JP2011155339A - 圧電デバイス、電子機器及び圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】更なるコストダウンを図ることができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子1は、振動部11と基部12とを有する水晶振動片10と、水晶振動片10を収容するパッケージ20と、水晶振動片10の基部12をパッケージ20に固定する接着剤30,31と、を備え、接着剤30,31は、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて、基部12に対する接着位置及び接着形状が設定され、水晶振動片10及びパッケージ20の少なくとも一方に配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】水晶振動子1は、振動部11と基部12とを有する水晶振動片10と、水晶振動片10を収容するパッケージ20と、水晶振動片10の基部12をパッケージ20に固定する接着剤30,31と、を備え、接着剤30,31は、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて、基部12に対する接着位置及び接着形状が設定され、水晶振動片10及びパッケージ20の少なくとも一方に配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、水晶振動子などに代表される圧電デバイス、圧電デバイスを備えた電子機器及び圧電デバイスの製造方法に関する。
従来、圧電デバイスの製造方法に関して、圧電振動片に形成された調整用金属膜の大部分または全領域を薄肉化して、周波数の粗調整を行う粗調整工程と、粗調整工程において薄肉化された領域の一部もしくは全領域をさらに薄肉化または除去することによって、周波数の微調整を行う微調整工程とからなる圧電デバイスの周波数調整方法(以下、製造方法という)が知られている(例えば、特許文献1参照)。
前記圧電デバイスの製造方法は、通常、レーザービームを圧電振動片の調整用金属膜(励振電極)に照射し、薄肉化または除去することによって行われるが、粗調整工程と微調整工程との2つの工程が必要なことなどから、周波数の調整に多大な工数が掛かるという問題がある。
この結果、圧電デバイスは、更なるコストダウンを図ることが困難であるという問題がある。
この結果、圧電デバイスは、更なるコストダウンを図ることが困難であるという問題がある。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる圧電デバイスは、振動部と基部とを有する圧電振動片と、前記圧電振動片を収容するパッケージと、前記圧電振動片の前記基部を前記パッケージに固定する接着剤と、を備え、前記接着剤は、前記圧電振動片の固定前の周波数に応じて、前記基部に対する接着位置及び接着形状が設定され、前記圧電振動片及び前記パッケージの少なくとも一方に配置されていることを特徴とする。
これによれば、圧電デバイスは、接着剤が、圧電振動片の固定前の周波数に応じて、基部に対する接着位置及び接着形状が設定され、圧電振動片及びパッケージの少なくとも一方に配置されている。
このことから、圧電デバイスは、圧電振動片を接着剤によりパッケージに固定する際の接着剤の硬化などに伴う圧電振動片の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この際、周波数の調整量は、接着剤の基部に対する接着位置及び接着形状を変えて圧電振動片を固定し、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることにより増減できる。
この結果、圧電デバイスは、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、生産性を向上させることができる。
これにより、圧電デバイスは、更なるコストダウンを図ることができる。
このことから、圧電デバイスは、圧電振動片を接着剤によりパッケージに固定する際の接着剤の硬化などに伴う圧電振動片の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この際、周波数の調整量は、接着剤の基部に対する接着位置及び接着形状を変えて圧電振動片を固定し、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることにより増減できる。
この結果、圧電デバイスは、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、生産性を向上させることができる。
これにより、圧電デバイスは、更なるコストダウンを図ることができる。
[適用例2]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記圧電振動片が略矩形形状であって、前記接着剤が複数個所に配置され、前記接着剤の少なくとも1箇所の接着形状が、平面視において、前記圧電振動片の前記基部と前記振動部とを結ぶ第1方向と略直交する第2方向に延びる前記圧電振動片の前記基部側の第1辺に沿った第1直線と、前記第1辺から前記第1方向に延びる第2辺に沿った第2直線との第1交点と、前記第1直線及び前記第2直線と交差する第3直線と、前記第1直線との第2交点と、前記第3直線と前記第2直線との第3交点と、の前記各交点を含んだ形状、または前記第2交点及び前記第3交点を含んだ形状に形成されていることが好ましい。
これによれば、圧電デバイスは、接着剤の少なくとも1箇所の接着形状が、平面視において、上記各交点を含んだ形状または第2交点及び第3交点を含んだ形状に形成されていることから、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を効率的に行うことができる。
[適用例3]上記適用例2にかかる圧電デバイスにおいて、前記接着剤の前記各交点を含んだ形状が、略三角形形状または略L字形状であることが好ましい。
これによれば、圧電デバイスは、接着剤の上記各交点を含んだ形状が、略三角形形状または略L字形状であることから、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を、より効率的に行うことができる。
[適用例4]上記適用例2にかかる圧電デバイスにおいて、前記接着剤の前記第2交点及び前記第3交点を含んだ形状が、略矩形形状であって、前記第3直線に沿って延在していることが好ましい。
これによれば、圧電デバイスは、接着剤の上記第2交点及び第3交点を含んだ形状が、略矩形形状であって、第3直線に沿って延在していることから、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を、より効率的に行うことができる。
[適用例5]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記パッケージが、平面視において、前記接着剤の配置領域を避けた位置に、導電性被膜が表面に形成された弾性を有する樹脂突起を備え、前記パッケージと前記圧電振動片とが前記樹脂突起を介して電気的に接続されていることが好ましい。
