JP2014027258A - ロードポート装置及びefemシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポート装置において画定される微小空間の開口部の外に配置されてポッドと開口部とを整列させるように該ポッドが載置される載置台と、微小空間の内部の所定領域にて酸素濃度を測定する酸素濃度計と、該所定領域に不活性ガスを供給するガスパージノズルと、自動搬送系におけるポッドの位置情報を得るポッド位置検出手段と、ポッド位置検出手段が得た位置情報に基づいて、不活性ガスの供給量を制御する制御手段と、をロードポート装置に配する。
【選択図】図1
Description
表1 制御モード例
表2 制御モード例
Claims (8)
- 微小空間を構成する筐体と前記筐体が有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容されるポッドの蓋を前記ドアが保持して前記ポッドの蓋を開閉することにより前記ポッドに対する前記被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記開口部の外に配置されて前記ポッドを載置可能であって前記ポッドと前記開口部とを整列させる載置台と、
前記微小空間の内部の所定領域にて酸素濃度を測定する酸素濃度計と、
前記所定領域に不活性ガスを供給するガスパージノズルと、
前記ポッドの位置情報を得るポッド位置検出手段と、
前記ポッド位置検出手段が得た前記位置情報に基づいて、前記不活性ガスの供給量を制御する制御手段と、を有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記制御装置は、複数の酸素濃度閾値を記憶する記憶手段と、前記ポッドの位置に応じて前記複数の酸素濃度閾値からある閾値を選択する選択する選択手段と、選択された前記閾値と前記酸素濃度計が測定した前記酸素濃度とを比較する比較手段と、を有し、
前記比較手段により前記閾値よりも前記酸素濃度が高いと判断された場合に前記不活性ガスの供給を開始させることを特徴とする請求項1に記載にロードポート装置。 - 前記選択手段は、前記位置情報に基づいて前記閾値の選択を行うことを特徴とする請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記位置情報は搬送状態にある前記ポッドが前記載置台に載置されるまでの時間情報を含むことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のロードポート装置。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載のロードポート装置、及び前記収容物に対して処理を行う処理室に対して収容物を搬送する搬送機構が内部に配置される前記微小空間と、を有するEFEMシステムであって、
前記微小空間内に所定のガスを供給すると共に供給量を変化可能なガス供給系と、
前記ポッドの前記ロードポートへの載置及び前記蓋の取り付け取り外しに関するポッド状態情報を検出するポッド状態検出手段と、を有し、
前記制御手段は、前記ガスパージノズルから前記不活性ガスを供給するパージモードを複数有するとともに、前記ガス供給系から前記不活性ガスを供給するガス供給モードを複数有し、
前記ポッド位置検出手段が得た前記位置情報、前記ポッド状態検出手段が検出したポッド状態情報、及び前記酸素濃度計が検出した酸素濃度に少なくとも一つの情報応じて、前記パージモード及び前記ガス供給モードの各々について少なくとも一つのモードを選択し実行させることを特徴とするEFEMシステム。 - 前記制御手段は、前記ポッド状態検出手段が前記ポッドから前記蓋を取り外したことを意味するポッド状態情報を検出したことに応じて、前記パージモードにおける前記不活性ガスを供給するモードを実行させることを特徴とする請求項5に記載のEFEMシステム。
- 前記制御手段は、前記ポッド状態検出手段が前記ポッドから前記蓋を取り外したことを意味するポッド状態情報を検出したことに応じて、前記ガス供給モードにおける前記不活性ガスの供給量を増加させたモードを実行させることを特徴とする請求項5又は6に記載のEFEMシステム。
- 前記不活性ガスが窒素であることを特徴とする請求項5乃至7の何れか一項に記載のEFEMシステム。
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