JP2014021094A - 物理量検出器の製造方法および物理量検出器、並びに電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量検出器の製造方法は、基部10に片持ち支持され物理量検出素子40を備える継ぎ手部12および可動部13と、質量部50,52,54,56と、を用意する準備ステップと、質量部50,52,54,56それぞれの固定位置を示すクロム(Cr)蒸着膜62aを、可動部13に形成するマーキングステップと、可動部13の側面13c,13dと質量部50,52,54,56それぞれの縁辺とを位置合わせし、クロム(Cr)蒸着膜62aに対して質量部50,52,54,56それぞれを所定位置に配置する位置決めステップと、熱硬化型接着剤62bを介して、クロム(Cr)蒸着膜62aの位置に質量部50,52,54,56を固定する固定ステップと、を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
(実施形態1)
(物理量検出器の製造方法)
(実施形態2)
(実施形態3)
(物理量検出デバイス)
(電子機器)
(移動体)
Claims (8)
- 物理量検出素子を備え片持ち支持されるカンチレバーと、物理量の検出感度を高めるための錘と、を用意する準備ステップと、
前記カンチレバーにおける前記錘の固定位置を示すマークを、前記カンチレバーに形成するマーキングステップと、
前記カンチレバーを含む縁辺と前記錘の縁辺とを位置合わせし、前記マークに対して前記錘を所定位置に配置する位置決めステップと、
接合部材を介して、前記マークの位置に前記錘を固定する固定ステップと、を含むことを特徴とする物理量検出器の製造方法。 - 請求項1に記載の物理量検出器の製造方法であって、
前記マーキングステップでは、前記マークが前記カンチレバーの面に形成された金属膜であることを特徴とする物理量検出器の製造方法。 - 請求項2に記載の物理量検出器の製造方法であって、
前記固定ステップでは、前記接合部材が前記錘の前記カンチレバーに対向する面に予め付与されたハンダを含む構成であることを特徴とする物理量検出器の製造方法。 - 物理量検出素子を備え片持ち支持されるカンチレバーと、
前記カンチレバーに固定され物理量の検出感度を高めるための錘と、
前記カンチレバーに設けられ前記カンチレバーにおける前記錘の固定位置を示すマークと、
前記カンチレバーを含む縁辺と前記錘の縁辺との位置が平面視で合っており、前記マークに対して所定位置に前記錘を固定している接合部材と、を備えていることを特徴とする物理量検出器。 - 請求項4に記載の物理量検出器であって、
前記マークが前記カンチレバーの面に形成された金属膜であることを特徴とする物理量検出器。 - 請求項5に記載の物理量検出器であって、
前記接合部材が前記錘の前記カンチレバーに対向する面に予め付与されたハンダを含む構成である、ことを特徴とする物理量検出器。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の製造方法により製造された物理量検出器を搭載していることを特徴とする電子機器。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の製造方法により製造された物理量検出器を搭載していることを特徴とする移動体。
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