これによれば、圧電デバイスは、接着剤の配置領域を避けた位置でパッケージと圧電振動片とが樹脂突起を介して電気的に接続されていることから、接着剤の影響を受けることなく確実に接続することができる。
また、圧電デバイスは、パッケージと圧電振動片との電気的接続を、弾性を有する樹脂突起を介して行うことから、樹脂突起の弾性変形により電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージと圧電振動片との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
また、圧電デバイスは、パッケージと圧電振動片との電気的接続を、弾性を有する樹脂突起を介して行うことから、樹脂突起の弾性変形により電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージと圧電振動片との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
[適用例6]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例1〜5のいずれか一例に記載の圧電デバイスを備えたことを特徴とする。
これによれば、電子機器は、上記適用例1〜5のいずれか一例に記載の圧電デバイスを備えたことから、適用例1〜5のいずれか一例に記載の効果を奏する。
[適用例7]本適用例にかかる圧電デバイスの製造方法は、振動部と基部とを有する圧電振動片を用意する工程と、前記圧電振動片を収容するパッケージを用意する工程と、前記圧電振動片の周波数を測定する工程と、前記周波数と所定周波数範囲との差に応じて、前記圧電振動片を前記パッケージに固定する接着剤の、前記基部に対する接着位置及び接着形状を設定し、前記接着剤を前記パッケージ及び前記圧電振動片の少なくとも一方に配置する接着剤配置工程と、前記圧電振動片を、前記パッケージの所定の位置に、前記接着剤配置工程で配置された前記接着剤により固定することで前記周波数を調整し、前記所定周波数範囲内に合わせ込む周波数調整工程と、を有することを特徴とする。
これによれば、圧電デバイスの製造方法は、圧電振動片の周波数と所定周波数範囲との差に応じて、圧電振動片を固定する接着剤の基部に対する接着位置及び接着形状を設定し、接着剤をパッケージ及び圧電振動片の少なくとも一方に配置し、圧電振動片をパッケージに固定することで周波数を調整し、所定周波数範囲内に合わせ込む。
つまり、圧電デバイスの製造方法は、圧電振動片を接着剤によりパッケージに固定する際の接着剤の硬化などに伴う圧電振動片の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
つまり、圧電デバイスの製造方法は、圧電振動片を接着剤によりパッケージに固定する際の接着剤の硬化などに伴う圧電振動片の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この際、周波数の調整量は、接着剤の基部に対する接着位置及び接着形状を変えて圧電振動片を固定し、圧電振動片の歪みの方向、程度などを変えることにより増減できる。
この結果、圧電デバイスの製造方法は、例えば、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、圧電デバイスの生産性を向上させることができる。
この結果、圧電デバイスの製造方法は、例えば、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、圧電デバイスの生産性を向上させることができる。
[適用例8]上記適用例7にかかる圧電デバイスの製造方法において、前記パッケージが、平面視において、前記接着剤の配置領域を避けた位置に、導電性被膜が表面に形成された弾性を有する樹脂突起を備え、前記パッケージと前記圧電振動片との電気的接続を、前記周波数調整工程において、前記圧電振動片により前記樹脂突起を押圧し弾性変形させた状態で、前記圧電振動片を固定することで行うことが好ましい。
これによれば、圧電デバイスの製造方法は、パッケージと圧電振動片との電気的接続を、平面視において、接着剤の配置領域を避けた位置で行うことから、接着剤の影響を受けることなく確実に接続することができる。
また、圧電デバイスの製造方法は、パッケージと圧電振動片との電気的接続を、圧電振動片により樹脂突起を押圧し弾性変形させた状態で、圧電振動片を固定することで行うことから、電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージと圧電振動片との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
また、圧電デバイスの製造方法は、パッケージと圧電振動片との電気的接続を、圧電振動片により樹脂突起を押圧し弾性変形させた状態で、圧電振動片を固定することで行うことから、電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージと圧電振動片との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
ここでは、圧電デバイスの一例として水晶振動子を例に挙げて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)は、リッド(蓋体)側から俯瞰した平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図であり、図1(c)は、図1(a)のB−B線での断面図である。なお、平面図では、便宜的にリッドを省略してある。また、断面図は、平面図より拡大してある。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)は、リッド(蓋体)側から俯瞰した平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図であり、図1(c)は、図1(a)のB−B線での断面図である。なお、平面図では、便宜的にリッドを省略してある。また、断面図は、平面図より拡大してある。
図1に示すように、水晶振動子1は、圧電振動片としての水晶振動片10と、水晶振動片10を収容するパッケージ20と、水晶振動片10をパッケージ20に固定する接着剤30,31と、を備えている。
水晶振動片10は、水晶の原石から所定の角度で切り出されたATカット型であり、平面形状が略矩形に形成され、振動部11と振動部11に接続された基部12とを有している。
水晶振動片10は、水晶の原石から所定の角度で切り出されたATカット型であり、平面形状が略矩形に形成され、振動部11と振動部11に接続された基部12とを有している。
水晶振動片10は、振動部11の一方の主面14及び他方の主面15に形成された励振電極16,17から引き出された引き出し電極16a,17aが、基部12に形成されている。
引き出し電極16aは、一方の主面14の励振電極16からX軸(結晶X軸)に沿って基部12に引き出され、基部12の端面に沿って他方の主面15に回り込み、他方の主面15の励振電極17の手前まで延在している。
