JP2014021094A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基部と前記基部に片持ち支持される可動部と前記基部から延出している枠部と前記基部と前記可動部とに固定されている物理量検出素子とを備える基板部と、錘と、を用意する準備ステップと、
   前記可動部に前記錘の固定位置を示すマークを形成するマーキングステップと、
   前記マークを含む所定領域に接着剤を塗布する塗布ステップと、
   前記基板部の縁辺と前記錘の縁辺とを位置合わせし、前記マークに対して前記錘を所定位置に配置する位置決めステップと、
   前記接着剤を硬化させて、前記マークの位置に前記錘を固定する固定ステップと、を含むことを特徴とする物理量検出器の製造方法。
2. 基部と前記基部に片持ち支持される可動部と前記基部から延出している枠部と前記基部と前記可動部とに固定されている物理量検出素子とを備える基板部と、錘と、を用意する準備ステップと、
   前記可動部に前記錘の固定位置を示すマークを形成するマーキングステップと、
   前記錘の所定位置にハンダを配置するハンダ配置ステップと、
   前記基板部の縁辺と前記錘の縁辺とを位置合わせし、前記マークに対して前記錘を所定位置に配置する位置決めステップと、
   前記ハンダを溶融後固化させて、前記マークの位置に前記錘を固定する固定ステップと、を含むことを特徴とする物理量検出器の製造方法。
3. 請求項１または２に記載の物理量検出器の製造方法であって、
   前記マーキングステップでは、前記マークを金属膜で形成することを特徴とする物理量検出器の製造方法。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の物理量検出器の製造方法であって、
   前記位置決めステップでは、前記可動部の縁辺と前記錘の第１の縁辺とを位置合わせし、且つ前記枠部の縁辺と前記錘の第２の縁辺とを位置合わせすることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
5. 基部と、前記基部に片持ち支持される可動部と、前記基部から延出している枠部と、前記基部と前記可動部とに固定されている物理量検出素子とを備える基板部と、
   前記可動部に固定される錘と、
   前記可動部に形成された金属膜を含み、前記錘を前記可動部に固定している接合部材と、を備え、
   前記可動部の厚み方向からの平面視で、前記基板部の縁辺と前記錘の縁辺とが少なくとも一部で重なっていることを特徴とする物理量検出器。
6. 請求項５に記載の物理量検出器であって、
   前記接合部材が前記錘の前記可動部に対向する面に接合しているハンダを含む構成である、ことを特徴とする物理量検出器。
7. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の製造方法により製造された物理量検出器を搭載していることを特徴とする電子機器。
8. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の製造方法により製造された物理量検出器を搭載していることを特徴とする移動体。