113531074B (zh) * 2021-06-29 2023-03-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种位移促动器

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