引き出し電極17aは、他方の主面15の励振電極17からX軸に沿って基部12に引き出され、基部12の端面に沿って一方の主面14に回り込み、一方の主面14の励振電極16の手前まで延在している。
引き出し電極16a,17aは、基部12において、互いにショートしない程度に接近した状態で形成されている。
引き出し電極16aは、一方の主面14の励振電極16からX軸(結晶X軸)に沿って基部12に引き出され、基部12の端面に沿って他方の主面15に回り込み、他方の主面15の励振電極17の手前まで延在している。
引き出し電極17aは、他方の主面15の励振電極17からX軸に沿って基部12に引き出され、基部12の端面に沿って一方の主面14に回り込み、一方の主面14の励振電極16の手前まで延在している。
引き出し電極16a,17aは、基部12において、互いにショートしない程度に接近した状態で形成されている。
パッケージ20は、平面形状が略矩形の平板状のパッケージベース21及びパッケージベース21を覆うキャップ状のリッド22などを有し、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース21には、セラミックグリーンシートを成形して焼成した酸化アルミニウム質焼結体などが用いられている。
リッド22には、パッケージベース21と同材料、または、コバールなどの金属、ガラスなどが用いられている。
パッケージベース21には、セラミックグリーンシートを成形して焼成した酸化アルミニウム質焼結体などが用いられている。
リッド22には、パッケージベース21と同材料、または、コバールなどの金属、ガラスなどが用いられている。
パッケージベース21には、水晶振動片10を固定する固定面23に、一対の導電性被膜24,25が表面に形成された弾性を有する樹脂突起26が設けられている。また、樹脂突起26の近傍には、水晶振動片10を固定面23に固定するための接着剤30,31が配置されている。
樹脂突起26は、凸部が直線状に連続した、例えば、かまぼこ状に形成されている。導電性被膜24,25は、水晶振動片10の基部12が樹脂突起26上に載置されたときに、引き出し電極16a,17aと対向するように樹脂突起26の表面に形成されている。
導電性被膜24,25は、樹脂突起26の延在方向であるZ’軸(結晶Z’軸)方向と直交するX軸方向に沿って、固定面23の表面まで延在する帯状に形成されている。
導電性被膜24,25は、樹脂突起26の延在方向であるZ’軸(結晶Z’軸)方向と直交するX軸方向に沿って、固定面23の表面まで延在する帯状に形成されている。
樹脂突起26は、ポリイミドなどの弾性樹脂材料を固定面23の表面にコーティングし、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって形成される。
なお、樹脂突起26の材料としては、ポリイミド樹脂以外に、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、変性ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン、ポリベンゾオキサゾールなどの樹脂を用いてもよい。
なお、樹脂突起26の材料としては、ポリイミド樹脂以外に、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、変性ポリイミド樹脂、ベンゾシクロブテン、ポリベンゾオキサゾールなどの樹脂を用いてもよい。
樹脂突起26の表面に形成された導電性被膜24,25は、Au、TiW、Cu、Ni、Pd、Al、Cr、Ti、W、NiV、鉛フリーはんだなどの導電性金属を、蒸着、スパッタリングなどによって成膜し、適宜のパターニング処理を適用することによって形成される。
また、導電性被膜24,25は、Cu、Ni、Alなどで構成された下地の被膜の表面をさらにAuメッキなどで被覆し、導電性能を高めることも可能である。
また、導電性被膜24,25は、Cu、Ni、Alなどで構成された下地の被膜の表面をさらにAuメッキなどで被覆し、導電性能を高めることも可能である。
接着剤30,31は、例えば、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって固定面23の表面に形成されている。
この際、接着剤30,31は、固定面23の表面に延在している導電性被膜24,25と重ならないように、導電性被膜24,25部分を避けて形成される。
換言すれば、パッケージ20は、平面視において、接着剤30,31の配置領域を避けた位置に、樹脂突起26を備えている。
この際、接着剤30,31は、固定面23の表面に延在している導電性被膜24,25と重ならないように、導電性被膜24,25部分を避けて形成される。
換言すれば、パッケージ20は、平面視において、接着剤30,31の配置領域を避けた位置に、樹脂突起26を備えている。
接着剤30,31は、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて、基部12に対する接着位置及び接着形状が設定され、水晶振動片10及びパッケージ20の少なくとも一方に配置されている。ここでは、パッケージ20のパッケージベース21の固定面23に配置されている(詳細後述)。
なお、接着剤30,31の材料には、エポキシ系、ポリイミド系、アクリル系などの感光性を有する樹脂などが用いられている。また、接着剤30,31は、加熱及び加圧により硬化する。
なお、接着剤30,31の材料には、エポキシ系、ポリイミド系、アクリル系などの感光性を有する樹脂などが用いられている。また、接着剤30,31は、加熱及び加圧により硬化する。
パッケージベース21の底面(固定面23の反対側の面)27には、電子機器などに実装される際に用いられる一対の外部端子28,29が形成されている。
外部端子28,29は、Wなどのメタライズ層にNi、Auなどの各被膜をメッキなどにより積層した金属被膜からなる。
外部端子28,29は、図示しない内部配線によって導電性被膜24,25と接続されている。例えば、外部端子28は、導電性被膜24と接続され、外部端子29は、導電性被膜25と接続されている。
外部端子28,29は、Wなどのメタライズ層にNi、Auなどの各被膜をメッキなどにより積層した金属被膜からなる。
外部端子28,29は、図示しない内部配線によって導電性被膜24,25と接続されている。例えば、外部端子28は、導電性被膜24と接続され、外部端子29は、導電性被膜25と接続されている。
水晶振動子1は、水晶振動片10の基部12が樹脂突起26上に載置され、接着剤30,31によりパッケージベース21の固定面23に固定される。
この際、水晶振動子1は、水晶振動片10の基部12に形成された引き出し電極16a,17aと、樹脂突起26の表面に形成された導電性被膜24,25とが、それぞれ位置合わせされた状態で、水晶振動片10が押圧される。
そして、水晶振動子1は、この押圧により、図1(b)、図1(c)に2点鎖線で示した形状から実線で示した形状へ弾性変形した樹脂突起26の反力によって、導電性被膜24,25が引き出し電極16a,17aへ押圧され、両者が電気的に接続された状態で、水晶振動片10が接着剤30,31を介してパッケージベース21の固定面23に固定される。
この際、水晶振動子1は、水晶振動片10の基部12に形成された引き出し電極16a,17aと、樹脂突起26の表面に形成された導電性被膜24,25とが、それぞれ位置合わせされた状態で、水晶振動片10が押圧される。
そして、水晶振動子1は、この押圧により、図1(b)、図1(c)に2点鎖線で示した形状から実線で示した形状へ弾性変形した樹脂突起26の反力によって、導電性被膜24,25が引き出し電極16a,17aへ押圧され、両者が電気的に接続された状態で、水晶振動片10が接着剤30,31を介してパッケージベース21の固定面23に固定される。
水晶振動子1は、水晶振動片10がパッケージベース21の固定面23に固定された状態で、パッケージベース21がリッド22により覆われ、パッケージベース21とリッド22とが図示しないシームリング、低融点ガラスなどの接合部材で接合されることで、パッケージ20の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ20の内部は、真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
なお、パッケージ20の内部は、真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
水晶振動子1は、外部端子28,29、導電性被膜24,25、引き出し電極16a,17a、励振電極16,17を経由して外部から印加される駆動信号によって、水晶振動片10が励振されて所定の周波数で共振する。
ここで、接着剤30,31について図2を参照して詳述する。
図2は、図1の要部拡大図である。
接着剤30の接着形状(配置形状)は、平面視において、水晶振動片10の基部12と振動部11とを結ぶ第1方向としてのX軸方向と略直交する第2方向としてのZ’軸方向に延びる基部12側の第1辺としての辺18に沿った第1直線L1と、辺18からX軸方向に延びる第2辺としての辺19に沿った第2直線L2との第1交点P1と、第1直線L1及び第2直線L2と交差する第3直線L3と第1直線L1との第2交点P2と、第3直線L3と第2直線L2との第3交点P3と、の各交点を含んだ形状に形成されている。
具体的には、接着剤30の上記各交点を含んだ接着形状が、略L字形状となっている。
図2は、図1の要部拡大図である。
接着剤30の接着形状(配置形状)は、平面視において、水晶振動片10の基部12と振動部11とを結ぶ第1方向としてのX軸方向と略直交する第2方向としてのZ’軸方向に延びる基部12側の第1辺としての辺18に沿った第1直線L1と、辺18からX軸方向に延びる第2辺としての辺19に沿った第2直線L2との第1交点P1と、第1直線L1及び第2直線L2と交差する第3直線L3と第1直線L1との第2交点P2と、第3直線L3と第2直線L2との第3交点P3と、の各交点を含んだ形状に形成されている。
具体的には、接着剤30の上記各交点を含んだ接着形状が、略L字形状となっている。
同様に、接着剤31の接着形状は、平面視において、水晶振動片10のZ’軸方向に延びる基部12側の辺18に沿った第1直線L1と、辺18からX軸方向に延びる第2辺としての辺13に沿った第2直線L2’との第1交点P1’と、第1直線L1及び第2直線L2’と交差する第3直線L3’と第1直線L1との第2交点P2’と、第3直線L3’と第2直線L2’との第3交点P3’と、の各交点を含んだ形状に形成されている。
具体的には、接着剤31の各交点を含んだ接着形状が、略L字形状となっている。
具体的には、接着剤31の各交点を含んだ接着形状が、略L字形状となっている。
ここでは、接着剤30と接着剤31とが、水晶振動片10のX軸に沿った中心線に対して対称形状になっている。
また、接着剤30,31の略L字を構成する2つの直線部分は、直近の各辺に沿って延在している。
なお、各直線(L1など)の位置、角度などは、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて設定され、これにより、接着剤30,31の接着位置(配置位置)及び接着形状(配置形状)が設定される。
また、接着剤30,31の略L字を構成する2つの直線部分は、直近の各辺に沿って延在している。
なお、各直線(L1など)の位置、角度などは、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて設定され、これにより、接着剤30,31の接着位置(配置位置)及び接着形状(配置形状)が設定される。
上述したように、水晶振動子1は、水晶振動片10の固定前の周波数と所定周波数範囲との差に応じて、水晶振動片10を固定する接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状が設定される。
そして、水晶振動子1は、接着剤30,31がパッケージベース21の固定面23に配置され、水晶振動片10がパッケージ20に固定されることで周波数が調整され、所定周波数範囲内に合わせ込まれる。
つまり、水晶振動子1は、水晶振動片10が接着剤30,31によりパッケージ20に固定される際の、接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数が所定周波数範囲内に合わせ込まれる。
そして、水晶振動子1は、接着剤30,31がパッケージベース21の固定面23に配置され、水晶振動片10がパッケージ20に固定されることで周波数が調整され、所定周波数範囲内に合わせ込まれる。
つまり、水晶振動子1は、水晶振動片10が接着剤30,31によりパッケージ20に固定される際の、接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数が所定周波数範囲内に合わせ込まれる。
この際、周波数の調整量は、接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状を変えて水晶振動片10が固定され、水晶振動片10の歪みの方向、程度などが変えられることにより増減される。
なお、水晶振動片10は、X軸方向に伸びる歪みの場合、周波数が低くなり、Z’軸方向に伸びる歪みの場合、周波数が高くなる傾向にあるといわれている。
水晶振動子1は、これらの傾向を踏まえて、接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状が設定される。
なお、水晶振動片10は、X軸方向に伸びる歪みの場合、周波数が低くなり、Z’軸方向に伸びる歪みの場合、周波数が高くなる傾向にあるといわれている。
水晶振動子1は、これらの傾向を踏まえて、接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状が設定される。
ここで、水晶振動子1の製造方法を説明する。
図3は、水晶振動子の製造工程を示すフローチャートであり、図4〜図8は、主要製造工程を説明する模式斜視図である。
図3は、水晶振動子の製造工程を示すフローチャートであり、図4〜図8は、主要製造工程を説明する模式斜視図である。
図3に示すように、水晶振動子1の製造方法は、水晶振動片準備工程S1と、パッケージ準備工程S2と、周波数測定工程S3と、接着剤配置工程S4と、周波数調整工程S5と、封止工程S6と、を有している。
[水晶振動片準備工程S1]
まず、振動部11と基部12とを有する水晶振動片10(図1参照)を用意する。
まず、振動部11と基部12とを有する水晶振動片10(図1参照)を用意する。
[パッケージ準備工程S2]
ついで、図4に示すように、水晶振動片10を収容するパッケージ20のパッケージベース21を用意する。
パッケージベース21には、予め一対の導電性被膜24,25が表面に形成された弾性を有する樹脂突起26を、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって、固定面23に形成しておく。
なお、パッケージ20のリッド22(図1参照)は、この工程で用意してもよいが、後述する封止工程S6までに用意しておけばよい。
ついで、図4に示すように、水晶振動片10を収容するパッケージ20のパッケージベース21を用意する。
パッケージベース21には、予め一対の導電性被膜24,25が表面に形成された弾性を有する樹脂突起26を、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって、固定面23に形成しておく。
なお、パッケージ20のリッド22(図1参照)は、この工程で用意してもよいが、後述する封止工程S6までに用意しておけばよい。
[周波数測定工程S3]
ついで、図5に示すように、周波数カウンターなどの周波数測定装置に繋がれた一対のプローブ40を、引き出し電極16a,17aに接触させ、水晶振動片10の周波数を測定する。
ついで、図5に示すように、周波数カウンターなどの周波数測定装置に繋がれた一対のプローブ40を、引き出し電極16a,17aに接触させ、水晶振動片10の周波数を測定する。
[接着剤配置工程S4]
ついで、図6に示すように、周波数測定工程S3で測定した周波数と所定周波数範囲との差に応じて、水晶振動片10をパッケージベース21に固定する接着剤30,31の、基部12に対する接着位置及び接着形状を設定し、接着剤30,31をパッケージベース21の固定面23に配置する。
この際、接着剤30,31は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、アクリル系などの感光性を有する樹脂を固定面23にスピンコートし、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって不要部分を除去することで、略L字形状に形成される。
なお、接着剤30,31の、基部12に対する接着位置及び接着形状と、水晶振動片10の周波数変化量との相関は、予め実験などにより確認し、データベース化してあるものとする。
ついで、図6に示すように、周波数測定工程S3で測定した周波数と所定周波数範囲との差に応じて、水晶振動片10をパッケージベース21に固定する接着剤30,31の、基部12に対する接着位置及び接着形状を設定し、接着剤30,31をパッケージベース21の固定面23に配置する。
この際、接着剤30,31は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、アクリル系などの感光性を有する樹脂を固定面23にスピンコートし、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を行うことによって不要部分を除去することで、略L字形状に形成される。
なお、接着剤30,31の、基部12に対する接着位置及び接着形状と、水晶振動片10の周波数変化量との相関は、予め実験などにより確認し、データベース化してあるものとする。
[周波数調整工程S5]
ついで、図7に示すように、水晶振動片10をパッケージベース21の所定の位置に配置し、接着剤配置工程S4で配置された接着剤30,31を、パッケージベース21及び水晶振動片10を介して加熱、加圧することにより硬化させ、水晶振動片10をパッケージベース21に固定することで水晶振動片10の周波数を調整し、所定周波数範囲内に合わせ込む。
この際、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続を、水晶振動片10の引き出し電極16a,17aと樹脂突起26の導電性被膜24,25とを位置合わせし、水晶振動片10により樹脂突起26を押圧し弾性変形させた状態で、水晶振動片10をパッケージベース21に固定することで行う。
ついで、図7に示すように、水晶振動片10をパッケージベース21の所定の位置に配置し、接着剤配置工程S4で配置された接着剤30,31を、パッケージベース21及び水晶振動片10を介して加熱、加圧することにより硬化させ、水晶振動片10をパッケージベース21に固定することで水晶振動片10の周波数を調整し、所定周波数範囲内に合わせ込む。
この際、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続を、水晶振動片10の引き出し電極16a,17aと樹脂突起26の導電性被膜24,25とを位置合わせし、水晶振動片10により樹脂突起26を押圧し弾性変形させた状態で、水晶振動片10をパッケージベース21に固定することで行う。
[封止工程S6]
ついで、図8に示すように、真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス中で、リッド22をパッケージベース21に、図示しないシームリング、低融点ガラスなどの接合部材で接合し、パッケージ20の内部を気密に封止する。
これにより、パッケージ20の内部を真空状態または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態に保持する。
ついで、図8に示すように、真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス中で、リッド22をパッケージベース21に、図示しないシームリング、低融点ガラスなどの接合部材で接合し、パッケージ20の内部を気密に封止する。
これにより、パッケージ20の内部を真空状態または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態に保持する。
上記各工程などを経ることにより、図1に示すような水晶振動子1が得られる。
なお、必要に応じて、周波数調整工程S5後に、レーザービームによる周波数の微調整を行ってもよい。また、必要に応じて、周波数調整工程S5後に、レーザービームなどで接着剤30,31を部分的に削除することにより周波数の微調整を行ってもよい。
なお、周波数測定工程S3は、パッケージ準備工程S2の前に行ってもよい。
なお、必要に応じて、周波数調整工程S5後に、レーザービームによる周波数の微調整を行ってもよい。また、必要に応じて、周波数調整工程S5後に、レーザービームなどで接着剤30,31を部分的に削除することにより周波数の微調整を行ってもよい。
なお、周波数測定工程S3は、パッケージ準備工程S2の前に行ってもよい。
上述したように、第1の実施形態の水晶振動子1は、接着剤30,31が、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて、基部12に対する接着位置及び接着形状が設定され、パッケージベース21の固定面23に配置されている。
このことから、水晶振動子1は、水晶振動片10を接着剤30,31によりパッケージベース21に固定する際の接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この結果、水晶振動子1は、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、生産性を向上させることができる。
これにより、水晶振動子1は、更なるコストダウンを図ることができる。
このことから、水晶振動子1は、水晶振動片10を接着剤30,31によりパッケージベース21に固定する際の接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この結果、水晶振動子1は、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、生産性を向上させることができる。
これにより、水晶振動子1は、更なるコストダウンを図ることができる。
また、水晶振動子1は、接着剤30の接着形状(配置形状)が、平面視において、水晶振動片10の基部12側の辺18に沿った第1直線L1と、辺18からX軸方向に延びる辺19に沿った第2直線L2との第1交点P1と、第1直線L1及び第2直線L2と交差する第3直線L3と第1直線L1との第2交点P2と、第3直線L3と第2直線L2との第3交点P3と、の各交点を含んだ略L字形状に形成されている。
同様に、水晶振動子1は、接着剤31の接着形状が、平面視において、水晶振動片10の基部12側の辺18に沿った第1直線L1と、辺18からX軸方向に延びる辺13に沿った第2直線L2’との第1交点P1’と、第1直線L1及び第2直線L2’と交差する第3直線L3’と第1直線L1との第2交点P2’と、第3直線L3’と第2直線L2’との第3交点P3’と、の各交点を含んだ略L字形状に形成されている。
これらのことから、水晶振動子1は、水晶振動片10の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を効率的に行うことができる。
これらのことから、水晶振動子1は、水晶振動片10の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を効率的に行うことができる。
また、水晶振動子1は、接着剤30,31のX軸方向(辺13、辺19)に沿った部分が長い場合には、水晶振動片10のY軸(結晶Y軸)方向における傾きを抑制できる。
また、水晶振動子1は、接着剤30,31の配置領域を避けた位置でパッケージベース21と水晶振動片10とが樹脂突起26を介して電気的に接続されていることから、接着剤30,31の影響を受けることなく確実に接続することができる。
また、水晶振動子1は、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続が、弾性を有する樹脂突起26を介して行われることから、樹脂突起26の弾性変形により電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
また、水晶振動子1は、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続が、弾性を有する樹脂突起26を介して行われることから、樹脂突起26の弾性変形により電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
また、水晶振動子1の製造方法は、水晶振動片10の周波数と所定周波数範囲との差に応じて、水晶振動片10を固定する接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状を設定し、接着剤30,31をパッケージベース21に配置し、水晶振動片10をパッケージベース21に固定することで周波数を調整し、所定周波数範囲内に合わせ込む。
つまり、水晶振動子1の製造方法は、水晶振動片10を接着剤30,31によりパッケージベース21に固定する際の接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
つまり、水晶振動子1の製造方法は、水晶振動片10を接着剤30,31によりパッケージベース21に固定する際の接着剤30,31の硬化などに伴う水晶振動片10の歪みを利用して周波数を変化させることにより、周波数を所定周波数範囲内に合わせ込むことができる。
この際、周波数の調整量は、接着剤30,31の基部12に対する接着位置及び接着形状を変えて水晶振動片10を固定し、水晶振動片10の歪みの方向、程度などを変えることにより増減できる。
この結果、水晶振動子1の製造方法は、例えば、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、水晶振動子1の生産性を向上させることができる。
この結果、水晶振動子1の製造方法は、例えば、従来行われていたレーザービームによる粗調整工程及び微調整工程の少なくとも一方を廃止すること、または、少なくとも一方の工程における所要工数を削減することが可能となり、水晶振動子1の生産性を向上させることができる。
また、水晶振動子1の製造方法は、接着剤30,31の配置領域を避けた位置でパッケージベース21と水晶振動片10とを樹脂突起26を介して電気的に接続することから、接着剤30,31の影響を受けることなく確実に接続することができる。
また、圧電デバイスの製造方法は、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続を、水晶振動片10により樹脂突起26を押圧し弾性変形させた状態で、水晶振動片10を固定することで行うことから、電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
また、圧電デバイスの製造方法は、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続を、水晶振動片10により樹脂突起26を押圧し弾性変形させた状態で、水晶振動片10を固定することで行うことから、電気的接続部分に適度な押圧力が常に働き、パッケージベース21と水晶振動片10との電気的接続の信頼性を向上させることができる。
なお、接着剤30,31は、水晶振動片10に配置されていてもよく、パッケージベース21及び水晶振動片10の両方に配置されていてもよい。これは、以降の実施形態(変形例)にも適用される。
(変形例)
図9は、第1の実施形態の変形例の水晶振動子の要部模式図である。なお、第1の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図9は、第1の実施形態の変形例の水晶振動子の要部模式図である。なお、第1の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図9に示すように、変形例の水晶振動子101は、第1の実施形態と比較して、接着剤130,131の接着形状(配置形状)が異なる。
第1の実施形態では、接着剤30,31の上記各交点を含んだ接着形状が略L字形状であったが(図2参照)、変形例では、接着剤130,131の上記各交点を含んだ接着形状が略三角形形状となっている。
これにより、水晶振動子101は、接着剤130,131の接着形状にL字形状のような折れ曲がり部分がないことから、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を容易に行うことができる。
第1の実施形態では、接着剤30,31の上記各交点を含んだ接着形状が略L字形状であったが(図2参照)、変形例では、接着剤130,131の上記各交点を含んだ接着形状が略三角形形状となっている。
これにより、水晶振動子101は、接着剤130,131の接着形状にL字形状のような折れ曲がり部分がないことから、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を容易に行うことができる。
(第2の実施形態)
図10は、第2の実施形態の水晶振動子の要部模式図である。なお、第1の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図10は、第2の実施形態の水晶振動子の要部模式図である。なお、第1の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図10に示すように、第2の実施形態の水晶振動子201は、第1の実施形態と比較して、接着剤230,231の接着形状(配置形状)が異なる。
第1の実施形態では、接着剤30,31の上記各交点を含んだ接着形状が略L字形状であったが(図2参照)、第2の実施形態では、接着剤230,231の接着形状が略矩形形状となっている。
第1の実施形態では、接着剤30,31の上記各交点を含んだ接着形状が略L字形状であったが(図2参照)、第2の実施形態では、接着剤230,231の接着形状が略矩形形状となっている。
詳述すると、接着剤230の接着形状は、平面視において、第1直線L1及び第2直線L2と交差する第3直線L3と第1直線L1との第2交点P2と、第3直線L3と第2直線L2との第3交点P3と、の2つの交点を含んだ略矩形形状であって、第3直線L3に沿って延在するように形成されている。
同様に、接着剤231の接着形状は、平面視において、第1直線L1及び第2直線L2’と交差する第3直線L3’と第1直線L1との第2交点P2’と、第3直線L3’と第2直線L2’との第3交点P3’と、の2つの交点を含んだ略矩形形状であって、第3直線L3’に沿って延在するように形成されている。
ここでは、接着剤230と接着剤231とが、水晶振動片10のX軸に沿った中心線に対して対称形状になっている。
なお、各直線の位置、角度などは、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて設定され、これにより、接着剤230,231の接着位置(配置位置)及び接着形状(配置形状)が設定される。
なお、各直線の位置、角度などは、水晶振動片10の固定前の周波数に応じて設定され、これにより、接着剤230,231の接着位置(配置位置)及び接着形状(配置形状)が設定される。
これによれば、水晶振動子201は、接着剤230,231の上記各交点を含んだ形状が、略矩形形状であって、第3直線L3,L3’に沿って延在するように形成されていることから、水晶振動片10の歪みの方向、程度などを変えることによる周波数の調整量の増減を、より効率的に行うことができる。
また、水晶振動子201は、接着剤230,231の接着形状にL字形状のような折れ曲がり部分がないことから、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を容易に行うことができる。
また、水晶振動子201は、接着剤230,231の接着形状にL字形状のような折れ曲がり部分がないことから、フォトリソグラフィーなどのパターニング処理を容易に行うことができる。
(変形例)
図11は、第2の実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式平面図である。なお、リッドは省略してある。また、第1、第2の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1、第2の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図11は、第2の実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式平面図である。なお、リッドは省略してある。また、第1、第2の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1、第2の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図11に示すように、変形例の水晶振動子301は、樹脂突起326a,326bが2つ設けられている。
樹脂突起326a,326bは、それぞれ接着剤230,231の延在方向に沿って、延在している。そして、樹脂突起326aには、導電性被膜324が形成され、樹脂突起326bには、導電性被膜325が形成されている。
また、水晶振動子301は、樹脂突起326aに対応するように引き出し電極316aが形成され、樹脂突起326bに対応するように引き出し電極317aが形成されている。
樹脂突起326a,326bは、それぞれ接着剤230,231の延在方向に沿って、延在している。そして、樹脂突起326aには、導電性被膜324が形成され、樹脂突起326bには、導電性被膜325が形成されている。
また、水晶振動子301は、樹脂突起326aに対応するように引き出し電極316aが形成され、樹脂突起326bに対応するように引き出し電極317aが形成されている。
これによれば、水晶振動子301は、樹脂突起326a,326bが2つ設けられていることから、1つの場合より樹脂突起326a,326bの配置の自由度を増すことができる。
このことから、水晶振動子301は、水晶振動片310の振動を、より阻害し難い位置に樹脂突起326a,326bを配置することができる。
なお、樹脂突起326a,326bの延在方向は、接着剤230,231の延在方向に沿わなくてもよい。
このことから、水晶振動子301は、水晶振動片310の振動を、より阻害し難い位置に樹脂突起326a,326bを配置することができる。
なお、樹脂突起326a,326bの延在方向は、接着剤230,231の延在方向に沿わなくてもよい。
(第3の実施形態)
図12は、第3の実施形態の、上記各実施形態及び各変形例で説明した水晶振動子を備えた電子機器の一例を示す模式斜視図である。
図12に示す携帯電話400は、上述した水晶振動子(1など)を基準クロック発振源などとして備え、更に液晶表示装置401、複数の操作ボタン402、受話口403、及び送話口404を備えて構成されている。
図12は、第3の実施形態の、上記各実施形態及び各変形例で説明した水晶振動子を備えた電子機器の一例を示す模式斜視図である。
図12に示す携帯電話400は、上述した水晶振動子(1など)を基準クロック発振源などとして備え、更に液晶表示装置401、複数の操作ボタン402、受話口403、及び送話口404を備えて構成されている。
上述した水晶振動子(1など)は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器などの基準クロック発振源などとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び各変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。
なお、上記各実施形態及び各変形例では、圧電デバイスとして水晶振動子を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、水晶発振器、周波数フィルターや、ジャイロセンサー、圧力センサーなどの各種センサーなどにも適用できる。
なお、上記各実施形態及び各変形例では、水晶振動片としてATカット型を用いたが、これに限定するものではなく、音叉型、SAW素子型、WT型(ジャイロ素子用)などを用いてもよい。
また、圧電振動片の材料としては、水晶に限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、四ホウ酸リチウム(Li2B4O7)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体を用いてもよい。また、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体が、表面に被膜として形成されたシリコンなどの半導体を用いてもよい。
また、圧電振動片の材料としては、水晶に限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、四ホウ酸リチウム(Li2B4O7)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体を用いてもよい。また、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体が、表面に被膜として形成されたシリコンなどの半導体を用いてもよい。
1…圧電デバイスとしての水晶振動子、10…圧電振動片としての水晶振動片、11…振動部、12…基部、13…第2辺としての辺、14…一方の主面、15…他方の主面、16…励振電極、16a…引き出し電極、17…励振電極、17a…引き出し電極、18…第1辺としての辺、19…第2辺としての辺、20…パッケージ、21…パッケージベース、22…リッド、23…固定面、24,25…導電性被膜、26…樹脂突起、27…底面、28,29…外部端子、30,31…接着剤、L1…第1直線、L2,L2’…第2直線、L3,L3’…第3直線、P1,P1’…第1交点、P2,P2’…第2交点、P3,P3’…第3交点、101…水晶振動子、130,131…接着剤、201…水晶振動子、230,231…接着剤、301…水晶振動子、310…水晶振動片、316a,317a…引き出し電極、324,325…導電性被膜、326a,326b…樹脂突起、400…電子機器としての携帯電話、401…液晶表示装置、402…操作ボタン、403…受話口、404…送話口。
Claims (8)
- 振動部と基部とを有する圧電振動片と、前記圧電振動片を収容するパッケージと、前記圧電振動片の前記基部を前記パッケージに固定する接着剤と、を備え、
前記接着剤は、前記圧電振動片の固定前の周波数に応じて、前記基部に対する接着位置及び接着形状が設定され、前記圧電振動片及び前記パッケージの少なくとも一方に配置されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、前記圧電振動片が略矩形形状であって、前記接着剤が複数個所に配置され、
前記接着剤の少なくとも1箇所の接着形状が、平面視において、前記圧電振動片の前記基部と前記振動部とを結ぶ第1方向と略直交する第2方向に延びる前記圧電振動片の前記基部側の第1辺に沿った第1直線と、前記第1辺から前記第1方向に延びる第2辺に沿った第2直線との第1交点と、
前記第1直線及び前記第2直線と交差する第3直線と、前記第1直線との第2交点と、
前記第3直線と前記第2直線との第3交点と、の前記各交点を含んだ形状、または前記第2交点及び前記第3交点を含んだ形状に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項2に記載の圧電デバイスにおいて、前記接着剤の前記各交点を含んだ形状が、略三角形形状または略L字形状であることを特徴とする圧電デバイス。
- 請求項2に記載の圧電デバイスにおいて、前記接着剤の前記第2交点及び前記第3交点を含んだ形状が、略矩形形状であって、前記第3直線に沿って延在していることを特徴とする圧電デバイス。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、前記パッケージが、平面視において、前記接着剤の配置領域を避けた位置に、導電性被膜が表面に形成された弾性を有する樹脂突起を備え、
前記パッケージと前記圧電振動片とが前記樹脂突起を介して電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
- 振動部と基部とを有する圧電振動片を用意する工程と、
前記圧電振動片を収容するパッケージを用意する工程と、
前記圧電振動片の周波数を測定する工程と、
前記周波数と所定周波数範囲との差に応じて、前記圧電振動片を前記パッケージに固定する接着剤の、前記基部に対する接着位置及び接着形状を設定し、前記接着剤を前記パッケージ及び前記圧電振動片の少なくとも一方に配置する接着剤配置工程と、
前記圧電振動片を、前記パッケージの所定の位置に、前記接着剤配置工程で配置された前記接着剤により固定することで前記周波数を調整し、前記所定周波数範囲内に合わせ込む周波数調整工程と、を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項7に記載の圧電デバイスの製造方法において、前記パッケージが、平面視において、前記接着剤の配置領域を避けた位置に、導電性被膜が表面に形成された弾性を有する樹脂突起を備え、
前記パッケージと前記圧電振動片との電気的接続を、前記周波数調整工程において、前記圧電振動片により前記樹脂突起を押圧し弾性変形させた状態で、前記圧電振動片を固定することで行うことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
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JP2010013931A JP2011155339A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 圧電デバイス、電子機器及び圧電デバイスの製造方法 |
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JP2013251673A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶デバイス |
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